-
Die
vorliegende Erfindung betrifft eine Anordnung zur Beförderung
eines Halbleiterscheibenträgers.
-
Bei
Systemen zur Herstellung von Halbleiterbauelementen, insbesondere
bei der Halbleiterscheibenfertigung, bewerkstelligen zunehmend automatische
Transportsysteme die Übergaben
von Bauelementträgern
(wie beispielsweise Halbleiterscheibenmagazinen, auch -träger genannt),
welche eine Anzahl von Bauelementen, z. B. Halbleiterscheiben, enthalten,
zwischen aufeinander folgenden Schritten des Fertigungsprozesses.
Eine allgemein verwendete Struktur ist die Gliederung von Herstellungssystemen
in buchtartige (nach engl. bay type) Bereiche innerhalb eines Reinraums.
Verarbeitungsmaschinen derselben Art werden in Bays (Buchten) zusammengefasst,
um die maschinenspezifische Chemikalien- und Stromversorgung zu
kombinieren, sowie dem Bedienungspersonal kurze Entfernungen zum
Bedienen der Maschinen zu bieten und insbesondere um Transportsysteme
zu vereinfachen, da Lose, welche auf verschiedenen Maschinen derselben
Art verarbeitet werden, räumlich
zusammenbleiben.
-
Für gewöhnlich umfassen
Transportsysteme Interbay-Systeme (Zwischenbuchtsysteme), welche alle
Bay-Bereiche des ganzen Fertigungssystems miteinander verbinden,
und Intrabay-Systeme (buchtinterne Systeme), welche einen ringförmigen Schienenfahrweg
innerhalb des Bay-Bereichs umfassen, mit der Funktionalität, Halbleiterscheibenträger über eine
Lagerschrankeinrichtung von Interbay-Fahrzeugen zu übernehmen
und Halbleiterscheiben unter Verwendung von Trägerübergabewagen an eine freie
Ladestelle irgendeiner unbenutzten Verarbeitungsmaschine zu übergeben
und umgekehrt. Die Lagerschrankeinrichtung dient dazu, die Halbleiterscheibenträger zwischen
den verschiedenen Systemen zu überbringen,
wobei für
die Interbay-Schienenfahrwege häufig
Fahrzeuge mit Obenbeladung verwendet werden. Die Trägerübergabewagen
bewegen sich zu den Verarbeitungsmaschinen, wo einzelne Halbleiterscheibenhandhabungsgeräte die Ladestellen
der Verarbeitungsmaschinen beladen oder das Bedienungspersonal diese
Aufgabe von Hand erledigt.
-
Mit
den abnehmenden Zykluszeiten der Verarbeitungsmaschinen und den
zunehmenden Reinraumspezifikationen gewinnen die nicht Wert schöpfenden
Kosten auf Grund der Wegzeit und der Stellfläche von Transportgeräten im Reinraumbereich
für die
Halbleiterscheibenfertigungskosten an Bedeutung. Im Falle von Herstellungssystemen,
welche hoch belastet sind, können
lange Wartezeiten an der Lagerschrankeinrichtung oder an der Ladestelle
der Verarbeitungsmaschinen entstehen. Fahrzeuge, welche mit dem Überbringen
ihrer Trägerladung
befasst sind, können
andere Fahrzeuge behindern, welche die zuvor erwähnte Staustelle, d. h. die
Lagerschrankeinrichtung oder die Ladestelle, passieren sollen. Außerdem benötigt die
Lagerschrankeinrichtung teure Stellfläche im Reinraumbereich und
hat eine hohe Verfügbarkeit
zu bieten, was zu erhöhten
Wartungskosten führt.
-
In
WO 98/58402 wird eine Vorrichtung zur automatischen Magazinhandhabung
offenbart, wobei die Vorrichtung die Funktionalität des Aufnehmens
von Magazinen oder Trägern
von einem Fördermittel
bereitstellt. Das Fördermittel
erstreckt sich durch einen inneren Abschnitt einer Aufzugskammer der
Vorrichtung, von wo es durch einen Aufzug auf eine Position gehoben
werden kann, wo ein Halbleiterscheibenhandhabungsgerät die Verarbeitungskammer
der angeschlossenen Verarbeitungsmaschine beladen kann. Die Vorrichtung
ermöglicht
einen Durchgang eines folgenden zweiten Halbleiterscheibenträgers ohne
Behinderung durch den ersten Halblei terscheibenträger in Verarbeitung,
wodurch die Bildung von Warteschlangen vor der Vorrichtung vermieden
wird. Dennoch ist das Transportsystem auf Förderbänder beschränkt, und demnach fehlt ihm die
Flexibilität
des dynamischen Beladens verschiedener Maschinen mit verfügbaren Übergabemechanismen
wie im Fall der Trägerübergabewagen
des üblichen
Intrabay-Systems.
-
In
WO 00/37338 wird ein Intrabay-System mit einer Übergabegruppe zum Heben und
Versetzen eines Halbleiterscheibenträgers von einem Intrabay-Fördermittel
zu einem Zwischenlager benachbart zum Fördermittel vorgeschlagen. Eine
weitere Einheit, ein Zustellroboter kann später – wenn Werkzeugkapazität verfügbar ist – die Halbleiterscheibenträger vom
Zwischenlager zu den Ladestellen der Verarbeitungswerkzeuge umverteilen.
Der Zustellroboter ist mit einem vertikalen und horizontalen Antrieb
versehen, wobei er unabhängig
vom Intrabay-System an der Decke befestigt ist und dazu bestimmt
ist, jeweils zwei Ladestellen benachbart zum Zwischenlager versorgen.
-
In
US 5,980,183 wird ein Intrabay-Zwischenlagerungs-
und Zustellsystem bereitgestellt, gemäß dem Lastaufnahmemittel Halbleiterscheibenträger vom
Intrabay-System an einem Eingang zum Intrabay-Punkt aufnehmen, wodurch
sie als ein Lagerschrank dienen, und sie in Zwischenlagerungsregalen
innerhalb der Bay lagern. Bei Bedarf werden die Halbleiterscheibenträger durch
die Lastaufnahmemittel, welche mit Greifern ausgestattet sind, an
Ladestellenpositionen übergeben.
Die Lastaufnahmemittel sind auf Führungsschienen angebracht und sind
entlang der Führungsschienenfahrwege
innerhalb der Bay verfügbar.
-
Diesen
beiden Konfigurationen fehlt ebenfalls Flexibilität, da noch
immer mehrere Vorgänge des
Beladens/Entladens der Lagerschrankeinrichtung oder des Zwischenlagers
notwendig sind.
-
Eine
Hauptaufgabe dieser Erfindung ist es, eine Anordnung zur Beförderung
eines Halbleiterscheibenträgers
in Halbleiterscheibenfertigungsprozessen bereitzustellen, welche
die Dauer von Weg- und Belade- oder Entladezeiten zwischen aufeinander
folgenden Verarbeitungsschritten verkürzt und bei welcher weniger
Transportgeräte
notwendig sind, um Halbleiterscheiben zu den Verarbeitungsmaschinen
zu befördern.
-
Die
Aufgabe wird durch eine Anordnung zur Beförderung eines Halbleiterscheibenträgers gelöst, welche
umfasst: eine Interbay-Transportanordnung, die
einen Interbay-Schienenfahrweg mit Fahrzeugen, welche sich auf den
Fahrwegen bewegen, umfasst, um eine Mehrzahl von Bays zu verbinden,
wobei das Fahrzeug zur Übergabe
des Halbleiterscheibenträgers
zwischen verschiedenen Bays gemäß ihrem Verarbeitungsablauf
dient, und eine Intrabay-Transportanordnung,
welche einen Intrabay-Schienenfahrweg mit einem Trägerübergabewagen,
der entlang des Fahrweges innerhalb des Bay-Bereichs frei verfügbar ist,
um den Halbleiterscheibenträger
zwischen der Interbay-Transportanordnung und den Verarbeitungsmaschinen
zu übergeben,
wobei der Interbay-Schienenfahrweg in den Bay-Bereich hinein reicht,
wodurch er an jeder Verarbeitungsmaschine und dem Intrabay-Schienenfahrweg,
welcher entlang des Interbay-Schienenfahrweges innerhalb des Bay-Bereichs
angebracht ist, vorbeiführt,
wobei der Trägerübergabewagen
einen Hubarm mit einem Mittel zum Hochheben oder Senken des Trägers und zum
Ablegen des Halbleiterscheibenträgers
auf der Ladestelle einer der Verarbeitungsmaschinen aufweist, wobei
der Hubarm so ausgelegt ist, dass er einen freien Trägerladeraum
zwischen dem Fahrzeug und dem Hubarm lässt, um zu ermöglichen,
dass das Fahrzeug, welches den Halbleiterscheibenträger befördert, und
der Trägerübergabewagen
auf ihren Fahrwegen ohne gegenseitige Behinderung aneinander vorbeifahren.
-
Gemäß der vorliegenden
Erfindung wird eine Anordnung bereitgestellt, welche die Zeit, die
benötigt
wird, um einen Halbleiterscheibenträger von einer ersten an eine
zweite Verarbeitungsmaschine innerhalb einer Intrabay zu übergeben,
wesentlich verkürzt.
Die Interbay-Schienenfahrwege werden in den Bay-Bereich hinein-
und ganz durch ihn hindurchgeführt,
um zu ermöglichen,
dass die Fahrzeuge der Interbay-Transportanordnung ihre Trägerladung
direkt vor die Verarbeitungsmaschine bringen, welche den nächsten Prozessschritt
im Halbleiterscheibenfertigungsablauf durchführen soll.
-
An
dieser Stelle kann sich das Fahrzeug mit einem Trägerübergabewagen
der Intrabay-Transportanordnung treffen, welcher die Aufgabe ausführt, den
Halbleiterscheibenträger
zu übernehmen
und die Ladung zur Ladestelle der Verarbeitungsmaschine zu lenken.
Dadurch können
der Lagerschrankschritt, d. h. die Übergabe des Halbleiterscheibenträgers zwischen
der Interbay- und der Intrabay-Anordnung, und der Ladeschritt der
Verarbeitungsmaschine in nur einer Bewegung ausgeführt werden,
wodurch Zeit eingespart und die Menge von Staustellen verringert
wird.
-
Eine
weitere Verbesserung der Leistungsfähigkeit ergibt sich aus der
verbesserten Funktionalität,
dass zwei oder mehr Fahrzeuge innerhalb eines vergleichsweise geringen
Zeitunterschieds in den Bay-Bereich einfahren können, so dass viele Verarbeitungsmaschinen
in Abhängigkeit
von der Anzahl verwendeter Fahrzeuge parallel geladen werden können. Neben
der Verbesserung der Übergabegeschwindigkeit
kann zusätzlich
Kostenersparnis erreicht werden, da der Großteil der Transportleistung innerhalb
des Bay-Bereichs durch die Verwendung von billigeren Interbay-Fahrzeugen
erreicht werden kann, wohingegen weniger zahlreiche, aber teure Trägerübergabewagen
auf Grund ihrer dynamischen Flexibilität erforderlich sein können.
-
Das
Fahrzeug und der Trägerübergabewagen
können
sich überall
im Bay-Bereich treffen, da beide Fahrwege aufeinander angebracht
sind und der Trägerübergabewagen
sich an jeden Ort entlang des Intrabay-Schienenfahrweges bewegen
kann. Selbst in dem Fall, dass alle Ladestellen im gegenwärtigen Bay
besetzt sind, kann das Fahrzeug seine Trägerladung an einer Nichtladeposition
dem Trägerübergabewagen
weitergeben und dann frei sein, um eine andere Übergabeaufgabe zu übernehmen,
während
nur der Trägerübergabewagen
auf eine freie Ladestelle wartet. Somit wird freie Fahrzeugkapazität für die Interbay-Anordnung
bewahrt.
-
Der
Hubarm, der auf dem Trägerübergabewagen
angebracht ist, stellt die Vielseitigkeit bereit, Lade- und Übergabeaufgaben
auszuführen,
ohne die Interbay-Schienenfahrwegkonstruktion oder das Fahrzeug,
welches die Trägerübergabewagenposition
passieren kann, zu behindern. Aus dem Grund, dass sich das Fahrzeug
mit Ladung und der Trägerübergabewagen
gegenseitig nicht behindern können, ist
in Abhängigkeit
davon, wie viele Fahrzeuge, Trägerübergabewagen
und freie Ladestellen im Bay-Bereich verfügbar sind, ausgedehnter Raum
für ein
Planungs- und Optimierungsverfahren vorhanden, wodurch eine gewünschtes
Gleichgewicht zwischen besetzten Fahrzeugen und Trägerübergabewagen
gehalten wird. Wenn z. B. Fahrzeuge in anderen Bereichen dringend
benötigt
werden, können
sie ihre Trägerladung
an einer Nichtladeposition im Bay-Eingangsbereich schnell Trägerübergabewagen überlassen
und ihren Weg zu einem neuen Betriebsbereich fortzusetzen.
-
Die
Art des Anschlusses des Intrabay-Schienenfahrweges am Interbay-Schienenfahrweg
kann so gewählt
werden, dass der Intrabay-Schienenfahrweg
getrennt vom Interbay-Schienenfahrweg an der Reinraumhallenstruktur,
vorzugsweise an der Decke, angebracht wird. Diese Konstruktion bietet
die Möglichkeit
einer teilweise unabhängigen
Intrabay-Schienenfahrwegführung.
Es können
z. B. Wartungsbereiche oder Parkpositionen für Trägerübergabewagen bereitgestellt
werden.
-
Die
Intrabay-Schienenfahrwege können ebenso
direkt auf dem Interbay-Schienenfahrweg angebracht werden, was die
Menge von ausgedehnten und behindernden Stützkonstruktionen verringert. Folglich
wird gewährleistet,
dass relative Abstände zwischen
beiden Fahrwegsystemen entlang des zusammengebauten Fahrweges konstant
sind.
-
Ein
weiterer Aspekt berücksichtigt
einen ausfahrbaren Hubarm für
den Trägerübergabewagen, wodurch
eine schnelle Entfernung des Halbleiterscheibenträgers vom
Halbleiterscheibenträgerladeraum über dem
Fahrzeug erreicht wird. Der Hubarm kann in eine Position ausgefahren
werden, in welcher der Halbleiterscheibenträger keine anderen Halbleiterscheibenträger, welche
auf der Oberseite eines anderen Fahrzeugs abgelegt sind, das den
gegenwärtigen
Standort des Trägerübergabewagens
passiert, behindern kann. Dieses Merkmal verbessert die Flexibilität der Intrabay-Transportanordnung
weiter.
-
In
einem weiteren Aspekt ist das Ausfahrmittel des Hubarms so gebaut,
dass es eine Position über
der Ladestelle der Verarbeitungsmaschine erreicht, von wo der Halbleiterscheibenträger direkt
auf die Ladestelle gesenkt werden kann, wodurch spezielle Ladestellengeräte überflüssig gemacht
werden.
-
Analog
kann der Hubarm als ein Greifarm, der ausgefahren werden kann, ausgelegt
sein. Er nimmt den Halbleiterscheibenträger mit dem Greifer, entfernt
den Träger
vom Laderaum und fährt
dann mit der Verbesserung, dass horizontale Bewegungen erreicht
werden können,
nach unten zur Ladestelle aus. Es können z. B. spezielle Barrieren
umgangen werden, oder es können
Ladestellen von Verar beitungsmaschinen erreicht werden, welche in
Bezug auf die Schienenfahrwege versetzt sind.
-
Ein
weiterer Aspekt setzt eine Seilwinde und ein Seil als den Mechanismus
ein, um den Halbleiterscheibenträger
vom Fahrzeug zu heben und auf der Ladestelle abzulegen und umgekehrt.
Diese Konstruktion bietet eine einfache und Kosten sparende Lösung zur
Durchführung
der Übergabe.
-
Ein
weiterer Aspekt stellt die bidirektionale Antriebsfunktionalität sowohl
von Fahrzeugen als auch Wagen unabhängig voneinander bereit, wodurch
ermöglicht
wird, dass abgefertigte Fahrzeuge den kürzesten Weg aus dem Bay-Bereich
hinaus finden, um mit einer anderen Aufgabe fortzufahren, wodurch
die allgemeine Verfügbarkeit
von Interbay-Fahrzeugen erhöht
wird.
-
Ein
weiterer Aspekt stellt Gabelungen für die Bay bereit, welche jeweils
Weichen zum Betreten oder Verlassen des Bay-Bereichs mit jeder Richtungskombination
einsetzen. Es wird ein Abschnitt des Interbay-Schienenfahrweges
bereitgestellt, der es ermöglicht,
dass das Fahrzeug den gegenwärtigen
Bay-Bereich auslässt
und auf einer Interbay-Strecke weiterfährt. Alternativerweise kann
das Fahrzeug über
die Weichen in den zweiten Abschnitt der Interbay-Transportanordnung,
welcher der Bay-Bereichsabschnitt des Interbay-Schienenfahrweges
ist, in den Bay-Bereich einfahren.
-
Vorzugsweise
ist eine ringförmige
Ausführung
der Interbay- und Intrabay-Schienenfahrwege innerhalb der Bay mit
zwei Gabelungen innerhalb des Ringes versehen, wobei beide die Schienenfahrwege des
Bay-Bereichs mit der externen Interbay-Transportanordnung verbinden.
Die Stellen der beiden Gabelungen entsprechen Lagerschrankpositionen
des Standes der Technik. Demnach sind eine Eingangs- und ein Ausgangsgabelung
impliziert, aber die Bedeutung beider Gabelungen kann auch ausgetauscht werden,
da die Fahrzeuge sich auf ihren Fahrwegen und Weichen bidirektional
bewegen können.
Dies ermöglicht
flexibles Abfertigen von Fahrzeugen in und aus dem Bay-Bereich.
-
Falls
das Fahrzeug über
zwei Gabelungen innerhalb des ringförmigen Rings des Bay-Bereichs in
den Intrabay-Bereich einfahren kann, wird das Problem der Halbleiterscheibenträgerausrichtungen
auf dem Fahrzeug durch zwei weitere Aspekte gelöst. Der erste Aspekt ist, dass
Gabelungen mit Weichen bereitgestellt werden, welche Steuermittel
zum Drehen des Halbleiterscheibenträgers auf der Oberseite des
Fahrzeugs aufweisen. Wenn das Fahrzeug die Weiche in den Bay-Bereich
passiert, kann die Ausrichtung der Halbleiterscheibenträgertüren automatisch
erfasst und mit der Information über
die Position der Verarbeitungsmaschinen entlang des Fahrweges nach
der Weiche innerhalb des Bay-Bereichs verglichen werden. Wenn die
Ausrichtung der Halbleiterscheibenträgertür entgegengesetzt zur Ladestelle
einer der Verarbeitungsmaschinen ist, können alle Halbleiterscheibenträger auf
der Oberseite der Fahrzeuge mit Obenbeladung um 180 Grad gedreht
werden. Dieses Merkmal macht die manuelle Bedienung durch Bedienungspersonal
beim Laden der Ladestelle der Verarbeitungsmaschine unnötig. Es
sind sowohl eine mechanische Verwirklichung als auch eine elektronische
Realisierung möglich.
-
Der
zweite Aspekt befasst sich anstelle von einzelnen Halbleiterscheibenträgern mit
der ganzen Plattform, auf welcher die Halbleiterscheibenträger auf
der Oberseite der Fahrzeuge mit Obenbeladung abgelegt sind, wodurch
die Komplexität
des Drehgeräts
verringert wird. Die Halbleiterscheibenträger werden auf der Plattform
befestigt, wobei alle dieselbe Halbleiterscheibenträgertürausrichtungen
aufweisen. Wenn das Fahrzeug über
die Weiche in den Bay-Bereich einfährt, wirkt der automatische
Erfassungs- und Drehprozess auf die Plattform als ein Ganzes. Die
Mittel zum Drehen des Halbleiterscheibenträgers oder der Plattform gemäß den beiden
Aspekten können
auf dem Fahrzeug oder extern angebracht werden.
-
In
einem weiteren Aspekt kann der Trägerübergabewagen die Weichen des
Interbay-Schienenfahrwegsystems überschreiten.
Dieses Merkmal führt
zu dem Aspekt, dass Trägerübergabewagen entfernte
Bereiche erreichen können.
Intrabay-Schienenfahrwege können
z. B. jenseits der Weichen außerhalb
des Bay-Bereichs auf Interbay-Schienenfahrwegen
angebracht werden, um zu ermöglichen, dass
die Trägerübergabewagen
Verarbeitungsmaschinen außerhalb
jeglichen Bay-Bereichs oder in anderen Bays versorgen. Dies bietet
den Vorteil, dass Trägerübergabewagen
im ganzen Fertigungssystem genau dort konzentriert werden können, wo sie
gebraucht werden, wodurch die Gesamtzahl von Trägerübergabewagen, welche für das Fertigungssystem
benötigt
werden, herabgesetzt werden kann.
-
In
einem weiteren Aspekt ist der Intrabay-Schienenfahrweg direkt unterhalb
des Interbay-Schienenfahrweges angebracht, wobei sich die Trägerübergabewagen
auf dem Intrabay-Schienenfahrweg in einer Gleitschienenart auch
unterhalb der Fahrzeuge, welche in diesem Aspekt Fahrzeuge mit Obenbeladung
genannt werden, bewegen. Die Trägerübergabewagen
sind mit Hubarmen versehen, welche um die Führungsschiene zu einer Position über den
Fahrzeugen mit Obenbeladung führen,
wobei die gesamte Anordnung infolge der seltenen Verwendung von
Stützarmen,
der kompakten Konstruktion beider Führungsschienen und des Hubarms, welcher
sich in die Interbay-Schienenstruktur einfügt, wirksam Platz spart. Außerdem verringert
die Höhe über dem
Boden der Konstruktion die Stellfläche der Transportanordnung.
-
Eine
Ausführungsform
der Erfindung wird nun unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben,
wobei in den Zeichnungen:
-
1(a) und (b) eine
Seitenansicht eines Trägerübergabewagens
gemäß der Erfindung
darstellen, wobei ein Hubarm in ein Verbindungselement auf der Oberseite
eines Halbleiterscheibenträgers einhakt
(a) und ein ausgefahrener Hubarm den Halbleiterscheibenträger auf
der Ladestelle einer Verarbeitungsmaschine ablegt (b).
-
2 eine
Draufsicht eines Interbay-Bereichs darstellt, wobei sich Fahrzeuge
auf dem Interbay-Schienenfahrweg und Trägerübergabewagen auf dem Intrabay-Schienenfahrweg
bewegen.
-
3(a) und (b) eine
Weiche gemäß der Erfindung
mit einem verfügbaren
Einsatz in einer Geradeaus-Position (a) und in einer Linksabbiegerichtung (b)
darstellen.
-
Ein
ferngesteuertes Fahrzeug 11 in 1(a) bewegt
sich auf einer T-förmigen
Führungsschiene, welche
den Interbay-Schienenfahrweg 10 darstellt, und
befördert
dadurch den Halbleiterscheibenträger 1.
Der T-förmige
Führungsschienenfahrweg
ist an zwei Stützarmen 12 angebracht,
welche selbst an der Decke 13 befestigt sind. Das ganze
System stellt ein Hängetransportsystem
dar. Unter dem T-förmigen Führungsschienenfahrweg 10 ist
eine andere Führungsschiene
horizontal geflanscht, welche den Intrabay-Schienenfahrweg 20 darstellt.
Ein Trägerübergabewagen 21 bewegt
sich in einer Gleitschienenart unterhalb dieses Führungsschienenfahrweges 20 entlang
des Interbay-Schienenfahrweges 10. Ein kranartiger Hubarm 22 ist
am Trägerübergabewagen 21 an
der gegenüberliegenden
Seite der Stützarme 12 angebracht,
welche die Schienenfahrwege 10 und 20 halten.
Der obere Teil des Hubarms 22 ist mit einer Seilwinden-
und Seilstruktur 24 versehen, welche in ein Verbindungselement 3 auf
der Oberseite des Halbleiterscheibenträgers 1 einhakt. In
der konkreten Situation, welche in 1b abgebildet
ist, haben sich der Trägerübergabewagen 21 und
das Fahrzeug 11 mit Obenbeladung bereits getroffen, um
mit der Übergabe
des Halbleiterscheibenträgers
zu beginnen. Der kranartige Hubarm 22 ist von der Achse
der Schienenfahrwege 10 und 20 versetzt angebracht und
führt um
die Schienenfahrwege herum zu einer oberen Position unterhalb der
Decke 13 in ausreichender Höhe über der Fahrzeugplattform,
um ein Fahrzeug, das mit einem Halbleiterscheibenträger 1 beladen
ist, durchzulassen.
-
Idealerweise
erfolgt die Übergabe
vor einer Verarbeitungsmaschine 30 mit einer Ladestelle 31 davor,
welche in 1(b) dargestellt ist. Der
Hubarm 22 weist einen ausfahrbaren Arm 23 an seinem
oberen Teil auf, welcher ausgefahren werden kann, um eine Position über der
Ladestelle 31 zu erreichen. Unter Verwendung der Seilwinde
und des Seils 24 kann der Halbleiterscheibenträger 1 auf
die Ladestelle 31 gesenkt werden, wobei die Halbleiterscheibenträgertür 2 in
eine Ladeposition für
die Verarbeitungskammer der Verarbeitungsmaschine 30 ausgerichtet ist.
Nach diesem Moment, der in Figur dargestellt ist, kann das Fahrzeug 11 seinen
Weg bereits wieder fortsetzen, um sich eine andere Aufgabe zu suchen. Außerdem können andere
Fahrzeuge die gegenwärtige
Position, in welcher der Trägerübergabewagen 21 noch
mit dem Ablegen des Halbleiterscheibenträgers 1 beschäftigt ist,
passieren.
-
Die
beiden Situationen, welche in 1 gegeben
sind, sind für
dieselbe bevorzugte Ausführungsform
in einer Draufsicht in 2 dargestellt. Mehrere Fahrzeuge 11a bis 11c bewegen
sich entlang des Interbay-Schienenfahrweges 10 innerhalb des
Bay-Bereichs, um
ihre Zielladestellen 31 zu erreichen. Die Fahrzeuge 11b und 11c sind
bereits in Ladeposition und stellen die Situationen dar, welche
in 1(a) für Fahrzeug 11b und 1(b) für
Fahrzeug 11c gezeigt werden, wobei die Trägerübergabewagen 21b und 21c die Übergabe
erledigen. Das Fahrzeug 11a hat bereits seine Zielposition
an einer Ladestelle 31 vor einer Verarbeitungsmaschine 30 gefunden,
und der Trägerübergabewagen 21a ist dabei, die
Stelle zu erreichen. Das Fahrzeug 11d und der Trägerübergabewagen 21d scheinen
ebenfalls dabei zu sein, sich an einer freien Ladestelle 31 zu
treffen.
-
Da
diese Ausführungsform
gemäß dieser
Erfindung Raum für
ein Planungs- und Optimierungsschema schafft, kann Zeit eingespart
werden und können
Betriebsmittel verbessert werden, wenn der Trägerübergabewagen 21d das
Fahrzeug 11d auslässt
und daran vorbeifährt
und sich mit dem Fahrzeug 11e trifft, welches gerade an
einer anderen Ladestelle, welche die Zielposition des Fahrzeugs 11e ist,
in den Bay-Bereich einfährt.
Dies kann sich auf Grund der Möglichkeit
ergeben, dass der Trägerübergabewagen 21c gerade
dabei ist, die Erledigung der Übergabe
zwischen dem Fahrzeug 11c und seiner Ladestelle 31 zu
beenden. Dann bewegt sich der Trägerübergabewagen 21c zu
der benachbarten Position des Fahrzeugs 11d und erledigt
diese Übergabe, während das
Fahrzeug 11c beginnt, den Bay-Bereich zu verlassen, indem
es sich gegen den Uhrzeigersinn durch die Bay bewegt. Wenn es die
Position von Fahrzeug 11b erreicht, wird das letztere Fahrzeug vom
Trägerübergabewagen 21b,
welcher den Halbleiterscheibenträger 1 abgehoben
hat, freigegeben und beide Fahrzeuge können sich zur Bay-Ausgangsgabelung 40 begeben.
In der Zwischenzeit haben das Fahrzeug 11a und der Trägerübergabewagen 21a die Übergabe
durchgeführt,
und alle drei Fahrzeuge 11a, 11b und 11c können die
Gabelung 40 passieren.
-
Ein
Vorteil dieser Ausführungsform
gemäß der vorliegenden
Erfindung ist, dass zwei Gabelungen 40 und 41 vorhanden
sind, welche das Intrabay-System, das die Interbay-Schienenfahrwege 10 und
die Intrabay-Schienenfahrwege 20 enthält, mit dem Interbay-System, das aus dem
Interbay-Schienenfahrweg 10 besteht, verbinden. Mit der
Funktionalität,
dass sich alle Wagen und Fahrzeuge bidirektional bewegen, kann Warteschlangebildung
durch Verwenden des bestmöglichen
Weges in den und aus dem Bay-Bereich vermieden werden.
-
Die
Halbleiterscheibenträgerübergabe
gemäß dieser
Ausführungsform
kann durch Anschließen
von elektrischen oder mechanischen Mitteln an Weichen 42 der
Gabelungen 40 und 41 und die Fahrzeuge 11,
welche die Halbleiterscheibenträger 1 auf der
Oberseite des Fahrzeugs 11e automatisch drehen, um die
Halbleiterscheibenträgertür 2 mit
den Ladestellen 31 auszurichten, noch weiter beschleunigt werden.
Jedes Mittel der Weichen und der Fahrzeuge umfasst ein Werkzeug,
mit dem es die Ausrichtung des Halbleiterscheibenträgers 1 des
gegenwärtigen
Fahrzeugs 11e ableiten kann. Das Mittel vergleicht diese
erfasste Ausrichtung mit örtlich
gespeicherter Information darüber,
ob die Ladestellen 31 entlang des Schienenfahrweges 10 und 20 jenseits der
Weiche 42 links oder rechts vom Schienenfahrweg angebracht
sind. Das Werkzeug verfügt
dann über
die Realisierungsmöglichkeit
zu entscheiden, ob der Halbleiterscheibenträger 1 zu drehen ist
oder nicht. Gemäß dieser
Ausführungsform
wird dies durch ein computernetzbasiertes Herstellungsausführungssystem
bewerkstelligt.
-
Diese
Ausführungsform
befasst sich mit Weichen 42, welche Einsätze umfassen,
die senkrecht zum Interbay-Schienenfahrweg, welcher in 3 dargestellt
ist, angeordnet werden können.
In der Position der Weiche 42, welche in 3(a) dargestellt ist,
bewegt sich das Fahrzeug 11(f) von 2 geradeaus
und lässt
den Bay-Bereich aus. Demgemäß biegt
das Fahrzeug 11(f) links ab, wenn die Position der Weiche 42 derart
ist, wie in 3(b) dargestellt.