DE69829774T2 - Vorrichtung und verfahren zur dampfphasenabscheidung einer beschichtung - Google Patents

Vorrichtung und verfahren zur dampfphasenabscheidung einer beschichtung Download PDF

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    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D1/00—Processes for applying liquids or other fluent materials
    • B05D1/60—Deposition of organic layers from vapour phase
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B7/00—Spraying apparatus for discharge of liquids or other fluent materials from two or more sources, e.g. of liquid and air, of powder and gas
    • B05B7/02—Spray pistols; Apparatus for discharge
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    • B05B7/0807—Spray pistols; Apparatus for discharge with separate outlet orifices, e.g. to form parallel jets, i.e. the axis of the jets being parallel, to form intersecting jets, i.e. the axis of the jets converging but not necessarily intersecting at a point to form intersecting jets
    • B05B7/0861—Spray pistols; Apparatus for discharge with separate outlet orifices, e.g. to form parallel jets, i.e. the axis of the jets being parallel, to form intersecting jets, i.e. the axis of the jets converging but not necessarily intersecting at a point to form intersecting jets with one single jet constituted by a liquid or a mixture containing a liquid and several gas jets

Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Erzeugen und zum Abscheiden eines Dampfes auf ein Substrat zum Herstellen einer Beschichtung. Insbesondere betrifft die Erfindung eine Vorrichtung und ein Verfahren, bei denen der Dampf aus einem die abzuscheidenden Stoffe aufweisenden zerstäubten Nebel erzeugt wird.
  • Hintergrund der Erfindung
  • Beschichtungen werden auf eine große Zahl der verschiedensten Substrate für die unterschiedlichsten Zwecke aufgebracht. Als einige Beispiele aus einer Vielzahl verschiedenartiger Beschichtungsarten sind zu nennen: Kleberschichten, Grundieraufträge, Dekorationsbeläge, harte Schutzüberzüge, Lackaufträge, Antireflexionsbeschichtungen und Reflexionsbeschichtungen, Interferenzschichten, Trennschichten, dielektrische Beschichtungen, Photolackschichten, elektrisch leitende Schichten, nichtlineare optische Beschichtungen, Elektrochrom- bzw. Elektroluminiszenzschichten, Sperrschichten, biologisch aktive Beschichtungen, biologisch inerte Beschichtungen und dergleichen. Solche Beschichtungen können auf Substrate aus einer großen Zahl der verschiedensten Materialien und von unterschiedlichster Form aufgebracht werden. So können hinsichtlich der Materialien die Substrate aus Metall, Holz, Stoff, Polymeren, Keramik, Papier, Mineralien, Glas, Verbundstoffen und dergleichen sein. Was die Form betrifft, so können die Substrate flach, gekrümmt, wellig, verdrallt, mikrostrukturiert, glatt, rau, porös, partikulär, faserartig, hohl, dreidimensional, mit regelmäßiger oder unregelmäßiger Oberfläche etc. sein.
  • In herkömmlichen industriellen Beschichtungsverfahren wird ein die Beschichtungsbestandteile und ein geeignetes Lösungsmittel aufweisendes Gemisch (das eine Emulsion, eine Lösung, ein Brei, ein Zweiphasen-Flüssiggemisch und dergleichen sein kann) im Wege eines geeigneten Beschichtungsverfahrens wie Sprüh-, Walzen-, Bürsten- bzw. Rotationsbeschichten (Spin-Coating) und dergleichen auf ein Substrat abgeschieden. Die aufgebrachte Zusammensetzung wird sodann zur Verfestigung der Beschichtung in aller Regel getrocknet und gehärtet. Während des Trocknens wird das Lösungsmittel aus der Beschichtung entfernt und anschließend in die Umwelt entsorgt oder zurückgewonnen.
  • Das Lösungsmittel ist aus einer Reihe von Gründen allgemein eine wesentliche Komponente des Beschichtungsgemischs. Zunächst einmal trägt das Lösungsmittel dazu bei, dass das Beschichtungsgemisch eine geeignete Beschichtungsviskosität besitzt. Weiter wirkt das Lösungsmittel mit, sicher zu stellen, dass die Beschichtungsmasse zur Erzielung einer gleichförmigen Beschichtung gleichmäßig auf das Substrat aufgebracht werden kann. Das Lösungsmittel kann dem Gemisch auch eine zufriedenstellende Haltbarkeit verleihen.
  • Das Vorhandensein des Lösungsmittels hat jedoch Nachteile. Muss das Lösungsmittel nach dem Gebrauch entsorgt werden, so wird es zu umweltbelastendem Abfall. Besonders problematisch ist dies im Falle gefährlicher Lösungsmittel. Tatsächlich erfordert das Entsorgen gefährlicher Lösungsmittel regierungsseitig reglementierte teure und ausgeklügelte Entsorgungsstrategien, um aus der Entsorgung resultierende Umweltschäden zu minimieren. Der Lösungsmittelrückgewinnung wird daher oft der Vorzug gegenüber einer Lösungsmittelentsorgung gegeben. Wie die Lösungsmittelentsorgung auch ist jedoch die Lösungsmittelrückgewinnung mit einer Reihe von Nachteilen behaftet. Die Lösungsmittelrückgewinnung erfordert kostenaufwendige Verfahren und Einrichtungen.
  • Die Notwendigkeit des Umgangs mit Lösungsmitteln ist für die Industrie eine starke Belastung. Dementsprechend wäre es wünschenswert, eine Möglichkeit für die Ausführung von Beschichtungsoperationen mit einem Minimum an Lösungsmittel oder, bevorzugter, lösungsmittelfrei zu finden, um die Belastung, Lösungsmittel entsorgen bzw. zurückgewinnen zu müssen, zu vermeiden.
  • Zusammenfassung der Erfindung
  • Die vorliegenden Erfinder haben nunmehr ein außergewöhnlich vielseitiges Beschichtungssystem und -verfahren entdeckt, mit dem Beschichtungen aus einer breiten Palette von Beschichtungsgemischen hergestellt werden können, die völlig frei von Lösungsmitteln sind bzw. Lösungsmittel in lediglich so geringen Mengen enthalten, wie diese zum Lösen einer oder mehrerer der Komponenten dieser Gemische erforderlich sind. Hierdurch werden alle umweltmäßigen Nachteile und Besorgnisse hinsichtlich des Einsatzes von Lösungsmitteln in konventionellen Beschichtungsprozessen ausgeschaltet.
  • Die vorliegende Erfindung basiert auf dem Konzept der Zerstäubung eines vorzugsweise lösungsmittelfreien flüssigen bzw. fluiden Beschichtungsgemischs, um eine Vielzahl feiner Tröpfchen zu bilden. Die Tröpfchen werden mit einem Trägergas kontaktiert, wodurch sie selbst bei deutlich unter ihrem Siedepunkt liegenden Temperaturen zum Verdampfen gebracht werden. Die Verdampfung erfolgt schnell und vollständig, weil der Partialdruck des im Gemisch mit dem Trägergas enthaltenden Dampfes noch immer klar unter dem Dampfsättigungspunkt liegt. Beim Erhitzen des Gases liefert dieses die thermische/mechanische Energie für die Verdampfung.
  • Nach dem Verdampfen strömt der Dampf zu dem zu beschichtenden Substrat. Das Substrat wird auf einer deutlich unter dem Kondensationspunkt des Dampfes liegenden Temperatur gehalten. Hierdurch wird eine Kondensierung des Dampfes in Form einer dünnen, gleichförmigen und im Wesentlichen fehlstellenfreien Beschichtung bewirkt, die auf Wunsch nachfolgend im Wege verschiedener Härtemechanismen ausgehärtet werden kann. Die Beschichtung kann kontinuierlich oder diskontinuierlich erfolgen. Besonders zweckmäßig ist die vorliegende Erfindung zum Ausbilden dünner Beläge im Dickenbereich zwischen ca. 0,001 μm und ca. 5 μm. Dickere Beschichtungen lassen sich durch eine Verlängerung der Zeitspanne, während der das Substrat dem Dampf ausgesetzt ist, eine Erhöhung der Flussrate des flüssigen Gemischs, sowie eine Erhöhung der Trägergastemperatur bzw. des Trägergasdrucks herstellen. Bei Substraten aus flexiblem bahnförmigen Material ist die Verlängerung der Einwirkungsdauer des Dampfes dadurch erreichbar, dass dem System mehrere Dampfquellen zugeordnet werden oder die Bahngeschwindigkeit durch das System hindurch verringert wird. Mehrlagige Beschichtungen aus unterschiedlichen Materialien lassen sich durch aufeinanderfolgendes Abscheiden eines jeweils anderen Beschichtungsmaterials pro Auftrag ausbilden.
  • Die Grundgedanken der vorliegenden Erfindung sind im Vakuum zu realisieren. Zweckmäßigerweise können die Zerstäubung, Verdampfung und Beschichtung jedoch mit jedem gewünschten Druck, einschließlich des Umgebungsdrucks, erfolgen. Hierdurch braucht man sich nicht auf die üblicherweise in den vorbekannten Aufdampfverfahren eingesetzten teuren Vakuumkammern zu verlassen. Ein weiterer Vorteil besteht darin, dass die Zerstäubung, Verdampfung und Beschichtung bei relativ niedrigen Temperaturen stattfinden können, so dass die ansonsten bei hö heren Temperaturen zu verzeichnenden Zerfallserscheinungen temperaturempfindlicher Materialien vermieden werden. Die vorliegende Erfindung ist außerdem extrem vielseitig: es ist praktisch jedes flüssige Material bzw. jede Kombination aus flüssigen Stoffen mit messbarem Dampfdruck zum Ausbilden von Beschichtungen einsetzbar.
  • Generell lässt sich die Zerstäubung des flüssigen Beschichtungsgemischs im Wege jeder konventionellen Zerstäubungstechnik wie beispielsweise der Ultraschallzerstäubung, der Fliehkraftzerstäubung usw. durchführen. In besonders bevorzugten Ausführungsformen wird die Zerstäubung durch Kollision zwischen einem Trägergas- und dem Flüssiggemischstrom bewirkt. Vorzugsweise wird das Trägergas erhitzt und befindet sich der Flüssigkeitsstrom zum Zeitpunkt der Kollision im laminaren Zustand. Durch die Kollisionsenergie wird der vorzugsweise laminare Strom aus flüssigem Beschichtungsmaterial in sehr feine Tröpfchen aufgebrochen. Die Heranziehung dieser Kollisionsart, um die Zerstäubung herbeizuführen, ist deshalb besonders vorteilhaft, weil hierdurch feiner zerstäubte Tröpfchen mit engerer Größenverteilung und einer gleichförmigeren Partikeldichte der Tröpfchen pro Volumen als durch andere Zerstäubungstechniken zu erzielen sind. Darüber hinaus gelangen die resultierenden Tröpfchen praktisch sofort in einen innigen Kontakt mit dem Trägergas mit dem Ergebnis einer schnellen und wirksamen Verdampfung. Wenngleich die vorliegende Erfindung auf die Durchführung von Beschichtungsoperationen im Vakuum angewandt werden kann, ist der Einsatz der Gaskollision zum Zwecke der Zerstäubung weniger geeignet für eine Durchführung in Vakuumkammern, weil hier beim Gas die Tendenz einer Druckerhöhung in der Kammer gegeben ist.
  • Nach einem Aspekt betrifft die vorliegende Erfindung ein Verfahren zum Abscheiden bzw. Ausbilden einer Beschichtung auf zumindest einen Abschnitt einer Substratoberfläche. Ein Trä gergasstrom wird zur Kollision mit einem Strom aus flüssigem Beschichtungsmaterial gebracht. Die Kollision findet unter solchen Bedingungen statt, dass im Wesentlichen das gesamte flüssige Gemisch verdampft, um einen Dampf bzw. eine Dampfphase mit Kondensationstemperatur zu erzeugen. Durch die Geschwindigkeit und den Impuls des Trägergases wird der Dampf zur Substratoberfläche geleitet. Die Oberflächentemperatur liegt hierbei unter der Kondensationstemperatur des Dampfes. Infolgedessen kondensiert der Dampf als Flüssigkeit auf der Oberfläche und bildet so die Beschichtung. Zweckmäßigerweise werden die Geschwindigkeit und der Impuls des Trägergases dem Dampf weitergegeben, der damit zwangsweise mit einer so ausreichenden Kraft in das Substrat getrieben wird, dass die Anhaftung der kondensierten Beschichtung auf dem Substrat unterstützt wird.
  • Nach einem weiteren Aspekt der Erfindung zum Abscheiden einer Beschichtung auf ein Substrat wird ein flüssiges Stoffgemisch zerstäubt und mit einem Trägergas in Kontakt gebracht. Das Kontaktieren erfolgt unter Bedingungen, so dass eine Verdampfung der im Wesentlichen gesamten zerstäubten Flüssigkeit unter Erzeugung einer Dampfphase mit Kondensationstemperatur stattfindet. Der Dampf wird zur Substratoberfläche geleitet. Die Oberflächentemperatur liegt unter der Kondensationstemperatur des Dampfes. Infolgedessen kondensiert der Dampf unter Bildung der Beschichtung auf die Oberfläche. Nach diesem Aspekt der Erfindung werden der Flüssigkeits- und der Gasstrom zunächst miteinander vermischt und sodann unter Verwendung einer herkömmlichen Zerstäubungseinrichtung zerstäubt. Hierdurch werden die resultierenden zerstäubten Flüssigkeitströpfchen innig mit dem Gas vermischt. Wahlweise kann die Flüssigkeit unter Einsatz einer konventionellen Zerstäubereinrichtung zerstäubt werden, welche die zerstäubten Tröpfchen auswirft oder in anderer Weise in das Trägergas aussprüht. Als weitere Al ternative lässt sich die Zerstäubung dadurch bewirken, dass zwei oder mehr Flüssigkeitsströme in einer Weise zur Kollision gebracht werden, dass die resultierenden zerstäubten Flüssigkeitströpfchen in Kontakt mit dem Trägergas gelangen können. Als noch weitere Alternative kann wenigstens ein Flüssigkeitsstrom mit wenigstens einem Gasstrom kollidiert werden, um das Zerstäuben und Kontaktieren in praktisch einem einzigen Schritt durchzuführen.
  • Nach einem weiteren Aspekt betrifft die vorliegende Erfindung ein Verfahren zum Herstellen einer polymeren Beschichtung auf einem Substrat. Das im vorigen Absatz beschriebene Verfahren wird unter Einsatz eines Flüssiggemischs durchgeführt, das eine oder mehrere polymere Vorläuferkomponenten aufweist.
  • Schließlich ist nach einem noch weiteren Aspekt die vorliegende Erfindung auf ein Verfahren zum Erzeugen einer Dampfphase gerichtet, bei dem wie vorbeschrieben ein Flüssiggemischstrom mit einem Trägergasstrom zur Kollision gebracht wird.
  • Weiter betrifft die Erfindung eine Beschichtungsvorrichtung, die eine Kammer mit einem Einlassbereich aufweist, in welcher Trägergas mit einer Vielzahl zerstäubter Flüssiggemischtröpfchen unter Bedingungen kontaktiert wird, so dass eine Verdampfung im Wesentlichen des gesamten Flüssiggemischs unter Erzeugung einer Dampfphase mit Kondensationstemperatur bewirkt wird. Die Vorrichtung weist ein Einlassende auf, durch welches das Flüssiggemisch und das Trägergas in die Kammer eintreten. Die Zerstäubereinrichtung befindet sich nahe dem Einlassende, um in der Kammer einen Nebel aus Flüssiggemisch zu bilden. Eine Substratauflage, deren Oberfläche gekühlt ist, ist zum Tragen eines zu beschichtenden Substrats vorgesehen. Die gekühlte Oberfläche kann eine unter dem Kondensationstemperatur des Dampfes liegende Temperatur erreichen. Die gekühlte Oberfläche ist so angeordnet, dass der Zustrom von Dampf zu dieser Fläche gewährleistet ist.
  • Kurzbeschreibung der Zeichnungen
  • Es zeigen:
  • 1a eine schematische Darstellung eines erfindungsgemäßen Beschichtungssystems, das die Stromkollision für die Zerstäubung verwendet;
  • 1b eine schematische Darstellung eines erfindungsgemäßen Beschichtungssystems, das eine alternative Einrichtung für die Zerstäubung verwendet;
  • 2a ein Flussdiagramm, welches das Beschichtungssystem gemäß 1a und 1b darstellt;
  • 2b ein Flussdiagramm, das ein alternatives erfindungsgemäßes Beschichtungssystem unter Verwendung mehrerer vor dem Beschichten als Dampfphasen vermischten Beschichtungsmaterialien zeigt;
  • 3 eine schematische Darstellung einer weiteren Ausführungsform des erfindungsgemäßen Beschichtungssystems;
  • 4 eine schematische Darstellung einer Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Beschichtungssystems, das zum Ausbilden strahlungsgehärteter Beschichtungen auf einem flexiblen Substrat geeignet ist;
  • 5a eine auseinandergezogene Perspektivansicht einer bevorzugten erfindungsgemäßen Ausführungsform einer Düse, die eine im Wesentlichen vollständige Zerstäubung bewirkt;
  • 5b eine im Querschnitt gehaltene Seitenansicht der in 5a auseinandergezogen dargestellten Düse;
  • 5c eine im Querschnitt gehaltene Seitenansicht der zusammengebauten Düse aus 5a;
  • 6 eine Perspektivansicht der von der zusammengebauten Düse aus 5c erzeugten Flüssigkeits- und Gasströme, bei der zu besseren Darstellung einzelne Teile weggelassen sind; und
  • 7 eine auseinandergezogene Perspektivansicht einer weiteren bevorzugten erfindungsgemäßen Düsenausführungsform zum Zerstäuben/Verdampfen mehrerer Flüssigkeitsströme, bei der einzelne Teile weggelassen sind.
  • Detaillierte Beschreibung der derzeit bevorzugten Ausführungsformen
  • Die nachfolgend beschriebenen erfindungsgemäßen Ausführungsformen sind nicht als erschöpfend oder die Erfindung auf die in dieser detaillierten Beschreibung dargestellten exakten Formen beschränkend anzusehen. Vielmehr sind diese Ausführungsformen so gewählt und beschrieben, dass die Grundgedanken und praktischen Verwendungsmöglichkeiten der vorliegenden Erfindung für andere Fachleute verständlich sind.
  • 1a ist eine schematische Darstellung einer Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Systems 10, das zum Herstellen einer Beschichtung 12 auf der Oberfläche 14 eines Substrats 16 geeignet ist, bei welcher die Herstellung der Beschichtung 12 aus einem zugeführten Flüssiggemisch 18 erfolgt. Generell wird der Strom 20 des Flüssiggemischs 18 mit einem Strom 22 aus Trägergas 24 an einem Kollisionspunkt 26 in der Kammer 17 zur Kollision gebracht. Die Kollisionsenergie zerstäubt den Flüssigkeitsstrom 20 und bildet so einen Nebel aus flüssigen Tröpfchen 28. Der Klarheit wegen sind nur ein einzelner Flüssigkeitsstrom 20 und nur ein einzelner Trägergasstrom 22 dargestellt. Alternativ können mehrere Flüssigkeits- bzw. Gasströme eingesetzt und je nach Wunsch aufeinanderfolgend oder zusammen an einem oder mehreren Kollisionspunkten kollidiert werden. Wenngleich das Substrat 16 als während der Beschichtungsabläufe im Inneren der Kammer 17 befindlich dargestellt ist, könnte es in einigen Ausführungsformen auch außerhalb der Kammer 17 angeordnet sein. Bei diesen Ausführungsformen wäre die Kammer 17 jedoch mit einer geeigneten Öffnung (nicht dargestellt) versehen, durch welche verdampftes Flüs siggemisch 18 auf die Substratoberfläche 14 geleitet werden könnte.
  • Zweckmäßigerweise lassen sich mit dem Zerstäuben des Flüssigkeitsstroms 20 unter laminaren Strömungsbedingungen durch Kollidieren des Trägergasstroms 22 mit dem laminaren Flüssigkeitsstrom 20 Flüssigkeitströpfchen 28 bilden, die eine geringere mittlere Größe bei einer engeren Teilchengrößenverteilung und eine gleichförmigere Teilchendichte aufweisen, als diese mit konventionelleren Zerstäubungstechniken, bei denen Ultraschall- bzw. Fliehkraftzerstäuber oder dergleichen eingesetzt werden oder die unter turbulenten Strömungsbedingungen arbeiten, die tendenziell volumetrische Schwankungen in die Tröpfchensysteme einbringen, erreichbar sind. Diese Verfahrensweise ist besonders nützlich für die Herstellung dünner und im Wesentlichen fehlstellenfreier Beschichtungen von gleichförmiger Dicke.
  • Die Kollision zwischen den Strömen 22 und 20 kann unter den unterschiedlichsten Bedingungen erfolgen, bei denen ein wesentlicher Teil des Flüssigkeitsstroms, vorzugsweise praktisch der gesamte, weiter bevorzugt der vollständige Flüssigkeitsstrom 20 als Ergebnis der Kollision zerstäubt wird. Die Kollision der Ströme 22 und 20 wird vorzugsweise so durchgeführt, dass durch die Kollision Flüssigkeitströpfchen 28 mit einer mittleren Tröpfchengröße von weniger als 200 μm, vorzugsweise von weniger als 100 μm und weiter bevorzugt von weniger als 30 μm gebildet werden. Faktoren, bei denen die Tendenz einer Beeinträchtigung der Tröpfchengröße besteht, sind die Geometrie der Ströme 22 und 20, die Geschwindigkeiten der Ströme 22 und 20 zum Zeitpunkt der Kollision, die Beschaffenheit des Flüssiggemischs 18 und dergleichen.
  • So können beispielsweise unterschiedlichste Geometrien aufweisende Ströme 22 und 20 mit günstigen Ergebnissen erzeugt werden. Nach einer repräsentativen Lösung wie in 1a sche matisch dargestellt lassen sich die Ströme 22 und 20 so erzeugen, dass sie mit einem dazwischenliegenden Winkel von ca. 10° bis ca. 180°, vorzugsweise von 15° bis 135°, weiter bevorzugt von ca. 30° bis 60° und am meisten bevorzugt von 43° bis 47° zueinander ausgestoßen werden. Im Einzelnen weisen mit einem Winkel im bevorzugten Bereich von 15° bis 135° zur Kollision gebrachte Ströme 22 und 20 eine durch den Pfeil VL bezeichnete seitliche bzw. laterale Geschwindigkeitskomponente auf, dass die Flüssigkeitströpfchen 28 und das Trägergas 24 nach erfolgter Kollision in eine Bewegung zum Substrat hin gezwungen werden. Bei der in 1a dargestellten Ausführungsform werden der Flüssigkeitsstrom 20 und der Trägergasstrom 22 durch Ausstoßen durch die Öffnungen 25a und 25b der Düse 23 gebildet. Die Düsenöffnungen 25a und 25b können jede gewünschte Form aufweisen. So können die Ströme 22 und 20 beispielsweise über kreisrunde, elliptische, quadratische, rechteckige Öffnungen zum Ausbringen planer Ströme, zum Ausbringen hohler Ströme geeignete Öffnungen, entsprechende Kombinationen davon etc. gebildet werden.
  • Eine breite Palette zur Bildung von Kollisionsströmen in anderen Verwendungsbereichen eingesetzter vorbekannter Düsenstrukturen sind auch im Rahmen der vorliegenden Erfindung zum Erzeugen der Ströme 22 und 20 einsetzbar. Derartige Düsen sind beispielsweise in Lefebvre, A. H., Atomization and Sprays, Hemisphere Publishing Corp., U.S.A. (1989), Harari et al, Atomization and Sprays, Band 7, S. 97–113 (1997), beschrieben. Eine besonders bevorzugte und erfinderische Düsenstruktur zur Bildung kollidierender Ströme ist in 5a, 5b und 5c dargestellt und nachfolgend beschrieben. 7 zeigt eine weitere besonders bevorzugte und erfinderische Düsenstruktur, die nachfolgend ebenfalls erläutert ist.
  • Die Wahl geeigneter Geschwindigkeiten für jeden der Ströme 22 und 20 erfordert einen Abgleich miteinander konkurrierender Faktoren. Ist beispielsweise die Geschwindigkeit des Flüssigkeitsstroms 20 zum Kollisionszeitpunkt zu niedrig, so kann der Strom 20 einen für das Erreichen des Kollisionspunkts 26 nicht ausreichenden Impuls aufweisen. Andererseits kann durch eine zu hohe Geschwindigkeit der Ausstoß des Flüssigkeitsstroms 20 aus einer Düse unter laminaren Strömungsbedingungen erschwert werden. Bei zu niedriger Geschwindigkeit des Trägergasstroms 22 könnte die mittlere Größe der Tröpfchen zu groß sein, um wirksam verdampft werden bzw. eine Beschichtung 12 in der erwünschten Gleichförmigkeit herstellen zu können. Andererseits ist die Höhe der Geschwindigkeit des Trägergasstroms 22 nach Wunsch wählbar. In der Tat sind höhere Gasgeschwindigkeiten für das Zerstäuben und Verdampfen viskoserer/kontinuierlicherer Flüssiggemische besser. Oberhalb einen bestimmten Gasgeschwindigkeitsbereichs jedoch kann das Beschichten durch Substratflattern und Kondensationsineffektivität beeinträchtigt sein. Durch den Abgleich dieser Faktoren weist der Strom 20 vorzugsweise eine Geschwindigkeit von 0,1 m/s bis 30 m/s, weiter bevorzugt von 1 m/s bis 20 m/s und am meisten bevorzugt von ca. 10 m/s, und der Trägergasstrom 22 vorzugsweise eine Geschwindigkeit von 40 bis 350 m/s, weiter bevorzugt von ca. 60 bis 300 m/s und am meisten bevorzugt von ca. 180 bis 200 m/s auf.
  • Das System 10 gemäß 1a ist sehr vielseitig und zur Herstellung von Beschichtungen aus einer extrem breiten Palette von Flüssiggemischen 18 herstellbar. Es lassen sich Flüssiggemische einsetzen, mit denen wirksam Kleberschichten, Grundieraufträge, Dekorationsbeläge, harte Schutzüberzüge, Lackaufträge, Antireflexionsbeschichtungen, Reflexionsbeschichtungen, Interferenzschichten, Trennschichten, dielektrische Beschichtungen, Photolackschichten, elektrisch leitende Schichten, nichtlineare optische Beschichtungen, Elektrochrom-/Elektroluminiszenzschichten, Sperrschichten, biologisch akti ve Beschichtungen, biologisch inerte Beschichtungen und dergleichen hergestellt werden können.
  • Vorzugsweise weist das Flüssiggemisch 18 wenigstens eine Flüssigkomponente mit einem so ausreichenden Dampfdruck auf, dass es aufgrund seines Kontakts mit dem Trägergas 24 bei unter dem Siedepunkt der Komponente liegenden Temperaturen verdampft wird. Weiter bevorzugt weisen sämtliche Flüssigkomponenten des Flüssiggemischs 18 einen solchen Dampfdruck auf. Generell besitzt eine Flüssigkomponente einen zu diesem Zweck ausreichend hohen Dampfdruck, wenn im Wesentlichen die gesamte Flüssigkomponente in das Trägergas 24 eingebracht bzw. verdampft wird und dann immer noch einen resultierenden Partialdruck in dem resultierenden gasförmigen Gemisch führen, der unter dem Sättigungspunkt für dieses Gemisch liegt. In typischen Beschichtungsoperationen weisen bevorzugte Flüssigkomponenten einen Dampfdruck im Bereich von 0,13 mPa bis 13 kPa (1 × 106 Torr bis 100 Torr) bei Normaltemperatur und Normaldruck auf.
  • Soweit die Flüssigkomponenten nur den erforderlichen Dampfdruck aufweisen, können sie organisch, anorganisch, wässerig, nichtwässerig oder dergleichen sein. Hinsichtlich der Phasenbeschaffenheit kann das Flüssiggemisch 18 homogen oder ein mehrphasiges Komponentengemisch sein und in Form einer Lösung, eines Breis, eines mehrphasigen Flüssiggemischs oder dergleichen vorliegen. Zur Herstellung polymerer Beschichtungen kann das Flüssiggemisch 18 eine oder mehrere Komponenten umfassen, die monomer, oligomer oder polymer sind, wenngleich in aller Regel nur Polymere mit relativ geringem Molekulargewicht, beispielsweise solche mit einem Molekulargewicht-Zahlenmittel von weniger als 10.000, vorzugsweise weniger als ca. 7500 und weiter bevorzugt von weniger als ca. 4500, einen so ausreichenden Dampfdruck aufweisen, dass sie in der Praxis der vorliegenden Erfindung verdampft werden können. Der hier verwendete Begriff „Monomer" steht für ein einzelnes Molekül mit einer Einheit, das mit sich selbst oder anderen Monomeren zur Bildung von Oligomeren oder Polymeren kombinierbar ist. Der Begriff „Oligomer" bezeichnet eine Verbindung in Form einer Kombination aus 2 bis 10 Monomeren. Der Begriff „Polymer" gilt für eine Verbindung aus einer Kombination von 11 oder mehr Monomeren.
  • Repräsentative Beispiele für die wenigstens eine Flüssigkomponente sind chemische Spezies wie Wasser, organische Lösungsmittel, anorganische Flüssigkeiten, strahlungshärtbare Monomere und Oligomere mit Kohlenstoff-Kohlenstoff-Doppelbindungsfunktionalität (für die Alkene, (Meth)acrylate, (Meth)acrylamide, Styrole und Allylether-Stoffe als repräsentativ zu gelten haben), Fluorpolyether-Monomere, -Oligomere und -Polymere, fluorierte (Meth)acrylate, Wachse, Silicone, Silan-Haftverbesserer, Disilazane, Alkohole, Epoxydharze, Isocyanate, Carbonsäuren, Carbonsäurederivate, Ester aus Carbonsäure und einem Alkohol, Anhydride von Carbonsäuren, aromatische Verbindungen, aromatische Halogenide, Phenole, Phenolether, Chinone, polyzyklische aromatische Verbindungen, nichtaromatische heterozyklische Verbindungen, Azlactone, Furan, Pyrrol, Thiophen, Azole, Pyridin, Anilin, Chinolin, Isochinolin, Diazine, Pyrone, Pyryliumsalze, Terpene, Steroide, Alkaloide, Amine, Carbamate, Harnstoffe, Azide, Diazoverbindungen, Diazoniumsalze, Thiole, Sulfide, Sulfatester, Anhydride, Alkane, Alkylhalogenide, Ether, Alkene, Alkine, Aldehyde, Ketone, organometallische Spezies, Titanate, Zirconate, Aluminate, Sulfonsäuren, Phos- phine, Phosphoniumsalze, Phosphate, Phosphonatester, schwefelstabilisierte Carbanionen, phosphorstabilisierte Carbanionen, Kohlehydrate, Aminosäuren, Peptide, von diesen Stoffen ableitbare Reaktionsprodukte in Form von Flüssigkeiten, welche den erforderlichen Dampfdruck aufweisen oder in eine Flüssigkeit mit dem geforderten Dampfdruck umgewandelt (beispielsweise aufgeschmolzen, gelöst beispielsweise aufgeschmolzen, gelöst oder dergleichen) werden können, Kombinationen dieser Stoffe und dergleichen. Jeder dieser unter Umgebungsbedingungen festen Stoffe wie beispielsweise Paraffinwachs kann aufgeschmolzen oder in einer weiteren Flüssigkomponente gelöst werden, um nach den Grundgedanken der vorliegenden Erfindung verarbeitet werden zu können.
  • Bei einigen Ausführungsformen der Erfindung ist eine Flüssigkomponente/sind Flüssigkomponenten als Bestandteil des Flüssiggemischs 18 in der Lage, auf dem Substrat 16 im Wesentlichen infolge einer durch ihre Abkühlung bedingten Phasenänderung eine feste Beschichtung zu bilden. So wird beispielsweise eine Wachsdampfphase sich in aller Regel als Flüssigkeit auf die Substratoberfläche 14 niederschlagen, um dann beim Absinken der Beschichtungstemperatur unter den Schmelzpunkt des Wachses zu verfestigen. Als Beispiele für weitere zweckmäßige Beschichtungsstoffe mit diesem Phasenänderungsverhalten sind polyzyklische aromatische Verbindungen wie Naphthalin und Anthracen zu nennen.
  • In anderen Ausführungsformen der Erfindung kann das Flüssiggemisch 18 eine Flüssigkomponente bzw. mehrere miteinander reagierende Flüssigkomponenten zur Bildung einer Beschichtung enthalten, die ein von solche Komponenten enthaltenden Reaktanten abgeleitetes Reaktionsprodukt ist. Diese Komponenten können Monomere, Oligomere bzw. Polymere mit niedrigem Molekulargewicht sein (nachfolgend gesamtheitlich als „polymere Vorläufer" bezeichnet), so dass die Reaktion zwischen den Komponenten eine polymere Beschichtung ergibt. So kann das Flüssiggemisch 18 beispielsweise eine Polyolkomponente wie Diol bzw. Triol, ein Polyisocyanat wie Di- bzw. Triisocyanat und wahlweise einen geeigneten Katalysator enthalten (wobei alternativ die Substratoberfläche 14 mit dem Katalysator vorbehandelt werden kann, so dass die reaktiven Komponenten erst dann reagieren, wenn sie in Kontakt mit der Substratoberfläche 14 ge langen). Nach dem Auftragen könnten die Komponenten sodann miteinander reagieren und eine Polyurethanbeschichtung auf dem Substrat 16 bilden.
  • In einem weiteren Beispiel für ein mit polymeren Vorläufern arbeitenden Ansatz kann das Flüssiggemisch 18 ein oder mehrere organofunktionale Silan- bzw. Titanatmonomere enthalten. Solche Silan- und Titanatmonomere sind generell nach dem Trocknen und Erhitzen versetzbar und bilden so eine polymere siloxan- oder titanatartige Matrix. Bei der Ausführung der vorliegenden Erfindung sind eine ganze Reihe verschiedener organofunktionaler Silan- oder Titanatmonomere einsetzbar. Repräsentative Beispiele sind: Methyltrimethoxysilan, Methyltriethoxysilan, Phenyltrimethoxysilan, Phenyltriethoxysilan, (Meth)acryloxyalkyltrimethoxysilan, Isocyanatpropyltriethoxysilan, Mercaptopropyltriethoxysilan, (Meth)acryloxyalkltrichlorsilan, Phenyltrichlorsilan, Vinyltrimethoxysilan, Vinyltriethoxysilan, Propyltrimethoxysilan, Propyltriethoxysilan, Glycidoxyalkyltrimethoxysilan, Glycidoxyalkyltriethoxysilan, Glycidoxyalkyltri- chlorsilan, Perfluoralkyltrialkoxysilan, Perfluormethylalkyltrialkoxysilan, Perfluoralkyltrichlorsilan, Perfluoroctylsul- fonnamidpropylmethoxysilan, Titanisopropoxid, Isopropyldime- thacrylisostearoyltitanat, Isopropyl-tri(N-ethylendiamin)- ethyltitanat, Kombinationen dieser Stoffe und dergleichen.
  • In wieder anderen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung kann das Flüssiggemisch 18 wenigstens eine polymere Vorläuferkomponente enthalten, die in der Lage ist, eine härtbare flüssige Beschichtung auf dem Substrat 16 herzustellen, wobei die Komponente(n) eine Strahlungsvernetzungsfunktionalität aufweist/aufweisen dergestalt, dass die flüssige Beschichtung unter Einwirkung von Härtestrahlungsenergie erhärten und verfestigen (d.h. polymerisieren bzw. vernetzen) kann. Als repräsentative Beispiele für die Strahlungshärteenergie wären hier die elektromagnetische Energie (beispielsweise Infrarot- und Mikrowellenenergie, sichtbares Licht, UV-Licht und dergleichen), beschleunigte Teilchen (zum Beispiel Elektronenstrahlenergie) bzw. Energie aus elektrischen Entladungen (beispielsweise Korona-, Plasma-, Glüh- oder Dunkelentladungen) zu nennen.
  • Was die praktische Anwendung der vorliegenden Erfindung anbetrifft, so bezieht sich die Strahlungsvernetzungsfunktonalität auf direkt oder indirekt von einem monomeren, oligomeren oder polymeren Grundgerüst (wie es im Einzelnen der Fall sein kann) abhängige funktionelle Gruppen, die unter der Einwirkung von Strahlungshärtenergie aus einer entsprechenden Quelle an Vernetzungs- bzw. Polymerisierungsreaktionen teilnehmen. Diese Funktionalität schließt allgemein nicht nur solche Gruppen ein, die unter dem Einfluss der Strahlung über einen kationischen Mechanismus vernetzen, sondern auch solche, bei denen die Vernetzung über einen radika-lischen Mechanismus erfolgt. Zu den repräsentativen Beispielen für im Rahmen der vorliegenden Erfindung einsetzbare strahlungsvernetzbare Gruppen zählen die Epoxydgruppen, die (Meth)- acrylatgruppen, die olefinischen Kohlenstoff-Kohlenstoff-Dop- pelbindungen, die Allylethergruppen, die Styrolgruppen, die (Meth)acrylamidgruppen, sowie deren Kombinationen und dergleichen.
  • Die bevorzugten radikalisch härtbaren Monomere, Oligomere bzw. Polymere besitzen jeweils eine bzw. mehrere polymerisierbare Kohlenstoff-Kohlenstoff-Doppelbindung(en), so dass die mittlere Funktionalität dieser Stoffe wenigstens eine radikalische Kohlenstoff-Kohlenstoff-Doppelbindung aufweist. Stoffe mit derartigen Einheiten sind über diese Kohlenstoff-Kohlenstoff-Doppelbindungsfunktionalität miteinander copolymerisierbar bzw. vernetzbar. Zur Durchführung der vorliegenden Erfindung geeignete radikalisch härtbare Monomere sind vorzugsweise aus einem oder mehreren mono-, di-, tri und tetra funktionalen radikalisch härtbaren Monomeren zu wählen. Je nach den für die fertige Beschichtung geforderten Eigenschaften sind verschiedene Anteile an mono-, di-, tri- und tetrafunktionalen radikalisch härtbaren Monomeren im Rahmen der vorliegenden Erfindung einsetzbar. Zur Herstellung beispielsweise von Beschichtungen mit höherer Abrieb- und Stoßfestigkeit sollte die Zusammensetzung ein oder mehrere polyfunktionelle radikalisch härtbare Monomere, und zwar vorzugsweise wenigstens sowohl di- als auch trifunktionale radikalisch härtbare Monomere, aufweisen, damit diese im Gemisch enthaltenen radikalisch härtbaren Monomere eine mittlere radikalisch härtende Funktionalität pro Molekül von mehr als 1 haben.
  • Bevorzugte erfindungsgemäße Zusammensetzungen bzw. Gemische können 1 bis 100 Gewichtsteile monofunktionale, 0 bis 75 Gewichtsteile difunktionale, 0 bis 0,75 trifunktionale und 0 bis 75 Gewichtsteile tetrafunktionale radikalisch härtbare Monomere enthalten unter der Voraussetzung, dass die radikalisch härtbaren Monomere eine mittlere Funktionalität von 1 oder darüber, vorzugsweise von 1,1 bis 4 und weiter bevorzugt von 1,5 bis 3 aufweisen.
  • Eine für die Durchführung der vorliegenden Erfindung geeignete repräsentative Klasse monofunktionaler radikalisch härtbarer Monomere beinhaltet Verbindungen, bei denen eine Kohlenstoff-Kohlenstoff-Doppelbindung direkt oder indirekt mit einem aromatischen Ring verkettet ist. Als Beispiele für diese Verbindungen wären zu nennen: Styrol, alkyliertes Styrol, Alkoxystyrol, halogenierte Styrole, radikalisch härtbares Naphthalin, Vinylnaphthalin, alkyliertes Vinylnaphthalin, Alkoyvinylnaphthalin sowie Kombinationen dieser Stoffe und dergleichen. Eine weitere repräsentative Klasse monofunktionaler radikalisch härtbarer Monomere enthält Verbindungen, bei denen eine Kohlenstoff-Kohlenstoff-Doppelbindung mit einem zykloaliphatischen, heterozyklischen bzw. aliphatischen Anteil wie 5-Vinyl-2-norbornen, 4-Vinylpyridin, 2-Vinylpyridin, 1-Vinyl-2-pyrrolidinon, 1-Vinylcaprolactam, 1-Vinylimidazol, N-Vinylformamid und dergleichen angebunden ist.
  • Eine weitere repräsentative Klasse solcher monofunktionaler radikalisch härtbarer Monomere enthalten (meth)accrylatfunktionale Monomere mit Anteilen nach der Formel:
    Figure 00200001
    wobei R eine einwertige Einheit wie Wasserstoff, Halogen, Methyl oder dergleichen ist. Repräsentative Beispiele für solche Einheiten enthaltende Monomere sind: (Meth)acrylamide, Chlor(meth)acrylamid, sowie lineare, verzweigte oder zykloaliphatische Ester der (Meth)acrylsäure mit 1 bis 10, vorzugsweise 1–8, Kohlenstoffatomen wie Methyl(meth)acrylat, n-Butyl(meth)acrylat, t-Butyl(meth)acrylat, Ethyl(meth)acrylat, Isopropyl(meth)acrylat, 2-Ethylhexyl(meth)acrylat und Isooctylacrylat; Vinylester von Alkansäuren, wobei die Alkyleinheit der Alkansäuren 2 bis 10, vorzugsweise 2 bis 4, Kohlenstoffatome enthält und linear, verzweigt oder zyklisch sein kann; Isobornyl(meth)acrylat; Vinylacetat; Allyl(meth)acrylat und dergleichen.
  • Solche (Meth)acrylat-funktionalen Monomere können auch eine andere Art von Funktionalität wie beispielsweise eine Hydroxyl-, Nitril-, Epoxyd-, Carboxyl-, Thiol-, Amin-, Isocyanat-, Sulfonyl-, Perfluor-, Sulfonamid- bzw. Phenylfunktionalität sowie Kombinationen derselben etc. aufweisen. Repräsentative Beispiele für solche radikalisch härtbare Verbindungen sind: Glycidyl(meth)acrylat, (Meth)acrylnitril, β-Cyanethyl(meth)acrylat, 2-Cyanethoxyethyl(meth)acrylat, p-Cyanstyrol, p-(Cyanmethyl)styrol, ein Ester einer α,β-ungesättigten Carbonsäure mit einem Diol, beispielsweise 2-Hydroxyethyl(meth)acrylat bzw. 2-Hydroxypropyl(meth)acrylat; 1,3-Dihydroxypropyl-2-(meth)acrylat; 2,3-Dihydroxypropyl-1-(meth)acrylat; ein Addukt einer α,β-ungesättigten Carbonsäure mit Caprolacton; ein Alkanolvinylether wie 2-Hydroxyethylvinylether; 4-Vinylben- zylalkohol; Allylalkohol; p-Methylolstyrol; N,N-Dimethylamin-(meth)acrylat; (Meth)acrylsäure; Maleinsäure; Maleinsäureanhydrid; Trifluorethyl(meth)acrylat; Tetrafluorpropyl(meth)acry- lat; Hexafluorbutyl(meth)acrylat; Butylperfluoroctylsulfonamidethyl(meth)acrylat; Ethylperfluoroctylsulfonamidethyl(meth)-acrylat sowie Gemische dieser Stoffe und dergleichen.
  • Eine für die Ausführung der vorliegenden Erfindung geeignete weitere Klasse monofunktionaler radikalisch härtbarer Monomere weist ein oder mehrere N,N-disubstituierte (Meth)acrylamide auf. Der Einsatz eines N,N-disubstituierten (Meth)acrylamids bietet zahlreiche Vorteile: so lassen sich beispielsweise bei Verwendung eines N,N-disubstituierten (Meth)acrylamids antistatische Beschichtungen herstellen, die eine verbesserte Haftung auf Polycarbonatsubstraten ausweisen. Weiter können unter Verwendung dieser Art von Monomer Beschichtungen mit verbesserter Wetterfestigkeit und Zähigkeit hergestellt werden. Vorzugsweise hat das N,N-disubstituierte (Meth)acrylamid ein Molekulargewicht im Bereich von 99 bis ca. 500, vorzugsweise ca. 99 bis ca. 200.
  • N,N-disubstituierte (Meth)acrylamid-Monomere entsprechen generell der folgenden Formel:
    Figure 00220001
    wobei R1 und R2 jeweils unabhängig voneinander ein Wasserstoffatom, eine (C1-C8)Alkylgruppe (linear, verzweigt oder zyklisch) mit wahlweise Hydroxy-, Halogenid-, Carbonyl- und Amido-Funktionalität, eine (C1-C8)-Alkylengruppe mit wahlweise Carbonyl- und Amido-Funktio-nalität, eine (C1-C4)Alkoxymethylgruppe, eine (C4-C10)Arylgruppe, eine (C1-C3)Alk(C4-C10)arylgruppe oder eine (C4-C10)Heteroarylgruppe sind, unter der Voraussetzung, dass nur einer der Reste R1 oder R2 ein Wasserstoffatom bedeutet, und R3 ein Wasserstoffatom, eine Halogen- oder Methylgruppe sind. Vorzugsweise ist R1 eine (C1-C4)Alkylgruppe, R2 eine (C1-C4)Alkylgruppe und R3 ein Wasserstoffatom oder eine Methylgruppe. R1 und R2 können gleich oder unterschiedlich sein. Weiter bevorzugt sind R1 und R2 CH3 und R3 ein Wasserstoffatom.
  • Beispiele für solche geeigneten (Meth)acrylamide sind: N-tert-Butylacrylamid, N,N-Dimethylacrylamid, N,N-Diethylacrylamid, N-(5,5-Dimethylhexyl)acrylamid, N-(1,1-Dimethyl-3-oxobutyl)-acrylamid, N-(Hydroxymethyl)acrylamid, N-(Isobutoxymethyl)-acrylamid, N-Isoproylacrylamid, N-Methylacrylamid, N-Ethyl-acrylamid, N-Metyhl-N-ethylacrylamid und N,N'-Methylenbisacrylamid. Ein besonders bevorzugtes (Meth)acrylamid ist N,N-Dimethyl(meth)acrylamid.
  • Zu den weiteren Beispielen radikalisch härtbarer Monomere gehören die Alkene wie die Ethen-, 1-Propen-, 1-Buten-, 2-Buten(cis oder trans)-Verbindungen mit einer Allyloxyeinheit und dergleichen.
  • Zusätzlich bzw. alternativ zu den monofunktionalen radikalisch härtbaren Monomeren sind im Rahmen der vorliegenden Erfindung auch alle multifunktionalen radikalisch härtbaren Mo nomere, die vorzugsweise eine Di-, Tri- bzw. Tetra-Radikalhärte-funktionalität aufweisen, einsetzbar. Solche multifunktionalen (Meth)acrylat-Verbindungen sind von einer Reihe von Lieferfirmen beziehbar. Alternativ lassen sich diese Verbindungen im Wege einer Reihe verschiedener und bestens bekannter Reaktionsmuster herstellen. So wird nach einem dieser Verfahren eine (Meth)acrylsäure oder ein Acrylhalogenid etc. mit einem Polyol mit wenigstens zwei, vorzugsweise zwei bis vier, Hydroxylgruppen zur Reaktion gebracht. Dieser Ablauf ist mit dem nachstehenden Reaktionsschema beschreibbar, das aus Gründen der Darstellung die Reaktion zwischen einer Acrylsäure und einem Triol zeigt:
  • Figure 00230001
  • Nach diesem vorstehenden Reaktionsschema fällt ein trifunktionales Acrylat an. Zur Herstellung von di- oder tetrafunktionalen Verbindungen können anstelle des Triols entsprechende Diole und Tetrole eingesetzt werden.
  • Nach einem weiteren Verfahren wird eine hydroxy- oder amin-funktionale (Meth)acrylat-Verbindung oder dergleichen mit einem Polyisocyanat, einem Isocyanurat oder dergleichen mit 2 bis 4 NCO-Gruppen oder dem Äquivalent zur Reaktion gebracht. Dieses Verfahren wird durch das nachstehende Reaktionsschema dargestellt, das aus Gründen der Veranschaulichung eine Reaktion zwischen einem Hydroxyethylacrylat und einem Diisocyanat zeigt.
    Figure 00240001
    wobei jedes W die Bedeutung
    Figure 00240002
    hat.
  • Dieses vorstehende Reaktionsschema ergibt ein difunktionales (Meth)acrylat. Zur Herstellung von tri- oder tetrafunktionalen Verbindungen könnten anstelle von Diisocyanat entsprechende tri- oder tetrafunktionale Isocyanate verwendet werden.
  • Eine weitere bevorzugte Klasse multifunktionaler (Meth)acryl-funktionaler Verbindungen beinhaltet ein oder mehrere multifunktionale, ethylenisch-ungesättigte Ester der (Meth)acrylsäure wie durch die nachstehende Formel dargestellt:
    Figure 00240003
    wobei R4 Wasserstoff, Halogen oder eine (C1-C4)Alkylgruppe und R5 eine mehrwertige organische Gruppe mit m Wertigkeiten ist und zyklisch, verzweigt oder linear, aliphatisch, aromatisch oder heterozyklisch sein sowie Kohlenstoff-, Wasserstoff-, Stickstoff-, nicht-peroxidische Sauerstoff-, Schwefel- oder Phosphoratome aufweisen kann und wobei m eine die Anzahl der Acryl- oder Methacrylgruppen im Ester bezeichnende Ganzzahl ist und den Wert 2 bis 4 hat. Vorzugsweise ist R4 Wasserstoff, Methyl oder Ethyl, weist R5 ein Molekulargewicht von ca. 14–100 auf und hat m den Wert 2–4. Wird ein Gemisch aus multifunktionalen Acrylaten bzw. Methacrylaten verwendet, so hat m vorzugsweise einen mittleren Wert von ca. 1,05 bis 3.
  • Spezifische Beispiele für geeignete multifunktionale ethylenisch-ungesättigte Ester der (Meth)acrylsäure sind die Polyacrylsäure- oder Polymethacrylsäureester polyhydrischer Alkohole, darunter beispielsweise die Diacrylsäure- und die Dimethylacrylsäureester aliphatischer Diole wie Ethylenglycol, Triethylenglycol, 2,2-Dimethyl-1,3-propandiol, 1,3-Cyclopentandiol, 1-Ethoxy-2,3-propandiol, 2-Methyl-2,4-pentandiol, 1,4 -Cyclohexandiol, 1,6-Hexandiol, 1,2-Cyclohexandiol, 1,6-Cyclohexandimethanol, Hexafluordecandiol, Octafluorhexandiol, Perfluorpolyetherdiol; die Triacrylsäure- und Trimethacrylsäure- ester aliphatischer Triole wie Glycerin, 1,2,3-Propantrime-thanol, 1,2,4-Butantriol, 1,2,5-Pentantriol, 1,3,6-Hexantriol und 1,5,10-Decantriol; die Triacrylsäure- und Trimethacrylsäureester von Tris(hydroxyethyl)isocyanurat; die Tetraacrylsäure- und Tetramethacrylsäureester aliphatischer Triole wie 1,2, 3,4-Butantetrol, 1,1,2,2-Tetramethylolethan und 1,1,3,3-Te-tramethylolpropan; die Draxcrylsäure- und Dimethacrylsäurester aromatischer Diole wie Pyrocatechin und Bisphenol A, Gemische dieser Stoffe etc.
  • Unter weiterer Bezugnahme auf 1a kann das Trägergas 24 jedes Gas bzw. jede Kombination von Gasen sein, die je nach Wunsch gegenüber dem gesamten Flüssiggemisch 18 oder einem Teil dieses Gemischs inert oder reaktiv sind. In vielen Anwendungen wird jedoch bevorzugt, dass das Trägergas 24 gegenüber sämtlichen Komponenten des Flüssiggemischs 18 inert ist. Besonders in dem Falle, wo das Flüssiggemisch 18 eine organische Flüssigkeit umfasst, sollte das Trägergas 24 vorzugsweise kein oxidierendes Gas wie Sauerstoff enthalten. Repräsentative Bei spiele für inerte Gase sind Stickstoff, Helium, Argon, Kohlendioxyd, Kombinationen dieser Stoffe und dergleichen. Bei Flüssiggemischen 18, für die eine Oxidation keine Bedeutung hat, ist auf Wunsch normale Umgebungsluft als Trägergas einsetzbar.
  • Nach dem Zerstäuben werden die Flüssigkeitströpfchen 28 verdampft und im Trägergas 24 in Form eines schematisch unter der Bezugsziffer 30 dargestellten nicht Licht zerstreuenden Dampfes dispergiert. Der Dampf 30 ist vorzugsweise ein echter Dampf, kann jedoch auch eine dispergierte Phase sein, in welcher die dispergierten Tröpfchen zu klein sind, d.h. beispielsweise eine mittlere Größe von weniger als ca. 30 nm aufweisen, um sichtbares Licht oder Laserlicht mit einer Wellenlänge von 630 nm bis 670 nm zu streuen. Damit ist der Dampf 30 in Wirklichkeit nicht sichtbar, obgleich in 1a der Dampf 30 als eine Vielzahl von Tröpfchen wiedergegeben ist.
  • Tatsächlich weist das Unsichtbarwerden der flüssigen Tröpfchen 28 nach erfolgter Kollision der Ströme 22 und 20 über die Distanz d hinweg darauf hin, dass die Kollision unter für das Verdampfen im Wesentlich des gesamten Flüssiggemischs 18 wirksamen Bedingungen stattgefunden hat. Die tatsächliche Distanz d, über die hinweg das Verdampfen der zerstäubten Tröpfchen 28 beendet wird, wird abhängig von einer Reihe von Faktoren variieren, darunter von der Beschaffenheit des Flüssiggemischs 18 und des Trägergases 24, den jeweiligen Temperaturen des Flüssiggemischs 18 und des Trägergases 24, den Geschwindigkeiten der Ströme 22 und 20 zum Zeitpunkt der Kollision, der Temperatur der Kammer 17, in der die Zerstäubung und Verdampfung stattfinden, und dergleichen. In aller Regel liegt d im Bereich zwischen 2 cm und 20 cm für den Umfang der in den nachfolgenden Beispielen beschriebenen Einrichtungen. Entsprechend weist die Kammer 17, falls vorgesehen, normalerweise eine Länge auf, die zumindest der Distanz d entspricht, damit eine breite Palette von Beschichtungsstoffen verarbeitet werden kann.
  • Die Kammer 17 ist nicht erforderlich, trägt jedoch zu einer wirksameren Förderung des Dampfes zum Substrat 16 und zur Erzielung einer für einen verbesserten Beschichtungsablauf erforderlichen Geometrie des Dampfes 30 bei. Soweit verwendet, könnte die Kammer 17 über eine Länge linear verlaufen, die der Distanz von der Zerstäubungszone bis zu dem Bereich entspricht, in dem der Dampf 30 das Substrat 16 kontaktiert, dies ist jedoch nicht unbedingt erforderlich. Tatsache ist, dass der Dampf 30 selbst dann noch die Tendenz hat, zum Substrat 16 zu strömen, wenn die Kammer 17 eine Reihe von Verdrehungen und Windungen aufweisen würde. So zeigt die 3 beispielsweise Dampftransportrohre mit geraden Kammern, während in 4 dagegen eine Kammer mit einer 90°-Windung dargestellt ist.
  • Solange genügend Trägergas 24 mit über dem Kondensationspunkt des Dampfes 30 liegender Temperatur, die in aller Regel klar unter dem Siedepunkt der zu verdampfenden Flüssigkomponenten liegt, eingesetzt wird, kann der Dampf 30 in Vermischung mit dem Trägergas 24 als echte Dampfphase vorhanden sein. Höhere Temperaturen, beispielsweise am Siedepunkt der Flüssigkomponenten oder oberhalb desselben liegende Temperaturen, sind für das Erzielen und die Aufrechterhaltung des Verdampfungsprozesses nicht erforderlich, weil der Kontakt zwischen Trägergas 24 und Flüssiggemisch unter Bedingungen durchgeführt wird, bei denen der Teildruck des Dampfes 30 unter dem Dampfsättigungsdruck liegt. Diese Fähigkeit des Verdampfens von Komponenten, ohne Zuflucht zu höheren Temperaturen nehmen zu müssen, ist besonders vorteilhaft beim Einsatz eines Flüssiggemischs 18, in dem eine oder mehrere der Komponenten bei hohen Temperaturen beschädigt oder anderweitig beeinträchtigt werden könnte(n).
  • Falls die Komponenten des Flüssiggemischs 18 keine Beeinträchtigung durch hohe Temperaturen erfährt, könnte das Trägergas 24 mit oberhalb des Siedepunkts der Flüssigkomponente(n) liegenden Temperaturen zugeführt werden. Tatsächlich kann die Wahl solch hoher Temperaturen bei gewissen Anwendungen von Vorteil sein. Weil die Wärmeenergie für das Verdampfen aus dem Trägergas 24 kommt, können beispielsweise höhere Gastemperaturen erforderlich bzw. erwünscht sein, damit genügend Wärmeenergie zugeführt wird, um gewisse Flüssigkeiten, insbesondere bei höheren Strömungsgeschwindigkeiten derselben, zu verdampfen. In derartigen Fällen kann das resultierende Gemisch aus Trägergas 24 und Dampf 30 in Abhängigkeit von Faktoren wie der Anfangstemperatur des Trägergases 24, der Anfangstemperatur des Flüssiggemischs 18 und den relativen Strömungsgeschwindigkeiten der beiden Materialien eine über oder unter dem Siedepunkt einer oder mehrerer der Dampfkomponenten liegende Temperatur aufweisen.
  • Damit hat der Dampf 30 eine Kondensationstemperatur, oberhalb welcher der gesamte Dampf 30 die Tendenz hat, in der Dampfphase zu verbleiben. Andererseits besteht unterhalb der Kondensationstemperatur beim Dampf 30 die Tendenz, in eine Flüssigphase zu kondensieren. Dementsprechend wird der Strom 22 aus Trägergas 24 vorzugsweise der Kammer 17 mit einer über dem Kondensationspunkt des Dampfes 30 liegenden Temperatur zugeführt. Vorzugsweise wird das Trägergas 24 auf eine höhere Temperatur erhitzt, die über dem Kondensationspunkt, aber dennoch trotzdem unter dem Siedepunkt wenigstens einer der Komponenten und weiter bevorzugt unter dem Siedepunkt einer jeden der Flüssigkomponenten des Flüssiggemischs 18 liegt.
  • Aus dieser Erörterung ergibt sich, dass, würde das Gemisch aus Trägergas 24 und Dampf 30 unter die Kondensationstemperatur fallen, bevor der Dampf 30 das Substrat 14 erreicht, wenigstens Teile des Dampfes 30 vorzeitig kondensieren könnten.
  • Um dies zu verhindern, ist die Kammer 17 vorzugsweise aufheizbar, um das Gasgemisch auf einer über der Dampfkondensationstemperatur liegenden Temperatur zu halten. Wärme kann der Kammer 17 in jeder erwünschten Art und Weise zugeführt werden. So könnte beispielsweise der Inhalt der Kammer mit Infrarot-, Mikrowellen-, Hochfrequenz- oder Laserenergie bestrahlt werden. Weiter könnten beispielsweise die Wände 19 der Kammer 17 über eine elektrische Heizspule oder einen Heizmantel, in dem heißes Gas bzw. heiße Flüssigkeit, zum Beispiel Dampf, um Wände 19 oder in diesen Wänden zirkuliert wird, geheizt werden.
  • Das Gemisch aus Trägergas 24 und Dampf 30 strömt zur Oberfläche 14 des Substrats 16, die auf eine Temperatur unter der Kondensationstemperatur des Dampfes 30 gekühlt wird. Dies hat zur Folge, dass der Dampf 30 auf der Oberfläche 14 kondensiert und eine dünne und im Wesentlichen gleichförmige Beschichtung 12 bildet. Die Kühlung des Substrats 16 kann mittels einer geeigneten Kühleinrichtung erfolgen. Der Darstellung entsprechend wird das Substrat 16 dadurch gekühlt, dass es in thermischen Kontakt mit einer gekühlten Auflage 32 gebracht wird. Der Einsatz der Auflage 32 ist besonders deswegen vorteilhaft, weil Kühleffekte primär auf das Substrat 16 und nicht auf andere Teile des Systems 10 wie das Gemisch aus Trägergas 24 und Dampf 30 thermisch übertragen werden. Auf diese Weise wird die vor dem Erreichen des Substrats 16 kondensierende Menge des Dampfes 30 minimiert. Die Auflage 32 kann unter Verwendung jeder erwünschten Kühltechnik gekühlt werden. Wie ersichtlich, wird die Auflage 32 durch Zirkulieren eines geeigneten Kühlmediums wie gekühlten Wassers oder dergleichen aus einer Kühlmittelzufuhrleitung 34 durch die Auflage 32 gekühlt. Über eine Ablauflaufleitung 36 wird das Kühlmedium aus der Auflage 32 abgezogen.
  • Für das Beschichten gemäß der vorliegenden Erfindung geeignete Substrate sind aus vielen unterschiedlichen Materia lien und in einer Vielzahl von Formen herstellbar. Hinsichtlich des Materials können die Substrate aus Metall, Holz, Stoff, Polymeren, Keramik, Papier, Mineral, Glas, Verbundstoffen usw. bestehen. Hinsichtlich ihrer Form können die Substrate eben, gekrümmt, gewellt, verdrallt, mikrostrukturiert, glatt, rau, porös, partikulär, faserig, hohl, dreidimensional, mit regelmäßiger oder unregelmäßiger Oberfläche etc. ausgebildet sein. Die Verfahrensweisen für die Anordnung der Substrate nahe dem erfindungsgemäßen Dampfstrom sind von der jeweils gewünschten Art der Beschichtung und des Substrats abhängig. Zu den geeigneten Verfahren gehören beispielsweise Fördertechniken für flexible bahnartige Substrate und Fasermaterialien, Vibrations- oder Suspensionstechniken für partikuläre Substrate sowie der Einsatz beweglicher Quellen für Dampf oder ein bewegliches Substrat im Falle dreidimensionaler Substrate.
  • In der Ausführungsform gemäß 1a findet während der Beschichtung keine Bewegung des Substrats 16 und der Auflage 32 statt. Damit ist diese Ausführungsform nach 1a zur Durchführung von diskontinuierlichen Beschichtungsprozessen geeignet. Wahlweise könnten die Beschichtungsoperationen jedoch auch stationär durchgeführt werden. So zeigen 3 und 4 beispielsweise Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung, bei denen große Längen eines beweglichen Substrats stationär beschichtet werden.
  • Vorteilhafterweise lässt sich die vorliegende Erfindung zum Herstellen von Aufträgen wie der Beschichtung 12 in vielen unterschiedlichen Dicken einsetzen. In bevorzugten Ausführungsformen lassen sich Beschichtungen mit einer gleichförmigen Dicke im Bereich zwischen 0,01 μm und 5 μm problemlos in einem einzigen Durchgang herstellen. Dickere Filme oder Mehrschichtfilme aus unterschiedlichen Stoffen sind dadurch herstellbar, dass das Substrat 16 in mehreren Beschichtungsgängen oder durch Aufbringen mehrerer Aufträge in einem einzigen Durchgang beschichtet wird. Vorteilhafterweise können erfindungsgemäß auch im Wesentlichen nadellochfreie Beschichtungen erzielt werden. Auch wird angenommen, dass beim gleichzeitigen Abscheiden separater Dämpfe bzw. Dampfgemische bei den Beschichtungen keine Phasentrennungen feststellbar sind.
  • Nach anfänglichem Ausbilden der Beschichtung 12 durch Abscheiden von Dampf 30 auf die Oberfläche 12 kann die Beschichtung 12 je nach ihrer gewünschten Beschaffenheit wahlweise auch weiteren Verarbeitungen zugeführt werden. Besteht eine Beschichtung 12 beispielsweise aus Komponenten, die erhärten oder vernetzen und verfestigen können, wenn sie einer härtenden Strahlungsenergie ausgesetzt werden, so kann die Beschichtung 12 zu ihrer Aushärtung mit einer geeigneten Dosis härtender Strahlungsenergie bestrahlt werden. Bei Beschichtungen aus Bestandteilen, die nach einem Erhitzen thermisch aushärten und verfestigen, kann die Beschichtung 12 unter das Aushärten bewirkenden passenden Bedingungen erhitzt werden. Im Falle einer Beschichtung 12 aus Bestandteilen, die sich aufgrund einer Phasenveränderung bei weiterer Abkühlung verfestigen, kann die Beschichtung 12 auf eine Temperatur abgekühlt werden, bei welcher die Verfestigung ihrer Bestandteile erfolgt. Überschüssiges Trägergas 24 und überschüssiger Dampf 30, die in 1a gesamtheitlich als Abgas 39 dargestellt sind, können über eine Auslassöffnung 38 aus der Kammer 17 abgeführt werden.
  • Gemäß 1a wird die Zerstäubung durch Kollidieren des Stroms 22 mit dem Strom 20 bewirkt, wobei die Kollisionsenergie das Flüssiggemisch 18 in einen Nebel 18 aus feinen Flüssigkeitströpfchen 28 aufbricht. Die Kollisionszerstäubung unter laminaren Strömungsbedingungen ist deswegen von Vorteil, weil das Flüssiggemisch 18 weich und ohne Stöße, die zu Änderungen in der Konzentration der Tröpfchen und im weiteren Verlauf des Dampfes führen könnten, verdampft wird. Die Zerstäubung könnte auch mit anderen Mitteln erfolgen, wenngleich bei diesen die Tendenz besteht, dass sie eine Stoßcharakteristik in der Zerstäubung entwickeln. So könnte die Zerstäubung des Flüssiggemischs 18 unter Einsatz einer konventionellen Zerstäubereinrichtung erfolgen, die zerstäubte Flüssigkeitströpfchen 28 in ein Trägergas auswirft oder sprüht, so dass die Tröpfchen 28 verdampfen können. Zu solchen anderen Zerstäubungsverfahren gehören die Ultraschall- oder Fliehkraftzerstäubung etc. Dies ist schematisch in 1b dargestellt. 1b ist allgemein ähnlich der 1a mit der Ausnahme, dass der Flüssigkeitsstrom 20 mittels eines Zerstäuberelements 21 statt durch Stromkollision zerstäubt wird. Eine breite Palette zur Verwendung als Zerstäuberelement 21 geeigneter repräsentativer Zerstäubungsstrukturen ist in Lefebvre, A. H., Atomization and Sprays, Hemisphere Publishing Corp., U.S.A. (1989); Harari et al, Atomization and Sprays, Band 7, Seite 97–113 (1997) beschrieben.
  • Als weitere Alternative können der Flüssigkeitsstrom 20 und der Gasstrom 22 zunächst vorvermischt werden, wonach das Flüssiggemisch 18 mittels konventioneller Zerstäubereinrichtungen zerstäubt wird. Auf diese Weise gelangen die resultierenden zerstäubten Tröpfchen 28 zum Zeitpunkt der Zerstäubung zu einer innigen Vermischung mit dem Trägergas 24. Vorteilhafterweise wird im Falle des Vorvermischens von Flüssigkeitsstrom 20 und Trägergasstrom 24 weniger Trägergas 24 gebraucht als bei der Kollisionslösung gemäß 1a. Durch Kollision gebildete Tröpfchen 28 neigen jedoch dazu, kleiner zu sein und schneller zu verdampfen als im Wege des Vorvermischungsverfahrens erzeugte Tröpfchen 28. Als weitere Alternative lässt sich die Zerstäubung durch Kollidieren von zwei oder mehr Strömen aus Flüssiggemisch 18 ausführen, dergestalt, dass die resultierenden zerstäubten Tröpfchen 28 mit Trägergas 24 kontaktiert werden können.
  • 2a ist ein Flussdiagramm einer bevorzugten Betriebsart 100 des Systems 10 aus 1a. Eine Betrachtung der Betriebsart 100 anhand dieses Flussdiagramms ist besonders hilfreich für das Verständnis der alternativen Betriebsart 100' der vorliegenden Erfindung, die in Form eines Flussdiagramms in 2b dargestellt ist. Wie zunächst aus 2a ersichtlich, werden der Strom 102 aus Flüssiggemisch 104 und der Strom 106 aus Trägergas 108 in Schritt 110 unter die Zerstäubung sowie Verdampfung des Flüssiggemischs 104 zu einem das Trägergas 108 und das verdampfte Flüssiggemisch enthaltenden Gasgemisch bewirkenden Bedingungen zerstäubt und verdampft. In Schritt 112 strömt der Dampf zur Oberfläche des gekühlten Substrats, wo sich der Dampf als eine Flüssigkeit niederschlägt und in Schritt 114 eine Beschichtung auf dem Substrat bildet. In Schritt 116 wird die Beschichtung einer wahlweisen Nachkondensationsbehandlung unterzogen.
  • Die Betriebsart 100 lässt sich auf einfache Weise für die Verarbeitung von Flüssiggemischen 104, die abgeleitet sind aus bzw. eine oder mehrere Komponente umfassen, die unter Umgebungsbedingungen normalerweise fest sind, anpassen. So kann ein zur Bildung einer verdampfbaren Flüssigkeit leicht schmelzender Stoff, beispielsweise Wachs, geschmolzen und sodann in geschmolzener Form in das Flüssiggemisch 104 eingebracht werden. Andere Feststoffe weisen Löslichkeitseigenschaften auf, die in Kombination mit einer anderen Flüssigkomponente des Flüssiggemischs 104 eine einfache Lösung gestatten. So sind beispielsweise viele feste Photoinitiatoren in Fluids mit strahlungshärtbaren Monomeren löslich, deren Polymerisation durch das Vorhandensein eines Photoinitiators auf vorteilhafte Weise vereinfacht wird. Andere Feststoffe sind in Form feiner Teilchen lieferbar, die beim Kontakt mit dem Trägergas 108 entweder schmelzen oder klein genug sind, um mit dem Beschichtungsdampf an die Beschichtungszone verbracht zu werden.
  • 2b zeigt eine alternative Betriebsart 100', die generell der Betriebsart 100 gemäß 2a entspricht mit der Ausnahme, dass in dieser Betriebsart 100' mehrere Flüssigkeitsströme 102a', 102b' usw. mit einer entsprechenden Zahl von Trägergasströmen 106a', 106b' etc. so vereinigt werden können, dass die Flüssigströme 102a', 102b' usw. wirksam zerstäubt und verdampft werden. Diese Dampfbildung kann im Wesentlichen gleichzeitig in der gleichen Kammer zur Erzeugung von Mischdämpfen erfolgen. Die gleichzeitige Dampfbildung wird besonders bevorzugt für die Herstellung homogener Beschichtungen aus Flüssigkeiten, die normalerweise miteinander unmischbar sind. Alternativ kann die Dampfbildung sequenziell in der gleichen Kammer erfolgen, so dass mehrlagige Beschichtungen hergestellt werden können. Als weitere Alternative ist die Dampfbildung in separaten Kammern möglich, wonach die Dämpfe gleichzeitig aus diesen separaten Kammern auf ein Substrat gesprüht werden. Das gleichzeitige Aussprühen von Dämpfen aus separaten Kammern wird zur Herstellung von Beschichtungen aus miteinander reaktionsfähigen Dämpfen bevorzugt.
  • 3 zeigt eine besondere Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Vorrichtung 200, die zum Ausbilden einer Beschichtung (aus Gründen der Übersichtlichkeit nicht dargestellt) auf einem flexiblen Bahnmaterial 204 nützlich ist, das sich von einer Vorratsrolle 208 aus über eine gekühlte Auflage 206 zu einer Aufwickelwalze 210 bewegt. Generell sind Beschichtungsoperationen beim Transport des flexiblen Bahnmaterials 204 mit jeder gewünschten Geschwindigkeit innerhalb eines weiten Geschwindigkeitsbereichs durchführbar. So kann beispielsweise das flexible Bahnmaterial 204 mit einer Geschwindigkeit im Bereich von ca. 1 cm/s bis 1000 cm/s gefahren werden. Das flexible Bahnmaterial 204 ist aus einer Reihe verschiedener flexibler Materialien, darunter Polymere, Papier, Fasermaterial und Stoff aus Natur- oder Kunstfasern, Metalle, Keramikverbindungen und dergleichen herstellbar. Führungsrollen 212 tragen mit dazu bei, das flexible Bahnmaterial 204 über die Oberfläche 214 der Auflage 206 zu leiten. Die Auflage 206 wird durch ein Kühlmedium gekühlt, das über eine Zuleitung 216 in die Auflage 206 eintritt und über eine Abflussleitung 218 ausgetragen wird. Die Kühlwirkung des Kühlmediums wird in thermischem Kontakt mit der Aufnahme 206 stehenden Teilen des flexiblen Bahnmaterials 204 eingebracht.
  • Die Beschichtungsoperationen werden unter Einsatz eines Dampftransportrohrs 224 durchgeführt. Dieses Dampftransportrohr 224 unterstützt die Förderung von Dampf zum flexiblen Bahnmaterial 204 sowie die Erzielung einer für eine bessere Beschichtungsleistung geeigneten Dampfstromform. Das Dampftransportrohr 224 ist aus zwei Hälften 203 und 205 aufgebaut. Jede Hälfte 203 und 205 weist an ihrem Verbindungsende einen Flansch 207 bzw. 209 auf, über den die Hälften mit entsprechenden Befestigungselementen wie Schrauben, Bolzen, Gewinde usw. lösbar miteinander verbunden sind. Die beiden Hälften 203 und 205 lassen sich öffnen, um den Zugang zur Kammer 222 zwecks Wartung und Überprüfung zu ermöglichen.
  • Das Dampftransportrohr 224 weist ein Einlassende 226 und ein Auslassende 228 auf. Das Einlassende 226 ist mit einer Düse 230 versehen, durch die Ströme eines flüssigen Beschichtungsmaterials und eines Trägergases ausgestoßen und im Innern der Kammer 222 des Dampftransportrohrs 224 zur Kollision gebracht werden. Diese Kollision bewirkt die Zerstäubung und Verdampfung des Beschichtungsmaterials. Das Beschichtungsmaterial wird der Düse 230 über die Versorgungsleitung 232 zugeführt. Die Materialförderung durch die Versorgungsleitung 232 hindurch erfolgt mittels einer Dosierpumpe 236. Trägergas wird der Düse 230 über die Versorgungsleitung 234 zugeleitet. Die Versorgungsleitung 234 weist einen Durchflussregler 235 sowie wahlweise einen Wärmetauscher 238 zum Vorwärmen des Trägerga ses vor dessen Eintritt in das Dampftransportrohr 224 auf. Wärme kann der Kammer 222 mittels einer Heizvorrichtung wie eines Heizelements 240 zum Erhitzen der Wände 242 des Dampftransportrohrs 224 zugeführt werden. Das schematisch in 3 dargestellte Heizelement 240 ist in Form eines elektrischen Widerstandsheizelements vorgesehen, das spiralförmig um das Dampftransportrohr 224 in thermischem Kontakt mit den Wänden 242 herumgelegt ist, um die gewünschte Wärmemenge bereitzustellen.
  • Das Auslassende 228 des Dampftransportrohrs 224 ist mit einer Endkappe 246 versehen, über deren Öffnung 244 der im Innern der Kammer 222 erzeugte Dampf auf das flexible Bahnmaterial 204 geleitet wird. Die Endkappe 246 kann wahlweise abnehmbar sein, damit die Kammer 222 zum Zwecke der Wartung und Kontrolle zugänglich ist. Kontaktiert der Dampf das gekühlte Bahnmaterial 204, das auf einer Temperatur unterhalb der Kondensationstemperatur des Dampfes gehalten wird, so schlägt sich der Dampf unter Bildung einer Beschichtung auf dem Bahnmaterial 204 nieder. Nach dem Aufbringen der Beschichtung auf das sich fortbewegende Bahnmaterial 204 kann die Beschichtung einer geeigneten Härtebehandlung unterzogen werden, wie dies schematisch durch die Härteeinrichtung 250 angezeigt ist. So kann beispielsweise in einer Option die Härteeinrichtung 250 eine Härtestrahlungsenergiequelle sein, wenn die Beschichtung eine strahlungsvernetzbare Funktionalität aufweist. In einer weiteren Ausführung besteht die Härtevorrichtung 250 aus einem Ofen, wenn die Beschichtung eine thermisch härtbare Funktonalität besitzt.
  • 4 zeigt ein besonders bevorzugtes erfindungsgemäßes System 300, das zum Ausbilden einer strahlungsgehärteten Beschichtung auf einem beweglichen Bahnmaterial 302 geeignet ist, bei dem die Beschichtung aus einem oder mehreren flüssigen strahlungsvernetzbaren Beschichtungsstoffen hergestellt wird. Das System 300 weist ein doppelwandiges Gehäuse 304 mit einer Innenwand 306 und einer Außenwand 308 auf. Die Innenwand 306 bildet eine Beschichtungskammer 310. Eine innere Trennwand 312 unterteilt die Beschichtungskammer 310 in eine obere Kammer 314 und eine untere Kammer 316. Die untere Kammer 316 wird angesichts der reaktiven Beschaffenheit der zur Herstellung der Beschichtung auf dem Bahnmaterial 302 eingesetzten strahlungsvernetzbaren Beschichtungsmaterialien sowie zur Aufrechterhaltung einer sauberen Beschichtungsumgebung unter einer inerten Atmosphäre gehalten.
  • Die inerte Atmosphäre kann aus jedem beliebigen Gas bzw. jeder beliebigen Kombination von Gasen bestehen, das bzw. die gegenüber den aufzubringenden und einer Bearbeitung nach dem Kondensieren zu unterziehenden Materialien inert ist bzw. sind. Beispiele für solche geeignete inerte Gase sind Stickstoff, Helium, Argon, Kohlendioxid, Kombinationen dieser Gase etc. Die inerte Atmosphäre kann mit jeder Temperatur zugeführt werden, die für die Durchführung der Beschichtungsoperationen zweckmäßig und wirksam ist. Ist die inerte Atmosphäre jedoch zu heiß oder zu kühl, so kann die Steuerung der Bahnmaterial- bzw. Dampftemperatur erschwert werden. Deshalb wäre generell die Zufuhr der inerten Atmosphäre mit einer Temperatur im Bereich zwischen 0°C und 100°C geeignet. Die inerte Atmosphäre wird der unteren Kammer 316 über Gaseinlassöffnungen 320 zugeführt, während die Ableitung über Gasaustragöffnungen 322 erfolgt. Die untere Kammer 316 wird unter einem leichten Überdruck, beispielsweise von 0,04 psig (250 Pa) gehalten, damit Umgebungsgase, Teilchen und sonstige Verunreiniger von der unteren Kammer 316 ferngehalten werden.
  • Das flexible Bahnmaterial 302 ist von einer Vorratsrolle 326 (im Oberkammerbereich 314) aus um eine Trommel 324 (im Unterkammerbereich 316) herum auf die Aufwickelwalze 328 (ebenfalls in der oberen Kammer 314) geführt. Führungsrollen 325 unterstützen die Führung der Materialbahn 302 während ihres Transports. Vorzugsweise ist die Trommel 324 als wassergekühlte Drehtrommel ausgeführt, die zum Unterstützen des Transports der Materialbahn 302 um die Trommel 324 herum in Richtung des Pfeils 330 drehbar ist. Wegen der sehr geringen Beschichtungsdicken, die erfindungsgemäß herstellbar sind, sollte die Oberfläche 332 der Trommel 324 eben (d.h. parallel zur Trommelachse) und glatt sein. Eine besonders bevorzugte Ausführungsform einer wassergekühlten Trommel 324 wird durch Zirkulieren von Kühlwasser durch einen unterhalb, jedoch nahe der Oberfläche 332 angeordneten doppelspiraligen Kühlkanal (nicht dargestellt) gekühlt.
  • Die Trommel 324 wird auf einer unterhalb der Kondensationstemperaturen) wenigstens eines Teils der und vorzugsweise sämtlicher strahlungsvernetzbaren Beschichtungsstoffe liegenden Temperatur gehalten. Weil die thermische Masse des mit der Trommel 324 in thermischem Kontakt stehenden Bahnmaterials 302 gegenüber derjenigen der Trommel 324 relativ gering ist, werden die in thermischem Kontakt mit der Trommel 324 stehenden Teile der Bahn auf eine Temperatur gekühlt, die im Wesentlichen der Temperatur der Auflage entspricht. Damit wird sichergestellt, dass die dampfförmigen Beschichtungsmaterialien sich auf die Bahn 302 niederschlagen. Die Kühltemperatur schwankt in Abhängigkeit der Beschaffenheit des/der aufzubringenden Materials/Materialien. In aller Regel wäre die Trommel 324 zweckmäßigerweise auf einer Temperatur im Bereich zwischen 0°C und 80°C zu halten.
  • Die Drehgeschwindigkeit der Trommel 324 ist vorzugsweise einstellbar, so dass die Beschichtungsgeschwindigkeit für jeden Beschichtungsvorgang optimiert werden kann. Allgemein wäre für die Beschichtung ein Bahngeschwindigkeitsbereich von 0,001 cm/s bis 2000 cm/s, vorzugsweise 1 cm/s bis 1000 cm/s und weiter bevorzugt 1 cm/s bis 300 cm/s geeignet.
  • Wahlweise ist auf der Eintragseite der Trommel 324 eine Grundiervorrichtung 336 zum Grundieren des Bahnmaterials 302 vorgesehen. Diese zwar nicht in allen Fällen erforderliche Behandlung kann unter entsprechenden Bedingungen durchgeführt werden, um die Haftung der Beschichtung auf dem Bahnmaterial 302 zu verbessern. Die Art der auszuführenden Grundierbehandlung ist nicht kritisch und es kann jede Lösung benutzt werden, mit der eine ausreichende Grundierung des Bahnmaterials 302 erreicht wird. So kann beispielsweise die Grundiervorrichtung 336 eine Korona-Behandlungseinrichtung sein, mit der das Grundieren des Bahnmaterials 302 durch Beaufschlagen der Bahnoberfläche mit einer Korona-Entladung erfolgt. Korona-Behandlungseinrichtungen sind über eine Reihe von Lieferquellen beziehbar. So wurde beispielsweise eine durch die Pillar Technologies, Milwaukee, Wisconsin, lieferbare Korona-Behandlungseinrichtung für geeignet befunden.
  • Der Beschichtungsdampf wird aus einem Dampftransportrohr 340 auf das Bahnmaterial 302 geleitet. Das Dampftransportrohr 340 weist einen Hauptrohrteil 341 und einen Beschichtungskopfteil 343 auf. Wahlweise kann der Beschichtungskopfteil 343 einstückig mit dem Hauptrohrteil oder als separates Element, das lösbar an dem Hauptrohrteil 341 befestigt wird, ausgebildet sein. Alternativ können Hauptrohrteil 341 und Beschichtungskopfteil 343 unabhängig voneinander aus einer Vielzahl der verschiedensten Materialien, die gegenüber den eingesetzten Beschichtungsstoffen inert sind, hergestellt werden. Beispiele solcher Materialien sind Glas, Edelstahl, Aluminium, Kupfer, Kombinationen hiervon und ähnliches. Vorzugsweise ist der Hauptrohrteil 341 mit Glaswänden versehen, so dass die Verdampfungsqualität visuell kontrolliert werden kann. Der Beschichtungskopf 343 kann ebenfalls aus Glas oder auf Wunsch aus einem anderen geeigneten Material hergestellt sein.
  • Das Dampftransportrohr 340 ist mit einem Einlassende 342 und einem Auslassende 344 versehen. Das Einlassende 342 weist eine Düse 346 auf, durch welche die entsprechenden Ströme eines strahlungshärtbaren Beschichtungsmaterials und eines Trägergases ausgestoßen und im Innern der Kammer 348 des Dampftransportrohrs 340 zur Kollision gebracht werden. Diese Kollision resultiert in der Zerstäubung und Verdampfung des Beschichtungsmaterials. Das Beschichtungsmaterial wird über die Versorgungsleitung 350 und das Trägergas über die Versorgungsleitung 352 der Düse 346 zugeführt. Die Versorgungsleitung 350 ist mit einer Verdränger- bzw. Dosierpumpe 354 ausgerüstet. Die Versorgungsleitung 352 ist mit einem Wärmetauscher 356 zum Erhitzen des Gases ausgerüstet. Wärme wird der Kammer 348 mittels irgendeiner geeigneten Vorrichtung (nicht dargestellt), wie sie beispielsweise vorstehend beschrieben wurde, zugeführt.
  • Die Fließgeschwindigkeit der Beschichtungsstoffe und des Trägergases durch die Düse 346 hindurch ist einer der die Beschichtungsleistung beeinflussenden Faktoren. Generell ist die Fließgeschwindigkeit des Trägergases höher als die der Beschichtungsstoffe, um sicherzustellen, dass sämtliche Beschichtungsstoffe verdampfen können, ohne dass das Trägergas mit Dampf gesättigt wird. In einem typischen Beschichtungsprozess können die Beschichtungsstoffe mit einer Fließgeschwindigkeit von 0,01 ml/min bis 50 ml/min und das Trägergas mit einer solchen von 4 l/min bis 400 l/min zugeführt werden. Das Verhältnis zwischen den Fließgeschwindigkeiten des Beschichtungsmaterials und des Trägergases liegt normalerweise im Bereich zwischen 103 und 106.
  • Das Auslassende 344 des Dampftransportrohrs 340 weist eine Öffnung 360 auf, durch welche in der Kammer 348 erzeugter Dampf auf das Bahnmaterial 302 geleitet wird. Beim Kontakt des Dampfes mit dem gekühlten Bahnmaterial 302, das auf einer un ter der Kondensationstemperatur des Dampfes liegenden Temperatur gehalten wird, schlägt sich der Dampf nieder und bildet eine Beschichtung auf der Materialbahn 302. Nach dem Aufbringen der kondensierten Beschichtung auf das sich fortbewegende Bahnmaterial 302 kann die Beschichtung entsprechenden Aushärtebedingungen, wie diese schematisch durch die Strahlungshärteeinrichtung 362 bereitgestellt werden, ausgesetzt werden. Die beschichtete Bahn kann sodann auf Wunsch weiterverarbeitet oder wie dargestellt zur Lagerung auf eine Aufwickelwalze 328 gewickelt werden.
  • 5a, 5b und 5c zeigen eine Ausführungsform einer besonders bevorzugten Düse 400 zur Verwendung bei der Realisierung der Grundgedanken der vorliegenden Erfindung. Die Düse 400 kann in jede erfindungsgemäße Ausführungsform, darunter jeder der vorbeschriebenen Ausführungsformen, aufgenommen werden. Die Düse 400 weist als Hauptkomponenten einen Hauptzylinder 402, eine Endkappe 404, ein Passstück 406 und eine Auslassabdeckung 408 auf. Diese Hauptkomponenten sind für den Zusammenbau durch Verschrauben eingerichtet, wodurch der zum Zwecke der Wartung und Überprüfung erforderliche Auseinander- und Wiederzusammenbau auf einfache Weise erfolgen kann.
  • Der Hauptzylinder 402 weist einen konischen Kopf 405 auf, der mit einem zylindrischen Körper 407 so verbunden ist, dass eine Schulterfläche 409 entsteht. Am anderen Ende des Körpers 407 verläuft eine äußere zylindrische Wand 410 in Längsrichtung von einem Außenabschnitt 412 des Körpers 407. Eine innere zylindrische Wand 414 verläuft in Längsrichtung von einem Innenabschnitt 416 des Körpers 407. Die Länge der inneren zylindrischen Wand 414 ist größer als die einer äußeren zylindrischen Wand 410, so dass die Endkappe 404 auf die innere zylindrische wand 414 aufgeschraubt werden kann und an der Verbindungsstelle 418 in einen abdichtenden Eingriff mit der äußeren zylindrischen Wand 410 gelangt. Die innere und die äuße re zylindrische Wand 414, 410 sind voneinander beabstandet und bilden so einen Spalt 420, der einen Teil einer Ringkammer 422 (5c) bildet, wenn Hauptzylinder 402 und Endkappe 404 mit dem Körper 407 zusammengebaut sind. Die äußere Oberfläche 424 des Körpers 407 ist zum Verschrauben mit dem Passstück 406 entsprechend mit Gewinde versehen und dimensioniert. Die äußere Oberfläche 426 der inneren zylindrischen Wand 414 ist zum Verschrauben mit der Endkappe 404 passend ebenfalls mit Gewinde ausgestattet und dimensioniert.
  • Im Körper 407 ist zur Herstellung einer Flüssigkeitsverbindung zwischen dem Spalt 420 und damit der Ringkammer 422 und der Schulterfläche 409 mindestens eine Durchgangsöffnung 428 vorgesehen. In der dargestellten bevorzugten Ausführungsform sind vier Öffnungen 428 in gleichem Abstand voneinander um die Schulterfläche 409 herum angeordnet. Der Hauptzylinder 402 weist außerdem eine Durchgangsöffnung 429 auf, die sich in Längsrichtung der Achse des Hauptzylinders 402 vom Einlassende 421 auf der inneren zylindrischen Wand 414 bis zum Auslassende 423 auf dem konischen Kopf 405 erstreckt. Die Durchgangsöffnung 429 ist generell zylindrisch, verjüngt sich jedoch zu einem kleineren Durchmesser am Auslassende 423. Vorzugsweise hat die Durchgangsöffnung 429 eine so ausreichende Flächenlänge und so ausreichende Öffnungsdurchmesser an den Enden 421 und 423, dass eine laminare Strömung erzielt wird.
  • Die Endkappe 404 weist allgemein eine Endwand 430 und eine umfangsmäßige Seitenwand 432 auf. Die Endwand 430 ist mit einer die innere zylindrische Wand 414 des Hauptzylinders 402 übergreifenden und verschraubenden mittigen Öffnung 434 versehen. Sind Endkappe 404 und Hauptzylinder 402 miteinander verschraubt, wie dies am besten aus 5c ersichtlich ist, so greift die Seitenwand 432 an der Verbindungsstelle 418 dichtend an der äußeren zylindrischen Wand 410 des Hauptzylinders 402 an, ist jedoch von der inneren zylindrischen Wand 414 ab gesetzt. Somit unterstützt die Seitenwand 432 die Bildung einer einen Anfangsbereich der inneren zylindrischen Wand 414 nahe dem Einlassende 421 umgebende Ringkammer 422. Die Seitenwand 412 weist eine Öffnung 435 auf, welche die Verbindung zwischen dem Äußeren der Düse 400 und der Ringkammer 422 herstellt, wenn die Düse 400 zusammengebaut ist. Die äußere Oberfläche 436 der Endkappe 404 ist mit Riffelungen versehen, die beim Zusammen- und Auseinanderbau der Düse 400 einen griffigen Halt an der Endkappe 404 sicherstellen.
  • Das Passstück 406 weist einen konischen Kopf 440 mit ebener Endfläche 442, der unter Bildung einer äußeren Schulter 446 mit dem Körper 444 verbunden ist. Am anderen Ende des Körpers 444 verläuft in Längsrichtung vom äußeren Umfang 450 des Körpers 444 eine zylindrische Wand 448. Die äußere Oberfläche 452 des Körpers 444 ist zum Verschrauben mit der Auslassabdeckung 408 mit Gewinde versehen und dimensioniert. Die innere Oberfläche 453 der zylindrischen Wand 448 ist mit Gewinde versehen und so dimensioniert, dass eine Verschraubung mit dem Körper 407 des Hauptzylinders 402 erfolgen kann. Die äußere Oberfläche 454 der zylindrischen Wand 448 ist geriffelt, um beim Zusammen- und Auseinanderbau der Düse 400 einen griffigen Halt am Passstück 406 sicherzustellen.
  • Der Körper 444 und der konische Kopf 440 sind mit einer Durchgangsöffnung 456 zur Aufnahme des konischen Kopfes 405 des Hauptzylinders 402 versehen. Eine innere Schulter 455 überspannt die Distanz zwischen der Kante 457 der Durchgangsöffnung 456 und der inneren Oberfläche 452 der zylindrischen Wand 448. Der konische Kopf 405 wird abdichtend so von der konischen Durchgangsöffnung 456 aufgenommen, dass das Auslassende 423 des konischen Kopfes 405 eben von der Endfläche 442 vorsteht. Bei voll in die Durchgangsöffnung 456 eingesetztem konischen Kopf 405 ist weiterhin die Schulterfläche 409 des Hauptzylinders 402 von der inneren Schulter 455 abgesetzt und bildet somit eine sekundäre Ringkammer 458. Der Körper 444 weist mehrere bogenförmige durchgehende Ausnehmungen 460 auf, die eine Flüssigkeitsverbindung zwischen der inneren Schulter 455 und der äußeren Schulter 446 herstellen. Diese bogenförmigen durchgehenden Ausnehmungen 460 sind über die sekundäre Ringkammer 458 mit den Durchgangsöffnungen 428 des Hauptzylinders 402 verbunden. Die bogenförmigen Ausnehmungen 460 verteilen den aus den Öffnungen 428 austretenden und im Wesentlichen linearen stromlinienförmigen Strom in einen allgemein ringförmigen Strom, der von den bogenförmigen Ausnehmungen 460 austritt.
  • Die Auslassabdeckung 408 weist einen Endabschnitt 470 und eine Seitenwand 472 auf. Die innere Oberfläche 474 der Seitenwand 472 ist zum Verschrauben mit dem Körper 444 des Passstücks 406 mit Gewinde versehen und dimensioniert. Die äußere Oberfläche 476 der Seitenwand 472 ist geriffelt, um beim Zusammen- und Auseinanderbau der Düse 400 einen griffigen Halt an der Auslassabdeckung zu gewährleisten. Der Endabschnitt 470 weist eine innere Wand 480 auf, die eine konische Durchgangsöffnung 478 bildet und zur beabstandeten Aufnahme des konischen Kopfes 440 des Passstücks 406 geeignet ist, dergestalt, dass ein konischer Durchgang 482 zwischen der inneren Wand 480 und dem konischen Kopf 440 hergestellt wird. Der Durchgang 482 weist damit einen Einlass 484 nahe den bogenförmigen durchgehenden Ausnehmungen 460 und einen Auslass 485 nahe der Endfläche 442 auf. Der Auslass 485 ist ringförmig und umschließt das Auslassende 423 der Durchgangsöffnung 429.
  • In einer bevorzugten Betriebsart der Düse 400 tritt eine Beschichtungsmaterialzufuhr in den Einlass 421 der Durchgangsöffnung 429 ein und fließt sodann zum Auslassende 423, wo ein Strom des Beschichtungsmaterials entlang der Längsachse der Düse 400 in Richtung Kollisionspunkt 490 in vorzugsweise laminarem Zustand ausgestoßen wird. Zwischenzeitlich gelangt eine Trägergaszufuhr über die Öffnung 435 in die Ringkammer 422. Der Trägergasstrom wird beim Fließen aus der Ringkammer 422 zur sekundären Ringkammer 458 über die Durchgänge 428 eingeschnürt. Aus der sekundären Ringkammer 458 tritt der Trägergasstrom in die bogenförmigen Durchgänge 460 ein, wodurch der verengte Strom aus den Durchgängen 428 zu einem im Wesentlichen ringförmigen Strom umverteilt wird. Der aus den bogenförmigen Durchgängen 460 kommende Trägergasfluss wird in dem konischen Durchgang 482 erneut eingeschnürt und sodann als konischer hohler Strom in Richtung auf den Kollisionspunkt 490 ausgestoßen. Im Kollisionspunkt 490 kollidieren die Ströme aus Beschichtungsmaterial und Trägergas, wodurch das Beschichtungsmaterial zerstäubt und verdampft wird.
  • Mit Bezug auf die in 5a, 5b und 5c dargestellten Düsenmerkmale gibt 6 die Geometrie der mittels der Düse 400 erzeugten kollidierenden Flüssigkeits- und Gasströme im größeren Detail wieder. Der hohle und im Wesentlichen konische Trägergasstrom 500 mit einem Innenbereich 504 tritt aus der ringförmigen Öffnung 485 der Düse 400 aus und verjüngt sich in Richtung auf den Scheitelpunkt 502. Die etwa in der Mitte der Ringöffnung 485 angeordnete Öffnung 425 stößt einen zylindrischen Flüssigkeitsstrom 506 durch den Innenbereich 504 und in Richtung auf den Scheitelpunkt 502 aus, wo die Ströme 500 und 506 kollidieren. Der Flüssigkeitsstrom 506 wird dadurch mit großer Kraft zerstäubt.
  • Diese Verfahrensweise bietet viele leistungsmäßige Vorteile. Zunächst vereinfacht der Aufbau der Düse 400 die Zerstäubung von Flüssigkeitsströmen aus klebrigen oder relativ viskosen Flüssigmaterialien. Es bedarf nur relativ niedriger Drücke, um solche flüssigen Komponenten durch die Düse 400 zu bringen und es zeigen anders als im Falle von mit anderen Düsenausführungen arbeitenden Zerstäubungskonfigurationen solche Komponenten überraschenderweise eine geringere Tendenz, die Düse 400 zu verstopfen. Ohne an die Theorie gebunden sein zu wollen, kann eine mögliche Erklärung dieses verbesserten Leistungsverhaltens vorgeschlagen werden. Es wird angenommen, dass der sich schnell fortbewegende hohle, konische Trägergasstrom 500 ein Vakuum im Innenbereich 504 erzeugt, das dazu beiträgt, das Flüssiggemisch durch die Düse 400 zu ziehen. Diese Zugkraft hilft mit, die viskosen und klebenden Wirkungen auszuschalten, die ansonsten zu einer Verstopfung der Düse führen würden. Ein weiterer Vorteil besteht darin, dass diese Verfahrensweise eine hervorragende Zerstäubung des Flüssigkeitsstroms 506 dadurch gewährleistet, dass der Trägergasstrom 500 mit dem Flüssigkeitsstrom 506 im Wesentlichen um den gesamten Umfang des Flüssigkeitsstroms 506 herum mit großer Kraft kollidiert.
  • In einigen Anwendungen mag die Erzeugung eines homogenen Dampfes aus zwei oder mehr Flüssiggemischen erwünscht sein, die so inkompatibel miteinander sind, dass der Einsatz der Düse 400 nicht optimal für die Herstellung homogener zerstäubter bzw. verdampfter Mischungen solcher Komponenten ist. Die Benutzung der Düse 400 kann beispielsweise in solchen Fällen weniger optimal sein, in denen die zu verarbeitenden Flüssigmaterialien zwei oder mehr unvermischbare Komponenten aufweisen, die nicht homogen durch die Düse 400 gelangen. Alternativ mag der Einsatz der Düse 400 auch dann weniger optimal sein, wenn die Flüssigmaterialien zwei oder mehr Komponenten enthalten, die im flüssigen Zustand so reaktiv miteinander sind, dass der Transport solcher Materialien durch die Düse 400 in einem einzigen Strom zu einem Verstopfen der Düse 400 führen könnte.
  • Unter solchen Bedingungen zeigt 7 eine besonders bevorzugte Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Düse 400', die besonders zweckmäßig zur Bildung homogener zerstäubter bzw. verdampfter Gemische aus mehreren Flüssigkeitsströmen ist. Die Düse 400' ist generell identisch mit der Düse 400 mit der Ausnahme, dass der Hauptzylinder 402 nicht lediglich eine Durchgangsöffnung 429, sondern mehrere Durchgangsöffnungen 429' zur gleichzeitigen Verarbeitung mehrerer Flüsigkeitsströme aufweist. Lediglich zum Zwecke der Darstellung sind drei Durchgangsöffnungen 429' gezeigt, doch kann je nach Anzahl der zu verarbeitenden Ströme eine größere oder kleinere Zahl von Durchgangsöffnungen eingesetzt werden. So kann in anderen Ausführungsformen beispielsweise der Hauptzylinder 402' zwischen 2 bis 5 solcher Durchgangsöffnungen 429' aufweisen. Die Düse 400' ist auch mit Leitungen 431' versehen, um für jeden dieser Durchgangsöffnungen 429' die entsprechenden Flüssigkeitsströme zuzuführen. Die Düse 400' vermag somit eine im Wesentlichen gleichzeitige implosive und energetische Zerstäubung und Verdampfung mehrerer Flüssigkeitsströme zu bewirken. Mit dieser Verfahrensweise wird ein Dampf erzeugt, der eine wesentlich bessere Homogenität besitzt als diese erreichbar ist, wenn mehrere Dämpfe aus mehreren Düsen gebildet und sodann vermischt werden.
  • Es folgt eine weitergehende Beschreibung der vorliegenden Erfindung anhand der nachstehenden Beispiele:
  • BEISPIEL 1
  • Ein Flüssigkeitsstrom wurde wie folgt zerstäubt, verdampft und auf ein Substrat abgeschieden, auf dem er später polymerisiert wurde: Ein Flüssigkeitsstrom in Form einer Lösung aus 5,3-Gewichtsteilen 1,6-Hexandioldiacrylat (beziehbar von UCB Chemicals) mit einem Siedepunkt von 295°C bei Normaldruck und 94,7 Gewichtsteilen Perfluoroctylacrylat (lieferbar als FC 5166 durch Minnesota Mining and Manufacturing Company) mit einem Siedepunkt von 100°C bei 10 mm Hg (1400 Pa) mittels einer Spritzenpumpe (Modell 55-2222 der Firma Harvard Apparatus) wurde durch die in 5a, 5b und 5c dargestellte Zerstäuberdüse gegeben. Ein Gasstrom (kryogener Stickstoff von Praxais) mit 0,35 mPa (34 psi) wurde auf 127°C erhitzt und durch die Düse geleitet. Der Flüssigkeitsstrom bewegte sich mit einer Geschwindigkeit von 0,5 ml/min und der Gasstrom mit einer solchen von 27 l/min (Normaltemperatur und Normaldruck bzw. „STP"). Sowohl der Flüssigkeits- als auch der Gasstrom passierten die Düse über verschiedene Kanäle wie vorstehend bei der Erörterung der 5a, 5b und 5c beschrieben. Der Gasstrom trat über eine Ringöffnung in einem 3,2 mm (0,125 Zoll) vom Düsenende entfernten zentralen Scheitelpunkt aus. An dieser Stelle kollidierte der Gasstrom mit dem zentralen Flüssigkeitsstrom. Der Flüssigkeitsstrom wurde in einen Nebel aus Flüssigkeitströpfchen zerstäubt. Die zerstäubten Flüssigkeitströpfchen im Gasstrom gelangten sodann bei der weiteren Fortbewegung durch die Dampftransportkammer schnell zur Verdampfung. Die Dampftransportkammer wies zwei Teile auf, nämlich ein Glasrohr von 10 cm Durchmesser und 5 cm Länge und ein Aluminiumrohr von 10 cm Durchmesser und 25 cm Länge. Das Auslassende der Düse erstreckte sich etwa 16 mm (0,64 Zoll) in ein Ende des Glasrohrs hinein und das Aluminiumrohr war mit dem anderen Ende des Glasrohrs verbunden. Das Aluminiumrohr wurde mit um seine Außenseite gewickeltem Heizband erwärmt, um Dampfkondensation auf die Wände der Dampftransportkammer zu verhindern.
  • Die Verdampfung wurde auf zweierlei Weise beobachtet. Die erste Verfahrensweise bestand in der visuellen Beobachtung mit bloßem Auge, während die zweite eine Laserlichtstreuung beinhaltete. Mit bloßem Auge waren die zerstäubten Tröpfchen als feiner Nebel sichtbar, der auf einen weniger als zwei Zentimeter vom Düsenaustritt sich erstreckenden engen konischen Bereich beschränkt war. Anschließend war der Nebel nicht mehr zu sehen, was auf eine vollständige Verdampfung hinter diesem Bereich hindeutete. Die Zerstäubung und Verdampfung der Flüssigkeit wurde auch durch Einleiten von Laserlicht aus einem „Penlight"- oder Stablaser (OptiTM der Lyte Optronics, Inc.) mit einer Wellenlänge von 630–670 mm in den Glasteil der Dampftransportkammer beobachtet. Das Laserlicht war als Streulicht von den weniger als zwei Zentimeter vom Düsenauslass entfernten Tröpfchen sichtbar. Der Rest der Dampftransportkammer war klar, was auf eine vollständige Verdampfung der Flüssigkeit bzw. zumindest eine Reduzierung der Tröpfchendurchmesser auf weniger als die unter 30 mm liegende Erfassungsgrenze hinwies.
  • Das Dampf- und Gasgemisch trat am Auslass der Dampftransportkammer über einen Schlitz am Ende des Aluminiumrohrs aus. Der Schlitz wies eine Länge von 50 mm und eine Breite von 1,3 mm (2 Zoll × 0,05 Zoll) auf. Die Temperatur des Dampf- und Gasgemischs betrug 3 cm vor dem Auslass de Dampftransportkammer 136°C. Ein Substrat in Form einer zweiachsig gerichteten Polyethylenterephthalatfolie mit einer Dicke von 100 μ und einer Breite von 23 cm wurde durch ein mechanisches Antriebssystem über den Dampftransportauslass hinaus befördert, das die Bewegungsgeschwindigkeit der Folie auf 1,0 cm/s steuerte. Die Folie passierte eine wassergekühlte Platte, während das Gemisch aus Dampf und Gas die Folie kontaktierte. Der Spalt zwi schen dem Dampfauslass und der gekühlten Platte betrug ca. 2 mm. Der Dampf im Gemisch aus Gas und Dampf kondensierte auf die Folie und bildete einen Nassbeschichtungsstreifen mit einer Breite von 50 mm (2 Zoll).
  • Die Beschichtung wurde sodann frei-radikalisch polymerisiert, indem die beschichtete Folie in einer Stickstoffatmosphäre unter ein monochromatisches UV-Lampensystem mit 222 nm (erhältlich als Noblelight Excimer Labor System 222 von der Firma Heraeus, Deutschland) hindurchgeleitet wurde. Die Lampe hatte eine Bestrahlungsstärke von 30 mW/cm2 und die Foliengeschwindigkeit lag bei ca. 2,1 m/min (7 fpm).
  • BEISPIEL 2
  • Ein Substrat wurde wie in Beispiel 1 beschichtet und gehärtet, jedoch mit der Ausnahme, dass die Substratgeschwindigkeit während des Kondensationsbeschichtens 2,6 cm/s, die Temperatur des in die Düse eintretenden Stickstoffs 150°C und die Temperatur des Dampf- und Gasgemischs an einer 3 cm vor dem Auslass der Dampftransportkammer liegenden Stelle 142°C betrugen.
  • BEISPIEL 3
  • Ein Substrat wurde wie in Beispiel 1 beschichtet und gehärtet, jedoch mit der Ausnahme, dass die Substratgeschwindigkeit während des Kondensationsbeschichtens 8,9 cm/s, die Temperatur des in die Düse eintretenden Stickstoffs 122°C und die Temperatur des Dampf- und Gasgemischs an einer 3 cm vor dem Auslass der Dampftransportkammer liegenden Stelle 127°C betrugen.
  • ERGEBNISSE BEISPIEL 1–3
  • Die polymerisierten Beschichtungen der Beispiele 1–2 waren fest, klar und mit bloßem Auge gerade sichtbar. Wurde jedoch jede der Beschichtungen winklig unter Licht gehalten, so war ein irisierendes Muster zu erkennen, wie es allgemein einer im Wesentlichen geschlossenen Beschichtung ohne signifikante Hohlstellen mit einer Dicke von weniger als 1 μm zuzuordnen ist. Die polymerisierte Beschichtung des Beispiels 3 war mit bloßem Auge nicht sichtbar. Jede Beschichtung wurde durch Photoelektronen-Röntgenspektroskopie und Infrarotspektroskopie mit gedämpfter Totalinnenreflexion analysiert, um das Vorhandensein sowohl des Fluorkohlenstoffacrylats als auch des Vernetzungsmittels in der Beschichtung und damit die Tatsache, dass beide Komponenten des Flüssigstroms verdampft und kondensiert waren, zu bestätigen.
  • BEISPIEL 4
  • Ein Substrat wurde ähnlich wie in Beispiel 1 beschichtet, jedoch mit der Ausnahme, dass eine andere Flüssigkeit und andere Prozessbedingungen eingesetzt wurden. Dampftransportkammer und Austragschlitz waren ebenfalls unterschiedlich und es wurde die Beschichtung nicht gehärtet. Der Flüssigstrom bestand aus Flüssigfluorkohlenstoff (von der Minnesota Mining and Manufacturing Co. beziehbar unter der Handelsbezeichnung FluorinertTM FC-43) mit einem Siedepunkt bei Atmosphärendruck von 174°C. Die Fließgeschwindigkeit der Flüssigkeit betrug 1,0 ml/min und die des Stickstoffs 25 l/min (STP). Die Temperatur des Stickstoffs beim Eintritt in die Düse lag nahe bei 100°C. Die Dampftransportkammer umfasste ein Glasrohr von 10 cm Durchmesser und 23 cm Länge, das mit um seine Außenseite gewickeltem Heizband erhitzt wurde, um eine Dampfkondensation auf die Wände der Dampftransportkammer zu verhindern. Laserlicht wurde weniger als 1 cm vom Auslass entfernt, jedoch nicht hinter dem ersten Zentimeter, zerstreut. Die Temperatur des Dampf- und Gasgemischs betrug an einer 3 cm vor dem Auslass der Dampftransportkammer gelegenen Stelle 90°C. Der Schlitz am Ende des Aluminiumrohrs hatte eine Länge von 9 cm und eine Breite von 1 cm (3,5 Zoll × 0,4 Zoll). Das Substrat war etwa zwei Sekunden lang ca. 5 mm vom Austragschlitz der Dampftransportkammer plaziert.
  • BEISPIEL 5
  • Ein Substrat wurde wie in Beispiel 4 beschichtet, jedoch mit der Ausnahme, dass die Fließgeschwindigkeit 2,0 ml/min und die Temperatur des Dampf- und Gasgemischs an einer 3 cm vor dem Auslass der Dampftransportkammer gelegenen Stelle 94°C betrug und dass der Nebel sichtbar und das Laserlicht in dem weniger als 3 cm vom Düsenaustritt entfernten Bereich zerstreut wurde.
  • BEISPIEL 6
  • Ein Substrat wurde wie in Beispiel 4 beschichtet, jedoch mit der Ausnahme, dass die Fließgeschwindigkeit der Flüssigkeit 10,0 ml/min und die Temperatur des Dampf- und Gasgemischs an einem 3 cm vor dem Auslass der Dampftransportkammer gelegenen Punkt 99°C betrug, und dass der Nebel sichtbar und das Laserlicht in dem weniger als 22 cm vom Düsenaustritt entfernten Bereich zerstreut wurde.
  • ERGEBNISSE BEISPIEL 4–6
  • Die Beschichtungen der Beispiele 4–6 waren flüssig. Wurden die Beschichtungen winklig unter Licht gehalten, so war ein irisierendes Muster zu erkennen, wie es allgemein einer im Wesentlichen geschlossenen Beschichtung ohne signifikante Hohlstellen mit einer Dicke von weniger als 1 μm zuzuordnen ist. Die Beschichtung des Beispiels 6 erschien viel dicker und wies kein irisierendes Muster auf.
  • BEISPIEL 7
  • Ein Substrat wurde wie in Beispiel 4 beschichtet, jedoch mit der Ausnahme, dass ein anderes Gas, eine andere Düse und andere Prozessbedingungen eingesetzt wurden. Das Gas war Druckluft und bewegte sich mit einer Geschwindigkeit von 4 l/min (STP). Es wurde eine Düse des Typs SonicairTM der IVEK Corp., Vermont, benutzt. Flüssig- und Gasstrom wurden in der Düse vermischt und traten über eine Öffnung von 0,05 cm (0,020 Zoll) Durchmesser aus der Düse aus. Die Flüssigkeit wurde beim Austreten des Gemischs aus der Düse zerstäubt. Die mit dem Gasstrom in Kontakt befindlichen zerstäubten Flüssigkeitströpfchen wurden beim Eintritt in die Dampftransportkammer aus einem an seiner Außenseite mit Heizband umwickelten Aluminiumrohr von 11 cm Durchmesser und 30 cm Länge schnell zerstäubt. Das Auslassende der Düse erstreckte sich ca. 13 mm (0,5 Zoll) in das Aluminiumrohr hinein. Die Zerstäubung und Verdampfung wurden durch den Austragschlitz in die Dampftransportkammer hinein beobachtet. Die zerstäubten Tröpfchen und das Laserlicht waren innerhalb eines nahe dem Düsenaustritt liegenden Bereichs als feiner Nebel bzw. Streulicht sichtbar. Die Temperatur des Dampf- und Gasgemischs betrug an einer 5 cm vor dem Auslass der Dampftransportkammer gelegenen Punkt 85°C.
  • Die Beschichtung des Beispiels 7 war flüssig. Wenn das beschichtete Substrat winklig unter Licht gehalten wurde, erschien ein irisierendes Muster.
  • BEISPIEL 8
  • Ein Substrat könnte ähnlich wie in Beispiel 1 beschichtet werden, jedoch mit der Ausnahme, dass zusätzlich ein Photoinitiator eingesetzt wurde, die Beschichtungen breiter waren und andere Lampen zum Erzeugen ultravioletten Lichts zum Einsatz kamen. Als Photoinitiator war Acetophenon der Aldrich Chemical Co. im Verhältnis von 1 Teil pro 100 Teile difunktionalen monomeren 1,6-Hexandiolacrylats mit einem Siedepunkt von 295°C bei STP verwendet. Der Dampf wurde sodann in einem System wie in 4 dargestellt auf das Substrat abgeschieden. Das Dampf- und Gasgemisch trat anschließend über einen 25 cm langen Schlitz über den Auslass des Beschichtungskopfes aus. Das 30 cm breite Substrat wurde durch ein Koronaelektrodensystem in einer Stickstoffatmosphäre und sodann in Kontakt mit einer metallischen Kühlwalze von 41 cm (16 Zoll) Durchmesser und 36 cm (14 Zoll) Breite durch den Beschichtungskopfauslass befördert. Die Kühlwalze wurde mit Wasser aus einem Kühler gekühlt. Das Koronaelektrodensystem war mit drei Keramikrohrelektroden (beziehbar von Sherman Treater, Ltd., Vereinigtes Königreich) mit jeweils einer aktiven Länge von 30 cm (12 Zoll), die im Abstand von 2 mm von der Folie angeordnet sind, bestückt. Die Entladungsenergie wurde von einem Korona-Generator (Modell RS-48B der ENI Power Systems, Rochester, New York) geliefert. Der Stickstoff für die Koronaentladung trat in die Rückseite des Elektrodensystems ein und strömte über die Elektroden in den Entladungsbereich. Der Spalt zwischen dem Dampfauslass und der gekühlten Platte betrug ca. 2 mm. Der Dampf im Gemisch aus Gas und Dampf kondensierte auf die Folie und bildete dabei einen Nassbeschichtungsstreifen von ca. 25 cm Breite. Das Ultraviolettlampensystem bestand aus einer Hochstrom-Quecksilberlichtbogen-lampe.
  • Die polymerisierte Beschichtung des Beispiels 8 war fest, klar und für das bloße Auge gerade sichtbar, weist jedoch unter reflektiertem Licht ein irisierendes Muster auf.
  • BEISPIEL 9
  • Ein Substrat konnte in ähnlicher Weise wie in Beispiel 8 beschichtet werden, jedoch mit der Ausnahme, dass eine andere Flüssigkeit benutzt wird, kein Photoinitiator vorhanden ist, ein anderes Substrat eingesetzt wird und die UV-Lichtquelle sowie die Bedingungen wie in Beispiel 1 gewählt sind. Der Flüssigkeitsstrom war eine Lösung aus 2 Gewichtsteilen Acrylsäure (beziehbar von der Sigma-Aldrich Corp., Milwaukee, Wisconsin) mit einem Siedepunkt bei Atmosphärendruck von 139°C und 98 Gewichtsteilen Isooctylacrylat (beziehbar als SR440 von Sartomer, Exton, PA) mit einem Siedepunkt bei Normaldruck von 216°C. Das Substrat wies zweiachsig gerichtetem Polypropylen mit einer Dicke von ca. 50 μm auf.
  • Die polymerisierte Beschichtung des Beispiels 9 war fest, klar und mit dem bloßen Auge gerade sichtbar, wies jedoch unter reflektiertem Licht ein irisierendes Muster auf.
  • BEISPIEL 10
  • Ein Substrat konnte in ähnlicher Weise wie in Beispiel 8 beschichtet werden, jedoch mit der Ausnahme, dass eine andere Flüssigkeit benutzt wird, kein Photoinitiator vorhanden ist, ein anderes Substrat eingesetzt wird und ein anderer Polymerisationsmechanismus zur Anwendung kommt. Der Flüssigkeitsstrom war eine Lösung aus 99 Gewichtsteilen eines kondensationspoly merisierbaren Materials, nämlich Mercaptopropyltrimethoxysilan (beziehbar von Sigma-Aldrich Corp.) mit einem Siedepunkt bei Normaldruck von 212°C und 1 Gewichtsteil Aminkatalysator (beziehbar von Huntsman unter der Bezeichnung Jeffcat ZR-50) mit einem Siedepunkt bei Atmosphärendruck von 290°C. Das Substrat wies silicagrundiertem zweiachsig gerichteten Polypropylen mit einer Dicke von ca. 50 μm auf. Die silicagrundierte Folie wurde wie in dem US-Patent Nr. 5 576 076 (Slootman et al) beschrieben hergestellt. Die Polymerisation erfolgte, indem die Beschichtung mehrere Tage der Luft ausgesetzt wird.
  • Die Beschichtung war hart, klar und gerade sichtbar.
  • Weitere Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung ergeben sich für den Fachmann aus dem Studium dieser Beschreibung bzw. aus der vorbeschriebenen praktischen Anwendung der Erfindung. Bei den vorbeschriebenen Grundgedanken und Ausführungsformen sind durch den Fachmann die verschiedensten Auslassungen, Abwandlungen und Änderungen möglich, ohne dass von dem in den nachfolgenden Ansprüche festgelegten echten Schutzumfang und Erfindungsgedanken abgewichen wird.

Claims (17)

  1. Verfahren zum Ausbilden einer Beschichtung (12) auf wenigstens einen Teil einer Oberfläche (14) eines Substrats (16) mit den Schritten: (a) Herbeiführen einer Kollision zwischen einem Trägergasstrom (24) und einem ersten Beschichtungsmaterialstrom (20) aus einem ersten Flüssiggemisch (18), wobei die Kollision bei einer Trägergasgeschwindigkeit erfolgt, die wesentlich höher ist als die Geschwindigkeit des ersten Stroms, wobei das Geschwindigkeitsverhältnis zwischen dem Trägergas- und dem ersten Beschichtungsmaterialstrom groß genug ist, um die Verdampfung des im Wesentlichen gesamten ersten Flüssiggemischs zu bewirken, um Dampf auszubilden; (b) Herbeiführen eines Flusses des Dampfes auf die Oberfläche (14) des Substrats (16), wobei die Oberfläche eine unter der Kondensationstemperatur des Dampfes liegende Temperatur hat; und (c) Kondensieren des Dampfes auf der Oberfläche (14) als Flüssigkeit, um eine Beschichtung auszubilden.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, wobei das Gemisch des ersten Beschichtungsmaterialstroms mit dem Trägergas im Wesentlichen nicht reagierfähig ist.
  3. Verfahren nach Anspruch 1, wobei der Dampf ein erster Dampf ist und das Verfahren weiterhin die Schritte aufweist. (1) Herbeiführen einer Kollision zwischen einem zweiten Trägergasstrom (108b') und einem zweiten Beschichtungsmaterialstrom aus einem zweiten Flüssiggemisch (104b'), wobei die Kollision bei einer Gasgeschwindigkeit des zweiten Trägergasstroms erfolgt, die wesentlich höher ist als die Geschwindigkeit des zweiten Beschichtungsmaterialstroms, und wobei das Geschwindigkeitsverhältnis zwischen dem zweiten Trägergas- und dem zweiten Beschichtungsmaterialstrom groß genug ist, um die Verdampfung des im Wesentlichen gesamten zweiten Flüssiggemischs zu bewirken, um einen zweiten Dampf auszubilden; (2) Herbeiführen eines Flusses des Dampfes des zweiten Flüssiggemischs auf die Oberfläche des Substrats, die eine unter der Kondensationstemperatur des Dampfes liegende Temperatur hat; und (3) Abscheiden des zweiten Dampfes auf die Oberfläche zum Ausbilden eines Teils der Beschichtung.
  4. Verfahren nach Anspruch 1, wobei das erste Beschichtungsmaterialstromgemisch wenigstens erste und zweite miteinander reagierfähige Komponenten aufweist, so dass die auf dem Substrat gebildete Beschichtung ein von den ersten und zweiten Komponenten abgeleitetes Reaktionsprodukt ist.
  5. Verfahren nach Anspruch 1, wobei das Trägergas eine höhere Temperatur hat, die unter dem Siedepunkt wenigstens einer Komponente des ersten Beschichtungsstromsgemischs liegt.
  6. Verfahren nach Anspruch 1, wobei der Dampf in Schritt (b) durch eine Kammer (224) mit einem Einlassende (226), an dem die Kollision stattfindet, und einem Auslassende (228) mit einer Öffnung (244), durch welche der Dampf auf die Oberfläche des Substrats (204) gelangt, geleitet wird, wobei die Kammer auf einer über der Kondensationstemperatur des Dampfes liegenden Temperatur gehalten wird.
  7. Verfahren nach Anspruch 1, wobei Schritt (a) das Ausstoßen der Ströme aus Trägergas und erstem Flüssiggemisch über wenigstens eine erste Öffnung (485) bzw. zweite Öffnung (425) einer Düse (400) aufweist, um die Ströme zur Kollision zu bringen.
  8. Verfahren nach Anspruch 7, wobei: (a) die erste Öffnung (485) ringförmig und zum Ausstoßen eines hohlen und im Wesentlichen sich bei der Fortbewegung von der ersten Öffnung (485) weg nach innen in Richtung auf einen Scheitelpunkt (502) verjüngenden konischen Trägergasstroms (500) ausgebildet ist, wobei der Trägergasstrom einen Innenbereich (504) aufweist, und (b) die zweite Öffnung (425) zum Ausstoßen eines Stroms ersten Flüssiggemischs durch den Innenbereich des Trägergasstroms in Kollision mit dem Trägergasstrom im Wesentlichen am Scheitelpunkt ausgebildet ist.
  9. Verfahren zum Ausbilden einer Beschichtung (12) auf wenigstens einem Teil der Oberfläche (14) eines Substrats (16) mit den Schritten: (a) Zerstäuben eines Flüssiggemischs (20), (b) in Kontakt bringen des zerstäubten Flüssiggemischs mit einem Trägergas (24), wobei das in Kontaktbringen bei einer Trägergasgeschwindigkeit erfolgt, die wesentlich höher als die Geschwindigkeit des zerstäubten Flüssiggemischstroms ist, und wobei das Geschwindigkeitsverhältnis zwischen dem Trägergas- und dem zerstäubten Flüssiggemischstrom groß genug ist, um eine Verdampfung des im Wesentlichen gesamten zerstäubten Flüssiggemischs zu bewirken, um einen Dampf auszubilden; (c) Herbeiführen eines Flusses des Dampfes zur Oberfläche (14) des Substrats (16), wobei die Oberfläche eine unter der Kondensationstemperatur des Dampfes liegende Temperatur hat, und (d) Kondensieren des Dampfes als Flüssigkeit auf die Oberfläche (14) zum Ausbilden der Beschichtung.
  10. Verfahren nach Anspruch 9, wobei das Flüssiggemisch im Wesentlichen lösungsmittelfrei ist.
  11. Verfahren nach Anspruch 9, wobei der Dampf ein erster Dampf ist und das Verfahren weiterhin die Schritte aufweist: (1) Zerstäuben eines zweiten Flüssiggemischs (104b'), (2) in Kontakt bringen des zerstäubten zweiten Flüssiggemischs mit einem zweiten Trägergas (108b'), wobei das in Kontaktbringen bei einer Geschwindigkeit des zweiten Trägergases erfolgt, die wesentlich höher als die Geschwindigkeit des zerstäubten zweiten Flüssiggemischstroms ist, und wobei das Geschwindigkeitsverhältnis zwischen dem zweiten Trägergas- und dem zerstäubten zweiten Flüssiggemischstrom groß genug ist, um eine Verdampfung des im Wesentlichen gesamten zerstäubten zweiten Flüssiggemischs zu bewirken, um einen zweiten Dampf auszubilden; (3) Herbeiführen eines Flusses des zweiten Dampfs zur Substratoberfläche, die eine unter der Kondensationstemperatur des zweiten Dampfs liegende Temperatur hat, und (4) Kondensieren der zweiten Dampfphase auf die Oberfläche zum Ausbilden eines Teils der Beschichtung.
  12. Verfahren nach Anspruch 9, wobei das Flüssiggemisch wenigstens eine strahlungshärtbare Komponente aufweist und das Verfahren weiterhin den Schritt des Bestrahlens des kondensierten Dampfes mit einer Dosis Strahlungshärteenergie aufweist, welche die Verfestigung der Beschichtung bewirkt.
  13. Verfahren nach Anspruch 9, wobei das Flüssiggemisch einen härtbaren polymeren Beschichtungsvorläufer und eine so ausreichende Menge Härtemittel enthält, dass das Härten des polymeren Beschichtungsvorläufers vereinfacht wird.
  14. Verfahren nach Anspruch 9, wobei Schritt (b) das Ausstoßen des Trägergases durch eine erste Öffnung (485) einer Düse (400) und das Ausstoßen des Flüssiggemischs durch eine zweite Öffnung (425) der gleichen Düse aufweist und wobei: (a) die erste Öffnung ringförmig und zum Ausstoßen eines hohlen und im Wesentlichen sich bei der Fortbewegung von der ersten Öffnung weg nach innen in Richtung auf einen Scheitelpunkt (502) verjüngenden konischen Trägergasstroms (500) ausgebildet ist, wobei der Trägergasstrom einen Innenbereich (504) aufweist, und (b) die zweite Öffnung (425) zum Ausstoßen des Flüssiggemischstroms (506) durch den Innenbereich des Trägergasstroms hindurch in eine Kollision mit dem Träger gasstrom im Wesentlichen am Scheitelpunkt ausgebildet ist.
  15. Beschichtungsvorrichtung (300) mit: (a) einer Kammer (340) mit einem Einlassbereich, in dem ein Trägergas mit einer Vielzahl zerstäubter Tröpfchen wenigstens eines ersten Flüssiggemischs in Kontakt gebracht wird, so dass eine Verdampfung des im Wesentlichen gesamten ersten Flüssiggemischs bewirkt wird, um einen Dampf zu bilden; (b) einem Einlassende (342), über das hinweg das erste Flüssiggemisch und das Trägergas in die Kammer eintreten; (c) einer nahe dem Einlassende angeordneten Zerstäubereinrichtung zum Erzeugen eines Nebels aus dem ersten Flüssiggemisch in der Kammer, wobei die Zerstäubereinrichtung eine Düse (346) aufweist, die zum Ausstoßen wenigstens eines Stroms des ersten Flüssiggemischs und wenigstens eines Trägergasstroms ausgebildet ist, so dass die Ströme vor der Düse kollidieren und somit die Verdampfung des Flüssiggemischs bewirkt wird; und (d) einem Substratträger (324) mit einer gekühlten Oberfläche (332) zum Halten eines zu beschichtenden Substrats (302), wobei die gekühlte Oberfläche eine unter der Kondensationstemperatur des Dampfes liegende Temperatur erreichen kann und in einer solchen Position angeordnet ist, dass der Dampf zu der gekühlten Oberfläche strömen kann.
  16. Beschichtungsvorrichtung nach Anspruch 15, weiter mit einer Heizeinrichtung (240), um die Kammer auf einer über der Kondensationstemperatur des Dampfes liegenden erhöhten Temperatur zu halten.
  17. Beschichtungsvorrichtung nach Anspruch 15, wobei die Düse (400) aufweist: (a) einen Gaseinlass (435), über den das Gas in die Düse eintritt; (b) einen vom Gaseinlass getrennten ersten Flüssiggemischeinlass (421), über den das erste Flüssiggemisch in die Düse eintritt; (c) ein Auslassende (442) mit: (i) wenigstens einem ersten Flüssigkeitsaustragauslass (423), über den wenigstens ein Strom des ersten Flüssiggemischs aus der Düse ausgetragen wird; (ii) wenigstens einem Gasaustragauslass (485), über den wenigstens ein Gasstrom aus der Düse ausgetragen und mit dem Auslassstrom des ersten Flüssiggemischs zur Kollision gebracht wird und diesen dabei zerstäubt; und (d) einem ersten Flüssiggemischdurchgang (429), welcher den ersten Flüssiggemischeinlass mit dem ersten Flüssigkeitsaustragauslass verbindet; und (e) einem vom ersten Flüssiggemischdurchgang getrennten Gasdurchgang (420, 428, 458, 460 und 482) zur Verbindung des Gaseinlasses (435) mit dem wenigstens einen Gasaustragauslass (485), wobei der Gasdurchgang eine Gaskammer (422) aufweist, deren Volumen pro Düsenlängeneinheit größer ist als das stromabwärtige Ende des Gasdurchlasses und die so angeordnet ist, dass Wärme vom Gas in der Kammer auf das erste Flüssiggemisch übertragen werden kann.
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DE (1) DE69829774T2 (de)
WO (1) WO1999028051A1 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102011014311A1 (de) * 2011-03-17 2012-09-20 Centrotherm Thermal Solutions Gmbh & Co. Kg Verfahren und Vorrichtung zum Einbringen eines Prozessgases in einem Prozessraum einer Prozesskammer

Families Citing this family (179)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6224948B1 (en) 1997-09-29 2001-05-01 Battelle Memorial Institute Plasma enhanced chemical deposition with low vapor pressure compounds
FR2774013B1 (fr) * 1998-01-23 2000-04-07 Jean Paul Garidel Procede de traitement thermique d'une piece a l'aide d'au moins un liquide de transfert thermique et four a condensation pour sa mise en oeuvre
US6546757B1 (en) * 1998-07-28 2003-04-15 Brown University Research Foundation Liquid spray pyrolysis method for the fabrication of optical fiber preforms, with reactant mixing
AU1339700A (en) 1998-11-02 2000-05-22 Presstek, Inc. Transparent conductive oxides for plastic flat panel displays
US6228434B1 (en) 1998-12-16 2001-05-08 Battelle Memorial Institute Method of making a conformal coating of a microtextured surface
US6217947B1 (en) 1998-12-16 2001-04-17 Battelle Memorial Institute Plasma enhanced polymer deposition onto fixtures
US6207238B1 (en) * 1998-12-16 2001-03-27 Battelle Memorial Institute Plasma enhanced chemical deposition for high and/or low index of refraction polymers
US6228436B1 (en) 1998-12-16 2001-05-08 Battelle Memorial Institute Method of making light emitting polymer composite material
US6268695B1 (en) 1998-12-16 2001-07-31 Battelle Memorial Institute Environmental barrier material for organic light emitting device and method of making
US6207239B1 (en) 1998-12-16 2001-03-27 Battelle Memorial Institute Plasma enhanced chemical deposition of conjugated polymer
US6274204B1 (en) 1998-12-16 2001-08-14 Battelle Memorial Institute Method of making non-linear optical polymer
US6503564B1 (en) * 1999-02-26 2003-01-07 3M Innovative Properties Company Method of coating microstructured substrates with polymeric layer(s), allowing preservation of surface feature profile
US6506461B2 (en) * 1999-03-31 2003-01-14 Battelle Memorial Institute Methods for making polyurethanes as thin films
US6358570B1 (en) 1999-03-31 2002-03-19 Battelle Memorial Institute Vacuum deposition and curing of oligomers and resins
US6503561B1 (en) * 1999-07-08 2003-01-07 Air Products And Chemicals, Inc. Liquid precursor mixtures for deposition of multicomponent metal containing materials
US6238734B1 (en) * 1999-07-08 2001-05-29 Air Products And Chemicals, Inc. Liquid precursor mixtures for deposition of multicomponent metal containing materials
US6229640B1 (en) * 1999-08-11 2001-05-08 Adc Telecommunications, Inc. Microelectromechanical optical switch and method of manufacture thereof
US7081277B1 (en) * 1999-10-22 2006-07-25 Fujitsu Limited Magnetic disk drive having a surface coating on a magnetic disk
US20100330748A1 (en) * 1999-10-25 2010-12-30 Xi Chu Method of encapsulating an environmentally sensitive device
US20070196682A1 (en) * 1999-10-25 2007-08-23 Visser Robert J Three dimensional multilayer barrier and method of making
US6413645B1 (en) * 2000-04-20 2002-07-02 Battelle Memorial Institute Ultrabarrier substrates
US20090191342A1 (en) * 1999-10-25 2009-07-30 Vitex Systems, Inc. Method for edge sealing barrier films
US6548912B1 (en) 1999-10-25 2003-04-15 Battelle Memorial Institute Semicoductor passivation using barrier coatings
US6623861B2 (en) * 2001-04-16 2003-09-23 Battelle Memorial Institute Multilayer plastic substrates
US6866901B2 (en) 1999-10-25 2005-03-15 Vitex Systems, Inc. Method for edge sealing barrier films
US6573652B1 (en) 1999-10-25 2003-06-03 Battelle Memorial Institute Encapsulated display devices
US6492026B1 (en) 2000-04-20 2002-12-10 Battelle Memorial Institute Smoothing and barrier layers on high Tg substrates
DE10057491A1 (de) * 2000-11-20 2002-05-23 Aixtron Ag Vorrichtung und Verfahren zum Zuführen eines in die Gasform gebrachten flüssigen Ausgangsstoffes in einen CVD-Reaktor
DE10058700A1 (de) * 2000-11-25 2002-06-06 Saint Gobain Glasscheibe mit einem metallisch reflektierenden Schichtsystem
US6468595B1 (en) * 2001-02-13 2002-10-22 Sigma Technologies International, Inc. Vaccum deposition of cationic polymer systems
US20090208754A1 (en) * 2001-09-28 2009-08-20 Vitex Systems, Inc. Method for edge sealing barrier films
US7442227B2 (en) * 2001-10-09 2008-10-28 Washington Unniversity Tightly agglomerated non-oxide particles and method for producing the same
US6709514B1 (en) * 2001-12-28 2004-03-23 Advanced Cardiovascular Systems, Inc. Rotary coating apparatus for coating implantable medical devices
US7030168B2 (en) * 2001-12-31 2006-04-18 Advanced Technology Materials, Inc. Supercritical fluid-assisted deposition of materials on semiconductor substrates
US7119418B2 (en) * 2001-12-31 2006-10-10 Advanced Technology Materials, Inc. Supercritical fluid-assisted deposition of materials on semiconductor substrates
US7208195B2 (en) * 2002-03-27 2007-04-24 Ener1Group, Inc. Methods and apparatus for deposition of thin films
US8900366B2 (en) * 2002-04-15 2014-12-02 Samsung Display Co., Ltd. Apparatus for depositing a multilayer coating on discrete sheets
US8808457B2 (en) 2002-04-15 2014-08-19 Samsung Display Co., Ltd. Apparatus for depositing a multilayer coating on discrete sheets
US20050041292A1 (en) * 2002-05-21 2005-02-24 Wheatley John A. Visible wavelength detector systems and filters therefor
US7095009B2 (en) * 2002-05-21 2006-08-22 3M Innovative Properties Company Photopic detector system and filter therefor
US6929864B2 (en) * 2002-08-17 2005-08-16 3M Innovative Properties Company Extensible, visible light-transmissive and infrared-reflective film and methods of making and using the film
US7215473B2 (en) 2002-08-17 2007-05-08 3M Innovative Properties Company Enhanced heat mirror films
US6933051B2 (en) * 2002-08-17 2005-08-23 3M Innovative Properties Company Flexible electrically conductive film
US6818291B2 (en) 2002-08-17 2004-11-16 3M Innovative Properties Company Durable transparent EMI shielding film
US7018713B2 (en) 2003-04-02 2006-03-28 3M Innovative Properties Company Flexible high-temperature ultrabarrier
US7510913B2 (en) * 2003-04-11 2009-03-31 Vitex Systems, Inc. Method of making an encapsulated plasma sensitive device
US7648925B2 (en) 2003-04-11 2010-01-19 Vitex Systems, Inc. Multilayer barrier stacks and methods of making multilayer barrier stacks
US20040202708A1 (en) * 2003-04-14 2004-10-14 3M Innovative Properties Company Transdermal drug delivery device with translucent inorganic barrier layer
JP2004335564A (ja) * 2003-05-01 2004-11-25 Japan Pionics Co Ltd 気化器
US7442412B2 (en) * 2003-05-08 2008-10-28 Texas Instruments Incorporated Hydrophobic coating for oxide surfaces
US7051282B2 (en) * 2003-06-13 2006-05-23 Microsoft Corporation Multi-layer graphical user interface
US20040261707A1 (en) * 2003-06-26 2004-12-30 Venkat Selvamanickam Apparatus for and method of cooling and positioning a translating substrate tape for use with a continuous vapor deposition process
US7758699B2 (en) * 2003-06-26 2010-07-20 Superpower, Inc. Apparatus for and method of continuous HTS tape buffer layer deposition using large scale ion beam assisted deposition
US7052772B2 (en) * 2003-08-14 2006-05-30 3M Innovative Properties Company Material for packaging electronic components
US20050079278A1 (en) * 2003-10-14 2005-04-14 Burrows Paul E. Method and apparatus for coating an organic thin film on a substrate from a fluid source with continuous feed capability
FI115209B (fi) * 2003-12-15 2005-03-31 Waertsilae Finland Oy Järjestely vesialuksessa
WO2005066667A1 (en) * 2003-12-30 2005-07-21 3M Innovative Properties Company Color shifting retroreflector and method of making same
US7399668B2 (en) * 2004-09-30 2008-07-15 3M Innovative Properties Company Method for making electronic devices having a dielectric layer surface treatment
EP1805013A1 (de) * 2004-10-29 2007-07-11 3M Innovative Properties Company Optische filme mit zyklischen olefincopolymeren
US7435353B2 (en) * 2004-12-09 2008-10-14 President And Fellows Of Harvard College Patterning by energetically-stimulated local removal of solid-condensed-gas layers and solid state chemical reactions produced with such layers
US20070014018A1 (en) * 2004-12-30 2007-01-18 Wheatley John A Internal components of optical device comprising hardcoat
JP5002584B2 (ja) * 2005-04-26 2012-08-15 バイエル・テクノロジー・サービシズ・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング 親和性検定方法による分析試料検出用の基質をコーティングするための新規な装置および方法
US20070020451A1 (en) 2005-07-20 2007-01-25 3M Innovative Properties Company Moisture barrier coatings
US7767498B2 (en) * 2005-08-25 2010-08-03 Vitex Systems, Inc. Encapsulated devices and method of making
US8945684B2 (en) * 2005-11-04 2015-02-03 Essilor International (Compagnie Generale D'optique) Process for coating an article with an anti-fouling surface coating by vacuum evaporation
KR20080080154A (ko) * 2005-12-29 2008-09-02 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 컴파니 코팅 공정을 위한 물질의 분무화 방법
US20070194470A1 (en) * 2006-02-17 2007-08-23 Aviza Technology, Inc. Direct liquid injector device
EP1840940B8 (de) * 2006-03-28 2014-11-26 Thallner, Erich, Dipl.-Ing. Vorrichtung und Verfahren zum Beschichten eines mikro- und/oder nanostrukturierten Struktursubstrats
JP2007260895A (ja) 2006-03-28 2007-10-11 Erich Thallner マイクロ構造および／またはナノ構造の構造基板をコーティングするための装置および方法
US20070237897A1 (en) * 2006-03-28 2007-10-11 Erich Thallner Device and method for coating a microstructured and/or nanostructured structural substrate
US20070243258A1 (en) * 2006-04-13 2007-10-18 3M Innovative Properties Company Method and apparatus for forming crosslinked chromonic nanoparticles
US20070285779A1 (en) * 2006-06-13 2007-12-13 Walker Christopher B Optical films comprising high refractive index and antireflective coatings
US20070285778A1 (en) * 2006-06-13 2007-12-13 Walker Christopher B Optical films comprising high refractive index and antireflective coatings
US20080006819A1 (en) * 2006-06-19 2008-01-10 3M Innovative Properties Company Moisture barrier coatings for organic light emitting diode devices
US20080033336A1 (en) * 2006-08-02 2008-02-07 Sangha Jangbir S Specimen collector with dissolvable coating
EP2109899A4 (de) * 2006-12-19 2012-12-12 Veeco Instr Inc Aufdampfungsquellen und verfahren
JP5519293B2 (ja) * 2006-12-28 2014-06-11 スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー 薄膜金属層形成のための核形成層
US8120854B2 (en) * 2006-12-28 2012-02-21 3M Innovative Properties Company Interference films having acrylamide layer and method of making same
CN101573471A (zh) * 2006-12-29 2009-11-04 3M创新有限公司 固化含有金属烷氧化物的膜的方法
KR20150015013A (ko) * 2006-12-29 2015-02-09 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 컴파니 무기 또는 무기/유기 하이브리드 필름의 제조 방법
US8084102B2 (en) * 2007-02-06 2011-12-27 Sion Power Corporation Methods for co-flash evaporation of polymerizable monomers and non-polymerizable carrier solvent/salt mixtures/solutions
US10035932B2 (en) 2007-09-25 2018-07-31 Aero Advanced Paint Technology, Inc. Paint replacement films, composites therefrom, and related methods
WO2009055989A1 (en) * 2007-10-30 2009-05-07 Acm Research (Shanghai) Inc. Method and apparatus to prewet wafer surface for metallization from electrolyte solution
US9295167B2 (en) 2007-10-30 2016-03-22 Acm Research (Shanghai) Inc. Method to prewet wafer surface
CN101939669A (zh) * 2007-10-30 2011-01-05 3M创新有限公司 用于光学显示滤光片的带电磁干扰屏蔽的多层堆叠光学带通膜
CN101945965A (zh) * 2007-12-28 2011-01-12 3M创新有限公司 柔性封装膜系统
BRPI0821436A2 (pt) * 2007-12-28 2015-06-16 3M Innovative Properties Co Filmes refletores de infravermelho para controle solar e outros usos
US10981371B2 (en) 2008-01-19 2021-04-20 Entrotech, Inc. Protected graphics and related methods
JP5231028B2 (ja) * 2008-01-21 2013-07-10 東京エレクトロン株式会社 塗布液供給装置
WO2009107310A1 (ja) * 2008-02-29 2009-09-03 株式会社康井精機 複合材料シートの製造装置
US9498790B2 (en) * 2008-04-16 2016-11-22 Imbox Shoecare A/S Apparatus for impregnation of items with an impregnating agent
US8350451B2 (en) * 2008-06-05 2013-01-08 3M Innovative Properties Company Ultrathin transparent EMI shielding film comprising a polymer basecoat and crosslinked polymer transparent dielectric layer
EP2304069A4 (de) 2008-06-30 2012-01-04 3M Innovative Properties Co Verfahren zur herstellung von anorganischen barrierefilmen oder anorganisch/organischen hybridbarrierefilmen
EP2340164B1 (de) * 2008-09-26 2021-03-24 Entrotech, Inc. Verfahren zur in-situ-filmpolymerisierung
WO2010046814A1 (en) 2008-10-23 2010-04-29 International Business Machines Corporation Method and device for high density data storage
WO2010056559A2 (en) * 2008-11-17 2010-05-20 3M Innovative Properties Company Gradient composition barrier
WO2010080109A1 (en) * 2008-12-18 2010-07-15 Veeco Instruments Inc. Vacuum deposition sources having heated effusion orifices
US9184410B2 (en) 2008-12-22 2015-11-10 Samsung Display Co., Ltd. Encapsulated white OLEDs having enhanced optical output
US9337446B2 (en) * 2008-12-22 2016-05-10 Samsung Display Co., Ltd. Encapsulated RGB OLEDs having enhanced optical output
US20100167002A1 (en) * 2008-12-30 2010-07-01 Vitex Systems, Inc. Method for encapsulating environmentally sensitive devices
EP2408947A1 (de) * 2009-03-19 2012-01-25 Anthony Herbert Vorrichtung und verfahren zur abscheidung von funktionellen überzügen
US9062369B2 (en) * 2009-03-25 2015-06-23 Veeco Instruments, Inc. Deposition of high vapor pressure materials
US9464179B2 (en) 2009-04-15 2016-10-11 3M Innovative Properties Company Process and apparatus for a nanovoided article
US10539722B2 (en) 2009-04-15 2020-01-21 3M Innovative Properties Company Optical film
BRPI1006654A2 (pt) 2009-04-15 2016-02-10 3M Innovative Properties Co construções ópticas retrorrefletoras e filmes ópticos
KR101679895B1 (ko) 2009-04-15 2016-11-25 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 컴파니 나노공극형 물품을 위한 방법 및 장치
US9291752B2 (en) 2013-08-19 2016-03-22 3M Innovative Properties Company Retroreflecting optical construction
KR20120039042A (ko) 2009-08-03 2012-04-24 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 컴파니 광학적으로 투명한 전도성 금속 또는 금속 합금 박막의 형성 방법 및 그에 의해 제조된 필름
BR112012011654A2 (pt) 2009-11-18 2020-08-25 3M Innovantive Properties Company filmes opticos de multiplas camadas
WO2011068695A1 (en) * 2009-12-02 2011-06-09 3M Innovative Properties Company Multilayer emi shielding thin film with high rf permeability
US8590338B2 (en) * 2009-12-31 2013-11-26 Samsung Mobile Display Co., Ltd. Evaporator with internal restriction
US8828303B2 (en) 2010-03-31 2014-09-09 Entrotech, Inc. Methods for polymerizing films in-situ using a radiation source
KR101954457B1 (ko) 2010-04-15 2019-03-05 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 캄파니 광학적 활성 영역 및 광학적 불활성 영역을 포함하는 재귀반사성 물품
WO2011129833A1 (en) 2010-04-15 2011-10-20 3M Innovative Properties Company Retroreflective articles including optically active areas and optically inactive areas
MX341955B (es) 2010-04-15 2016-09-08 3M Innovative Properties Co Articulos retrorreflectantes que incluyen areas opticamente activas y areas opticamente inactivas.
US8555965B2 (en) * 2010-05-06 2013-10-15 Schlumberger Technology Corporation High frequency surface treatment methods and apparatus to extend downhole tool survivability
US9254506B2 (en) 2010-07-02 2016-02-09 3M Innovative Properties Company Moisture resistant coating for barrier films
TWI537132B (zh) 2010-07-02 2016-06-11 ３Ｍ新設資產公司 阻隔組合
RU2445150C1 (ru) * 2010-08-09 2012-03-20 Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный горный институт имени Г.В. Плеханова (технический университет)" Способ очистки от углеводородов парогазовой среды
TW201209219A (en) * 2010-08-16 2012-03-01 Hon Hai Prec Ind Co Ltd Coating apparatus and coating method
JP5564573B2 (ja) * 2010-09-03 2014-07-30 株式会社アルバック 保護膜形成方法、表面平坦化方法
EP2625313B1 (de) 2010-10-06 2020-12-09 3M Innovative Properties Company Antireflexpartikel mit beschichtungen auf nanosilicabasis
KR20170137207A (ko) 2010-10-06 2017-12-12 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 컴파니 나노실리카계 코팅 및 배리어층을 갖는 반사방지 물품
CN103988578B (zh) 2011-08-04 2017-07-21 3M创新有限公司 边缘受保护的阻隔组件
CN103732792B (zh) 2011-08-05 2016-06-29 3M创新有限公司 用于处理蒸气的系统和方法
KR101930849B1 (ko) * 2011-12-28 2018-12-20 삼성디스플레이 주식회사 박막 증착 장치 및 그것을 이용한 박막 증착 방법
EP2868767B1 (de) * 2012-06-29 2019-08-07 ULVAC, Inc. Vorrichtung zur bildung organischer dünnschichten
SG11201500946SA (en) 2012-08-08 2015-03-30 3M Innovative Properties Co Articles including a (co)polymer reaction product of a urethane (multi)-(meth)acrylate (multi)-silane
TWI610806B (zh) 2012-08-08 2018-01-11 ３Ｍ新設資產公司 障壁膜，製造該障壁膜之方法，及包含該障壁膜之物件
EP2883248B1 (de) 2012-08-08 2017-07-19 3M Innovative Properties Company Photovoltaikvorrichtung mit verkapseltem sperrfilm
BR112015002840A2 (pt) 2012-08-08 2017-08-08 3M Innovative Properties Co construções de filme de barreira e métodos para fabricação das mesmas
US10784455B2 (en) 2012-08-08 2020-09-22 3M Innovative Properties Company Coatings for barrier films and methods of making and using the same
US20150294793A1 (en) 2012-11-21 2015-10-15 3M Innovative Properties Company Multilayer film including first and second dielectric layers
US20150302990A1 (en) 2012-11-21 2015-10-22 3M Innovative Properties Company Multilayer film including first and second dielectric layers
EP2935373A4 (de) 2012-12-20 2016-07-27 3M Innovative Properties Co Copolymere mit ultraviolettlicht-absorbierenden gruppen und fluorpolymerzusammensetzungen damit
EP2935472B1 (de) 2012-12-20 2018-09-12 3M Innovative Properties Company Fluorpolymerzusammensetzung mit einem oligomer mit uv-absorbierender gruppe
WO2014144862A2 (en) * 2013-03-15 2014-09-18 Ndsu Research Foundation Synthesis of silicon containing materials using liquid hydrosilane compositions through direct injection
US20150024522A1 (en) * 2013-07-22 2015-01-22 Rohm And Haas Electronic Materials Llc Organometal materials and process
US10199603B2 (en) 2013-07-24 2019-02-05 3M Innovative Properties Company Adhesive barrier film construction
FI125920B (en) * 2013-09-09 2016-04-15 Beneq Oy A method of coating a substrate
WO2015047572A1 (en) 2013-09-24 2015-04-02 3M Innovative Properties Company Transferable transparent conductive patterns and display stack materials
WO2015095114A1 (en) 2013-12-19 2015-06-25 3M Innovative Properties Company Barrier films and vacuum insulated panels employing same
US9220294B2 (en) 2014-02-11 2015-12-29 Timothy McCullough Methods and devices using cannabis vapors
US10821240B2 (en) 2014-02-11 2020-11-03 Vapor Cartridge Technology Llc Methods and drug delivery devices using cannabis
US9380813B2 (en) 2014-02-11 2016-07-05 Timothy McCullough Drug delivery system and method
KR101540969B1 (ko) 2014-05-28 2015-08-03 한국원자력연구원 임팩트 구조 개선에 의한 입자회수율 제고장치
US11110689B2 (en) 2014-06-25 2021-09-07 3M Innovative Properties Company Pressure sensitive adhesive composition including ultraviolet light-absorbing oligomer
SG11201610789SA (en) 2014-06-25 2017-01-27 3M Innovative Properties Co Pressure sensitive adhesive composition including ultraviolet light-absorbing oligomer
US10125251B2 (en) 2014-06-25 2018-11-13 3M Innovative Properties Company Fluoropolymer composition including at least one oligomer
CN105633300B (zh) * 2014-11-07 2018-03-06 罗门哈斯电子材料有限公司 金属有机材料和方法
US20160223269A1 (en) * 2015-02-04 2016-08-04 Outlast Technologies, LLC Thermal management films containing phase change materials
RU2594423C1 (ru) * 2015-05-29 2016-08-20 Общество с ограниченной ответственностью "КОРА Инжиниринг" Установка для дозированной подачи компонентов композитного материала
KR20160147482A (ko) * 2015-06-15 2016-12-23 삼성전자주식회사 가스 혼합부를 갖는 반도체 소자 제조 설비
JP6940418B2 (ja) 2015-06-25 2021-09-29 スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー 紫外線吸収基を含むコポリマー及びそれを含む組成物
US20180141080A1 (en) 2015-06-30 2018-05-24 3M Innovative Properties Company Discontinuous coatings and methods of forming the same
KR20180031793A (ko) 2015-08-17 2018-03-28 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 컴파니 배리어 필름 구조물
KR102579723B1 (ko) 2015-08-17 2023-09-15 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 컴파니 나노점토 충전된 배리어 접착제 조성물
TW201726414A (zh) 2015-08-19 2017-08-01 ３Ｍ新設資產公司 包括多層障壁總成之複合物品及其製造方法
CN107922656B (zh) 2015-08-19 2019-06-14 3M创新有限公司 复合制品及其制备方法
EP3337848B1 (de) 2015-08-19 2019-05-29 3M Innovative Properties Company Verbundartikel mit einer mehrschichtigen barriereanordnung und verfahren zur herstellung davon
WO2017151285A1 (en) 2016-03-04 2017-09-08 3M Innovative Properties Company Magnetic multilayer sheet
CN109075262A (zh) 2016-03-25 2018-12-21 3M创新有限公司 多层阻挡膜
KR20180130548A (ko) 2016-04-01 2018-12-07 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 캄파니 롤-투-롤 원자 층 침착 장치 및 방법
CH712376A1 (de) * 2016-04-19 2017-10-31 Camag Derivatisierungsgerät und -verfahren.
CN109415607B (zh) 2016-06-16 2022-08-09 3M创新有限公司 纳米粒子填充的阻隔性粘合剂组合物
WO2017218476A2 (en) 2016-06-16 2017-12-21 3M Innovative Properties Company Nanoparticle filled barrier adhesive compositions
US20190136095A1 (en) 2016-09-20 2019-05-09 Aero Advanced Paint Technology, Inc. Paint Film Appliques with Reduced Defects, Articles, and Methods
US10756306B2 (en) 2016-10-28 2020-08-25 3M Innovative Properties Company Nanostructured article
CN106880135A (zh) * 2017-03-22 2017-06-23 岳西县海创饰品有限公司 一种拉链打蜡设备
CN106901460A (zh) * 2017-03-22 2017-06-30 岳西县海创饰品有限公司 一种利用蜡蒸汽冷凝附着的拉链打蜡装置
US11117358B2 (en) 2017-03-30 2021-09-14 3M Innovative Properties Company Transfer articles
KR102585183B1 (ko) 2017-04-21 2023-10-04 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 컴파니 배리어 접착제 조성물 및 물품
US10510995B1 (en) * 2017-09-28 2019-12-17 Sharp Kabushiki Kaisha Film formation method and method of manufacturing display device using the same
CN109628910B (zh) * 2017-10-07 2023-06-30 株式会社Flosfia 形成膜的方法
US11591501B2 (en) 2017-12-06 2023-02-28 3M Innovative Properties Company Barrier adhesive compositions and articles
EP4030941A1 (de) 2019-09-16 2022-07-27 Vapor Cartridge Technology LLC Arzneimittelverabreichungssystem mit stapelbaren substraten
US20240023350A1 (en) 2020-12-09 2024-01-18 3M Innovative Properties Company Barrier assembly for solar cells
WO2022243790A1 (en) 2021-05-19 2022-11-24 3M Innovative Properties Company Packaged abrasive articles
WO2022243772A1 (en) 2021-05-20 2022-11-24 3M Innovative Properties Company Micro-cut patterned article and method of making same

Family Cites Families (65)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3379803A (en) * 1964-05-04 1968-04-23 Union Carbide Corp Coating method and apparatus for deposition of polymer-forming vapor under vacuum
US3374111A (en) * 1964-06-30 1968-03-19 Ibm Method for depositing thin dielectric polymer films
GB1168641A (en) * 1966-05-19 1969-10-29 British Iron Steel Research Formation of Polymer Coatings on Substrates.
US3518111A (en) * 1966-12-01 1970-06-30 Gen Electric Photopolymerized film,coating and product,and method of forming
US3665269A (en) * 1969-12-29 1972-05-23 Gen Electric Capacitors having a photopolymerized dielectric film
FR2110622A5 (de) * 1970-10-23 1972-06-02 Commissariat Energie Atomique
US4104438A (en) * 1975-01-20 1978-08-01 E. I. Du Pont De Nemours And Company Gas-barrier coated films, sheets or foils and method of preparation
CA1071035A (en) * 1975-01-20 1980-02-05 Rudolph J. Angelo Gas-barrier coated films, sheets or foils and method of preparation
US4076866A (en) * 1975-03-30 1978-02-28 Massachusetts Institute Of Technology Method of growing films by flash vaporization
US4325986A (en) * 1979-05-29 1982-04-20 University Of Delaware Method for continuous deposition by vacuum evaporation
US4290384A (en) * 1979-10-18 1981-09-22 The Perkin-Elmer Corporation Coating apparatus
JPS57134558A (en) * 1981-02-16 1982-08-19 Fuji Photo Film Co Ltd Production of organic vapor deposited thin film
US4734451A (en) * 1983-09-01 1988-03-29 Battelle Memorial Institute Supercritical fluid molecular spray thin films and fine powders
US4734227A (en) * 1983-09-01 1988-03-29 Battelle Memorial Institute Method of making supercritical fluid molecular spray films, powder and fibers
US4499520A (en) * 1983-12-19 1985-02-12 General Electric Company Capacitor with dielectric comprising poly-functional acrylate polymer and method of making
US4842893A (en) * 1983-12-19 1989-06-27 Spectrum Control, Inc. High speed process for coating substrates
US5018048A (en) * 1983-12-19 1991-05-21 Spectrum Control, Inc. Miniaturized monolithic multi-layer capacitor and apparatus and method for making
US5032461A (en) * 1983-12-19 1991-07-16 Spectrum Control, Inc. Method of making a multi-layered article
US5097800A (en) * 1983-12-19 1992-03-24 Spectrum Control, Inc. High speed apparatus for forming capacitors
US5125138A (en) * 1983-12-19 1992-06-30 Spectrum Control, Inc. Miniaturized monolithic multi-layer capacitor and apparatus and method for making same
EP0155823B1 (de) * 1984-03-21 1989-07-26 Nihon Shinku Gijutsu Kabushiki Kaisha Beschichtung von Gegenständen mit Kunststoffilmen
JPS60239921A (ja) * 1984-05-11 1985-11-28 Fujitsu Ltd 磁気記録媒体表面の潤滑膜形成方法
US4722515A (en) * 1984-11-06 1988-02-02 Spectrum Control, Inc. Atomizing device for vaporization
US4682565A (en) * 1984-11-19 1987-07-28 Sfe Technologies Vapor nozzle with gas barrier bars
EP0242460A1 (de) * 1985-01-18 1987-10-28 SPECTRUM CONTROL, INC. (a Pennsylvania corporation) Zerstäuber zum Verdampfen eines Monomers
EP0209403B1 (de) * 1985-07-15 1991-10-23 Research Development Corporation of Japan Verfahren zur Herstellung von ultrafeinen organischen Verbindungen
JP2543337B2 (ja) * 1985-07-22 1996-10-16 ノ−ドソン株式会社 熱可塑性接着剤の塗布方法
US4675270A (en) * 1986-02-10 1987-06-23 Loctite (Ireland) Limited Imaging method for vapor deposited photoresists of anionically polymerizable monomer
US4954371A (en) * 1986-06-23 1990-09-04 Spectrum Control, Inc. Flash evaporation of monomer fluids
US4771946A (en) * 1986-11-13 1988-09-20 Ashland Oil, Inc. Modified spray guns for vaporous amine-assisted spray coatings and method therefor
IT1199795B (it) * 1986-12-17 1988-12-30 Ausimont Spa Processo per il consolidamento di materiali a struttura discontinua
EP0283311B1 (de) * 1987-03-18 2001-08-01 Kabushiki Kaisha Toshiba Verfahren zur Herstellung von Dünnschichten
US4891249A (en) * 1987-05-26 1990-01-02 Acumeter Laboratories, Inc. Method of and apparatus for somewhat-to-highly viscous fluid spraying for fiber or filament generation, controlled droplet generation, and combinations of fiber and droplet generation, intermittent and continuous, and for air-controlling spray deposition
JPH0829273B2 (ja) * 1988-08-24 1996-03-27 マークテック株式会社 複数のノズルを持つ二流体スプレーガン
US5316579A (en) * 1988-12-27 1994-05-31 Symetrix Corporation Apparatus for forming a thin film with a mist forming means
US5456945A (en) * 1988-12-27 1995-10-10 Symetrix Corporation Method and apparatus for material deposition
DE3921255A1 (de) * 1989-06-29 1991-01-03 Krebsoege Gmbh Sintermetall Verfahren zur erzeugung eines in einem traegergasstrom foerderbaren fluessigkeitsnebels und vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens
US5090985A (en) * 1989-10-17 1992-02-25 Libbey-Owens-Ford Co. Method for preparing vaporized reactants for chemical vapor deposition
JP2992760B2 (ja) * 1990-02-15 1999-12-20 ノードソン株式会社 ノズル孔より流出する液体又は溶融体をその周辺よりの気体噴出流により偏向分配する方法
US5190592A (en) * 1990-05-02 1993-03-02 Commissariat A L'energie Atomique Aerosol injection system for producing composite layers by pyrolysis
JPH05138083A (ja) * 1991-11-15 1993-06-01 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液体の微粒化装置
US5229171A (en) * 1991-12-23 1993-07-20 Research Triangle Institute Apparatus and method for uniformly coating a substrate in an evacuable chamber
JP3222518B2 (ja) * 1991-12-26 2001-10-29 キヤノン株式会社 液体原料気化装置および薄膜形成装置
DE69218152T2 (de) * 1991-12-26 1997-08-28 Canon Kk Herstellungsverfahren einer niedergeschlagenen Schicht mittels CVD, unter Verwendung von flüssigem Rohstoff und dazu geeignete Vorrichtung
DE4202652C2 (de) * 1992-01-30 1996-03-28 Fraunhofer Ges Forschung Verfahren zum Aufbringen einer UV- und/oder elektronenstrahlempfindlichen Lackschicht
NL9200415A (nl) * 1992-03-06 1993-10-01 Bronkhorst High Tech Bv Werkwijze voor het omzetten van een vloeistofstroom in een gasstroom, en inrichting voor het uitvoeren van de werkwijze.
US5271957A (en) * 1992-06-18 1993-12-21 Eastman Kodak Company Chemical vapor deposition of niobium and tantalum oxide films
FR2704558B1 (fr) 1993-04-29 1995-06-23 Air Liquide Procede et dispositif pour creer un depot d'oxyde de silicium sur un substrat solide en defilement.
KR100241470B1 (ko) * 1993-10-04 2000-02-01 지. 쇼 데이비드 커패시터 유전체 및 산소 배리어의 형성에 유용한 가교 결합된 아크릴레이트 코팅 물질
US5440446A (en) * 1993-10-04 1995-08-08 Catalina Coatings, Inc. Acrylate coating material
US5630878A (en) * 1994-02-20 1997-05-20 Stec Inc. Liquid material-vaporizing and supplying apparatus
US5492724A (en) * 1994-02-22 1996-02-20 Osram Sylvania Inc. Method for the controlled delivery of vaporized chemical precursor to an LPCVD reactor
US5478014A (en) * 1994-04-20 1995-12-26 Hynds; James E. Method and system for hot air spray coating and atomizing device for use therein
US5776254A (en) * 1994-12-28 1998-07-07 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Apparatus for forming thin film by chemical vapor deposition
US5607789A (en) * 1995-01-23 1997-03-04 Duracell Inc. Light transparent multilayer moisture barrier for electrochemical cell tester and cell employing same
US5540959A (en) * 1995-02-21 1996-07-30 Howard J. Greenwald Process for preparing a coated substrate
US5877895A (en) * 1995-03-20 1999-03-02 Catalina Coatings, Inc. Multicolor interference coating
US5653813A (en) * 1995-04-03 1997-08-05 Novellus Systems, Inc. Cyclone evaporator
US5811183A (en) * 1995-04-06 1998-09-22 Shaw; David G. Acrylate polymer release coated sheet materials and method of production thereof
US5681615A (en) * 1995-07-27 1997-10-28 Battelle Memorial Institute Vacuum flash evaporated polymer composites
US5711994A (en) * 1995-12-08 1998-01-27 Kimberly-Clark Worldwide, Inc. Treated nonwoven fabrics
US5958510A (en) * 1996-01-08 1999-09-28 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for forming a thin polymer layer on an integrated circuit structure
JP2002502465A (ja) * 1997-06-02 2002-01-22 エムエスピー・コーポレーション 蒸気発生および膜析出のための方法及び装置
US5882416A (en) * 1997-06-19 1999-03-16 Advanced Technology Materials, Inc. Liquid delivery system, heater apparatus for liquid delivery system, and vaporizer
US6203898B1 (en) 1997-08-29 2001-03-20 3M Innovatave Properties Company Article comprising a substrate having a silicone coating

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102011014311A1 (de) * 2011-03-17 2012-09-20 Centrotherm Thermal Solutions Gmbh & Co. Kg Verfahren und Vorrichtung zum Einbringen eines Prozessgases in einem Prozessraum einer Prozesskammer

Also Published As

Publication number Publication date
KR20010032621A (ko) 2001-04-25
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US6245150B1 (en) 2001-06-12

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