DE60304849T2 - Abrasive artikel und verfahren zu ihrer herstellung und benutzung - Google Patents

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    • B24B37/00Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/04Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces

Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Schaffen eines Schleifartikels.
  • ALLGEMEINER STAND DER TECHNIK
  • Von Schleifartikeln, die zu Polier- oder Schleifarbeiten verwendet werden, wird im Allgemeinen erwartet, dass sie ihre Schleiffunktion mit einem hohen Grad an Genauigkeit ausführen. Jedoch ist vom Schleifherstellungsverfahren bekannt geworden, dass es ähnlich konstruierte Schleifartikel bereitstellt, die bezüglich ihrer Leistungscharakteristiken voneinander verschieden sind. Teilweise kann diese Variabilität durch die Variabilität der Qualität und der charakteristischen Eigenschaften der Rohmaterialien verursacht werden, die zum Herstellen des Schleifartikels verwendet werden. Aus diesem Grund ist die Variation der Leistungsfähigkeit von Schleifartikeln ein inhärentes Ergebnis des Herstellungsvorgangs. Außerdem definieren Hersteller von Schleifartikeln ihre Produktspezifikationen oft auf eine Art und Weise, die Leistungsvariationen erlaubt, während sie zufriedenstellende Produktausbeuten ergibt. Diese Variabilitäten bei Schleifartikeln macht es schwierig, die spezifische Leistung eines Schleifartikels bei einer spezifischen Anwendung selbst in denjenigen Fällen vorauszusagen, wo der Schleifartikel ein Ersatzteil für einen ähnlich konstruierten Schleifartikel ist, der im gleichen Polier- oder Schleifvorgang verwendet wird.
  • Herkömmliche, von Hand durchgeführte Schleif- oder Polierverfahren werden normalerweise als abgeschlossen beurteilt, wenn eine erwünschte Menge Material von einer Arbeitsfläche entfernt worden ist, oder wenn die erwünschte Oberflächenvergütung erreicht worden ist. Der Endpunkt des Vorgangs kann bestimmt werden, nachdem mehrere Messungen nach aufeinanderfolgenden Zeitabständen während der Bearbeitung stattgefunden haben. Derar tige von Hand ausgeführte Schleif-/Poliervorgänge werden immer häufiger durch automatisierte Vorgänge ersetzt, die vorher eingestellte Prozessbedingungen beim Vergüten aufeinanderfolgender Arbeitsstücke erfordern und es ist wünschenswert, Schleifartikel auf eine Art und Weise bereitzustellen, die das Einstellen von Prozessbedingungen vor der anfänglichen Anwendung eines Schleifartikels gestatten.
  • Aufgrund der Variationen, die dem Herstellen von Schleifartikeln inhärent sind, erfordern Verfahren unter Anwendung von Schleifartikeln oft ein Einstellen auf Prozessbedingungen, wenn der Schleifartikel in einer bestehenden Prozessstraße ersetzt wird. Änderungen derartiger Prozessbedingungen können beispielsweise den Druck, bei dem der Schleifartikel auf eine Arbeitsfläche aufgebracht, die Kontaktzeit oder Geschwindigkeit des Schleifartikels (z.B. Zentimeter pro Minute, Umdrehungen pro Minute usw.) mit Bezug auf das Arbeitsstück umfassen. Diese Einstellungen der Schleifprozessbedingungen haben zu einer geringeren Produktivität und höheren Kosten beigetragen, weil neue Verfahrenseinstellungen herkömmlicherweise nur bestimmt worden sind, nachdem ein neuer Schleifartikel in die Prozessstraße eingeführt und die Leistung des Artikels anfänglich unter den Verfahrenseinstellungen beobachtet worden ist, die für den vorhergehenden Schleifartikel angewendet worden sind. Dieses Einstellungsverfahren kann beträchtliche Zeit und Mühe erfordern und sie kann die Beschädigung eine oder mehrerer Arbeitsstücke während der Neukalibrierung verursachen. Schleifprozessbedingungen werden daraufhin nur dann eingestellt, um dem neuen Schleifartikel Rechnung zu tragen, nachdem die Leistung des neuen Artikels mindestens einmal innerhalb der gleichen Prozessstraße beobachtet worden ist.
  • US-B-6264533 offenbart einen Schleifverarbeitungsappa rat und ein Verfahren, bei dem ein Schleifprodukt verwendet wird, das mit einem kodierten Leistungsindex ausgestattet ist, dementsprechend ein abzuschleifendes Produkt bearbeitet wird.
  • Obwohl Verbesserungen bezüglich der Vorhersagbarkeit der Schleifleistung benötigt werden und erwünscht sind, ist bei neuen oder Ersatzschleifartikeln immer noch eine Ausprobierbeurteilung vor ihrer tatsächlichen Anwendung in SchleifProzessstraßen erforderlich. Während Hersteller ihre Schleifartikel mit Kennzeichen markiert haben, um die Schleifkörnerzusammensetzung, -größe und dergleichen anzugeben, hat die Schleiftechnik versagt, Verfahren zum Herstellen eines Schleifartikels zu entwickeln, bei dem der Artikel mit einem Leistungsindex gekennzeichnet ist, der durch einen Endanwender des Artikels zum Einstellen der anfänglichen Prozessbedingungen angewendet werden kann, unter denen der Schleifartikel verwendet wurde.
  • Die Schaffung und Verwendung eines Leistungsindex erfüllt ein schon seit langem bestehendes und bisher unerfülltes Erfordernis durch Bereitstellen einer Möglichkeit, durch die der Endanwender des Schleifartikels die anfänglichen Prozessbedingungen vor der anfänglichen Verwendung des Schleifartikels einstellen kann.
  • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Die vorliegende Erfindung bietet ein Verfahren zum Schaffen eines Schleifartikels nach Anspruch 1. Die Unteransprüche betreffen einzelne Ausführungsformen der Erfindung.
  • Der erfindungsgemäß geschaffene Schleifartikel umfasst eine Schleiffläche und einen mit dem Schleifartikel assoziierten Leistungsindex, wobei der Index einen Aspekt der Schleifleistung des Artikels anzeigt.
  • Der Leistungsindex ist mit dem Schleifartikel assoziiert, um eine Möglichkeit bereitzustellen, durch die der Endanwender des Artikels anfänglich die Prozessbedingungen bestimmen kann, unter denen der Schleifartikel bei einer Schleifarbeit betrieben werden soll. Der Schleifartikel kann irgendeine Art von denjenigen, die mit dem Stand der Technik vertraut sind, bekanntem Schleifartikel umfassen, und der Leistungsindex kann mit dem Schleifartikel auf irgendeine Art und Weise assoziiert sein. Beispielsweise kann der Leistungsindex mit der Schleiffläche des Artikels, mit der Rückseite oder einer anderen nichtabrasiven Fläche assoziiert sein, oder der Index kann mit der für den Versand, die Zurschaustellung und/oder den Verkauf des Schleifartikels verwendeten Verpackung assoziiert sein.
  • Der Leistungsindex kann auf einer gemessenen Schneiderate für den Schleifartikel auf einer Fläche bei bekanntem aufgebrachtem Druck und bekannter Geschwindigkeit über eine vorbestimmte Zeitspanne beruhen. Wenn der Leistungsindex auf der Schneiderate beruht, kann er die Schneiderate darstellen oder er kann ein Verhältnis der Schneiderate zu irgendeinem von (a) aufgebrachtem Druck, (b) Geschwindigkeit oder (c) der vorbestimmten Zeitspanne sein. Als Alternative kann der Leistungsindex auf der gemessenen Vergütung auf einer Fläche durch die Schleifanwendung des Schleifartikels auf der Fläche bei bekanntem aufgebrachten Druck und bekannter Geschwindigkeit über eine vorbestimmte Zeitspanne beruhen. Der Leistungsindex kann mit dem Schleifartikel assoziiert (z.B. daran befestigt) sein oder er kann in einer Datenbase so gespeichert sein, dass der Schleifartikel irgendeine Markierung umfasst, die eine Möglichkeit zum Zugangverschaffen zur Datenbase bietet, um den Leistungsindex daraus zu erhalten. Derartige Markierungen können in maschinenlesbarem Format, wie beispielsweise einer Strichkode, vorliegen.
  • Die zahlreichen charakteristischen Merkmale und Vorteile der Erfindung werden den mit dem Stand der Technik vertrauten Fachleuten auf die Betrachtung der übrigen Offenbarung, einschließlich der genauen Beschreibung und der Ansprüche in Verbindung mit den beiliegenden Zeichnungen noch klarer werden.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • Beim Beschreiben der bevorzugten Ausführungsformen der Erfindung wird Bezug genommen auf die verschiedenen Figuren, wobei die gleichen Bezugsnummern die gleichen charakteristischen Eigenschaften anzeigen und wobei:
  • 1 eine schematische Veranschaulichung einer Ausführungsform eines Apparats für das Bestimmen eines Leistungsindexes den Prinzipien der vorliegenden Erfindung gemäß ist;
  • 2 eine schematische Veranschaulichung einer anderen Ausführungsform eines Apparats für das Bestimmen eines Leistungsindexes den Prinzipien der vorliegenden Erfindung gemäß ist;
  • 3 eine Draufsicht auf einen Schleifartikel, der einen Leistungsindex trägt, ist.
  • 4 eine Draufsicht eines Schleifartikels von 3 ist.
  • GENAUE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORM
  • Die vorliegende Erfindung bietet einen Schleifleis tungsindex, der mit einem Schleifartikel assoziiert sein soll. Der Index kann während der anfänglichen Herstellung des Schleifartikels bestimmt werden und bietet einem Endanwender bzw. einer Endanwenderin oder jemand ähnlichem eine Möglichkeit, durch die er/sie die Prozessbedingungen bei einem Schleif- (z.B. Schleif-, Feinschleif- oder Polier-) vorgang vor der ersten Anwendung des neuen Schleifartikels anfänglich einstellen kann. Die Verwendung des Leistungsindex unterstützt gleichbleibende Schleif- und/oder Polierergebnisse durch Erleichtern der anfänglichen Einstellungen oder Änderungen der Prozessbedingungen, die mit dem Positionieren des Schleifartikels assoziiert sind.
  • Der Leistungsindex der Erfindung kann bei der Kennzeichnung von Schleif-, Feinschleif- und/oder Polierartikeln in verschiedenen Konfigurationen (z.B. Endlosbändern, Kissen, Scheiben usw.) und bei irgendeinem Typ Schleifartikel, z.B. beschichteten Schleifartikeln, Oberflächenkonditionierartikeln (z.B. nichtgewobenen Materialien), Feinschleifschicht, Schleifscheiben, mit Metall verbundenen Schleifstoffen und dergleichen verwendet werden.
  • Unter Bezugnahme auf die Zeichnungen veranschaulicht 1 nun schematisch eine Ausführungsform eines Schleiftestapparats 20 für das Charakterisieren der Leistung eines Schleifartikels 22, um einen erfindungsgemäßen Schleifindex zu bestimmen. Der Apparat 20 kann direkt in die Produktionsstraße zur Herstellung des Schleifartikels 22 derart eingeschlossen sein, dass der Artikel 22 während des Herstellungsbetriebs mit einem Leistungsindex markiert werden kann. Der Leistungsindex kann daraufhin vom Endanwender dazu verwendet werden, um die Bedingungen des Polier- oder Schleifvorgangs anfänglich einzustellen, bei dem der Schleifartikel 22 verwendet werden soll.
  • Obwohl die Erfindung nicht auf den verwendeten Typ Schleifartikel beschränkt ist, wird die vorliegende Erfindung am geeignetsten unter Bezugnahme auf den Schleifartikel 22 beschrieben. Ein derartiger Schleifartikel ist typischerweise so konstruiert, dass er einen Träger enthält, wobei eine Schleiffläche schichtförmig auf den Träger aufgebracht ist. Die Schleiffläche umfasst normalerweise ein Bindemittel (z.B. Polymer, Keramik, Metall oder dergleichen) und enthält gewöhnlich Schleifteilchen, die auf einem Arbeitsstück eine erwünschten Oberflächenvergütung bieten. Die Schleifteilchen können durch das ganze Bindemittel hindurch, ausschließlich der äußeren Oberfläche des Bindemittels entlang oder durch das ganze Bindemittel Hindurch sowie der äußeren Oberfläche desselben entlang dispergiert sein. Die Schleifteilchen können herkömmliche Hartschleifteilchen und/oder weichere Schleifteilchen, einschließlich organische und anorganische Teilchen, umfassen. Die Schleifteilchen können als einzelne Körner, als Agglomerate, wobei die einzelnen Schleifkörner in einem zweiten Bindemittelsystem dispergiert sind, oder als erhobene Verbundstoffe, die Schleifkörner und/oder Agglomerate und ein Bindemittel, umfassen, bereitgestellt sein.
  • Harte Schleifteilchen umfassen geschmolzenes Aluminiumoxid, hitzebehandeltes Aluminiumoxid, weißes geschmolzenes Aluminiumoxid, schwarzes Siliciumcarbid, grünes Siliciumcarbid, Titandiborid, Borcarbid, Wolframcarbid, Titancarbid, Diamant, kubisches Bornitrid, Granat, geschmolzenes Aluminiumdioxid-Zirconiumoxid, Sol-Gel-Schleifteilchen und dergleichen. Beispiele herkömmlicher weicherer anorganischer Schleifteilchen umfassen Siliciumdixoid, Eisenoxid, Chrom(III)oxid, Cer(IV)oxid, Zirconiumoxid, Titandioxid, Silicate und Zinnoxid. Noch andere Beispiele weicher Schleifteilchen umfassen: Metallcarbonate (wie beispielsweise Calciumcarbonat (Kreide, Calcit, Mergel, Travertin, Marmor und Kalkstein), Calciummagnesiumcarbonat, Natriumcarbonat, Magnesiumcarbonat), Siliciumdioxid (wie beispielsweise Quarz, Glasperlen, Glaskugeln und Glasfasern), Silicate (wie beispielsweise Talk, Tonarten (Montmorillonit), Feldspat, Glimmer, Calciumsilicat, Calciummetasilicat, Natriumaluminosilicat, Natriumsilicat), Metalsulfate (wie beispielsweise Calciumsulfat, Bariumsulfat, Natriumsulfat, Aluminiumnatriumsulfat, Aluminiumsulfat), Gips, Aluminiumtrihydrat, Graphit, Metalloxide (wie beispielsweise Calciumoxid (Kalk), Aluminiumoxid, Titandioxid) und Metallsulfite (wie beispielsweise Calciumsulfit), Metallteilchen (Zinn, Blei, Kupfer und dergleichen) und dergleichen.
  • Weichere organische Teilchen umfassen Kunststoffschleifteilchen, die aus einem Thermoplastmaterial, wie beispielsweise Polycarbonat, Polyetherimid, Polyester, Polyethylen, Polysulfon, Polystyrol, Acrylnitril-Butadien-Styrol-Blockcopolymer, Polypropylen, Acetalpolymere, Polyvinylchlorid, Polyurethane, Nylon und Kombinationen derselben. Kunststoffschleifteilchen können auch aus vernetzten Polymeren gebildet werden. Beispiele vernetzter Polymere umfassen Phenolharze, Aminoplastharze, Urethanharze, Epoxidharze, Melamin-Formaldehyd, Acrylatharze, acrylierte Isocyanuratharze, Harnstoff-Formaldehydharze, Isocyanuratharze, acrylierte Urethanharze, acrylierte Epoxidharze und Mischungen derselben gebildet sind. Diese vernetzten Polymere können hergestellt, zerkleinert und bis zur geeigneten Teilchengröße und Teilchengrößenverteilung gesiebt werden.
  • Andere Schleifteilchen und Kombinationen von Teilchen können den mit dem Stand der Technik vertrauten Fachleuten ebenfalls bekannt sein und die Erfindung soll irgendeinen Schleifartikel umfassen, daerirgendein Schleifteilchen oder eine Kombination von Schleifteilchen umfasst.
  • Schleifteilchen können auch so hergestellt werden können, dass sie eine texturierte Schleiffläche mit oder ohne zugesetzten Schleifteilchen entweder in dem Bindemittel oder auf der Außenfläche desselben dispergiert umfassen. Gleicherweise kann die Schleiffläche des Schleifartikels beispielsweise ein polymeres Material umfassen, das harte und weiche Segmente darin umfasst, wobei die harten Segmente des Polymers einen erwünschten Grad an Schmirgelfähigkeit bieten. Ein derartiger Schleifartikel ist in der US-A-6,234,875 beschrieben.
  • Ein anderer Schleifartikel, der zur Verwendung bei der Erfindung geeignet ist, ist ein Kissenkonditionierstoff, der zum Konditionieren herkömmlicher Aufschlämmungskissen für die chemische mechanische Planarisierung („CMP") von Halbleiterwafern nützlich ist. Geeignete Kissenkonditioniermittel umfassen diejenigen, die der Offenbarung von US-A-6,123,612 gemäß hergestellt sind. Schleifartikel, die Feinschleif- oder Glattschichten umfassen, können bei der Erfindung ebenfalls verwendet werden. Derartige Artikel umfassen Feinschleifschichtprodukte, wie in US-A-5,897,424 beschrieben. Ein anderer geeigneter Schleifartikel kann Schleifverbundstoffe umfassen, die denjenigen ähnlich sind, die in US-A-5,152,917 beschrieben sind. Schleifartikel, die die oben erwähnten Schleifverbundstoffe umfassen, können ohne Schleifteilchen hergestellt werden.
  • Gleichgültig, in welcher Form der Schleifartikel zum Schleifen, Polieren oder an sonstigen Abschleifen der Oberfläche von Arbeitsstücken konstruiert ist, bei denen typischerweise relativ wenig Bewegung zwischen ihnen zum Erzeugen der Reibung stattfindet, die für die erwünschte Schleifanwendung erforderlich ist. Die Testapparate von 1 oder 2 veranschaulichen zur Verfügung stehende Geräte zum Charakterisieren der Leistung von Schleifartikeln unter reproduzierbaren Bedingungen der Lehre der vorliegenden Erfindung gemäß. Andere Möglichkeiten werden ebenfalls in Betracht gezogen, um die Leistung des Artikels zu kennzeichnen.
  • Wie in 1 gezeigt, wird das Arbeitsstück 30 auf einer ersten Haltevorrichtung, die als Platte 36 gezeigt ist, gehalten. Der Schleifartikel 22 wird innerhalb des Schleiftestapparats 20 positioniert und in einer zweiten Haltevorrichtung, die als Einspannvorrichtung 24 gezeigt ist, gehalten. Die Einspannvorrichtung 24 und der Schleifartikel 22 sind mit einer rotierbaren Welle 26 assoziiert und sowohl der Artikel 22 als auch die Einspannvorrichtung 24 werden zusammen durch die Kraft rotiert, die von einem Motor (nicht gezeigt) geliefert wird, der innerhalb des Gehäuses 32 positioniert ist. Wie oben erwähnt, kann der Apparat 20 als Prüfstation innerhalb einer Prozessstraße für die Herstellung eines Schleifartikels dienen. Als Teststation wird der Apparat 20 zum Beurteilen und Charakterisieren von Schleifartikeln verwendet, die hergestellt werden. Eine derartige Beurteilung oder Charakterisierung kann beispielsweise eine Bestimmung der Schneiderate des Schleifartikels 22 auf einer Testarbeitsfläche wie beispielsweise einer abschleifbaren Fläche des Arbeitsstücks 30 umfassen. Andere Messwerte können als Basis für einen Leistungsindex dienen. Ein derartiger zusätzlicher Messwert ist die Oberflächenvergütung, die der Schleifartikel auf der Testfläche vermitteln kann, wie durch Standardtests in der Industrie gemessen. Andere Messwerte werden ebenfalls dahingehend in Betracht gezogen, dass sie Leistungsindices innerhalb des Umfangs der Erfindung, wie den mit dem Stand der Tech nik vertrauten Fachleuten bekannt ist, bieten. Außerdem kann bei einigen Ausführungsformen der Erfindung der Leistungsindex der tatsächliche Wert des spezifischen Messwerts (z.B. der Schneiderate, der Oberflächenvergütung) sein oder er kann ein Wert oder ein Symbol sein, der bzw. das für den Messwert repräsentativ ist oder davon abgeleitet wird.
  • In der veranschaulichten Ausführungsform ist der Schleifartikel 22 innerhalb einer Einspannvorrichtung 24 positioniert, die am Ende einer rotierbaren Welle 26 aufliegt, die sich zwischen der Einspannvorrichtung 24 und dem Motorengehäuse 32 erstreckt. Eine Stützwelle 34 erstreckt sich aufwärts von der Unterseite 38 bis zum Motorengehäuse 32. Das Gehäuse 32 gleitet senkrecht die Welle 34 entlang, um eine Möglichkeit zum Bewegen des Schleifartikels 22 zwischen einer ersten oder nicht eingegriffenen Position und einer zweiten oder eingegriffenen Position (z.B. wie gezeigt) mit Bezug auf das Arbeitsstück 30 zu bieten. Dadurch kann die Schleiffläche 28 des Artikels 22 in direkten Kontakt mit der Oberfläche des Arbeitsstücks 30 positioniert werden, so dass der Schleifartikel 22 die Oberfläche des Arbeitsstücks 30 abschleifen kann. Die Platte 36 trägt das Arbeitsstück 30 und trägt dazu bei, den Kontakt zwischen dem Arbeitsstück 30 und dem Schleifartikel 22 aufrechtzuerhalten. Die Platte 36 ist ebenfalls um die Achse der Stützwelle 40 rotierbar, die durch einen Motor (nicht gezeigt) drehbar getrieben wird, der innerhalb der Unterseite 38 untergebracht ist. Wie erwähnt, kann der Schleifartikel 22 auch um die rotierbare Welle 26 durch einen zweiten Motor rotiert werden, der im Gehäuse 32 so positioniert ist, dass sowohl das Arbeitsstück 30 als auch der Schleifartikel 22 gegeneinander unter vorbestimmtem Druck rotieren, um das Arbeitsstück 30 abzuschleifen. Auf die obige Abschleifarbeit hin, kann der Apparat 20 zur ersten Position zurückgeführt werden, in der der Schleifartikel 22 vom Arbeitsstück wegbewegt wird, so dass die Schleiffläche 28 die Oberfläche des Arbeitsstücks 30 nicht berührt.
  • Wenn der Apparat 20 sich in der ersten oder nicht eingegriffenen Position befindet, können der Schleifartikel 22 und das Arbeitsstück 30 von dem Apparat 20 entfernt und gesäubert oder wie erforderlich ersetzt werden. Um die obige Bewegung des Schleifartikels 22 zu gestatten, kann das Gehäuse 32 senkrecht der Länge der Welle 34 entlang aus der Eingriffsausrichtung der zweiten Position heraus bewegt werden. Andere Konstruktionen sind den mit dem Stand der Technik vertrauten Fachleuten eventuell zum Positionieren des Apparats 20 zwischen den oben erwähnten ersten und zweiten Positionen bekannt und die Erfindung ist in keiner Weise auf die spezifische Konfiguration, die in 1 gezeigt oder an anderer Stelle hier besprochen ist, begrenzt.
  • In der Konfiguration von in 1 gezeigten Teilen umfasst das Arbeitsstück 30 eine ringförmige Testoberfläche, die auf der rotierbaren Platte 36 positioniert ist. Das Arbeitsstück 30 kann irgendeine Art von Materialien umfassen, die dafür bekannt sind, dass sie durch die Schleiffläche 28 des Artikels 22 abgeschliffen werden können. Geeignete Materialien für das Arbeitsstück 30 können bekannten Kriterien wie beispielsweise der gleichbleibenden Qualität im Handel erhältlicher Materialien, ihres relativen Preises und dergleichen entsprechend ausgewählt werden. Ein mögliches Testmaterial ist ein polymeres Material, wie beispielsweise Polyurethan.
  • Während des Schleifvorgangs wird typischerweise ein Fluid zwischen den Schleifartikel 22 und das Arbeitsstück 30 aufgebracht, um eine Schmierung zu bieten und die durch die Wirkung des Schleifartikels auf das Arbeitsstück gebildeten Drehspäne zu entfernen. Geeignete Gleitmittel umfassen Wasser, Wasser, das ein lösliches Öl oder irgendein anderes geeignetes Fluid enthält, von dem mit dem Stand der Technik vertrauten Fachleuten bekannt ist, dass es mit dem Verfahren verträglich ist. Zusätzliche Möglichkeiten (nicht gezeigt) können bereitgestellt werden, um das oben erwähnte Fluid an die Grenzfläche des Artikels 22 und des Arbeitsstücks 30 anzuliefern.
  • Im Betrieb kann der Apparat 20 zum Bestimmen der Schneiderate des Schleifartikels verwendet werden, wenn er gegen das Arbeitsstück 30 aufgebracht wird. Als Alternative kann der Apparat dazu verwendet werden, dem Arbeitsstück eine Vergütung zu verleihen und die Vergütung kann auf bekannte Weise quantifiziert werden, um einen Messwert bereitzustellen, auf dem der Leistungsindex beruhen kann. Auf diese Weise kann ein Leistungsindex bestimmt und mit dem Schleifartikel zur Verwendung durch einen Endanwender assoziiert werden. Beim Assoziieren der Schneiderate des Artikels mit dem Leistungsindex wird die Schneiderate durch Aufbringen des Schleifartikels 22 gegen die Oberfläche des Arbeitsstücks für eine vorbestimmte Zeitspanne bestimmt. Bei einer derartigen Bestimmung wird der gegen das Arbeitsstück 30 durch den Schleifartikel 22 ausgeübte Druck normalerweise konstant gehalten.
  • Verschiedene Verfahren zum Quantifizieren der Leistung des Schleifartikels sind innerhalb des Umfangs der vorliegenden Erfindung möglich. Derartige Verfahren können das Erstellen und Aufrechterhalten primärer Standardarbeitsstück- und sekundärer Arbeitsstandards und/oder das Halten von Standardschleifartikeln für die periodische Kalibrierung von Arbeitsstandards umfassen. Andere Kalibriermethoden, wie beispielsweise diejenigen, die auf der Bestimmung der spezifischen Mahlener gie beruhen, können ebenfalls angewendet werden. Sobald der Leistungsindex bestimmt worden ist, kann er auf dem Artikel (z.B. durch Markieren der Vorderseite oder einer anderen Fläche des Artikels) markiert werden, oder er kann auf die Verpackung des Artikels aufgebracht oder er kann mit dem Artikel auf irgendeine andere Weise assoziiert werden.
  • Der Leistungsindex selbst kann tatsächlich die Schneiderate des Artikels 22, wie oben beschrieben bestimmt, sein oder er kann ein von der Schneiderate abgeleiteter Wert sein. Er kann beispielsweise eine Schneiderate sein, die mit Bezug auf einen willkürlichen Standard oder den Prozessdurchschnitt normalisiert worden ist. Das kann als Verhältnis oder Prozentsatz ausgedrückt werden. Der Index kann als Gegenstück eines derartigen Verhältnisses oder Prozentsatzes vorgelegt werden, um die Errechnung der erwünschten anfänglichen Arbeitsbedingungen zu erleichtern. Der Wert des Index kann als einziger Wert einer kontinuierlichen Variable vorgelegt werden, oder er kann als einzelner Wert vorgelegt werden, was anzeigt, dass der gemessene Wert innerhalb eines entsprechenden Bereichs fiel.
  • Durch die Charakterisierung des Schleifartikels 22 kann ein Endanwender bzw. die endanwenderin bei einem neuen oder Ersatzartikel in den vorhandenen Schleif- oder Polierbetrieb unter Anwendung des Leistungsindex eingeben, um seine/ihre Prozessbedingungen und/oder -einstellungen anfänglich auf eine Art und Weise einzustellen, die ein erwünschtes Leistungsniveau bei dem neuen Schleifartikel bereitstellt. Beispielsweise erlaubt der Leistungsindex es dem Anwender bzw. der Anwenderin, Bedingungen in seinem/ihrem Prozess einzustellen, die eine erwünschte Schneiderate, Oberflächenvergütung oder dergleichen bereitstellt. Auf der Basis des Leisungsindex kann der Endanwender eine der Prozessbedingungen des Schleif- oder Polierbetriebs wie beispielsweise die Schleifzeit (z.B. bei gleichbleibendem Druck, gleichbleibender Geschwindigkeit) oder den Druck, bei dem der Schleifartikel 22 gegen ein Arbeitsstück aufgebracht wird (z.B. unter der Annahme einer gleichbleibenden Schleifgeschwindigkeit und einer vorbestimmten Schleifzeit) oder die Geschwindigkeit der Schleiffläche (unter Annahme eines gleichbleibenden Drucks und einer vorbestimmten Schleifzeit) einstellen. Man kann auch eine Kombination von Prozessparametern zum Erreichen des erwünschten Resultats einstellen. Der Leistungsindex ist für jeden Schleifartikel einmalig und direkt mit dem Schleifartikel assoziiert. Auf diese Weise bietet der Index Informationen, die es dem Endanwender des Schleifartikels ermöglichen, zu verstehen, inwieweit die Leistung des Schleifartikels mit derjenigen des zweiten Schleifartikels vergleichbar ist.
  • Schleifprozessbedingungen und die Schleifleistungseigenschaften umfassen den Schleif- oder Polierdruck (den Druck, mit der der Schleifartikel gegen das Arbeitsstück gedrückt wird), die Geschwindigkeit (die Geschwindigkeit der Schleiffläche mit Bezug auf die Oberfläche des Arbeitsstücks), den Schnitt (die Gesamtmasse von einem Arbeitsstück abgeschliffenem Material), die vergangene Zeit (die Zeit, während der das Schleifen oder Polieren stattfindet) und die Schneiderate (die Masse von Material, die pro Zeiteinheit abgeschliffen wird). Diese Bedingungen und Eigenschaften können grafisch gegeneinander aufgezeichnet werden. Typischerweise sind diese grafischen Darstellungen linear und weisen bei (0.0) eine y-Überschneidung auf. Wegen dieses linearen Verhältnisses können die Leistungsindices, die mit einem Paar Schleifartikeln assoziiert sind und die auf derartigen Prozessbedingungen und/oder Leistungseigenschaften beruhen, zum Vorhersagen der relativen Leistung von Schleifartikeln in einer Schleifprozessstraße verwendet werden.
  • Der Schleifindex kann die Schneiderate (mg/min) bei dem Schleifartikel darstellen, der unter einem ersten Satz von Prozessbedingungen „X" und unter Anwendung eines Arbeitsstücks „A" betrieben wird. Daraufhin können die Leistungsindices miteinander verglichen werden (z.B. aufgrund des Verhältnisses), um die relative Leistung von alten und neuen Schleifartikeln (z.B. abgenutzten und Ersatzartikeln) zu bestimmen, um so ein anfängliches Einstellen von Prozessbedingungen vor der Verwendung eines neuen Artikels in einer bestehenden Prozessstraße zu erlauben. Ein Leistungsindex kann als relative Schneiderate ausgedrückt werden, wie beispielsweise als Verhältnis zur Schneiderate eines standartisierten Schleifartikels oder zu einem Prozessdurchschnitt für eine Gruppe verwandter Schleifartikel oder als Prozentsatz oder als Maßstabsbestimmungsfaktor, der von den gemessenen Schneideraten abgeleitet wird und der das Einstellen anzeigt, das zum Erreichen einer Standardleistung nötig ist. Einige Formen des Index können durch einfaches Multiplizieren eines Werts für einen Standardbetriebsparameter durch den Index verwendet werden, um einen korrigierten Arbeitsparameter zu erhalten, der zum Erreichen einer gleichbleibenden Leistung notwendig ist.
  • Eventuell ist es vorzuziehen, den gleichen Messwert für den Leistungsindex für irgendeine Art von Schleifverfahren zu verwenden. Jedoch kann es in manchen Fällen wünschenswert sein, einen zweiten Leistungsindex zur Hand zu haben, der auf dem Produkt markiert oder als Etikett ausgedruckt sein kann. Ein zweiter Index kann wünschenswert sein, wenn es bekannt ist, dass ein erster Leistungsindex zwar mit einem ersten Schleifvorgang korreliert, aber nicht gut mit einem zweiten Schleifvorgang korreliert. Außerdem können Endanwender der Schleifartikel es vorziehen, wenn der Schleifindex auf einer Schleifeigenschaft beruht wie beispielsweise der Schleifschneiderate beim Verarbeiten eines ersten Materials, während ein zweiter Endanwender einen Schleifindex auf der Basis der Gebrauchsfähigkeitsdauer des Schleifartikels beim Abschleifen eines zweiten und vollständig verschiedenen Materials vorziehen kann. In den obigen Situationen kann es wünschenswert sein, einen Schleifartikel mit beiden Indices zu markieren.
  • Die Schleifverarbeitung von nominell brüchigen Materialien wird durch die Preston-Gleichung (I) beschrieben: dz/dt – (K·N·ds)/A·dt (I)wobei „z" die Menge von entferntem Material ist, „K" eine Konstante ist, die die Wechselwirkung zwischen dem Schleifartikel und dem Arbeitsstück charakterisiert, „N" die normale Kraft ist, „s" der Gleitabstand ist und „t" die Zeit ist. „A" kann der tatsächliche Kontaktbereich zwischen den Schleifkörnern und dem Arbeitsstück sein, oder er kann der Bereich (Querschnitt) der Rille sein, durch die das Korn hindurchfegt. Eine jede der obigen Definitionen für „A" ist das Äquivalent zur anderen und kann in der obigen Gleichung angewendet werden. Man wird sich im Klaren darüber sein, dass die verschiedenen Definitionen von „A" zu verschiedenen Zahlenwerten für „K" führen werden.
  • Die Gleichung (I) wird oft in Form folgender Gleichung (II) anders ausgedrückt Z = K·P·V – t (II)wobei die Menge an entferntem Material (Z) das Produkt der Konstante (K), des Drucks (P) und der Gesamtabstand des Gleitkontakts die Geschwindigkeit (V) x Zeit (t) ist. Dementsprechend reduziert eine Reduktion des Drucks um 50 % die Menge an entferntem Material um 50 %. Als Alternative reduziert das Reduzieren des Gesamtabstands des Gleitkontakts, beispielsweise durch Halbieren entweder der Gleitgeschwindigkeit oder der Gleitzeit, auch die Menge an entferntem Material um 50 %. Desgleichen führt irgendeine Kombination von geändertem Druck, geänderter Geschwindigkeit und Zeit, die zu einer 50 %igen Reduktion ihres Produkts in der Gleichung (II) führt, zu einer 50 %igen Reduktion der Menge an entferntem Material. Eine Änderung des Arbeitsstücks oder des durch den Schleifartikel abzuschleifenden Materials ändert den Wert „K" ohne das oben erwähnte lineare, proportionale Verhalten zu ändern. Selbst in Schleifverfahrenssystemen, die der Preston-Gleichung nicht genau entsprechen, bietet ein angenommenes Preston-Verhalten eine nützliche Annäherung an die Prozessbedingungen, die auf das Ersetzen eines Schleifartikels innerhalb eines derartigen Vorgangs erforderlich sind.
  • Das Verhältnis der Leistungsindices (und ihrer relativen Leistung) von zwei Schleifartikeln auf dem gleichen Arbeitsstück unter den Bedingungen „X" werden im Wesentlichen die gleichen sein wie das Verhältnis dieser beiden gleichen Schleifartikel auf einem anderen Arbeitsstück unter den Bedingungen „Y", solange die Artikel, Arbeitsstücke und Bedingungen zum abschleifenden Bearbeiten der jeweiligen Arbeitsstücke geeignet sind. So ist auch zu erwarten, dass, wenn der Artikel „A" unter den Bedingungen „X" 10 % mehr von der Urethantestscheibe abschneidet als Artikel „B" unter den Bedingungen „X" von der Urethanscheibe abschneidet, der Artikel „A" unter den Bedingungen „Y" 10 % mehr von einem Kupferarbeitsstück abschneidet als der Artikel „B" unter den Bedingungen „Y" von einem Kupferarbeitsstück abschneidet. Auf die gleiche Weise kann der Artikel „B" dazu gebracht werden, Kupfer mit einer Rate abzuschleifen, die der für den Artikel „A" beobachteten äquivalent ist, indem der Druck über den unter den Bedingungen „Y" verwendeten im Verhältnis von 110/100 erhöht wird, oder durch eine 10 %ige Erhöhung des Drucks. Als Alternative kann eine äquivalente Materialentfernung durch Verlängern der Abschleifzeit im gleichen Verhältnis erreicht werden. Schließlich kann die Rate, mit der das Schleifmittel sich am Arbeitsstück vorbeibewegt, dem obigen Verhältnis entsprechend erhöht werden.
  • Da das Verhältnis zwischen Druck, Geschwindigkeit und Zeit gut bekannt und im Allgemeinen linear ist, können irgendwelche zwei der Parameter oder sogar alle drei Parameter in einer linearen Kombination variiert werden, um das gleiche Ergebnis, nämlich eine 10 %ige Erhöhung der Menge an durch Artikel „B" unter den Bedingungen „Y" entferntem Material. Ähnliche Gesichtspunkte treffen zu, wenn der Artikel „C" unter den Bedingungen „X" 10 % weniger Material von dem Urethanarbeitsstück abschneidet als der Artikel „B" unter den Bedingungen „X" von dem Urethanarbeitsstück abschneidet. Wenn diese Angabe beim Schneiden von Kupfer unter nominellen Bedingungen „Y" angewendet wird, könnte man den Artikel „C" dazu bringen, Kupfer mit einer Rate zu schneiden, die entweder dem Artikel „A" oder dem Artikel „B" wie erwünscht entspricht, durch Änderung der Anwendungsbedingungen „Y" jeweils in den Verhältnissen von 110/90 oder 100/90. Als Alternative könnte man den Druck (Zeit, Geschwindigkeit oder Kombinationen irgendwelcher zwei oder aller drei) reduzieren, um die Artikel „A" oder „B" dazu zu bringen, auf vorhersagbare Weise wie Artikel „C" zu funktionieren.
  • Zur Bequemlichkeit kann der Index eine einfache Schneiderate, eine normalisierte Schneiderate oder das Ergeb nis einer Funktion wie beispielsweise dem Umgekehrten eines der beiden Messwerte sein. Es können Anleitungen bei jedem der Schleifartikel mitgegeben werden, und diese Anleitungen werden je nach den gewählten Markierungen anders sein. Bei einer anderen Ausführungsform könnten Artikel mit ähnlichen Leistungen zusammengruppiert werden und es könnte ihnen ein Buchstabe oder eine andere Code wie beispielsweise A, B, C, D oder E zugeordnet werden. In diesem Fall könnte eine mit dem Schleifartikel assoziierte Anweisung den Endandwender anweisen, Schleifartikel, die mit einem „A" markiert sind, bei normalem Druck 6 % höher als dem Prozessdurchschnitt anzuwenden, um eine nominelle Leistung zu erreichen. Artikel, die mit einem „B" markiert sind, müssen eventuell bei normalem Druck betrieben werden, der 3 % höher ist als der Prozessdurchschnitt. Artikel, die mit einem „C" markiert sind, müssen eventuell beim Prozessdurchschnitt betrieben werden. Artikel, die mit dem Buchstaben „D" markiert sind, müssen eventuell bei normalem Druck 3 % niedriger als dem Prozessdurchschnitt betrieben werden. Schließlich müssen Artikel, die mit „E" markiert sind, eventuell bei normalem Druck 6 % niedriger als dem Prozessdurchschnitt betrieben werden.
  • Bei noch anderen Ausführungsformen ist das spezifische Schleif- oder Poliersystem eventuell relativ unempfindlich für eine der Prozessvariablen. Beispielsweise ist die Oberflächenvergütung, die bei Metallartikeln durch ein lockeres Vliesmaterial verliehen wird, bei dem Schleifteilchen schichtförmig auf einzelne Fasern aufgebracht worden sind, eventuell relativ unempfindlich für den aufgebrachten Druck, weil der Druck auf den Artikel den Artikel zusammenpressen kann, anstatt das Eindringen der einzelnen Körner in die Metallfläche zu ändern. In diesem Fall würden Anweisungen für den Anwender die korrigierenden Angleichungen der Geschwin digkeits- und Zeitvariablen einschränken. Bei noch anderen Ausführungsformen ist das Verhältnis zwischen Schneiderate oder Oberflächenvergütung und den drei unabhängigen Variablen Druck, relative Geschwindigkeit und Zeit eventuell nicht ausreichend linear, um auf die oben beschriebene Weise aufgenommen zu werden. In diesen Fällen werden nichtlineare Funktionen eventuell vorgezogen. Diese Funktionen machen es eventuell erforderlich, dass der Artikel mit mehr als einem Parameter oder Index markiert wird und dass der Anwender mit einer komplexeren Funktion ausgestattet wird, um die erwünschten Arbeitsbedingungen zu errechnen.
  • Unter Bezugnahme auf 2 ist nun eine andere Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Apparats schematisch veranschaulicht. Der Apparat 120 ist allgemein für die Verwendung als Teil einer Produktionsstraße für eine Schleifbahn 122 bestimmt. Wie gezeigt, bewegt sich die Bahn 122 bei einem Produktionsvorgang stromabwärts, wobei die Bahn bei einer vorbestimmten Bahngeschwindigkeit gehalten wird. Eine Vorschubwalze 124 bewegt die Bahn 122 stromabwärts, während sie auch eine Stütze für die Bahn 122 bei oder in der Nähe des Apparats 120 bietet. Die Vorschubwalze 124 bewegt die Bahn 122 für das weitere Verarbeiten im Produktionsvorgang am Apparat 120 vorbei. Die Bahn 122 kann auf eine Aufnahmerolle (nicht gezeigt) zur Lagerung oder zum weiteren Verarbeiten an einer anderen Stelle gewunden werden. Der vorliegenden Erfindung gemäß wird die Bahn 122 mit einem Leistungsindex markiert, nachdem die Bahn 122 sich stromabwärts vom Apparat 120 bewegt hat. Wie oben besprochen, zeigt der Leistungsindex die Schleifleistung der Schleifbahn 122 an. Da die Bahn 122 im Allgemeinen eine kontinuierliche Bahn von Schleifmaterial ist, wird die Möglichkeit in Betracht gezogen, dass ein Leistungsindex für eine Schleifbahn auf eine vorbestimmte Länge derselben zuträfe. Aus diesem Grund zieht die Erfindung die Möglichkeit der Berechnung oder Bestimmung mehrerer Leistungsmesswerte für eine längere und kontinuierliche Schleifbahn in Betracht.
  • Der Apparat 120 ist für die Bewegung zwischen einer ersten Position und einer zweiten Position konfiguriert. In einer ersten Position kontaktiert die Bahn 122 das erste Ende 134 des Arbeitsstücks 132, wie in 2 gezeigt. Wie hier beschrieben, bietet der Apparat 120 eine zweite Position, in der die Bahn 122 und das Arbeitsstück 132 nicht miteinander in Kontakt stehen (nicht gezeigt). Diejenigen Fachleute, die mit dem Stand der Technik vertraut sind, werden sich im Klaren darüber sein, dass andere relative Positionen der Bahn 122 und des Arbeitsstücks 132 erforderlich oder erwünscht sein können und die Erfindung soll nicht auf zwei derartige relative Positionen begrenzt sein. Bei der gezeigten Ausführungsform umfasst der Apparat 120 einen Kopfteil 126, der auf einer Welle 128 montiert ist. Die Welle 128 ist an einem Dreharm 130 befestigt. In dieser Konfiguration ist der Kopfteil 126 zwischen die obigen ersten und zweiten Positionen durch Drehen der Welle 128 und des Kopfteils 126 auf dem Dreharm 130 positionierbar. In der ersten Position ist der Kopfteil 126 in der Nähe der Bahn 122 positioniert, wobei das erste Ende 134 des Arbeitsstücks 132 sich in Kontakt mit der Schleiffläche der Bahn 122 befindet. In dieser Position kann eine Messung des Leistungsindex erhalten werden. In einer zweiten Position werden der Kopfteil 126 und die Welle 128 auf einem Dreharm 130 von der Bahn 122 hinweg gedreht. In der ersten Position ist der Apparat 120 von der Messung des Leistungsindex frei.
  • Der Kopfteil 126 des Apparats 120 bietet ein Testgerät, das das Arbeitsstück 132 in einer bevorzugten Position derart hält, dass das erste Ende 134 des Arbeitsstücks 132 sich in einer Position befindet, um die Schleiffläche der Bahn 122 zu kontaktieren, wenn der Dreharm 130 und die Welle 128 (Positioniermöglichkeiten) den Kopfteil 126 in der zweiten Position halten. Das Arbeitsstück 132 ist ein stabförmiger Artikel mit einem abschleifbaren ersten Ende 134 und einem zweiten Ende 136, dem ersten 134 gegenüberliegend. Das erste Ende 134 des Arbeitsstücks kann in einer Nichtkontaktposition mit Bezug auf die Schleifbahn 122 gehalten werden, wenn der Kopfteil 126 durch das Drehen des Dreharms 130 und der Welle 128 in einer ersten Position gehalten wird, so dass der Kopfteil 126 sich neben der Bahn 122 befindet. In dieser Position steht das erste Ende 134 des Arbeitsstücks 132 in direktem Kontakt mit einer Schleiffläche der Bahn 122, wobei das erste Ende 134 des Arbeitsstücks 132 eine abschleifbare Fläche ist.
  • Das Arbeitsstück 132 wird innerhalb des Kopfteils 126 durch eine erste Haltevorrichtung gehalten, die umkehrbar rotierbare Vorschubwalzen 138, 140 und eine Dosieröffnung oder einen Halteträger 148 umfasst. Die Drehwalzen 138, 140 werden durch einen Servomotor 142 gesteuert. Die Walzen 138, 140 dienen sowohl zum Halten als auch zum Vorschieben des Arbeitsstücks 132 auf die Bahn 122 zu. Eine Halteklemme oder Dosieröffnung 148 wird am Kopfteil bereitgestellt, um zum Stützen des ersten Endes 134 des Arbeitsstücks 132 beizutragen. Das zweite Ende 136 des Arbeitsstücks 132 ragt über den Kopfteil 126 in entgegengesetzter Richtung zum ersten Ende 134 hinaus. Das Arbeitsstück 132 kann kontinuierlich oder zeitweilig durch die Vorschubwalzen 138, 140 vorgeschoben werden, während das Arbeitsstück an der Zwischenfläche der Bahn 122 und des ersten Endes 134 abgeschliffen wird. In der gezeigten Ausführungsform dient die Walze 124 als zweite Haltevorrichtung zum Halten der Bahn 122 in einer vorbestimmten Orientierung mit Bezug auf den Kopfteil 126. Ein elektronischer Sen sor, wie beispielsweise der Positionssensor 144, kann mit dem Kopfteil 126 assoziiert sein, um den Abstand vom Kopfteil 126 zur Schleifbahn 122 zu erfassen. Die Steuervorrichtung 146 ist schematisch als eine Möglichkeit gezeigt, durch die der Ausstoß aus dem Sensor 144 so verarbeitet wird, dass die Vorschubwalzen 138, 140 auf gesteuerte Weise angetrieben werden und dadurch das Arbeitsstück 132 so vorgeschoben wird, dass ein gleichbleibender Abstand zwischen dem Kopfteil und der Bahn 122 beibehalten wird.
  • Die Bahn 122 wird durch einen oder mehrere motorisierte Antriebe (nicht gezeigt) getrieben, die als Möglichkeit zum Bewegen der Schleifbahn 122 mit Bezug auf das Arbeitsstück dienen, um das Schleifen oder Polieren des Arbeitsstücks 132 zu erleichtern. Eine Schneiderate kann durch Messen der Änderung der Länge des Arbeitsstück 132 für eine gewisse Bahnlänge 122 berechnet werden. Daraufhin kann der Leistungsindex auf die hier aufgeführte Weise berechnet und dann auf der entsprechenden Länge der Bahn 122 weiter stromabwärts vom Apparat 120 markiert werden.
  • Mit Bezug auf die 3 und 4 ist der Schleifartikel in Form eines Kissenkonditionierers oder einer Konditionierscheibe 222 aufgezeigt, die so konstruiert ist, um herkömmliche Aufschlämmungskissen zu konditionieren, die für die chemisch-mechanische Planarisierung von Siliciumwafern verwendet werden. Die Scheibe 222 ist ein Beispiel eines Typs von Schleifartikel, der einen der Erfindung entsprechenden Leistungsindex einschließen kann. Die Scheibe 222 umfasst ein Substrat 228, das aus einem geeigneten Material wie beispielsweise Edelstahl gebildet ist. Das Substrat 228 weist eine Dicke „t" mit einer Hauptfläche 224 und einer zweiten Hauptfläche 226 auf. Die erste Hauptfläche 224 ist eine Schleiffläche, die mehrere Schleifteilchen 230, die zumindest teilweise in einem Matrixmaterial oder Bindemittel 232 eingebettet sind, umfasst. Eine teilchenfreie Zone 234 wird der Randkante der ersten Fläche 224 entlang bereitgestellt. Bei dem gezeigten Artikel 222 wird ein Leistungsindex xx.xx innerhalb des Bereichs 236 in der teilchenfreien Zone 234 auf der ersten Fläche 224 bereitgestellt. Der Leistungsindex kann beispielsweise durch den Endanwender direkt lesbar sein oder er kann in maschinenlesbarer Form (z.B. als Strichkode) kodiert sein. Aus diesem Grund kann der Leistungsindex direkt kodiert sein oder er kann in einer Datenbase vorliegen, die durch Anwendung eines Identifizierers für den Schleifartikel, wie beispielsweise einer Seriennummer, befragt werden, die den gemessenen Leistungsindex mit dem Schleifartikel assoziiert.
  • Während der Leistungsindex innerhalb des Bereichs 236 als an der ersten Fläche 224 des Artikels 222 befestigt oder damit assoziiert gezeigt ist, wird man sich im Klaren darüber sein, dass ein Leistungsindex mit dem Schleifartikel 222 auf eine andere Weise assoziiert sein kann, wie beispielsweise durch Assoziieren des Index mit der zweiten Hauptfläche 226. Auf einem Artikel, wie beispielsweise dem Kissenkonditionierer 222, kann das Substrat 228 von ausreichender Dicke sein, so dass der Index mit dem Artikel 222 der Seite 238 mit einer Dicke „t" entlang assoziiert sein kann. Der Leistungsindex kann mit dem Schleifartikel auf irgendeine Art und Weise, die den mit dem Stand der Technik vertrauten Fachleuten zur Verfügung steht, assoziiert sein. Eine Art und Weise des Befestigens kann im Vergleich mit einer anderen bevorzugt werden, je nach der Natur des Schleifartikels, den bei seiner Konstruktion verwendeten Materialien, den relativen Kosten verschiedener Möglichkeiten zum Befestigen und der Verfügbarkeit von Vorrichtungen, die zum Markieren eines Schleifartikels mit dem Leistungsindex erforderlich sind. Außerdem kann der erfindungsgemäße Leistungsindex mit einem Schleifartikel durch Bedrucken oder Markieren der Verpackung eines Artikels auf andere Weise assoziiert sein, wie durch Befestigen eines Etiketts an der einzelnen Verpackung, die für den Versand und/oder das Zurschaustellen des Schleifartikels verwendet wird. Es sollte offensichtlich sein, dass die vorliegende Erfindung in keiner Weise auf irgendwelche spezifische Art und Weise des Assoziierens eines Leistungsindex mit einem Schleifartikel beschränkt ist.
  • In den besprochenen Ausführungsformen ist der Leistungsindex mit der Schneiderate des Schleifartikels auf dem Testprüfstück verbunden. In derartigen Fällen ist zu erwarten, dass das Verhältnis zwischen der Kraft und der Schneiderate in der Vorrichtung des Endanwenders bzw. der Endanwenderin ungefähr die gleiche ist wie auf dem Apparat, der zur Bestimmung des Leistungsindex verwendet wird. In Fällen, wo die Arbeitsstückmaterialien, die bei den Schleif- oder Polierarbeiten des Endanwenders bzw. der Endanwenderin verwendet werden, anders sind als dasjenige, das zum Bestimmen des Schleifindex verwendet wird, muss der Endanwender bzw. die Endanwenderin eventuell seine/ihre Vorrichtung kalibrieren, um ein Verhältnis beispielsweise zwischen dem Leistungsindex und der Schneiderate zu bestimmen. Daraufhin kann der Leistungsindex für jeden an den Endanwender gelieferten Schleifartikel auf eine bekannte Schneiderate abgestimmt werden, die auf der oben erwähnten Standardisierung beruht.
  • Außerdem kann ein Leistungsindex während des Produktionsvorgangs für jedes von mehreren verschiedenen Arbeitsstückmaterialien bestimmt werden. Beispielsweise kann, wenn der Schleifartikel bei einer Anwendung auf Stahl und bei einer anderen Anwendung auf Glas verwen det werden soll, der Hersteller des Schleifartikels einen getrennten Leistungsindex für jedes der beiden verschiedenen Arbeitsstückmaterialien bereitstellen, jedoch ist dies gewöhnlich nicht notwendig, da ein einziger Index auf viele verschiedene Arbeitsstückmaterialien unter verschiedenen Arbeitsbedingungen anwendbar ist.
  • Wird der Schleifartikel als Schleifbahn bereitgestellt, so stellen die auf die Bahn gedruckten Kennzeichen typischerweise die durchschnittliche Schneiderate (oder eine andere Eigenschaft) über eine Länge der Bahn dar. Die verwendete Länge würde durch einen mit dem Stand der Technik vertrauten Fachmann so gewählt, dass die normale Variation bei dem geprüften Schleifmittel und der Anwendung des Schleifmittels in Betracht gezogen wird. Eine kurze durchschnittliche Spanne und schnellere Bahngeschwindigkeiten würden im Allgemeinen eine schnellere und automatisiertere Prüfvorrichtung erfordern.
  • Der Leistungsindex wird auf dem Artikel oder seiner damit assoziierte Verpackung markiert und kann aus Konkurrenzgründen kodiert sein. Der Leistungsindex kann auch mit dem Arbeitsstück durch eine verbindende Datenbase assoziiert sein. Beispielsweise kann der Artikel oder seine Verpackung eine Seriennummer oder andere Identifizierung tragen, die dann als Nachschlageschlüssel in einer lokalen oder Ferndatenbase verwendet wird. Der Nachschlagevorgang kann derart automatisiert werden, dass der Apparat, bei dem der Schleifartikel verwendet wird, einen Identifizierer abliest, der mit Artikel oder der Verpackung für den Artikel assoziiert ist und daraufhin das Nachschlagen in einer lokalen oder Ferndatenbase durchführt, um den Leistungsindex zu erhalten, der mit diesem Schleifartikel assoziiert ist. Bevorzugt wird, wenn der Apparat entweder den Leis tungsindex direkt abliest oder ihn durch Nachschlagen erhält, er mindestens eines unter Druck, Geschwindigkeit oder Zeit ohne Zutun des Bedienungspersonals einstellen.
  • Man wird sich im Klaren darüber sein, dass die obigen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung veranschaulichend sind, jedoch nicht alle möglichen Ausführungsformen einschließen. Beispielsweise ist die Anwendung der Schneiderate, um einen Leistungsindex bereitzustellen, nur eine Art und Weise des praktischen Durchführens der Erfindung. Andere Leistungsindices können beispielsweise auf der Basis einer gemessenen Vergütung bestimmt werden, die dem Arbeitsstück in einem Testapparat vermittelt wird, der in den Herstellungsvorgang des betreffenden Schleifartikels eingeschlossen werden soll. Zusätzliche Einzelheiten der bevorzugten Ausführungsform sind in den folgenden nicht einschränkenden Beispielen aufgeführt.
  • BEISPIELE
  • Beispiel 1
  • Ein Schleifartikel bietet eine Schneiderate, die 10 höher ist als der bekannte Durchschnitt für den gleichen Typ Schleifartikel im gleichen Typ von Schneidanwendung. Dem Schneidartikel ist ein Leistungsindex von 1,10 zugeordnet und er ist so markiert. Bei der Anwendung wird die Kraft, die zum Aufdrücken des Schleifartikels auf das Arbeitsstück aufgebracht werden muss, als Verhältnis von 1/1,10 oder 0,91 der aufgebrachten Kraft berechnet, die beim Bestimmen der durchschnittlichen Schneiderate verwendet wird. Das Anwenden der berechneten Kraft führt zu einer Schneiderate, die der Schneiderate eines Artikels ziemlich eng nahekommt, die für den Verfahrensdurchschnitt des Herstellungsvorgangs des Schleifartikels repräsentativ ist.
  • Beispiel 2
  • Der Leistungsindex ist das Umgekehrte der Schneiderate und wird als Einstellungsfaktor beschrieben. Die Schneiderate wird auf 10 % höher als der Durchschnitt gemessen. Der Index beträgt 1/1,10 = 0,91 und der Artikel wird so markiert. Der Anwender des Schleifartikels reduziert die aufgebrachte normale Kraft gegen das Schleifmittel auf 91 % der Nennkraft und erhält eine Schneiderate, die der Schneiderate eines Artikels eng nahekommt, die für den Verfahrensdurchschnitt des Herstellungsvorgangs des Schleifartikels repräsentativ ist.
  • Obwohl die gemessene Leistung der beiden Artikel gleich ist, betragen die markierten Leistungsindexwerte, die in Beispiel 1 angewendet werden, 1,10, weil eine Teilung durchgeführt wird, um den Arbeitsparameter zu erhalten, während eine Multiplikation in Beispiel 2 angewendet wird, um den Leistungsindex 0,91 zu erhalten. Andere Markierungen können ebenfalls angewendet werden, um die Leistung der Artikel in den Beispielen 1 und 2 anzuzeigen, wie beispielsweise „110" und „91" oder „220" und „182" oder sogar „55" und „45,5". Der für den Leistungsindex verwendete Zahlenwert ist nicht wichtig, solange der Anwender angewiesen wird, wie die Markierung anzuwenden ist.
  • Beispiel 3
  • Ein Schleifartikel bietet eine erwünschte Oberflächenvergütung auf einem Arbeitsstück bei einem vorbestimmten Arbeitsdruck in 10 % weniger Zeit als dem bekannten Durchschnitt für diesen Typ von Schleifartikel im gleichen Typ von Schleifanwendung. Dem Schleifartikel wird ein Leistungsindex von 1,11 zugewiesen und er wird so markiert. Bei der Verwendung wird die Zeit (z.B. in Sekunden), während der der Schleifartikel gegen ein Arbeitsstück gedrückt werden soll, als das Verhältnis von 1/1,11 oder 0,90 (90 %) der Zeit berechnet, die zum Erreichen einer Oberflächenvergütung erforderlich ist, die der Oberflächenvergütung entspricht, die unter Anwendung eines Schleifartikels erhalten wird, der für den Verfahrensdurchschnitt repräsentativ ist.
  • Beispiel 4
  • Bei einem Schleifvorgang wird Luftdruck in einem pneumatischen Zylinder zum Aufdrücken eines Schleifartikels auf ein Arbeitsstück verwendet. Ein ungefährer Luftdruck (der „nominelle Druck") ist im Durchschnitt dafür bekannt, eine erwünschte Schneiderate zu liefern. Ein Leistungsindex auf den Schleifartikeln soll zum Reduzieren der bestehenden Variabilität verwendet werden, wenn die Menge an Druck, die auf den Schleifartikel aufgebracht wird, fein eingestellt werden soll. Jedoch ist bekannt, dass die Verfahrensvorrichtung ein sogenanntes „Tod"-Gewicht ausübt, indem die Vorrichtung eine fixierte Nichtnullkraft gegen das Arbeitsstück selbst dann liefert, wenn kein Druck durch den pneumatischen Zylinder ausgeübt wird. Aus diesem Grund bietet der in diesem Beispiel beschriebene Vorgang ein Verfahren zum Bestimmen einer ungefähren Druckeinstellung für den pneumatischen Zylinder, die die Nichtnullschneiderate in Abwesenheit irgendeines pneumatischen Drucks in Betracht zieht.
  • Drei Schleifartikel, von denen jeder mit einem Leistungsindex auf der Basis der Schneiderate markiert ist, werden ausgewählt und die Schneiderate für jeden der drei Schleifartikel wird gegen ein Arbeitsstück bei aufgebrachten Drucken von 0,5, 1,0 und 1,5 mal dem Nenndruck bestimmt (z.B. „70" in diesem Beispiel). Die Schneideratedaten sind in Tabelle 1 aufgeführt.
  • Tabelle 1
    Figure 00310001
  • Die gemessenen Schneideraten werden korrigiert, um der relativen Aggressivität der Schleifartikel, wie durch ihre Leistungsindices gezeigt, Rechnung zu tragen. Die beobachtete Schneiderate wird durch den Leistungsindex für jeden der Schneideartikel geteilt. Bei der Berechnung wird der Nichtnulleinsatz (der in diesem Fall einen positiven Druck aufweist) für die Vorrichtung in Betracht gezogen, die verwendet wird, und kann zum Bestimmen der geeigneten aufgebrachten Drucke für neue Artikel verwendet werden.
  • Eine Regressionsanalyse der kleinsten Quadrate wird zum Bestimmen der besten Passung in einer grafischen Darstellung von (1) dem Druck in Abhängigkeit von (2) dem Verhältnis von Schneiderate/Leistungsindex („Schneiden/L.I.") angewendet. Die lineare grafische Darstellung (in Steigungs-Einsatzformat) wird durch die Gleichung (1) definiert: Schneiden/L.I. = 0,0114 × Druck + 1,200 (1)
  • Die Schneiderate wird durch die Gleichung (2): Schneiderate = L.I. × (0,0114 × Druck + 1,200) (2)angegeben.
  • Um eine Schneiderate von 2,00 zu erreichen, wird der Druck der Gleichung (3) entsprechend bestimmt: Druck = ((2,00/L.I.) – 1,200)/0,0114 (3)Aus diesem Grund würde, wenn der Leistungsindex auf einem neuen Schleifartikel 0,85 beträgt, der Luftdruck, der zum Erhalten einer erwünschten Schneiderate von 2,00 erforderlich wäre, unter Anwendung der Gleichung (3) wie folgt bestimmt: Druck = ((2,00/0,85) – 1,200)/0,0114; oder Druck = 101.
  • Solange das Verhältnis zwischen Schneiderate und aufgebrachtem Druck ungefähr linear über einen Bereich von Drucken ist, der bei dem Schleifvorgang nützlich ist, wird das in diesem Beispiel veranschaulichte Verfahren dazu beitragen, die Variabilität des Schleifvorgangs zu reduzieren.
  • Beispiel 5
  • Es wurden zwei verschiedene Schleifmaschinen verwendet. Die erste Maschine (die „Testmaschine") war eine modifizierte Feinschleifmaschine, die von Gerber-Coburn, Muskogee, Oklahoma, unter dem Warennamen „Coburn Rocket Modell 507" erhältlich ist. Die Testmaschine wurde zum Bestimmen der Schneideraten verwendet, die für zwei Schleifstoffchargen charakteristisch sind. Die zweite Maschine (die „Produktionsmaschine") wurde als repräsentativ für einen tatsächlichen Schleifvorgang verwendet, um die reduzierte Variabilität des Schleifvorgangs durch Verwendung von Schleifartikeln aufzuzeigen, die mit einem Leistungsindex markiert sind, der auf der Schneiderate beruhte.
  • Ein Polierversuch wurde auf der Testmaschine unter Anwendung einer Feinschleifschicht als Schleifartikel durchgeführt. Die Feinschleifschicht wurde von Minnesota Mining and Manufacturing Company, St. Paul, Minnesota erhalten und ist im Handel unter der Warenbezeichnung „272L" erhältlich. Die Feinschleifschicht umfasste Aluminiumoxidschleifteilchen mit einer durchschnittlichen Größe von etwa 60 Mikron.
  • Eine Feinschleifarbeit wurde auf der Testmaschine durchgeführt, um die Endfläche eines Rings aus 1018 Stahl mit einem Außendurchmesser von 5 cm, einem Innendurchmesser von 4,44 cm und einer Länge von 1,27 cm zu polieren. Die Feinschleifschicht wurde geschnitten, um eine Schleifscheibe von 10,2 cm bereitzustellen, die dann mit einem doppelseitigen Band auf einer flachen Aluminiumplatte befestigt wurde. Gleitmittel (5551A, Honöl von Castrol Industrial North America, Downers Grove, IL) wurde der Oberfläche, die poliert wurde, mit einer Geschwindigkeit von etwa einem Tropfen pro Sekunde zugegeben, und das Stahlarbeitsstück wurde gegen die Feinschleifschicht unter Anwendung einer Kraft von 133 Newton während einer Gesamtbetriebszeit von einer Minute aufgedrückt. Die Schneiderate wurde durch Messen der Masse des von dem Ring entfernten Stahls bestimmt. Die Schneideratedaten wurden mit Bezug auf die Schneiderate für die Schleifartikel der Charge 1 normalisiert. Der normalisierte Schnitt wurde dann als Leistungsindex für die jeweiligen Schleifartikel verwendet. Die Schneideratedaten sind in Tabelle 2 aufgeführt.
  • Tabelle 2
    Figure 00330001
  • Figure 00340001
  • Die Produktionsmaschine wurde so gebaut, dass sie die Grundzüge einer Maschine widerspiegelte, die zum Polieren von Stahllagerzapfen verwendet wurde. Die Maschine polierte die runde Außenfläche eines Stahlrings (1018 Stahl, 5 cm Außendurchmesser × 1,9 cm breit) unter Anwendung eines Schleifstreifens (1,27 cm breit). Das Schleifmittel wurde mit einer Druckschiene gegen das Arbeitsstück gedrückt. Die Reibung zwischen der nichtschleifenden Seite des Schleifmittels und der Schiene hielt das Schleifmittel mit Bezug auf die Schiene stationär. Die Schiene wurde parallel zur Achse des Rings mit einer Amplitude von 0,32 cm bei 230 Schwingungen pro Minute vibriert. Der Stahlring wurde auf eine Welle geklemmt und mit 60 UpM rotiert. Eine kurze Länge Schleifmittel wurde gegen den Ring gehalten, während er 7 Sekunden im Uhrzeigersinn und dann weitere 7 Sekunden im Gegenuhrzeigersinn rotierte. Ein Luftzylinder wurde zum Aufbringen von Kraft auf den Schleifartikel und Drücken desselben gegen den Stahlring angewendet. Ein verdünntes Gleitmittel wurde auf die Zwischenfläche zwischen dem Ring und dem Schleifartikel aufgegeben. Das Gleitmittel wurde im Handel unter der Warenbezeichnung „Cimtech 500" (Milacron Marketing Co., Cincinnati, Ohio) erhalten und mit Wasser auf ein Gewichtsverhältnis von 95/5 (Wasser/Gleitmittel) verdünnt. Der Druck auf das Schleifmittel war 1,767 mal höher als der aufgebrachte Luftdruck. Die Länge an Schleifmittel, die das Arbeitsstück kontaktierte, betrug etwa 3,3 cm. Der Schnitt wurde durch Messen der Masse in Gramm bestimmt, die von dem Außendurchmesser des Stahlrings in einem Zyklus entfernt wurde.
  • Der Produktionsmaschinenvorgang wurde unter Anwendung der Standardcharge 1 getestet, um zu sehen, ob die Schneiderate mit Bezug auf den Luftdrucks linear war. Die Daten sind in Tabelle 3 aufgeführt.
  • Tabelle 3
    Figure 00350001
  • Auf die Bestätigung hin, dass der Schnitt mit dem aufgebrachten Druck (wie durch r = 0,974 angezeigt) linear war, kann ein Endanwender nun die Anwendungsbedingungen direkt aus dem Leistungsindex für künftige markierte Artikel berechnen. Ähnliche Berechnungen stehen für Schleifvorgänge auf der Basis der relativen Geschwindigkeit, der Schleif- oder Polierzeit oder aufgrund einer Kombination von Druck, Geschwindigkeit und beispielsweise Zeit, zur Verfügung.
  • Die von der Produktionsmaschine aufgebrachte normale Kraft betrug 207 kPa in dem Luftzylinder für Schleifstoff mit einem normalisierten Schnitt von 1,00. Die 207 kPa-Daten, die oben erhalten wurden, zeigten einen durchschnittlichen Schnitt von 0,0476 Gramm. Schleifartikel aus Charge 2 wurden dann in dem obigen Schleifvorgang auf der Produktionsmaschine verwendet. Die Schleifdaten wurden zuerst durch Anwendung der Schleifmittel der Charge 2 erhalten, wobei der Schleifdruck und andere Verarbeitungsbedingungen die gleichen blie ben, wie diejenigen, die für die Schleifartikel der Charge 1 verwendet wurden. Die Daten sind in Tabelle 4 aufgeführt.
  • Tabelle 4
    Figure 00360001
  • Die Produktionsmaschine wurde betrieben, wobei der Druck angeglichen wurde, um für den Leistungsindex zu kompensieren, der mit der Charge 2 assoziiert ist. Der Luftdruck wurde auf 207 × 1/1,306 = 156 kPa eingestellt. Die dabei erhaltenen Schleifdaten sind in Tabelle 5 aufgeführt
  • Tabelle 5
    Figure 00360002
  • Der erwünschte Schnitt des Vorgangs betrug 0,0476 Gramm pro Produktionsdurchgang, was die Nennleistung für die Standardcharge Nr. 1 ist. Wie in Tabelle 6 aufgeführt, wird durch Kompensieren für den Luftdruck durch Verwendung des Leistungsindex die Gesamtprozessvariabilität von 12,2 % auf 4,6 % reduziert.
  • Tabelle 6
    Figure 00360003
  • Figure 00370001
  • Man wird sich im Klaren darüber sein, dass oben zwar die bevorzugte Ausführungsform der Erfindung beschrieben worden ist, der Umfang der Erfindung jedoch in den folgenden Ansprüchen definiert ist.

Claims (11)

  1. Verfahren zum Schaffen eines Schleifartikels (22; 122; 222) zum Abschleifen eines Werkstücks mit einer abschleifbaren Fläche, mit den folgenden Schritten: (a) Bereitstellen eines Schleifartikels (22; 122; 222) mit einer Schleiffläche (28; 224); (b) Bereitstellen eines Test-Werkstücks (30; 132) mit einer abschleifbaren Fläche darauf; (c) Abschleifen der abschleifbaren Fläche des Test-Werkstücks durch Anlegen der Schleiffläche (28; 224) gegen die abschleifbare Fläche des Werkstücks bei bekanntem Druck und mit bekannter Geschwindigkeit und relatives Bewegen des Schleifartikels (22; 122; 222) und der abschleifbaren Fläche des Test-Werkstücks während einer vorbestimmten Zeitspanne; (d) Erstellen eines Leistungsindex auf der Basis der Schleifleistung des Schleifartikels (22; 122; 222) während des Schleifschritts (c); (e) Zuordnen des Leistungsindex mit dem Schleifartikel (22; 122; 222); (f) wobei der Leistungsindex dem Bestimmen der Prozessbedingungen dient, unter denen der Schleifartikel (22; 122; 222) die abschleifbare Fläche des abzuschleifenden Werkstücks abschleifen soll.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, wobei das Aufstellen des Leistungsindex in Schritt (d) das Bestimmen der Schneiderate für den Schleifartikel (22; 122; 222) auf das Abschließen des Abschleifschritts (c) hin und daraufhin das Aufstellen des Leistungsindex auf der Basis der Schneiderate aufweist.
  3. Verfahren nach Anspruch 2, wobei der Leistungsindex ein Verhältnis der Schneiderate irgendeines von (i) dem aufgebrachten Druck, (ii) der Geschwindigkeit oder (iii) der vorbestimmten Zeitspanne ist.
  4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei das Aufstellen eines Leistungsindex in Schritt (d) das Messen des sich nach dem Abschließen des Schleifschritts (c) ergebenden Zustands der abschleifbaren Fläche des Test-Werkstücks und daraufhin das Aufstellen des Leistungsindex auf der Basis des gemessenen Flächenzustands auf der abschleifbaren Fläche des Werkstücks aufweist.
  5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei das Zuordnen des Leistungsindex in Schritt (e) das Zuordnen des Leistungsindex mit der Schleiffläche (28; 224) des Schleifartikels (22; 122; 222) aufweist.
  6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei der Schleifartikel (22; 122; 222) ferner eine nichtabrasive Fläche (226) aufweist und das Zuordnen des Leistungsindex in Schritt (e) das Zuordnen des Leistungsindex mit der nichtabrasiven Fläche (226) des Schleifartikels (22; 122; 222) aufweist.
  7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, ferner aufweisend das Verpacken des Schleifartikels (22; 122; 222) in einer Packung, und wobei das Zuordnen des Leistungsindex in Schritt (e) das Zuordnen des Leistungsindex mit der Packung aufweist.
  8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, wobei das Zuordnen des Leistungsindex in Schritt (e) das Speichern des Leistungsindex in einer Datenbank und das Bereitstellen einer dem Schleifartikel (22; 122; 222) zugeordneten Markierung aufweist, wobei die Markierung eine Möglichkeit bietet für das Befragen der Datenbank, um den Leistungsindex daraus zu erhalten.
  9. Verfahren nach Anspruch 8, wobei die Markierung in maschinenlesbarem Format vorliegt.
  10. Verfahren nach Anspruch 8, wobei die Markierung in alphanumerischem Format vorliegt.
  11. Verfahren nach Anspruch 8, wobei die Markierung ein Strichcode ist.
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