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Gebiet der
Erfindung
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Die
vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Leiterplatte für ein Halbleiter-Kunststoffgehäuse bzw. ein
Halbleiter-Kunststoffpackage. Spezieller bezieht sie sich auf eine
Leiterplatte für
ein Chip-Scale-Package (CSP), das aus einem Halbleiterchip gebildet
wird, der auf einer klein dimensionierten Leiterplatte mit annähernd derselben
Größe wie der
Halbleiterchip montiert ist, und insbesondere bezieht sie sich auf
eine Leiterplatte für
ein sehr dünnes
Kunststoffpackage vom Ball-Grid-Array-Typ (GBA).
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Die
Leiterplatte als ein Endprodukt der vorliegenden Erfindung mit einem
darauf befindlichen Halbleiterchip wird in einem als ein Micro-Controller,
eine anwendungsspezifische IC (ASIC), ein Speicher oder dergleichen
verwendet. Das obige Package ist mittels Lotkügelchen mit einer Motherboard-Leiterplatte
verbunden und wird in einem elektronischen Gerät oder in elektronischer Ausrüstung verwendet.
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Beschreibung
des Stands der Technik
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Ein
herkömmliches
Basismaterial für
das Chip-Scale-Package (CSP) ist hauptsächlich aus dünnen Folien
ausgewählt,
die aus einem Glasepoxymaterial, einem Polyimidfilmmaterial und
einem Keramikmaterial gebildet sind. Bei aus diesen Folien gebildeten
Packages beträgt
der Abstand Lotkügelchen/Lotkügelchen
0,8 mm oder mehr und dennoch wird versucht, die Größe, die
Dicke und das Gewicht der Packages zu verringern. In den letzten
Jahren wird der Durchmesser von Lotkügelchen daher kleiner und kleiner
und der Lotkügelchenabstand
und der Linien/Leerraum-Abstand einer Schaltung nehmen ab. Die obige
Tendenz verursacht Probleme hinsichtlich der Wärmebeständigkeit eines Substrats und
der elektrischen Isolierung einer mehrschichtigen Leiterplatte nach
Wasserabsorption sowie hinsichtlich der Antimigrationseigenschaften.
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Bei
einem herkömmlichen
Kunststoff Ball-Grid-Array (P-BGA) und CSP nimmt die Adhäsion der
Lotkügelchen
zu einem Basismaterial mit einer Abnahme der Größe eines Lotkügelchen-Pads
ab, was fehlerhafte Produkte verursacht. Da darüber hinaus ein Substrat eine
geringe Dicke besitzt, ist eine Leiterplatte zwangsläufig einer
Verformung aufgrund einer Variabilität in der Dicke von Lötstofflacken
auf den Vorder- und Rückflächen eines
Substrats und eines Unterschieds in den verbleibenden Anteilen von
Kupferfolien unterworfen.
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Die
Dokumente EP-A-1 030 365 und EP-A-1 150 551, beide von IBIDEN Co.
Ltd., sind Stand der Technik nach Artikel 54(3) EPÜ und offenbaren
Leiterplatten aus kupferplattierten Laminaten mit Fixierungspads
für Lotkügelchen
mit mindestens zwei blinden Kontaktlöchern darin. Jedoch ist in
diesen Dokumenten die Dicke der kupferplattierten Laminat-Isolierungsschicht
und insbesondere eine Dicke unter 0,2 mm nicht erwähnt.
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Das
Dokument
US 5,207,585 offenbart
einen Testapparat für
elektrische Chips, der eine flexible Membran mit Kontaktelektroden
umfasst, die mit mehreren Vertiefungen versehen sind. Jedoch offenbart
es die Verwendung derartiger Elektroden für Leiterplatten nicht.
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Zusammenfassung der Erfindung
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Eine
Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht in der Bereitstellung
einer Leiterplatte für
ein CSP, das die schlechte Haftung von Lotkügelchen an einem Basismaterial überwindet,
wobei die schlechte Adhäsion
durch eine Abnahme in der Größe der Lotkügelchen
verursacht wird.
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Eine
andere Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht in der Bereitstellung
einer Leiterplatte für
ein CSP, in der die Verformung der Leiterplatte verringert ist und
die Verformung eines Halbleiter-Kunststoffgehäuses, das durch Montieren eines
Halbleiterchips auf der Leiterplatte durch Drahtbondung- oder Flip-Chip-Bondung
bzw. Flip-Chip-Verbindung gebildet worden ist, verringert ist.
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Eine
weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht in der Bereitstellung
einer Leiterplatte für
ein CSP, die/das die Verschlechterung der Wärmebeständigkeit, der elektrischen
Isolierung nach Wasserabsorption und der Antimigrationseigenschaften überwindet,
wobei die Verschlechterung durch eine Abnahme in der Dicke, der
Größe und dem
Gewicht von Gehäusen
verursacht wird.
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Gemäß der vorliegenden
Erfindung wird eine Leiterplatte für ein Halbleiter-Kunststoffgehäuse zur
Verfügung
gestellt, wobei die Leiterplatte als ein Substrat für ein Chip-Scale-Package ein
doppelseitiges kupferplattiertes Laminat aufweist, das aus einer
Isolierungsschicht mit einer Dicke von 0,2 mm oder weniger und mit Kupferfolien
auf beiden Oberflächen,
eine Kupferfolie auf einer Oberfläche und eine Kupferfolie auf
der anderen Oberfläche,
gebildet wird,
wobei das doppelseitige kupferplattierte Laminat
eine obere Kupferfolienoberfläche
und eine untere Kupferfolienoberfläche aufweist,
die obere
Kupferfolienoberfläche
einen Drahtbondungs- oder Flip-Chip-Verbindungsanschluss zur Verbindung eines
Anschlusses eines Halbleiterchips mit dem Substrat aufweist und
ein Kupferpad in einer Position aufweist, in der das Kupferpad mit
dem Drahtbondungs- oder Flip-Chip-Verbindungsanschluss elektrisch
verbunden werden kann und mit einem in der unteren Kupferoberfläche gebildeten
blinden Kontaktloch verbunden werden kann,
die untere Kupferfolienoberfläche ein
Lotkügelchen-Fixierungspad
in einer Position aufweist, die dem Kupferpad entspricht,
das
Lotkügelchen-Fixierungspad
in sich selbst mindestens 2 blinde Kontaktlöcher aufweist, und
das
Lotkügelchen-Fixierungspad
mit einer rückseitigen
Oberfläche
des Kupferpads durch ein Leitungsmaterial verbunden ist und mit
einem Lotkügelchen
integriert ist, das die blinden Kontaktlöcher füllt und befestigt ist.
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Gemäß der vorliegenden
Erfindung wird des Weiteren eine Leiterplatte wie oben beschrieben
zur Verfügung
gestellt, bei der die Isolierungsschicht des doppelseitigen kupferplattierten
Laminats ein Film ist, an dem eine wärmehärtende Harzzusammensetzung,
die, als eine wesentliche Komponente, einen polyfunktionellen Cyanatester
und ein Präpolymer
dieses Cyanatesters enthält,
haftet, oder eine mehrschichtige Platte derartiger Filme.
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Gemäß der vorliegenden
Erfindung wird des Weiteren eine Leiterplatte wie oben beschrieben
zur Verfügung
gestellt, in der die Isolierungsschicht des doppelseitigen kupferplattierten
Laminats aus einem Prepreg, das aus einer wärmehärtenden Harzzusammensetzung
besteht, die, als eine wesentliche Komponente, einen polyfunktionellen
Cyanatester und ein Präpolymer
des Cyanatesters und ein verstärkendes
Basismaterial enthält,
oder einer mehrschichtigen Platte gebildet ist, die aus Lagen eines
derartigen Prepregs besteht.
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Gemäß der vorliegenden
Erfindung wird eine Leiterplatte für ein CSP zur Verfügung gestellt,
die ausgezeichnet hinsichtlich des Haftvermögens der Lotkügelchen
an einem Substrat ist und die des Weiteren ausgezeichnet hinsichtlich
der Eigenschaften, wie Wärmebeständigkeit,
elektrische Isolierung nach Wasserabsorption und Antimigrationseigenschaften
aufgrund der Verwendung des voranstehend beschriebenen Harzes ist.
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Kurze Beschreibung
der Zeichnungen
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1 zeigt
einen Verbindungszustand von drei blinden Kontaktlöchern mit
einem Durchmesser von jeweils 0,1 mm, die in einem Lotpad gemacht
sind, und Lotkügelchen
in Beispiel 1.
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2 zeigt
die Stufen der Herstellung einer Leiterplatte und eines Halbleiter-Kunststoffgehäuses in Beispiel
2.
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3 zeigt
ein Halbleiter-Kunststoffgehäuse
unter Verwendung einer Leiterplatte in Beispiel 4.
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Detaillierte
Beschreibung der Erfindung
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Die
in den der vorliegenden Beschreibung beigefügten Zeichnungen verwendeten
Symbole stellen Folgendes dar a zeigt ein Kupferpad auf einer oberen
Oberfläche,
b zeigt ein blindes Kontaktloch mit einem Durchmesser von 100 μm, c zeigt
Lotkügelchen,
d zeigt eine wärmehärtende Harzschicht,
die mit einem Basismaterial aus einem Glasfasergewebe verstärkt ist,
und e zeigt ein Lotkügelchenpad
auf einer unteren Oberfläche,
f zeigt eine Kupferplattierung, g zeigt einen Plattierungsresist,
h zeigt eine Silberpaste, i zeigt einen Halbleiterchip, j zeigt
einen Bondungsdraht, k zeigt ein Versiegelungsharz, l zeigt einen
Bondungs- bzw. Verbindungsanschluss, m zeigt ein leitendes Material
eines blinden Kontaktlochs, n zeigt eine kupferplattierte Oberfläche, die
eine rückseitige
bzw. rückwärtige Oberfläche eines
Pads der oberen Oberfläche
ist, o zeigt eine Kupferfolie, p zeigt eine Schaltung, q zeigt ein
Durchgangsloch, r zeigt eine Prepreglage bzw. -folie, s zeigt einen
Teil eines Halbleiterchip-Bondungspads, t zeigt einen Teil eines
Lotkügelchenpads,
u zeigt ein Unterfüllharz
und v zeigt eine Unebenheit.
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Gemäß der vorliegenden
Erfindung wird eine Leiterplatte für ein CSP zur Verfügung gestellt,
die ausgezeichnet hinsichtlich des Haftvermögens von Lotkügelchen
an einem Substrat ist und die des Weiteren ausgezeichnet hinsichtlich
Eigenschaften, wie Wärmebeständigkeit,
elektrische Isolierung nach Wasserabsorption und Antimigrationseigenschaften
aufgrund der Verwendung eines speziellen Harzes ist.
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Der
Aufbau der Leiterplatte für
ein Chip-Scale-Package, zur Verfügung
gestellt durch die vorliegende Erfindung, wird unter Bezugnahme
auf 1 auf der Basis eines Systems erläutert werden,
in dem ein Halbleiterchip und eine Leiterplatte durch ein Drahtbondungsverfahren
verbunden sind.
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Als
ein Substrat für
ein Halbleiter-Chip-Scale-Package wird ein doppelseitiges kupferplattiertes
Laminat mit einer Dicke von 0,2 mm oder weniger verwendet. Auf einer
Oberfläche
des kupferplattierten Laminats ist ein Drahtbondungsanschluss (1)
zum Verbinden eines Anschlusses des Halbleiterchips und des obigen Substrats
ausgebildet. Wenn ein Halbleiterchip und die Leiterplatte durch
ein Flip-Chip-Verfahren verbunden werden, wird ein Flip-Chip-Verbindungsanschluss
(nicht gezeigt) ausgebildet.
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Ein
Kupferpad (a) der oberen Oberfläche
ist in einer Position ausgebildet, in der das Kupferpad (a) mit dem
obigen Drahtbondungsanschluss verbunden werden kann und mit einer
unteren Oberfläche
durch ein leitendes Material (m) eines blinden Kontaktlochs (b)
verbunden werden kann. Das Kupferpad (a) der oberen Oberfläche wird
unter Verwendung einer Kupferfolie an der oberen Oberfläche des
doppelseitigen kupferplattierten Laminats gebildet. Ein Lotkügelchen-Fixierungspad
(e) ist im Umfangsbereich des blinden Kontaktlochs (b) auf der Seite
der unteren Oberfläche
ausgebildet. Das Fixierungspad (e) ist unter Verwendung einer Kupferfolie
auf der unteren Oberfläche
des doppelseitigen kupferplattierten Laminats ausgebildet. Die vorliegende Erfindung
weist darin ein charakteristisches Merkmal auf, dass mindestens
zwei blinde Kontaktlöcher
in einem Fixierungspad (e) ausgebildet sind. Das Kupferpad (a) und
das leitende Material (m) des blinden Kontaktlochs sind elektrisch
miteinander verbunden. Das leitende Material (m) des blinden Kontaktlochs,
eine Kupferplattierungsoberfläche
(n) an der rückwärtigen bzw.
rückseitigen
Oberfläche
des Kupferpads (a) der oberen Oberfläche und das Lotkügelchen-Fixierungspad (e)
sind in ein Lotkügelchen
(c) eingearbeitet, das geschmolzen und in die blinden Kontaktlöcher (b)
eingefüllt
worden ist. Ein Halbleiterchip (i) ist auf einem Substrat mit einem
thermisch leitfähigen
Klebstoff, wie einer Silberpaste (h), gebunden und fixiert. Der
Halbleiterchip (i) ist an dem Bondungsanschluss (l) mit einem Bondungsdraht
(j) angeschlossen. Zumindest der Halbleiterchip, der Bondungsdraht
und der Bondungsanschluss sind mit einem Versiegelungsharz (k) eingekapselt.
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In
der vorliegenden Erfindung ist das Material für das Substrat nicht kritisch.
Das obige Material kann beispielsweise aus bekannten Materialien,
wie einem doppelseitigen kupferplattierten Laminat, das durch Anbringen
von Kupferfolien direkt oder mit einem Klebstoff an beiden Oberflächen eines
Films gebildet worden ist, einer mehrschichtigen Platte derartiger
Laminate, einem doppelseitigen kupferplattierten Laminat mit einer Dicke
von 0,2 mm oder weniger, das durch Imprägnieren eines Vlieses oder
eines Gewebes aus einer organischen oder einer anorganischen Faser
mit einer wärmehärtenden
Harzzusammensetzung, Trocknen des imprägnierten Gewebes unter Erhalt
eines Prepregs, Verwenden einer Prepreglage oder einer Stapelung
von zwei oder mehr Prepreglagen, Platzieren von Kupferfolien auf
beiden Oberflächen
der Lage(n) und ihrem Verbinden unter Druck und unter Wärme gebildet
worden ist, und einer mehrschichtigen Platte derartiger Laminate ausgewählt werden.
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Die
obige organische Faser beinhaltet allgemein bekannte Fasern, wie
eine Flüssigkristallpolyesterfaser
und eine gänzlich
aromatische Polyamidfaser. Die anorganische Faser beinhaltet allgemein
bekannte Glasfasern. Ein Gewebe oder Vlies aus einer beliebigen
der obigen Fasern kann verwendet werden. Eine gemischte Faser aus
diesen kann ebenfalls verwendet werden.
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Der
obige Film kann aus allgemein bekannten Filmen ausgewählt werden.
Insbesondere kann er aus einem Polyimidfilm oder einem Parabanatfilm
ausgewählt
werden.
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Das
Verfahren zur Herstellung der mindestens zwei blinden Kontaktlöcher in
einem Pad kann aus bekannten Verfahren ausgewählt werden. Beispielsweise
kann es z.B. aus allgemein bekannten Verfahren ausgewählt werden,
wie einem Verfahren, in dem Löcher
mit einem jeweils kleinen Durchmesser in eine Kupferfolie durch
vorheriges Ätzen
gemacht werden und die Löcher
mit einem niederenergetischen Kohlendioxidgaslaser mit einer Energie
von 5 bis 18 mJ/Puls unter Erzeugung von blinden Kontaktlöchern mit
einem besonders geringen Durchmesser in einem doppelseitigen kupferplattierten
Laminat bestrahlt werden, einem Verfahren zur Herstellung von blinden
Kontaktlöchern
in einem doppelseitigen kupferplattierten Laminat oder einer mehrschichtigen
Platte mit einem Kohlendioxidgaslaser, in dem eine mit dem Laser
bestrahlte Oberfläche
unter Bildung einer Metalloxidschicht behandelt wird, ein Hilfsmaterial,
wie eine Beschichtungszusammensetzung, die mindestens ein Pulver
eines Metallverbindungspulvers oder eines Kohlenstoffpulvers enthält und einen Schmelzpunkt
von mindestens 900°C
und eine Bindungsenergie von mindestens 300 kJ/mol aufweist, mit
einem wasserlöslichen
Harz auf die obige Oberfläche
unter Bildung einer Beschichtung aufgetragen wird, oder eine Hilfslage
zur Locherzeugung, die durch Anbringen des Hilfsmaterials an einer
Oberfläche
eines thermoplastischen Films hergestellt worden ist, vorzugsweise
so angeordnet wird, dass es möglich
ist, dass das Hilfsmaterial einer Kupferfolienoberfläche gegenüberliegt,
und die Kupferfolienoberfläche
direkt durch das Hilfsmaterial mit einem Kohlendioxidgaslaser zur
Bearbeitung und Entfernung der Kupferfolie bestrahlt wird, einem Verfahren
zur Herstellung von Löchern
mit einem Exzimerlaser oder einem YAG-Laser sowie einem Verfahren zur Herstellung
von Löchern
mittels Plasma. Vorzugsweise weist das Hilfsmaterial oder die Hilfslage
eine Gesamtdicke von 30 bis 200 μm
auf.
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Die
Hilfslage zur Herstellung von Löchern
mit einem Kohlendioxidgaslaser kann in der vorliegenden Erfindung
verwendet werden wie sie ist. Jedoch ist es bevorzugt, die Hilfslage
auf eine vielschichtige Platte zu platzieren und sie so eng wie
möglich
in engem Kontakt mit der mehrschichtigen Platte während des
Erstellens von Löchern
zu halten, um Löcher
mit einer guten Form zu erzeugen. Allgemein ist die Hilfslage an
der Oberfläche
einer mehrschichtigen Platte oder eines doppelseitigen kupferplattierten
Laminats mit einem Band oder dergleichen fixiert und eng daran angefügt. Um einen
vollständigeren
Kontakt der Hilfslage mit einer mehrschichtigen Platte oder einem
doppelseitigen kupferplattierten Laminat zu erzielen, wird die Hilfslage
vorzugsweise an einer mehrschichtigen Platte oder einem doppelseitig
kupferplattierten Laminat so befestigt, dass die Oberfläche der
Lage, auf die das Harz aufgetragen worden ist, der obigen Platte
oder dem obigen Laminat gegenüberliegt
und sie unter Wärme
und unter Druck laminiert werden, oder die Oberfläche, auf
die das Harz aufgetragen worden ist, vorher 3 μm oder weniger tief mit Wasser
befeuchtet wird, die Lage wie oben beschrieben befestigt wird und
sie bei Raumtemperatur unter Druck laminiert werden. In diesem Fall
ist das Haftvermögen
der Lage an der Kupferfolie ausgezeichnet und es können Löcher mit
einer guten Form erzeugt werden.
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Als
eine Harzzusammensetzung kann eine Harzzusammensetzung, die in Wasser
unlöslich
ist, in einem organischen Lösungsmittel
jedoch löslich
ist, auch eingesetzt werden. Da eine derartige Harzzusammensetzung
jedoch während
der Bestrahlung mit einem Kohlendioxidgaslaser in der Nähe der Löcher haften,
ist in diesem Fall nicht Wasser, sondern ein organisches Lösungsmittel
zur Entfernung des Harzes erforderlich. Unerwünschterweise ist daher die
Verwendung eines organischen Lösungsmittels
hinsichtlich der Bearbeitung mühsam
und es wird des Weiteren ein Verunreinigungsproblem in einer Nachbehandlungsstufe
verursacht.
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Das
Substrat zur Verwendung in der vorliegenden Erfindung oder das Harz
der wärmehärtenden
Harzzusammensetzung, die als Teil des Substrats verwendet wird,
kann aus allgemein bekannten wärmehärtenden Harzen
ausgewählt
werden. Es wird insbesondere aus einem Epoxyharz, einem polyfunktionellen
Cyanatesterharz, einem polyfunktionellen Maleimid-Cyanatesterharz
einem polyfunktionellen Maleimidharz oder einem ungesättigte Gruppen
enthaltenden Polyphenylenetherharz ausgewählt. Diese Harze können alleine
oder in Kombination verwendet werden. Zur Erzeugung von Durchgangslöchern mit
einer guten Form durch Bestrahlung mit einem Kohlendioxidgaslaser
mit einer hohen Ausgangsleistung ist es bevorzugt, eine wärmehärtende Harzzusammensetzung
mit einer Glasübergangstemperatur
von 150°C
oder darüber
zu verwenden. Angesichts der Feuchtigkeitsbeständigkeit, der Antimigrationseigenschaften
und der elektrischen Eigenschaften nach der Wasserabsorption ist
es bevorzugt, eine polyfunktionelle Cyanatester-Harzzusammensetzung
zu verwenden.
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Eine
polyfunktionelle Cyanatesterverbindung, die in der vorliegenden
Erfindung eine geeignete wärmehärtende Harzkomponente
ist, bezieht sich auf eine Verbindung mit mindestens 2 Cyanatogruppen
pro Molekül.
Spezielle Beispiele davon beinhalten 1,3- oder 1,4-Dicyanatobenzol,
1,3,5-Tricyanatobenzol, 1,3- 1,4-, 1,6-, 1,8-, 2,6- oder 2,7-Dicyanatonaphthalin,
1,3,6-Tricyanatonaphthalin,
4,4-Dicyanatobiphenyl, Bis(4-dicyanatophenyl)methan, 2,2-Bis(4-cyanatophenyl)propan,
2,2-Bis(3,5-dibrom-4-cyanatophenyl)propan, Bis(4-cyanatophenyl)ether,
Bis(4-Cyanatophenyl)thioether,
Bis(4-cyanatophenyl)sulfon, Tris(4-cyanatophenyl)phosphit und Cyanate,
die durch eine Umsetzung zwischen Novolak und einem Cyanhalogenid
erhalten worden sind.
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Zusätzlich zu
der voranstehend beschriebenen Verbindung können polyfunktionelle Cyanatesterverbindungen
verwendet werden, die in den japanischen Patentveröffentlichungen
Nrn. 41-1928, 43-18468, 44-4791, 45-11712, 46-41112 und 47-26853
sowie der JP-A-51-63149 beschrieben worden sind. Des Weiteren kann
ein Präpolymer
mit einem Molekulargewicht von 400 bis 6000 und mit einem Triazinring,
der durch Dimerisieren von Cyanatogruppe einer dieser polyfunktionellen
Cyanatesterverbindungen gebildet worden ist, verwendet werden. Das
obige Präpolymer
wird durch Polymerisieren des obigen polyfunktionellen Cyanatestermonomers
in der Gegenwart einer Säure,
wie einer Mineralsäure
oder einer Lewis-Säure,
einer Base, wie Natriumalcoholat oder tertiäres Amin, oder einem Salz,
wie Natriumcarbonat, erhalten. Das Präpolymer enthält teilweise
nicht-umgesetztes Monomer und liegt in der Form eines Gemisches
aus einem Monomer und einem Präpolymer
vor, und das Präpolymer
in der obigen Form wird ebenso in der vorliegenden Erfindung verwendet. Im
Allgemeinen ist es vor der Verwendung in einem organischen Lösungsmittel,
in dem es löslich
ist, gelöst.
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Das
Epoxyharz wird allgemein aus bekannten Epoxyharzen ausgewählt. Spezielle
Beispiele davon beinhalten ein flüssiges oder festes Epoxyharz
vom Bisphenol A-Typ, ein Epoxyharz von Bisphenol F-Typ, ein Epoxyharz
vom Phenol-Novolak-Typ, ein Epoxyharz vom Cresol-Novolak-Typ, ein alicyclisches Epoxyharz, eine
Polyepoxyverbindung, die durch Epoxidieren der Doppelbindung von
Butadien, Pentadien, Vinylcyclohexen oder Dicyclopentylether erhalten
worden ist, ein Polyol sowie eine Polyglycidylverbindung, erhalten
durch eine Umsetzung zwischen einem Hydroxylgruppen-enthaltenden
Silikonharz und Epihalohydrin. Diese Harze können allein oder in Kombination
eingesetzt werden.
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Das
Polyimidharz ist allgemein aus bekannten Polyimidharzen ausgewählt. Es
ist insbesondere aus Reaktionsprodukten von polyfunktionellen Maleimiden
und Polyaminen und besonders aus/von Polyimiden mit terminalen Dreifachbindungen,
die in der JP-B-57-005406 offenbart worden sind, ausgewählt.
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Die
voranstehend genannten wärmehärtenden
Harze können
allein verwendet werden, während
es bevorzugt ist, sie in einer geeigneten Kombination zu verwenden,
wobei auf die Ausgewogenheit der Eigenschaften geachtet wird.
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Verschiedene
Additive können
der wärmehärtenden
Harzzusammensetzung der vorliegenden Erfindung zugegeben werden,
solange die inhärenten
Eigenschaften der Zusammensetzung nicht beeinträchtigt werden. Die obigen Additive
beinhalten Monomere mit polymerisierbaren Doppelbindungen, wie einen
ungesättigten
Polyester, Präpolymere
von diesen, flüssige
elastische Kautschuke mit einem geringen Molekulargewicht oder elastische
Kautschuke mit einem hohen Molekulargewicht, wie Polybutadien, epoxidiertes
Butadien, maleiniertes Butadien, ein Butadien-Acrylnitril-Copolymer,
Polychloropren, ein Butadien-Styrol-Copolymer, Polyisopren, Butylkautschuk,
Fluorkautschuk und Naturkautschuk, Polyethylen, Polypropylen, Polybuten,
Poly-4-methylpenten, Polystyrol, AS-Harz, ABS-Harz, MBS-Harz, Styrol-Isopren-Kautschuk,
ein Polyethylen-Propylen-Copolymer, ein 4-Fluorethylen-6-fluorethylen-Copolymer,
hochmole kulargewichtige Präpolymere
oder Oligomere, wie Polycarbonat, Polyphenylenether, Polysulfon,
Polyester und Polyphenylensulfid sowie Polyurethan. Diese Additive
werden eingesetzt, wie es erforderlich ist. Des Weiteren können verschiedene
bekannte Additive, wie ein organischer oder anorganischer Füllstoff,
ein Farbstoff, ein Pigment, ein Verdickungsmittel, ein Gleitmittel,
ein Schaumschutzmittel, ein Dispergierungsmittel, ein Verlaufmittel,
ein Photosensibilisator, ein Flammverzögerungsmittel, ein Aufheller,
ein Polymerisationsinhibitor sowie ein Thioxotropiermittel allein
oder in Kombination, wie es erforderlich ist, verwendet werden.
Ein Härtungsmittel
oder ein Katalysator ist in eine Verbindung mit einer reaktiven
Gruppe eingearbeitet, wie es erforderlich ist.
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Die
in der vorliegenden Erfindung verwendete wärmehärtende Harzzusammensetzung
geht bei Wärme
selbst eine Härtung
ein. Wenn sie jedoch aufgrund ihrer niedrigen Härtungsgeschwindigkeit schlecht
hinsichtlich der Bearbeitbarkeit und der wirtschaftlichen Leistung
etc. ist, wird ein bekannter Wärmehärtungskatalysator
in das wärmehärtende Harz
eingearbeitet. Die Menge des Katalysators pro 100 Gew.-Teile des
wärmehärtenden
Harzes beträgt
0,005 bis 10 Gew.-Teile, vorzugsweise 0,01 bis 5 Gew.-Teile.
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Die
Metallverbindung mit einem Schmelzpunkt von mindestens 900°C und einer
Bindungsenergie von mindestens 300 kJ/mol, die als ein Hilfsmaterial
in der vorliegenden Erfindung verwendet wird, kann im Allgemeinen
aus bekannten Metallverbindungen ausgewählt werden. Beispielsweise
werden Oxide verwendet. Die Oxide beinhalten Titanoxide, wie Titanoxid,
Magnesiumoxide, wie Magnesiumoxid, Oxide des Eisens, wie Eisenoxid,
Oxide des Nickels, wie Nickeloxid, Oxide des Mangans, wie Manganoxid,
Oxide des Zinks, wie Zinkoxid, Siliciumdioxid, Aluminiumoxid, Seltenerdmetalloxide,
Oxide des Kobalts, wie Kobaltoxid, Oxide des Zinns, wie Zinnoxid
und Oxide des Wolframs, wie Wolframoxid. Des Weiteren können Nicht-Oxide
verwendet werden. Die Nicht-Oxide beinhalten allgemein bekannte
Nicht-Oxide, wie Siliciumcarbid, Wolframcarbid, Bornitrid, Siliciumnitrid,
Titannitrid, Aluminiumnitrid, Bariumsulfat, Seltenerdmetallsulfide,
Aluminiumhydroxid und Magnesiumhydroxid. Des Weiteren können verschiedene
Gläser,
die Mischungen aus Metalloxidpulvern sind, ebenso verwendet werden.
Darüber
hinaus können
Pulver aus einfachen Substanzen aus Silber, Aluminium, Wismuth,
Kobalt, Kupfer, Eisen, Magnesium, Mangan, Molybdän, Nickel, Palladium, Antimon,
Silicium, Zinn, Titan, Vanadium, Wolfram und Zink oder Metallpulver
von Legierungen aus diesen verwendet werden. Weiterhin kann ein
Kohlenstoffpulver verwendet werden. Diese werden allein oder in
Kombination verwendet. Der Partikeldurchmesser von diesen ist keinen
speziellen Beschränkungen
unterworfen, während
er vorzugsweise 1 μm
oder weniger beträgt.
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Bei
Bestrahlung mit einem Kohlendioxidgaslaser werden Moleküle dissoziiert
oder unter Abbau geschmolzen. Bevorzugt sind daher solche, die keinen
schädlichen
Effekt auf einen Halbleiterchip oder auf Adhäsionseigenschaften einer Lochwand
besitzen, wenn sie an der Lochwand haften, und dergleichen. Ein
Pulver, das Na-, K- oder Cl-Ionen enthält, ist nicht bevorzugt, weil
es einen schädlichen
Effekt auf die Verlässlichkeit
eines Halbleiters besitzt. Die Menge des voran stehend genannten
Pulvers beträgt
3 bis 97 Vol.-%, vorzugsweise 5 bis 95 Vol.-%. Vorzugsweise ist
das oben genannte Pulver in eine wässrige Lösung eingearbeitet und homogen
dispergiert.
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Das
wasserlösliche
Harz in einem Hilfsmaterial ist keinen speziellen Beschränkungen
unterworfen, während
es aus solchen ausgewählt
ist, die nicht von einer Kupferfolienoberfläche abgeschält werden, wenn sie geknetet,
auf die Kupferfolienoberfläche
aufgetragen und getrocknet oder zu einer Lage geformt werden. Beispielsweise
ist es aus bekannten Harzen, wie Polyvinylalkohol, Polyester, Polyether
und Stärke,
ausgewählt.
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Das
Verfahren zur Herstellung einer Zusammensetzung, die ein Metallverbindungspulver,
ein Kohlenstoffpulver oder ein Metallpulver und ein Harz enthält, ist
nicht kritisch. Das obige Verfahren beinhaltet bekannte Verfahren,
wie ein Verfahren des Knetens von Materialien ohne Lösungsmittel
bei einer hohen Temperatur mit einem Kneter und des Extrudierens
des gekneteten Gemisches in der Form einer Folie, um diese an eine thermoplastische
Harzoberfläche
zu binden, und ein Verfahren des Auflösens eines wasserlöslichen
Harzes in Wasser, des Zusetzens des voranstehend genannten Pulvers
dazu, des homogenen Vermischens unter Rühren, des Auftragens des Gemisches
als eine Beschichtungszusammensetzung auf eine thermoplastische
Filmoberfläche
und ihrer Trocknung unter Bildung einer Beschichtung. Die Dicke
der Folie oder der Beschichtung ist keinen speziellen Beschränkungen
unterworfen, während
sie eine Gesamtdicke nach dem Trocknen von 30 bis 200 μm besitzt.
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Des
Weiteren kann eine Ausführungsform
eingesetzt werden, in der eine Kupferfolienoberfläche unter Bildung
eines Metalloxids behandelt wird und dann in ähnlicher Weise Löcher gemacht
werden. Im Hinblick auf die Form der Löcher ist es jedoch bevorzugt,
das obige Hilfsmaterial zu verwenden.
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Wenn
die obige Hilfsfolie bzw. -lage auf eine Kupferfolienoberfläche unter
Wärme und
Druck laminiert wird, wird ihre aufgetragene Harzschichtseite auf
der Kupferfolienoberfläche
befestigt und die Hilfsfolie wird auf die Kupferfolienoberfläche mit
einer Walze durch Schmelzen der Harzschicht bei einer Temperatur
von im Allgemeinen zwischen 40°C
und 150°C,
vorzugsweise zwischen 60°C
und 120°C,
bei einem Lineardruck von im Allgemeinen 0,5 bis 30 kg, vorzugsweise
1 bis 10 kg, laminiert, um die Harzschicht eng an der Kupferfolienoberfläche zu befestigen.
Die einzusetzende Temperatur variiert in Abhängigkeit vom Schmelzpunkt eines gewählten wasserlöslichen
Harzes und variiert auch in Abhängigkeit
eines gewählten
Lineardrucks und einer Laminierungsgeschwindigkeit. Im Allgemeinen
wird das Laminieren bei einer Temperatur 5 bis 20°C über dem Schmelzpunkt
des wasserlöslichen
Harzes durchgeführt.
Wenn die Hilfsfolie bei Raumtemperatur eng an der Kupferfolienoberfläche befestigt
wird, wird die aufgetragene Harzschichtoberfläche 3 μm oder weniger tief mit Wasser
benetzt, wodurch das wasserlösliche
Harz zu einem gewissen Umfang gelöst wird, und die Hilfsfolie wird
unter dem oben genannten Druck laminiert. Das Verfahren des Benetzens
der Harzschicht mit Wasser ist keinen speziellen Beschränkungen
unterworfen, während
beispielsweise ein Verfahren des kontinuierlichen Aufbringens von
Wasser auf eine aufgetragene Harzschichtoberfläche mit einer Walze und dann
des kon tinuierlichen Laminierens der Hilfsfolie auf das kupferplattierte
Laminat oder ein Verfahren des kontinuierlichen Aufsprühens von
Wasser auf eine aufgetragene Harzschichtoberfläche und dann des kontinuierlichen
Laminierens der Hilfsfolie auf das kupferplattierte Laminat eingesetzt
werden können.
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Die
verstärkte
mehrschichtige Platte wird wie folgt hergestellt. Zunächst wird
ein verstärkendes
Material mit der wärmehärtenden
Harzzusammensetzung imprägniert
und das imprägnierte
verstärkende
Material wird zum B-Zustand der Zusammensetzung getrocknet, wodurch
ein Prepreg erhalten wird. Das verstärkende Material wird aus einem
organischen oder anorganischen Vlies oder einem organischen oder
anorganischen Gewebe ausgewählt.
Eine vorher bestimmte Anzahl der Prepregfolien werden gestapelt,
eine Kupferfolie wird auf mindestens eine Oberfläche der gestapelten Prepregfolien
gelegt und der resultierende Satz wird unter Wärme und Druck unter Bildung
eines kupferplattierten Laminats zu einem Laminat geformt. Die Kupferfolie auf
jeder Oberfläche
des auf diese Weise erhaltenen kupferplattierten Laminats besitzt
vorzugsweise eine Dicke von 3 bis 12 μm. Die Kupferfolie besitzt als
eine innere Schicht vorzugsweise eine Dicke von 9 bis 35 μm.
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Als
eine mehrschichtige Platte wird eine kupferplattierte mehrschichtige
Platte verwendet. Die kupferplattierte mehrschichtige Platte wird
durch Bilden eines Stromkreises bzw. einer Schaltung in einem kupferplattierten
Laminat mit einem verstärkten
Grundmaterial, Behandeln einer Kupferfolienoberfläche, nachfolgendes Anordnen
eines Prepregs im B-Zustand mit einem verstärkten Grundmaterial oder einer
Harzfolie ohne Grundmaterial, einer Kupferfolie mit einem darauf
befestigten Harz und einer Harzschicht, die durch Auftragen einer Beschichtungszusammensetzung
auf mindestens eine Oberfläche
gebildet worden ist, Ausbringen einer Kupferfolie oder von Kupferfolien
auf die äußerste Oberfläche oder äußerste Oberflächen und
Laminatbilden des resultierenden Satzes unter Wärme und Druck, vorzugsweise
im Vakuum, hergestellt. Das verstärkende Material besitzt vorzugsweise
eine hohe Dichte (Substrat, dessen Hohlräume verkleinert sind), wenn
es eine geringe Dicke besitzt. Beispielsweise soll ein verstärkendes
Material aus einem Glasgewebe mit einer Dicke von 50 μm eine Dichte
von 50 bis 60 g/m2 aufweisen.
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Das
Lotkügelchenpad
auf der rückwärtigen Oberfläche besitzt
im Allgemeinen einen Durchmesser von 200 bis 500 μm und mindestens
zwei Löcher
befinden sich in dem Lotkügelchenpad.
Der Durchmesser jedes Lochs ist nicht kritisch, während er
im Allgemeinen 50 bis 100 μm
beträgt,
wenn eine Leiterplatte hoher Dichte hergestellt wird. Vorzugsweise
werden die Löcher
mit einem Kohlendioxidgaslaser erzeugt, während das Hilfsmaterial auf
der Oberfläche
angeordnet ist. Die Löcher
werden als blinde Kontaktlöcher
erzeugt. Sogar wenn ein Loch einen Teil einer Kupferfolie auf der
gegenüberliegenden
Oberfläche
durchdringt, ist der so erzeugte Lochanteil in der Kupferfolie auf
der gegenüberliegenden
Seite vollständig
oder annähernd
vollständig
mit einer Schicht gefüllt,
bei der ein Panelplattieren durchzuführen ist, so dass der obige
Lochanteil keinen Einfluss auf die Erzeugung der Leiterplatte besitzt.
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Wenn
das Hilfsmaterial auf das kupferplattierte Laminat gelegt wird und
direkt mit einer Laserenergie, z.B. von 20 bis 60 mJ/Puls zur Erzeugung
von Löchern
mit einem Durchmesser von etwa 100 μm bestrahlt wird, treten Grate
der Kupferfolie in den um die Löcher
liegenden Bereichen auf. Wenn ein Schaltkreis sehr hoher Dichte
erforderlich ist, ist es erforderlich, die Dicke der Oberflächenkupferfolien
zu verringern. Nach der Bestrahlung mit einem Kohlendioxidgaslaser
werden die Oberflächen
der Kupferfolien vorzugsweise zweidimensional mechanisch oder mit
einer Chemikalie geätzt,
um in Richtung der Dicke einen Teil jeder Kupferfolie zu entfernen.
In diesem Fall werden Grate ebenso entfernt. Die auf diese Weise
hergestellten Kupferfolien sind geeignet zur Bildung von feinen
Mustern und Kontaktlöchern,
die Kupferfolie aufweisen, die um jedes Loch zurückbleibt, und die zur Erzeugung
einer Leiterplatte hoher Dichte geeignet sind. In diesem Fall ist Ätzen stärker bevorzugt
als mechanisches Polieren, weil die Grate auf den Lochanteilen leicht
entfernt werden können
und weil das Ätzen
frei von Dimensionsänderungen
ist, die durch das Polieren verursacht werden.
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Das
Verfahren zum Entfernen der Kupfergrate, die an den Lochanteilen
auftreten, und zum Entfernen eines Teils der Oberflächenkupferfolie
in Richtung der Dicke ist keinen speziellen Beschränkungen
unterworfen und es beinhaltet Verfahren des Entfernens einer Metalloberfläche durch
Auflösen
mit einer Chemikalie (als SUEP-Verfahren bezeichnet), die beispielsweise
in JP-A-02-00887,
JP-A-02-22896, JP-A-02-25089, JP-A-02-25090, JP-A-02-60189, JP-A-02-166789, JP-A-03-25995,
JP-A-03-60183, JP-A-03-94491, JP-A-04-199592 und JP-A-04-263488 offenbart
worden sind. Das Ätzen
wird im Allgemeinen bei einer Geschwindigkeit von 0,02 bis 1,0 μm/Sekunde
durchgeführt.
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Wenn
die blinden Kontaktlöcher
mit einem Kohlendioxidgaslaser erzeugt werden, ist es möglich, dass die
Bestrahlung von Anfang bis Ende mit einer Energie erfolgt, die aus
20 bis 60 mJ/Puls ausgewählt
ist. Wenn jedoch Kupferfolien als eine Frontoberfläche und
eine innere Schicht zuerst entfernt werden, wird vorzugsweise eine
höhere
Energie zum Entfernen der Kupferfolie gewählt und eine in Abhängigkeit
von der Dicke der Kupferfolie gewählte Energie von 5 bis 35 mJ/Puls
wird für
das Bestrahlen zur Bildung von Lochbodenanteilen der Löcher verwendet.
Bedingungen der Erzeugung der Löcher
können
in Abhängigkeit
davon variiert werden, ob eine Kupferfolie als eine innere Schicht
vorliegt oder nicht.
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Kupferplattieren
kann nach einer allgemein bekannten Kupferplattierungsmethode durchgeführt werden.
Des Weiteren können
die blinden Kontaktlöcher
teilweise mit einer Plattierung gefüllt werden.
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Ein
Halbleiter-Kunststoffgehäuse
wird wie folgt gebildet. Ein Halbleiterchip wird auf die Oberfläche der voran
stehend genannten Leiterplatte mit einem thermisch leitfähigen Klebstoff
gebunden und fixiert und durch Drahtbondung damit verbunden. Die
Oberfläche
wird mit einem Verschlussharz eingekapselt. Andernfalls wird eine
Unebenheit der unteren Oberfläche
eines Halbleiterchips geschmolzen und durch Flip-Chip-Bonding an einen
Anschluss der Leiterplatte angefügt,
die untere Oberfläche
des Halbleiterchips wird mit einem Unterfüllharz gebunden und fixiert
und dann werden Lotkügelchen
geschmolzen und an der rückwärtigen Oberfläche der
Leiterplatte befestigt.
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Wenn
eine polyfunktionelle Cyanatester-Zusammensetzung als eine wärmehärtende Harzzusammensetzung
für das
doppelseitige kupferplattierte Laminat verwendet wird, kann eine
Leiterplatte erhalten werden, die ausgezeichnet hinsichtlich Wärmebeständigkeit,
elektrischer Isolierung nach Behandlung mit einem Druckkochtopf
und Antimigrationseigenschaften ist.
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Ein
anorganischer isolierender Füllstoff
kann in der vorliegenden Erfindung verwendet werden. Der anorganische
isolierende Füllstoff
ist aus allgemein bekannten Füllstoffen
ausgewählt.
Spezielle Beispiele davon beinhalten Siliciumdioxide, wie natürliches
Siliciumdioxid, calciniertes Siliciumdioxid und amorphes Siliciumdioxid,
Weißruß, Titanweiß, Aerogel,
Ton, Talk, Wollastonit, natürlicher
Glimmer, synthetischer Glimmer, Kaolin, Magnesiumoxid, Aluminiumoxid,
Perlit, Aluminiumhydroxid und Magnesiumhydroxid. Die Menge des voranstehend
genannten Füllstoffs,
bezogen auf die Zusammensetzung, beträgt 10 bis 80 Gew.-%, vorzugsweise
20 bis 70 Gew.-%. Der anorganische isolierende Füllstoff besitzt vorzugsweise
einen Partikeldurchmesser von 1 μm
oder weniger. In der vorliegenden Erfindung wird ein Gemisch von
Aluminiumhydroxid mit Magnesiumhydroxid vorzugsweise verwendet,
weil das voranstehend genannte Gemisch dazu geeignet ist, Flammfestigkeit zu
verleihen, und zur Erzeugung von Löchern mt einem Kohlendioxidlaser
geeignet ist.
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In
der Leiterplatte für
ein Halbleiter-Chip-Size-Scale-Package gemäß der vorliegenden Erfindung
ist eine Leiterplatte bereitgestellt, in der die Scherfestigkeit
der Lotkügelchen
in starkem Maße
verbessert ist. Wenn des Weiteren ein polyfunktioneller Cyanatester
und ein Präpolymer
des polyfunktionellen Cyanatesters als eine wesentliche Komponente
für ein
Harz für
das kupferplattierte Laminat verwendet wird, wird eine Leiterplatte
für ein
Chip-Size-Scale-Package zur Verfügung
gestellt, das ausgezeichnet hinsichtlich Wärmebeständigkeit, elektrischer Isolierung
nach Behandlung mit einem Druckkochtopf und Antimigrationseigenschaften
ist.
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Beispiele
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Die
vorliegende Erfindung wird im Folgenden speziell unter Bezugnahme
auf Beispiele und Vergleichsbeispiele erläutert werden, in denen „Teil" für „Gew.-Teil" steht, soweit nichts
anderes angemerkt ist.
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Beispiel 1
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900
Teile 2,2-Bis(4-cyanatophenyl)propan und 100 Teile Bis(4-maleimidophenyl)methan
wurden bei 150°C
geschmolzen und man ließ sie
4 Stunden lang unter Rühren
reagieren, was ein Präpolymer
ergab. Das Präpolymer
wurde in gemischten Lösungsmitteln
aus Methylethylketon und Dimethylformamid gelöst. Das resultierende Gemisch
wurde mit 400 Teilen eines Epoxyharzes vom Bisphenol A-Typ (Handelsname:
Epikote 1001, bezogen von Yuka-Shell Epoxy K. K.) und 600 Teilen
eines Epoxyharzes vom Cresol-Novolak-Typ (Handelsname: ESCN-220F,
bezogen von Sumitomo Chemical Industry Co., Ltd.) versetzt und diese
Materialien wurden homogen gelöst
und vermischt. Des Weiteren wurden als ein Katalysator 0,4 Teile
Zinkoctylat zugegeben, gelöst
und beigemischt. Das resultierende Gemisch wurde mit 500 Teilen
eines anorganischen Füllstoffs (Handelsname:
Calcined Talc BST #200, bezogen von Nippon Talc K. K.) und 8 Teilen
eines schwarzen Pigments versetzt und diese Materialien wurden homogen
gerührt
und vermischt, was einen Lack A ergab. Ein 50 μm dickes Glasgewebe mit einem
Gewicht von 53 g/m2 wurde mit dem voranstehend
genannten Lack imprägniert
und das imprägnierte
Glasgewebe wurde bei 150°C
getrocknet, um ein Prepreg (Prepreg B) mit einer Gelierzeit von
120 Sekunden (bei 170°C)
und einem Gehalt an Harzzusammensetzung von 51 Gew.-% herzustellen.
Elektrolytische Kupferfolien mit einer Dicke von jeweils 12 μm wurden
auf die oberen und unteren Oberflächen der vereinigten beiden
Folien des voranstehend genannten Prepregs B platziert, eine Kupferfolie
auf eine Oberfläche
und eine Kupferfolie auf die andere Oberfläche, und der resultierende
Satz wurde bei 200°C und
20 kgf/cm2 unter einem Vakuum von 30 mmHg
oder weniger 2 Stunden lang zu einem Laminat geformt, was ein doppelseitiges
kupferplattiertes Laminat C mit einer Gesamtdicke (einschließlich der
Dicke der Kupferfolien) von 134 μm
ergab.
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Getrennt
davon wurde ein Lack, der durch Auflösen eines Polyvinylalkoholpulvers
in Wasser hergestellt worden war, zu 800 Teilen Talk (mittlerer
Partikeldurchmesser: 0,4 μm,
Handelsname: BST #200) gegeben und das Gemisch wurde homogen gerührt. Das
Gemisch wurde auf eine Oberfläche
eines 50 μm
dicken Polyethylenterephthalatfilms aufgetragen, so dass es eine
50 μm dicke
Beschichtung bildete. Die Beschichtung wurde durch 30-minütiges Trocknen
bei 110°C
gebildet, was ein Hilfsmaterial D mit einem Talkgehalt von 40 Vol.-%
ergab. Das Hilfsmaterial wurde auf das voranstehend genannte kupferplattierte
Laminat so platziert, dass die Harzoberfläche der Kupferfolienseite gegenüber lag,
und das Hilfsmaterial wurde darauf unter Druck mit einer Heißwalze bei
100°C befestigt.
In einem 7 mm × 7
mm großen
quadratischen Bereich in der Kupferfolie wurden 100 Löcher durch
1 Strahlungspuls direkt mit einem Kohlendioxidgaslaser bei einer
Ausgangsleistung von 40 mJ/Puls gemacht. Daraufhin wurde die Ausgangsleistung
des Kohlendioxidgaslasers auf 20 mJ/Puls erniedrigt und die Lochböden wurden
bei einer Ausgangsleistung von 20 mJ/Puls mit 1 Puls bestrahlt. Des
Weiteren wurden die Böden
der Kontaktlöcher,
d.h. die Harzseite der Kupferfolie, an der oberen Oberfläche mit
1 Schuss bei einer Ausgangsleistung von 7 mJ/Puls bestrahlt, wodurch
3 Löcher
mit einem Durchmesser von jeweils 100 μm in einem Lotkügelchenpad
mit einem Durchmesser von 300 μm
erzeugt wurden (siehe b in 1). Eine
SUEP-Behandlung wurde zur Auflösung
des Kupfers durchgeführt,
bis die Kupferfolie eine Restdicke von 5 μm besaß, und die resultierende Platte
wurde in eine Plasmaapparatur gelegt, in einer Sauerstoffatmosphäre 10 Minuten
lang behandelt und weiterhin in einer Argonatmosphäre 5 Minuten
lang behandelt, um eine verbliebene Harzschicht in den Kontaktlöchern zu
entfernen und auch Frontschichten der Kupferfolie an der vorderen
und rückwärtigen Oberfläche zu entfernen,
wodurch die Platte eine Dicke von 4 μm besaß. Die resultierende Platte
wurde in eine wässrige
Kaliumpermanganatlösung
gelegt, feucht Ultraschall-behandelt und dann einem allgemeinen
stromlosen Plattieren und Elektroplattieren mit Kupfer unterzogen
(f und m in 1). Die resultierende Oberfläche wurde
sanft geätzt,
Schaltungen (Leitung/Freiraum = 50/50 μm) wurden auf der vorderen und
rückwärtigen Oberfläche durch
ein herkömmliches
Verfahren gebildet und jeder Bereich der Platte wurde mit einem
Plattierungsresist (g in 1) mit der Ausnahme mindestens eines
Halbleiter-Chipteils, eines Bondungspadteils (l in 1)
und eines Lotkügelchenpadteils
(e in 1) bedeckt. Die Platte wurde mit Nickel und Gold
plattiert, wodurch eine Leiterplatte erhalten wurde. Ein Halbleiterchip
(i in 1) wurde mit einer Silberpaste (h in 1)
an die Leiterplatte gebunden und fixiert und mit dem Bondingpad
(l in 1) mit einem Bondungsdraht (j in 1)
verbunden und ein Einschließen
mit einem Harz (k in 1) wurde durchgeführt. Des
Weiteren wurde ein Lotkügelchen
(c in 1) durch Schmelzen angefügt. Die auf diese Weise erhaltene
Leiterplatte wurde beurteilt und Tabelle 1 zeigt die Ergebnisse.
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Beispiel 2
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700
Teile eines Epoxyharzes (Handelsname: Epikote 5045), 300 Teile eines
Epoxyharzes (Handelsname: ESCN-220F), 35 Teile Dicyandiamid und
1 Teil 2-Ethyl-4-methylimidazol wurden in gemischten Lösungsmitteln
aus Methylethylketon und Dimethylformamid gelöst und das Gemisch wurde homogen
gerührt. Dasselbe
Glasgewebe wie das in Beispiel 1 verwendete wurde mit dem voranstehenden
Gemisch gerührt
und das imprägnierte
Glasgewebe wurde getrocknet, was ein Prepreg E mit einer Gelierzeit
von 150 Sekunden ergab.
-
Drei
Folien des voranstehenden Prepregs E wurden vereinigt und 12 μm dicke elektrolytische
Kupferfolien wurden auf beiden Oberflächen der vereinigten Folien
platziert, eine auf einer Oberfläche
und eine auf der anderen Oberfläche.
Der resultierende Satz wurde bei 190°C und 20 kgf/cm2 unter
einem Vakuum von 30 mmHg oder weniger zu einem Laminat geformt,
was ein doppelseitiges kupferplattiertes Laminat mit einer Dicke
von 189 μm
ergab, die die Dicke der Kupferfolie beinhaltet. Drei Blindlöcher mit
einem Durchmesser von jeweils 125 μm wurden in ähnlicher Weise erzeugt und
27 Vol.-% jedes der Blindlöcher
wurden durch Pulsplattieren (Japan Lea Ronal-Methode) gefüllt. Danach
wurde auf die gleiche Weise wie in Beispiel 1 eine Leiterplatte
hergestellt und ein Lotkügelchen
wurde damit verbunden. Die auf diese Weise erhaltene Leiterplatte
wurde bewertet und Tabelle 1 zeigt die Ergebnisse.
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Vergleichsbeispiele 1
und 2
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Beispiel
1 wurde mit der Ausnahme wiederholt, dass kein Blindloch oder 1
Blindloch mit einem Durchmesser von 100 μm in einem Lotkügelchenpad
erzeugt wurde, um eine Leiterplatte zu erhalten. Die auf diese Weise
erhaltene Leiterplatte wurde bewertet und Tabelle 1 zeigt die Ergebnisse.
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Vergleichsbeispiel 3
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Beispiel
2 wurde mit der Ausnahme wiederholt, dass das Glasgewebe durch ein
Glasgewebe mit einem Gewicht von 48 g/cm2 und
einer Dicke von 50 μm
ersetzt wurde, um ein Prepreg herzustellen, und dass zwei Folien
des voranstehend genannten Prepregs anstelle der Verwendung von
drei Folien des Prepregs E verwendet wurden. Die Blindlöcher wurden
jedoch nicht in einem Lotkügelchenpad
erzeugt. Die auf diese Weise erhaltene Leiterplatte wurde beurteilt
und Tabelle 1 zeigt die Ergebnisse.
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Anmerkungen:
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- Glasübergangstemperatur:
- °C,
- Scherfestigkeit der
Kügelchen:
- kgf,
- Viskoelastizität:
- ×1010 Dyn/cm2
-
<Messmethode>
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1) Glasübergangstemperatur
-
- Gemessen nach der DMA-Methode.
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2) Scherfestigkeit der
Kügelchen
-
- Gemessen unter lateraler Zugspannung.
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3) Viskoelastizität
-
- Gemessen nach der DMA-Methode unter Verwendung eines Laminats,
von welchem Kupferfolie durch Ätzen entfernt
wurde.
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4) Wert des Isolierungswiderstands
nach Druckkochtopfbehandlung
-
Ein
kammförmiges
Muster mit Leitung/Freiraum = 50/50 μm wurde gebildet, die verwendeten
Prepregs wurden darauf platziert, der resultierende Satz wurde zu
einem Laminat geformt, das resultierende Laminat wurde bei 121°C unter 2
Atmosphären
Druck eine vorherbestimmte Zeitdauer lang behandelt und nachfolgend bei
25°C und
bei 60% rF 2 Stunden lang behandelt, 500 VDC wurden angelegt und
60 Sekunden nach dem Anlegen wurde ein Isolierungswiderstand zwischen
den Anschlüssen
gemessen.
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5) Antimigrationseigenschaften
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50
VDC wurden an das gleiche Teststück
wie dem oben unter 4) bei 85°C
und 85% rF angelegt und ein Isolierungswiderstand zwischen den Anschlüssen wurde
gemessen.
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6) Wärmezyklustest der blinden Kontaktlöcher
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100
Pads mit darin erzeugten Blindlöchern
wurden abwechselnd von einer Oberflächenseite mit einer anderen
Oberflächenseite
verbunden und die verbundenen Pads wurden in 200 Wärmezyklen
getestet, wobei jeder Zyklus in 30-sekündigem Eintauchen in Lotmaterial
bei 260°C → Raumtemperatur
5 Minuten lang bestand. Ein größter Wert
eines Änderungsverhältnisses
der Widerstandswerte ist gezeigt.
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Beispiel 3
-
Derselbe
Lack A wie der in Beispiel 1 verwendete wurde hergestellt und ein
Lack F wurde auf die gleiche Weise wie in Beispiel 1 mit der Ausnahme
hergestellt, dass die Zugabe von 500 Teilen des anorganischen Füllstoffs
und 8 Teilen des schwarzen Pigments weggelassen wurde.
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Ein
50 μm dickes
Glasgewebe (Gewicht: 53 g/m2, Gaspermeabilität: 7 cm3/cm2·s) wurde
mit dem Lack A imprägniert
und das imprägnierte
Glasgewebe wurde bei 150°C,
unter Erhalt eines Prepregs G1 mit einer Gelierzeit von 120 Sekunden
(bei 170°C)
und mit einem Gehalt an Harzzusammensetzung von 51 Gew.-%, oder
eines Prepregs G2 mit einer Gelierzeit von 103 Sekunden und einem
Gehalt an Harzzusammensetzung von 60 Gew.-% getrocknet.
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Elektrolytische
Kupferfolien (o in 2) mit einer Dicke von jeweils
12 μm wurden
auf beiden Oberflächen
der vereinigten beiden Folien des Prepregs G1 platziert und der
resultierende Satz wurde bei 200°C
und bei 20 kgf/cm2 unter einem Vakuum von
30 mmHg oder weniger 2 Stunden lang zu einem Laminat geformt, was
ein doppelseitiges kupferplattiertes Laminat H mit einer Isolierungsschichtdicke
von 121 μm
(Stufe (1) in 2) ergab. Durchgangslöcher (q
in 2) mit einem Durchmesser von 150 μm wurden
in dem voranstehend genannten doppelseitig kupferplattierten Laminat
mit einem mechanischen Bohrer erzeugt und das gesamte doppelseitige
kupferplattierte Laminat wurde mit Kupfer plattiert. Schaltungen
(p in 2) wurden auf beiden Oberflächen erzeugt, die Oberflächen wurden
unter Bildung von schwarzem Kupferoxid behandelt, wodurch eine Leiterplatte
I erhalten wurde (Stufe (2) in 2). Folien
des voranstehend genannten Prepregs G2 (r in 2) wurden
auf beiden Oberflächen
der Leiterplatte I platziert, eine Folie auf einer Oberfläche und
eine Folie auf der anderen Oberfläche, Trennfilme wurden darauf
platziert und der resultierende Satz wurde in ähnlicher Weise zu einem Laminat
geformt (Stufen (3) und (4) in 2). Daraufhin
wurden die Trennfilme abgezogen und eine flüssige, UV-selektive, wärmehärtende Beschichtungszusammensetzung
wurde auf die gesamte vordere und rückwärtige Oberfläche der
Platte aufgetragen und getrocknet. Daraufhin wurde die Platte mit
der Ausnahme eines Bondungspadteils (s in 2) auf der
vorderen Oberfläche
und eines Kügelchenpadteils
(t in 2) auf der rückwärtigen Oberfläche mit
UV bestrahlt, um die Beschichtungszusammensetzung zu härten. Eine
Entwicklung wurde mit einer alkalischen wässrigen Lösung durchgeführt, um
den Resist des Bondungpadteils und des Kügelchenpadteils zu entfernen,
und das Glasgewebe-Basismaterial/die wärmehärtende Harzzusammensetzung
wurden durch ein Sandstrahlverfahren entfernt, um ein Bondungspad
und ein Lotkügelchenpad
freizusetzen (Stufe (5) in 2). Daraufhin
wurde die Beschichtungszusammensetzung aufgelöst, um sie zu entfernen. Dann
wurde die freigesetzte Kupferfolienoberfläche sanft geätzt und
Nickelplattieren und Goldplattieren wurden gemäß herkömmlichen Methoden durchgeführt, wodurch
eine Leiterplatte J mit einer quadratischen Größe von 25 mm × 25 mm
erhalten wurde. Die Leiterplatte J wurde bewertet und Tabelle 2
zeigt die Ergebnisse. Ein Halbleiterchip (i in 2)
mit einer quadratischen Größe von 15
mm × 15
mm wurde mit einer Silberpaste (h in 2) mit der
Oberfläche
der Leiterplatte verbunden und mit Draht gebondet und daraufhin
wurde die gesamte Oberfläche
mit einer Epoxyharzverbindung (k in 2) mit einem
Harz versiegelt, wodurch ein Halbleiter-Kunststoffgehäuse K erhalten
wurde (Stufe (6) in 2). Das Halbleiter-Kunststoffgehäuse wurde
beurteilt und Tabelle 2 zeigt die Ergebnisse.
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Beispiel 4
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Ein
Gemisch aus 3290 Teilen Aluminiumhydroxid und 1410 Teilen Magnesiumhydroxid
(mittlerer Partikeldurchmesser 10,8 μm) wurde zu dem gleichen Lack
F wie dem in Beispiel 3 gegeben und diese Materialien wurden vollständig gerührt, was
einen Lack L ergab. Das gleiche Glasgewebe wie das in Beispiel 3
verwendete wurde mit dem Lack L imprägniert, was einen Prepreg M
mit einer Gelierzeit von 150 Sekunden und einem Gehalt an Harzzusammensetzung
von 71 Gew.-% ergab. Weiterhin wurde ein Prepreg N mit einer Gelierzeit von
35 Sekunden und einem Gehalt an Harzzusammensetzung von 60 Gew.-%
erhalten. Zwei Folien des Prepregs N wurden vereinigt, 12 μm dicke elektrolytische
Kupferfolien wurden auf beiden Oberflächen platziert, eine auf einer
Oberfläche
und eine auf der anderen Oberfläche,
und der resultierende Satz wurde auf dieselbe Art und Weise wie
in Beispiel 3 zu einem Laminat geformt, was ein doppelseitiges kupferplattiertes
Laminat mit einer Dicke der Isolierungsschicht von 119 μm ergab.
Eine Lösung
einer wasserlöslichen
Polyetherharzzusammensetzung, die 40 Vol.-% eines Kupferoxidpulvers
(mittlerer Partikeldurchmesser: 0,8 μm) in einem Gemisch aus Wasser
und Methanol enthielt, wurde auf die Oberfläche des voranstehend genannten
doppelseitigen kupferplattierten Laminats aufgetragen, so dass eine
Beschichtung mit einer Dicke von 40 μm gebildet wurde, und die Beschichtung
wurde durch Trocknen gebildet. Die Beschichtung wurde mit 4 Pulsen
mit einem Kohlendioxidgaslaser bei einer Energie von 35 mJ/Puls
bestrahlt, um Durchgangslöcher
mit einem Durchmesser von 100 μm
zu erzeugen. Grate der Kupferfolien, die in den Lochanteilen auftraten,
und die Kupferfolienoberflächen wurden
aufgelöst
und entfernt, so dass die Kupferfolien eine Dicke von jeweils 3 μm besaßen und
die Grate entfernt wurden. Die gesamte vordere Oberfläche, rückwärtige Oberfläche und
Durchgangslöcher
wurden 15 μm
dick mit Kupfer plattiert, wodurch Schaltungen auf beiden Oberflächen gebildet
wurden. Folien des Prepregs M wurden auf beiden Oberflächen platziert,
Trennfilme wurden darauf platziert, der resultierende Satz wurde
in ähnlicher
Weise zu einem Laminat geformt und die Trennfilme wurden abgezogen.
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Ein
UV-Resist wurde in ähnlicher
Weise auf beide Oberflächen
des voranstehend erhaltenen Laminats aufgebracht und getrocknet.
Das Laminat wurde mit UV mit der Ausnahme eines unebenen Anteils
des Halbleiter-Flip-Chips auf der vorderen Oberfläche und
eines Kügelchenpadteils
auf der rückwärtigen Oberfläche bestrahlt.
Die Entwicklung wurde mit einer alkalischen wässrigen Lösung in ähnlicher Weise durchgeführt, Glasfaserbasismaterial
und wärmehärtende Harzzusammensetzung
wurden durch eine Sandstrahlmethode entfernt, die Beschichtungszusammensetzung
wurde entfernt und Nickelplattieren und Goldplattieren wurden durchgeführt, wodurch
eine Leiterplatte O erhalten wurde. Die Leiterplatte wurde beurteilt
und Tabelle 2 zeigt die Ergebnisse. Ein Halbleiterchip mit einer
quadratischen Größe von 15
mm × 15
mm wurde auf der voranstehend genannten Leiterplatte O mit einer
quadratischen Größe von 16
mm × 16
mm durch eine Flip-Chip-Bonding-Methode montiert, die untere Seite
des Halbleiterchips wurde durch Einfüllen eines Unterfüllharzes
(u in 3) fixiert und Lotkügelchen wurden auf der rückwärtigen Oberfläche durch
Schmelzen fixiert, wodurch ein Halbleiterkunststoffgehäuse P (3)
erhalten wurde. Das Halbleiterkunststoffgehäuse wurde beurteilt und Tabelle
2 zeigt die Ergebnisse.
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Vergleichsbeispiel 4
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Ein
UV-selektiver wärmehärtender
Resist wurde zweimal auf beide Oberflächen derselben Leiterplatte wie
die in Beispiel 3 hergestellte aufgetragen und getrocknet, so dass
Beschichtungen mit einer Dicke von 50 μm gebildet wurden, und nach
der Bestrahlung wurde der Resist in einem Halbleiterchip-Bondingpadteil
und einem Lotkügelchenpadteil
auf der rückwärigen Oberfläche durch
Entwicklung entfernt. Nach Härten
des Resists unter Wärme
wurden Nickelplattieren und Goldplattieren durchgeführt, um
eine Leiterplatte Q zu erhalten. Ein Halbleiterchip wurde in ähnlicher
Weise auf die Leiterplatte Q montiert und Drahtbondung und Einschluss mit
einem Harz wurden durchgeführt,
wodurch ein Halbleiterkunststoffgehäuse R erhalten wurde. Das Halbleiterkunststoffgehäuse wurde
beurteilt und Tabelle 2 zeigt die Ergebnisse.
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Vergleichsbeispiel 5
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In
Beispiel 3 wurde als eine wärmehärtende Harzzusammensetzung
eine wärmehärtende Harzzusammensetzung
verwendet, die durch Auflösen
von 700 Teilen eines Epoxyharzes (Handelsname: Epikote 5045), 300
Teilen eines Epoxyharzes (Handelsname: ESCN-220F), 35 Teilen Dicyandiamid
und 1 Teil 2-Ethyl-4-methylimidazol in gemischten Lösungsmitteln
aus Methylethylketon und Dimethylformamid und homogenem Rühren des
Gemisches erhalten worden war. Ein Glasgewebe, das viele Hohlräume aufwies
und ein Gewicht von 48 g/m2, eine Dicke
von 51 μm
und eine Gaspermeabilität
von 50 cm3/cm2·s besaß, wurde
mit der voranstehend genannten wärmehärtenden
Harzzusammensetzung imprägniert,
wodurch ein Prepreg S mit einer Gelierzeit von 150 Sekunden und
einem Gehalt an Harzzusammensetzung von 55 Gew.-% erhalten wurde.
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Zwei
Folien des voranstehend genannten Prepregs S wurden vereinigt, 12 μm dicke elektrolytische Kupferfolien
wurden auf beiden Oberflächen
platziert, eine Kupferfolie auf einer Oberfläche und eine Kupferfolie auf
der anderen Oberfläche,
und der resultierende Satz wurde bei 190°C und bei 20 kgf/cm2 unter
einem Vakuum von 30 mmHg oder niedriger zu einem Laminat geformt,
wodurch ein doppelseitiges kupferplattiertes Laminat erhalten wurde.
Danach wurde das doppelseitige kupferplattierte Laminat in derselben
Art und Weise wie in Vergleichsbeispiel 1 verarbeitet, um eine Leiterplatte
T zu erhalten. Ein Halbleiterchip wurde auf die Vorderseite montiert
und Drahtbondung sowie Einschließen mit einem Harz wurden bezüglich der
vorderen Oberfläche
durchgeführt.
Lotkügelchen
wurden mit der rückwärtigen Oberfläche verbunden,
um ein Halbleiterkunststoffgehäuse
U zu erhalten. Das Halbleiterkunststoffgehäuse U wurde beurteilt und Tabelle
2 zeigt die Ergebnisse.
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<Messmethoden>
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1) Verformung
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• Leiterplatte
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Eine
Leiterplatte mit einer Arbeitsgröße von 250 × 250 mm
wurde auf einer Grundplatte platziert und hinsichtlich eines Maximalwerts
der Verformung vermessen.
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• Halbleiterkunststoffgehäuse
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Ein
Halbleiterchip mit einer quadratischen Größe von 15 × 15 mm wurde auf einer Leiterplatte
mit einer quadratischen Größe von 16 × 16 oder
einer quadratischen Größe von 25 × 25 montiert
und das Halbleiterkunststoffgehäuse
wurde hinsichtlich eines Maximalwerts der Verformung vermessen.
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2) Flammverzögerungsvermögen
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Eine
Kupferfolie einer Leiterplatte wurde durch Ätzen entfernt und die Leiterplatte
wurde gemäß UL94 getestet.