DE69533341D1 - Verfahren zur Magnetfeldmessung und Ladungsteilchenstrahlgerät mit Benutzung dieses Verfahrens - Google Patents

Verfahren zur Magnetfeldmessung und Ladungsteilchenstrahlgerät mit Benutzung dieses Verfahrens

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Katsuhiro Kuroda
Yusuke Yajima
Yoshio Takahashi
Masato Nakajima
Hideo Saito
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    • G01R33/02Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
    • G01R33/0213Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using deviation of charged particles by the magnetic field
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