DE4403627A1 - Ultraschallmotor mit verbessertem Stator - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft allgemein Ultraschallmotoren, insbeson­ dere Ultraschallmotoren mit verbesserter Statorausgestaltung unter Verwendung von Ultraschallschwingung.

Die japanische Patentveröffentlichung 1-17353 offenbart einen Ultraschallmotor, bei dem der Stator des Motors einen elasti­ schen Körper aus Metallen oder anderen Stoffen aufweist, wobei der elastische Körper an einem elektromechanischen Wandlerele­ ment angebracht ist, welches sich aus einem piezoelektrischen Körper zusammensetzt.

Wie allerdings im Rahmen der vorliegenden Erfindung erkannt wurde, unterliegt die in der japanischen Patentveröffentlichung Nr. 1-17353 veröffentlichte Anordnung Schwankungen hinsichtlich der Leistungsfähigkeit, die zurückzuführen sind auf Temperatur­ änderungen oder die Beeinträchtigung der Wasserdichtigkeit der an dem Motor angebrachten Teile. Die vorliegende Erfindung geht von der Erkenntnis aus, daß diese Probleme auf die Anbringung unterschiedlicher Materialarten für den Stator zurückführbar sind.

Außerdem kann die Verwendung verschiedener Stoffe zur Bildung des Stators die Gesamtkosten des Motors heraufsetzen.

Es ist folglich Aufgabe der vorliegenden Erfindung, Leistungs­ schwankungen bei einem Ultraschallmotor aufgrund von Tempera­ turänderungen und Verschlechterung der Wetterunabhängigkeit der Teile des Stators und an dem Stator zu vermeiden.

Ferner soll die vorliegende Erfindung durch entsprechende Aus­ gestaltung des Stators die Kosten des Motors senken.

Gelost wird diese Aufgabe durch die in den Patentansprüchen an­ gegebene Erfindung.

Ein spezieller Vorteil der Erfindung besteht darin, daß ein Stator vorhanden ist, der gleichförmig aus einem Stoff herge­ stellt ist, welcher imstande ist, elektrische Energie in mecha­ nische Energie umzusetzen, ohne daß sich zwischen den Teilen des Stators eine Klebstoffschicht befindet.

Weitere Vorteile und Ziele der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung.

Die Erfindung schafft einen Motor mit einem Stator aus einem Material, welches elektrische Energie in mechanische Energie umzusetzen vermag. Der Stator besitzt einen ersten Teil mit zwei entsprechenden Elektroden zum Anlegen eines Signals an den ersten Teil, und einen zweiten Teil, der gleichförmig bezüglich des ersten Teils ausgestaltet ist und in der Nachbarschaft zu dem ersten Teil einen Bereich aufweist, in welchem das Material nicht vorhanden ist. Dieser Bereich dient dazu, den zweiten Teil teilweise von dem ersten Teil zu trennen. Zwischen den Elektroden existiert der zweite Teil nicht. Außerdem enthält der Motor ein bewegliches Element, welches in Berührung mit dem zweiten Teil steht und durch fortschreitende Schwingungswellen angetrieben wird, die in dem zweiten Teil aufgrund des an die Elektroden angelegten Signals erzeugt werden.

Im folgenden werden Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigt

Fig. 1 eine perspektivische Ansicht einer ersten Ausführungsform des erfindungs­ gemäßen Ultraschallmotors;

Fig. 2(A) eine Vorderansicht des Stators einer ersten Ausführungsform der Erfindung,

Fig. 2(B) ein Diagramm einer fortschreitenden Schwingungswelle,

Fig. 3 eine Schnittansicht entlang der Linie 3-3 in Fig. 2,

Fig. 4 eine perspektivische, auseinandergezo­ gene Darstellung eines kreisförmigen Stators und eines entsprechenden be­ weglichen Elements,

Fig. 5 ein Diagramm für einen kreisförmigen Stator,

Fig. 6 ein Blockdiagramm einer Schaltung für die erste Ausführungsform der Erfin­ dung,

Fig. 7(A) eine Vorderansicht eines Stators nach einer zweiten Ausführungsform der Er­ findung,

Fig. 7(B) ein Diagramm einer fortschreitenden Schwingungswelle,

Fig. 8(A) eine Vorderansicht eines Stators nach einer dritten Ausführungsform der Er­ findung, und

Fig. 8(B) ein Diagramm einer fortschreitenden Schwingungswelle.

In den Zeichnungen sind gleiche und ähnliche Teile mit gleichen Bezugszeichen versehen.

Fig. 1 bis 3 zeigen eine erste Ausführungsform der Erfindung. Nach Fig. 1 ist die Gesamtheit eines Stators 1 durchgehend gleichförmig aus einem identischen Material ausgebildet. Das Material ist derart beschaffen, daß es elektrische Energie da­ durch in mechanische Energie umzusetzen vermag, daß ein "spezi­ fizierter Prozeß" angewendet wird. Dieser spezifizierte Prozeß bezieht sich auf einen Polarisationsvorgang, dem der Stator 1 unterzogen wird. Beim bevorzugten Ausführungsbeispiel wird als Material für den Stator 1 PZT (Abkürzung für die englische Be­ zeichnung von Blei-Zirkonat-Titanat) verwendet. Ein erster Teil 1a des Stators 1 besitzt Elektroden 20 und 30 auf den beiden Seiten, die senkrecht zu einer Fläche orientiert sind, die sich in Berührung mit einem beweglichen Element 4 befindet. Ein Be­ reich, der von dem ersten Teil 1a des Stators 1 ausgenommen ist, wird als zweiter Teil 1b bezeichnet. Der zweite Teil 1b besitzt eine Öffnung 1c, in der kein PZT vorhanden ist. Die Form der Öffnung 1c soll entweder rechteckig oder oval sein. An den Bereich zwischen den Elektroden 20 und 30 wird eine Wech­ selspannung angelegt, um dadurch den ersten Teil 1a in der Richtung zu strecken, in der die Elektroden 20 und 30 angeord­ net sind. Wenn der erste Teil 1a sich streckt, werden in einem Kammzahnteil 1e von einem Teil 1d oberhalb der Öffnung 1c aus fortschreitende Schwingungswellen erzeugt. Demzufolge wirkt der Kammzahnteil als ein Drehpunkt.

In Fig. 1 ist die vertikale Querschnittsform des Stators 1 (Querschnitt, der den Kammzahnteil 1e enthält) etwa quadra­ tisch. Er kann jedoch auch rechteckig, trapezförmig oder kreis­ förmig sein.

Das bewegliche Element 4 steht in Berührung mit dem zweiten Teil 1b des Stators 1 und wird durch die erzeugten fortschrei­ tenden Schwingungswellen angetrieben. Der Vorgang des Antrei­ bens eines beweglichen Elements durch fortschreitende Schwin­ gungswellen ist in der japanischen offengelegten Patentveröf­ fentlichung 1-17353 näher beschrieben, so daß hier auf eine nä­ here Erläuterung der Zusammenhänge verzichtet werden kann.

Fig. 2(A) ist eine Vorderansicht des Stators 1, und Fig. 2(B) ist ein Diagramm, welches den Zusammenhang zwischen der Anord­ nung der Elektroden und der Wellenlänge der fortschreitenden Schwingungswellen veranschaulicht. Wie aus den Fig. 2(A) und 2(B) hervorgeht, entspricht die Anordnung von vier Elektroden 20 einer Wellenlänge.

Fig. 3 ist eine Schnittansicht entlang der Linie 3-3 in Fig. 2(A) und zeigt den Zusammenhang zwischen der polarisierten An­ ordnung des Stators 1 und dem Verfahren des Zuführens einer Wechselspannung. Zum Anlegen der Wechselspannung werden eine Spannung der Phase A über einen Anschluß A 32 und eine Spannung der Phase B über einen Anschluß B 34 abwechselnd über Elektro­ den 20 an den Raum angelegt. Die Elektrode 30 ist über einen Anschluß G 36 auf Masse gelegt. Die Spannungen der Phase A und der Phase B sind aus Gründen der zeitlichen Abstimmung gegen­ einander um π/2 in der Phase versetzt. Für eine polarisierte Anordnung wird jedes Elektrodenpaar 20 abwechselnd in entgegen­ gesetzte Richtungen polarisiert, wobei jeweils zwei Elektroden 20 in die gleiche Richtung polarisiert sind (vgl. Fig. 3). Die Elektrode 30 ist eine gemeinsame Elektrode. Eine ausführliche Erläuterung des Prinzips, nach dem progressive Schwingungswel­ len erzeugt werden, ist in der japanischen offengelegten Pa­ tentanmeldung 60-245482 beschrieben und wird hier nicht wieder­ holt.

Fig. 4 ist eine perspektivische, auseinandergezogene Darstel­ lung, nach der der Stator 1 eine Ausführungsform der vorliegen­ den Erfindung in kreisförmiger Form ausgestaltet ist. Die Be­ zugszeichen, die identisch wie die Bezugszeichen in den bereits besprochenen Fig. sind, bezeichnen entsprechende Elemente. Aus fertigungstechnischen Gründen kann bei dem Stator 1 die Breite der Quadratseite 40 des Kammzahnteils 1e erweitert werden, wenn der Stator 1 in die Richtung des Radius gestreckt wird. Ferner kann die Breite einer Vertiefung zwischen benachbarten Kammzahnteilen 1e aufgeweitet werden, wenn der Stator 1 in Radius-Richtung gestreckt wird. Außerdem läßt sich die Öff­ nungsbreite der Öffnung 1c aufweiten, wenn der Stator 1 in Ra­ dius-Richtung gestreckt wird. In Fig. 4 ist die Dicke der Elek­ troden 20 und 30 nicht so stark übertrieben wie in Fig. 1. In einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich eine Öffnung 1c in einer solchen Lage, daß sie die gleiche Schrittweite (d. h. Steigung oder Winkel) aufweist wie der Bereich des ersten Teils 1a, der sich zwischen den Elektroden 20 und 30 befindet. Wie aus Fig. 4 ersichtlich ist, verläuft die Neigung der Öffnung 1c parallel zu der Neigung des ersten Teils 1a.

Fig. 5 ist eine Querschnittansicht eines ersten Teils 1a gemäß Fig. 4. Ein Anschluß P 25 repräsentiert ein Signal, welches den Zustand der Schwingung des Stators 1 oder des beweglichen Ele­ ments 4 angibt. Eine detaillierte Erläuterung des Prinzips, wie fortschreitende Schwingungswellen für diesen Aufbau erzeugt werden, ist in der japanischen offengelegten Patentanmeldung 60-245482 offenbart und wird hier nicht wiederholt.

Fig. 6 ist ein Blockdiagramm der funktionellen Schaltung für die Ausführungsform nach der Erfindung. Eine von einem Oszilla­ tor 5 erzeugte Wechselspannung gegebener Frequenz (es handelt sich im allgemeinen um ein Signal im Ultraschallbereich zwi­ schen etwa 20 kHz und 200 kHz) wird von einem Verstärker 6 ver­ stärkt und als Spannung der Phase A über den Anschluß A 32 auf den Stator 1 gegeben. Zusätzlich wird die von dem Oszillator 5 erzeugte Wechselspannung in einen Phasenschieber 7 eingegeben, wo das Signal um π/2 in der Phase verschoben wird, bevor es von einem Verstärker 8 verstärkt und dann als Spannung der Pha­ se B über den Anschluß B 34 auf den Stator 1 gegeben wird. Der Anschluß P 25 repräsentiert ein Signal, welches den Zustand der Schwingung des Stators 1 oder des beweglichen Elements 4 an­ gibt. Eine Frequenzbestimmungsschaltung 9 steuert die Frequenz des Oszillators 5 nach Maßgabe von Signalen, die von dem An­ schluß P 25 kommen.

Fig. 7(A) ist eine Vorderansicht eines Stators 11 einer zweiten Ausführungsform der Erfindung. Der Stator 11 besitzt einen er­ sten Teil 11a mit Elektroden 12 und einen zweiten Teil 11b mit Öffnungen 11c. Korrelation bezuglich des beweglichen Elements 4 ist in Fig. 7(A) dargestellt, sie ist ähnlich wie bei der er­ sten Ausführungsform. Fig. 7(B) ist ein Diagramm, welches den Zusammenhang zwischen der Anordnung der Elektroden und der Wel­ lenlänge der fortschreitenden Schwingungswellen darstellt. Fig. 7(B) zeigt, daß die Anordnung der beiden Elektroden 12 einer Wellenlänge entspricht.

Ein Unterschied zwischen dieser zweiten Ausführungsform und der ersten Ausführungsform besteht darin, daß zwei Öffnungen 11c (wo das PZT im zweiten Teil 11b nicht vorhanden ist) und zwei Elektroden 12 innerhalb einer Wellenlänge vorhanden sind. Der Zusammenhang zwischen der Anordnung der Elektroden und der Wel­ lenlänge von fortschreitenden Schwingungswellen ist ähnlich wie der Zusammenhang, der in der japanischen offengelegten Patent­ anmeldung 60.245482 beschrieben ist, speziell in den dortigen Fig. 10 bis 13. Es ergibt sich hier der Vorteil, daß man die Verdrahtung für die Phase A und die Phase B separat führen kann.

Fig. 8(A) ist eine Vorderansicht eines Stators 21 einer dritten Ausführungsform der Erfindung. Der Stator 21 besitzt einen er­ sten Teil 21a mit Elektroden 22 und einen zweiten Teil 21b mit Öffnungen 21c. Die Korrelation bezüglich eines beweglichen Ele­ ments ist in Fig. 8(A) nicht dargestellt, sie ist ähnlich wie bei der ersten Ausführungsform. Fig. 8(B) erläutert den Zusam­ menhang (die Korrelation) zwischen der Anordnung der Elektroden und der Wellenlänge der fortschreitenden Schwingungswellen. Nach Fig. 8(B) entspricht die Anordnung von zwei Elektroden 22 einer Wellenlänge.

Der Unterschied zwischen der dritten Ausführungsform und der ersten Ausführungsform besteht darin, daß bei der dritten Aus­ führungsform zwei Elektroden 22 innerhalb einer Wellenlänge Platz haben. Die Korrelation zwischen der Anordnung von Elek­ troden und der Wellenlänge der fortschreitenden Schwingungswel­ len ist ähnlich, wie es in der japanischen offengelegten Pa­ tentanmeldung 60.245482, dort die Fig. 11 bis 13, beschrieben ist. Es ergibt sich der Vorteil, daß man die Verdrahtung für die Phase A und die Phase B separat führen kann.

Wie man aus den Fig. 7(A) und 8(A) ersehen kann, besitzen die zweiten Teile 11b und 21b eine ganzzahlige Anzahl von Öffnungen 11c bzw. 21c. In Fig. 7(A) gibt es eine derartige Öffnung 11c für jeden zweiten Teil 11b. In Fig. 8(A) gibt es zwei solche Öffnungen 21c für jeden zweiten Teil 21b. Die Anzahl von Öff­ nungen 11c oder 21c könnte auch zu der Anzahl der Elektroden 12 oder 22 in Beziehung stehen. In Fig. 7(A) beispielsweise gibt es eine derartige Öffnung 11c für jede Elektrode 12. In Fig. 8(A) gibt es zwei derartige Öffnungen 21c für jede Elektrode 22. Jede der Öffnungen 11c oder 21c ist zu der anderen Öffnung benachbart, jedoch durch einen Bereich davon getrennt, in wel­ chem das den Stator bildende Material vorhanden ist. Jeder der zweiten Teile 11b oder 21b könnte irgendeine ganze Zahl von Öffnungen 11c oder 21c aufweisen. Wie in den Fig. 7(A) und 8(A) dargestellt ist, befinden sich die Öffnungen 11c oder 21c in derselben Ebene und besitzen weitere derartige Öffnungen an beiden Seiten. Für benachbarte zweite Teile haben die Öffnungen gleichen Abstand von benachbarten Öffnungen, egal, ob Öffnungen in einem entsprechenden zweiten Teil oder in benachbarten zwei­ ten Teilen existieren.

Die zur Bildung des Stators verwendeten Stoffe sind nicht auf PZT (Blei-Zirkonat-Titanat) beschränkt, solange der Stoff im­ stande ist, elektrische Energie in mechanische Energie dadurch umzusetzen, daß ein spezifischer Prozeß angewendet wird. Bei­ spielsweise können Stoffe wie piezoelektrische Materialien, Elektrostriktions-Stoffe und Magnetostriktions-Stoffe einge­ setzt werden. Außerdem ist hier die Öffnung 1c als ein Bereich beschrieben, in welchem das gleiche Material wie das Material des Stators 1 in dem zweiten Teil 1b nicht existiert. Aller­ dings ist die Öffnung 1c nicht direkt auf eine "Öffnung" be­ grenzt. Beispielsweise könnte sich dieser Bereich auch aus Me­ tallen zusammensetzen, die weniger starr sind, beispielsweise Harze, anorganische Stoffe und dergleichen.

Zur Erreichung des eingangs genannten Ziels der Erfindung und wie in Verbindung mit der ersten Ausführungsform dargestellt, besitzt erfindungsgemäß ein Ultraschallmotor einen Stator 1, bestehend aus einem ersten Teil 1a aus einem Material, welches elektrische Energie und mechanische Energie durch Anwenden ei­ nes spezifischen Prozesses umzusetzen imstande ist, und das Elektroden 20 und 30 auf beiden Seiten aufweist, an denen ein spezifischer Prozeß stattfindet, einen zweiten Teil 1b, der von dem ersten Teil 1a ausgeschlossen ist und einen Bereich auf­ weist, in welchem das Material nicht vorhanden ist, und ein be­ wegliches Element 4, welches in Berührung mit dem zweiten Teil 1b steht und durch fortschreitende Schwingungswellen angetrie­ ben wird, die in dem zweiten Teil 1b aufgrund der Frequenz eine an die Elektroden 20 angelegten Spannung erzeugt werden.

Der Stator gemäß der Erfindung ist ohne den Einsatz einer Kleb­ stoffschicht aufgebaut. Es wird also möglich, einen Motor in einer Hochtemperaturumgebung zu betreiben.

Erfindungsgemäß sind gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel ein Antriebsteil (erster Teil 1a), ein Betriebsteil (zweiter Teil 1b) des Stators unter Verwendung identischer Stoffe gleichför­ mig aufgebaut. Dadurch wird es möglich, Leistungsschwankungen durch Temperaturänderungen und Beeinträchtigung der Wetterunab­ hängigkeit zu vermeiden, verglichen mit einem Stator, bei dem ein erster Teil und ein zweiter Teil nicht gleichförmig ausge­ staltet sind. Außerdem lassen sich die Herstellungskosten ver­ ringern.

Claims (21)

1. Motor, umfassend:
einen Stator (1), aufgebaut aus einem Material, welches in der Lage ist, elektrische Energie in mechanische Energie umzusetzen, wobei der Stator enthält:

• - einen ersten Teil (1a; 11a; 21a) mit zwei entsprechenden Elektroden (20, 30; 12; 22) zum Anlegen eines Signals an den ersten Teil (1a), und
• - einen zweiten Teil (1b), der gleichförmig zu dem ersten Teil (1a) ausgebildet ist, einen Bereich (1c; 11c; 21c) in der Nachbarschaft des ersten Teils (1a; 11a; 21a) aufweist, wo das erwähnte Material nicht vorhanden ist, wobei der zweite Teil sich nicht zwischen den Elektroden befindet; und

ein bewegliches Element (4) in Berührung mit dem zweiten Teil (1b; 11b; 21b), und angetrieben durch fortschreitende Schingungswellen, die von dem zweiten Teil aufgrund des an die Elektroden angelegten Signals erzeugt werden.

2. Motor nach Anspruch 1, bei dem das Material ein piezoelek­ trisches Material ist und das Signal einen Polarisations­ prozeß repräsentiert.

3. Motor nach Anspruch 1, bei dem der zweite Teil eine Öffnung aufweist, die den genannten Bereich, in dem das Material nicht vorhanden ist, definiert.

4. Motor nach Anspruch 1, bei dem der Stator einen kreisförmi­ gen Aufbau mit mehreren ersten Teilen und mehreren zweiten Teilen aufweist, die ersten Teile einander benachbart sind und die zweiten Teile einander benachbart sind, wobei sich die Elektroden an dem Innen- bzw. Außenumfang des Stators (1) befinden, die Elektrode am Innenumfang des Stators eine gemeinsame Elektrode (30) ist für die ersten Teile, während die am Außenumfang befindliche Elektrode (20) des Stators individuell dem entsprechenden ersten Teil zugeordnet ist.

5. Motor nach Anspruch 1, bei dem der Bereich des zweiten Teils, in welchem das Material nicht vorhanden ist, paral­ lel zu dem Bereich des ersten Teils angeordnet ist, der zwischen den Elektroden liegt.

6. Motor nach Anspruch 1, bei dem der Bereich des zweiten Teils, in dem das Material nicht vorhanden ist, derart an­ geordnet ist, daß er eine identische Schrittweite, wie der Bereich des ersten Teils aufweist, der sich zwischen den Elektroden befindet.

7. Motor nach Anspruch 4, bei dem der Bereich des zweiten Teils, in dem das Material nicht vorhanden ist, derart ge­ legen ist, daß er eine Identische Schrittweite besitzt wie der Bereich des ersten Teils, der zwischen den entsprechen­ den Elektroden vorhanden ist.

8. Motor nach Anspruch 1, bei dem der Stator mehrere erste Teile und mehrere zweite Teile aufweist, wobei die ersten Teile einander benachbart sind und die zweiten Teile einander benachbart sind;
eine der Elektroden entsprechend jedem der ersten Teile in­ dividuell dem entsprechenden ersten Teil zugeordnet und die andere der Elektroden eine gemeinsame Elektrode für die ersten Teile ist; und
vier der individuell bezogenen Elektroden einer Wellenlänge der fortschreitenden Schwingungswellen entspricht.

9. Motor nach Anspruch 1, bei dem der Stator mehrere der ersten Teile und mehrere der zweiten Teile aufweist, wobei die ersten Teile einander benachbart und die zweiten Teile einander benachbart sind;
eine der Elektroden entsprechend jedem ersten Teil indivi­ duell dem entsprechenden Teil zugeordnet ist, während die andere der Elektroden eine gemeinsame Elektrode für die er­ sten Teile ist; und
zwei der individuell zugeordneten Elektroden einer Wellen­ länge der fortschreitenden Schwingungswellen entsprechen.

10. Motor nach Anspruch 1, bei dem der Stator mehrere der ersten Teile und mehrere der zweiten Teile aufweist, wobei die ersten Teile einander benachbart und die zweiten Teile einander benachbart sind;
eine der Elektroden, die jedem der ersten Teile entspricht, individuell dem ersten Teil zugeordnet ist, während die an­ dere der Elektroden eine gemeinsame Elektrode für die er­ sten Teile ist; und
eine ganzzahlige Anzahl von individuell zugeordneten Elek­ troden einer Wellenlänge der fortschreitenden Schwingungs­ wellen entspricht.

11. Motor nach Anspruch 4, bei dem zwei der Elektroden, die sich auf dem Außenumfang des Stators befinden, einer Wel­ lenlänge der fortschreitenden Schwingungswellen entspre­ chen.

12. Motor nach Anspruch 4, bei dem vier der Elektroden auf dem Außenumfang des Stators einer Wellenlänge der fortschrei­ tenden Schwingungswellen entsprechen.

13. Motor nach Anspruch 4, bei dem eine ganze Anzahl von Elek­ troden am Außenumfang des Stators einer Wellenlänge der fortschreitenden Schwingungswellen entspricht.

14. Motor nach Anspruch 1, bei dem der Bereich des zweiten Teils, wo das Material nicht vorhanden ist, aus einem Ma­ terial aufgebaut ist, welches nicht in der Lage ist, elektrisch Energie in mechanische Energie umzusetzen.

15. Motor nach Anspruch 1, bei dem der zweite Teil eine ganz­ zahlige Anzahl von Bereichen aufweist, in denen das Mate­ rial nicht vorhanden ist, wobei jeder der Bereiche einem anderen Bereich benachbart ist, jedoch getrennt von einem Bereich ist, in welchem das Material nicht vorhanden ist.

16. Motor nach Anspruch 4, bei dem jeder der zweiten Teile eine ganzzahlige Anzahl von Bereichen aufweist, in denen das Ma­ terial nicht vorhanden ist, jeder der Bereiche in der glei­ chen Ebene liegt und andere derartige Bereiche auf beiden Seiten benachbart aufweist, jedoch getrennt durch einen Be­ reich, in dem das Material nicht vorhanden ist.

17. Motor nach Anspruch 16, bei dem für benachbarte zweite Tei­ le Bereiche, in denen das Material nicht vorhanden ist, ein gleicher Abstand von anderen benachbarten Bereichen, wo das Material nicht vorhanden ist, gegeben ist, unabhängig davon, ob die Bereiche in einem entsprechenden der zweiten Teile oder in einem benachbarten der zweiten Teile vorhan­ den sind.

18. Motor nach Anspruch 1, weiterhin umfassend:
eine Mehrzahl der ersten Teile und eine Mehrzahl der zwei­ ten Teile, wobei die Mehrzahl der ersten Teile einander be­ nachbart und die Mehrzahl der zweiten Teile einander be­ nachbart sind;
wobei jeder der Mehrzahl der zweiten Teile eine ganzzahlige Anzahl von Bereichen aufweist, in denen das Material nicht vorhanden ist, jeder der Bereiche in derselben Ebene liegt und weitere derartige Bereiche in der Nachbarschaft auf beiden Seiten, jedoch getrennt durch einen Bereich, in wel­ chem das Material vorhanden ist, aufweist;
wobei für benachbarte der Mehrzahl von zweiten Teilen Be­ reiche, in denen das Material nicht existiert, einen glei­ chen Abstand von benachbarten Bereichen aufweisen, in denen das Material nicht existiert, unabhängig davon, ob die Be­ reiche in einem entsprechenden Teil der Mehrzahl von zwei­ ten Teilen oder in einem benachbarten Teil der Mehrzahl von zweiten Teilen existiert.

19. Motor nach Anspruch 16, bei dem die Bereiche der Mehrzahl von zweiten Teilen, in denen das Material nicht existiert, derart positioniert sind, daß sie eine identische Schritt­ weite haben wie der Bereich des entsprechenden ersten Teils, der sich zwischen den entsprechenden Elektroden be­ findet.

20. Motor nach Anspruch 18, bei dem die Bereiche der Mehrzahl von zweiten Teilen, in denen das Material nicht existiert, so positioniert sind, daß sie eine identische Schrittweite besitzen wie der Bereich des entsprechenden ersten Teils, der sich zwischen den entsprechenden Elektroden befindet.