DE69916353T2

DE69916353T2 - Anzeigevorrichtung

Info

Publication number: DE69916353T2
Application number: DE1999616353
Authority: DE
Inventors: Hiroshi Mori; Kiyohiko Miyahara; Hidehiro Kawaguchi; Suehiro Nakamura
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1998-02-19
Filing date: 1999-02-19
Publication date: 2005-01-13
Anticipated expiration: 2019-02-20
Also published as: US6184620B1; EP0938123A3; CN1226739A; JPH11233024A; EP0938123B1; CN1124633C; DE69916353D1; EP0938123A2

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Anzeigevorrichtung mit Wechselstromansteuerung unter Nutzung von Plasmaentladung.
Bisher ist eine Anzeigeeinrichtung mit Wechselstromansteuerung unter Verwendung von Plasma, d. h., ein sogenanntes AC-Plasmaanzeigefeld (Plasmaanzeigefeld: PDP) bekannt. Als AC-PDP dieser Art ist gibt es ein Plasmaanzeigefeld, welches in der Lage ist, Licht, welches durch ein Entladungsgas emittiert wird, anzuzeigen, und ein derartiges Plasmaanzeigefeld, welches in der Lage ist, ein Fluoreszenz-Material durch ultraviolette Strahlen, welche durch Entladung erzeugt werden, anzuregen.
Bisher sind konventionelle Farb-PDPs bekannt, welche durch eine Zweiphasen-Elektrode und durch Dreiphasen-Elektroden angesteuert werden. Wie in der US 4 737 687A offenbart ist, sind monolithische PDPs, bei denen Elektroden lediglich auf einem Substrat angeordnet sind, durch den Stand der Technik ebenfalls bekannt.
1 zeigt eine Anordnung einer Farb-AC-PDP 1, welche durch Dreiphasen-Elektroden angesteuert wird. 1 ist eine perspektivische Ansicht, die einen Bereich zeigt, der einen Bereich umfasst, der einem Pixel entspricht. 2 ist eine Querschnittsansicht längs der Linie A-A in 1, welche parallel zur Richtung ist, in welcher sich Adresselektroden von 1 erstrecken. 3 ist eine Querschnittsansicht längs der Linie B-B in 1, die parallel zur Richtung ist, in welcher sich Anzeigeelektroden von 1 erstrecken.
Diese Farb-AC-PDP 1 umfasst eine Dreielektrodenstruktur, bei der zwei paarweise angeordnete Anzeigeelektroden 2, 2 und eine Adresselektrode 3 in einem Matrixanzeigeeinheits-Lichtemissionsbereich einander gegenüberliegen und bei der Fluoreszenzmaterialien 4 (4R, 4G, 4B) auf Seiten der Adresselektrode 3 gebildet sind.
Das heißt, es sind mehrere Sätze (lediglich ein Satz ist in der Figur gezeigt) der beiden Anzeigeelektroden 2, 2 auf einem ersten Substrat aufgereiht, d. h., einem vorderen Glassubstrat 5 auf der Seite der Anzeigefläche. Eine dielektrische Schicht 6 ist so ausgebildet, dass sie die Anzeigeelektroden 2, 2 überdeckt. Außerdem ist ein MgO-Film, der eine Dicke von mehreren tausendstel eines Angströms hat, auf der Fläche der dielektrischen Schicht 6 als Schutzschicht 7 gebildet. Das Bezugszeichen 8 bezeichnet eine Buselektrode, die einen niedrigen Widerstandswert hat, die auf den Anzeigeelektroden 2, 2 gebildet ist.
Dagegen ist die Adresselektrode 3, die bewirkt, dass der Bereich, der Licht emittiert, leuchtend wird, selektiv auf einem zweiten Substrat gegenüber dem Frontglassubstrat 5 aufgereiht, beispielsweise auf einem hinteren Glassubstrat 10 in der Richtung senkrecht zu den Anzeigeelektroden 2, 2, beispielsweise mit einer Teilung von ungefähr 200 Mikron. Außerdem ist eine dielektrische Schicht 12 so ausgebildet, dass sie die Adresselektroden 3 überdeckt. Eine streifenförmige Trennwand 11, die eine Breite von ungefähr 100 Mikron hat, um eine Abstandsgröße eines Entladeraums zu bestimmen, ist zwischen benachbarten Elektroden 3 gebildet, wodurch der Entladeraum bei jedem Lichtemissions-Bereichseinheit in der Zeilenrichtung (Ausdehnungsrichtung der Anzeigeelektroden 2, 2) partitioniert ist. Außerdem sind Fluoreszenz-Materialien 4R, 4G, 4B der drei Farben "rot, grün und blau" zwischen benachbarten Partitionswänden 11 durch Überziehen gebildet. Übrigens ist im Entladeraum ein Penning-Gas eingeschlossen, bei dem Xenon mit Neon gemischt ist, beispielsweise als Entladegas, um die Fluoreszenz-Materialien 4 (4R, 4G, 4B) mit ultravioletten Strahlen anzuregen.
Jedes Pixel (Bildelement), welches den Anzeigebildschirm bildet, besteht aus drei Lichtemissions-Bereichseinheiten aus rot (R), grün (G), blau (B) des gleichen Bereichs, der auf der Zeilenrichtung aufgereiht ist.
Bei dieser Farb-AC-PDP 1 wird, nachdem eine Entladung zwischen einer Anzeigeelektrode 2 der beiden Anzeigeelektroden 2, 2 und der ausgewählten Adresselektrode 3 begonnen ist, die Entladung zwischen den beiden Anzeigeelektroden 2 und 2 beibehalten, und die Fluoreszenz-Materialien 4 (4R, 4G, 4B) werden, damit sie leuchtend werden, durch die ultravioletten Strahlen erregt, welche durch Plasmaentladung erzeugt werden, die in diesem Zeitpunkt erzeugt wird. Folglich ist es durch selektives Veranlassen, dass jede Lichtemissions-Bereichseinheit leuchtend wird, möglich, eine Vollfarbenanzeige durch eine Kombination von rot (R), grün (G), blau (B) darzustellen.
Bei einer derartigen Farb-AC-PDP 1 ist es, damit die Anzeigepixel hochauflösend werden, notwendig, den Abstand zwischen den Anzeigeelektroden 2 und 2 zu reduzieren. In diesem Zusammenhang ist es notwendig, den Abstand zwischen der Adresselektrode 3 und der Anzeigelektrode 2 so zu gestalten, dass er gleich dem Abstand zwischen den Anzeigeelektroden 2 und 2 wird.
Es besteht jedoch eine Grenze, den Abstand zwischen den Anzeigeelektroden 2 und 2 zu reduzieren. Dies erschwert es somit, dass das Anzeigepixel hochauflösend wird.
Wenn der Abstand zwischen den Elektroden 2 und 2 kleiner als beispielsweise 20 Mikron wird, wird, wenn das Fluoreszenz-Material, welches eine Dicke im Bereich von 20 bis 40 Mikron hat, gebildet wird, ein Plasmaentladungsraum 14, der in 3 gezeigt ist, verloren. Es besteht dann die Gefahr, dass eine Entladungszerstörung zwischen den Elektroden auftritt.
Sogar, wenn man eine Anordnung in Betracht zieht, bei der der Plasmaentladungsraum 14 aufrechterhalten wird, ist der Bereich, in welchem die Fluoreszenz-Materialien gebildet werden sollten, begrenzt. Wenn die Fluoreszenz-Materialien 4 reduziert werden, wird die Helligkeit niedrig. Außerdem besteht der Nachteil, dass die Fluoreszenz-Materialien durch Ionenbeschuss verschlechtert werden.
Im Hinblick auf den oben erwähnten Gesichtspunkt ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine hochauflösende Anzeigeeinrichtung bereitzustellen.
Außerdem ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Anzeigevorrichtung gemäß Anspruch 1 bereitzustellen, bei der die Struktur vereinfacht werden kann und bei der ein Herstellungsprozess erleichtert werden kann.
Gemäß der vorliegenden Erfindung wird eine Anzeigevorrichtung bereitgestellt, bei welcher bei einer Anzeigevorrichtung mit Wechselstromansteuerung unter Nutzung von Plasmaentladung eine Entladungsaufrechterhaltungs-Elektrodengruppe, eine Adresselektrodengruppe und eine Entladungsstart-Adresselektrodengruppe, die Teil der Adresselektrodengruppe ist, auf dem gleichen Substrat gebildet sind, die Entladungsaufrechterhaltungs-Elektrodengruppe und die Entladungsstart-Adresselektrodengruppe auf der gleichen Ebene gebildet werden und die Entladungsstart-Adresselektroden und die Adresselektroden kontinuierlich im gleichen Zeitpunkt gebildet werden.
Bei der Anzeigevorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung kann, da die Entladungsaufrechterhaltungs-Elektrodengruppe, die Adresselektrodengruppe und die Entladungsstart-Adresselektrodengruppe auf dem gleichen Substrat gebildet sind, sogar wenn der Abstand zwischen der Adresselektrode und der Entladungsaufrechterhaltungselektrode zu weit reduziert wird, der Plasmaentladungsraum durch die Trennwand ausreichend beibehalten werden. Somit ist es möglich, ein hochauflösendes Anzeigepixel zu bilden.
Wenn die Fluoreszenz-Schicht auf der Seite des gegenüberliegenden Substrats durch die ultravioletten Strahlen, welche durch das Plasma erzeugt werden, erregt wird, um leuchtend zu werden, können die ultravioletten Strahlen, welche durch das Plasma erzeugt werden, ausreichend aufrechterhalten werden, so dass es möglich wird, dass die Fluoreszenz-Schicht mit einer hohen Helligkeit leuchtend ist. Da die Fluoreszenz-Schicht in der Außenseite des Plasmas angeordnet ist und die Fluoreszenz-Schicht davor geschützt ist, gegenüber dem Plasma ausgesetzt zu sein, ist es ebenfalls möglich, zu verhindern, dass das Fluoreszenz-Material durch Ionenbeschuss des Plasmas verschlechtert wird.
Da die Entladungsaufrechterhaltungs-Elektrodengruppe, die Adresselektrodengruppe und die Entladungsstart-Adresselektrodengruppe auf dem gleichen Substrat gebildet sind, können bei dem Prozess zum Bilden der Elektroden entsprechende Elektroden mit einer hohen Ausrichtungsgenauigkeit positioniert werden. Somit kann beim Prozess zum Versiegeln des Substrats auf Seiten der Elektrode und des gegenüberliegenden Substrats die Ausrichtungstoleranz und das Raumintervall ausreichend vergrößert werden. Da die Entladungsaufrechterhaltungs-Elektrodengruppe und die Entladungsstart-Adresselektrodengruppe auf der gleichen Ebene gebildet sind, ist es möglich, einen Abstand zwischen den beiden Entladungsbeibehaltungselektroden und einem Abstand zwischen einer Entladungsaufrechterhaltungselektrode und der Entladungsstart-Adresselektrode mit hoher Genauigkeit einzustellen.
Da die Adresselektrode und die Entladungsstart-Adresselektrode kontinuierlich im gleichen Zeitpunkt gebildet werden, kann im Vergleich mit der Anordnung, bei der die Adresselektrode und die Entladungsstart-Adresselektrode verbunden sind, nachdem sie individuell gebildet wurden, die Elektrodenstruktur vereinfacht werden, und beide können verlässlich ausgeführt werden. Außerdem kann der Elektrodenherstellungsprozess vereinfacht werden. Damit kann die Ausbeute der Anzeigevorrichtung gesteigert werden und deren Herstellungskosten kann vermindert werden.
1 ist ein Diagramm, welches eine herkömmliche AC-Drei-Phasen-Elektroden-PDP zeigt;
2 ist eine Querschnittsansicht längs der Linie A-A in 1;
3 ist eine Querschnittsansicht längs der Linie B-B in 1;
4 ist ein Diagramm, welches einen Aufbau einer Anzeigevorrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;
5 ist eine Querschnittsansicht der Anzeigevorrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
6 ist eine Draufsicht, welche eine Elektrodenstruktur der Anzeigevorrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;
7 ist eine perspektivische Ansicht, die einen Hauptbereich der Elektrodenstruktur von 6 zeigt;
8A ist eine Querschnittsansicht, welche eine Entladungsaufrechterhaltungselektrode einer AL/Cr-Zwei-Schicht-Filmstruktur zeigt, die bei einer Anzeigevorrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung angewandt wird;
8B ist eine Querschnittsansicht, welche eine Entladungsaufrechterhaltungselektrode eines Cr/Al/Cr-Drei-Schicht-Filmstruktur zeigt, welche bei einer Anzeigevorrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung angewandt wird;
9 ist eine Draufsicht, die dazu verwendet wird, den Elektronenabstand zwischen einer Entladungsaufrechterhaltungselektrode und einer Entladungsstart-Adresselektrode zu erläutern;
10A und 10B sind Diagramme, um die Beziehung zwischen dem Elektronenabstand zwischen Entladungselektroden und einer Dicke einer dielektrischen Schicht zu erläutern;
11 ist eine perspektivische Ansicht, welche eine Struktur einer Fluoreszenzfläche gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;
12A und 12B sind Herstellungsprozessdiagramme eines Elektrodensubstrats einer Anzeigevorrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, wobei 12A eine Draufsicht ist und 12B eine Querschnittsansicht längs der Linie C-C in 12A ist;
13A und 13B Herstellungsprozessdiagramme einer Elektrodenfläche einer Anzeigevorrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist, wobei 13A eine Draufsicht ist und 13B eine Querschnittsansicht längs der Linie C-C von 13A ist;
14A und 14B sind Herstellungsprozessdiagramme eines Elektronensubstrats einer Anzeigevorrichtung gemäß der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, wobei 14A eine Draufsicht ist und 14B eine Querschnittsansicht längs der Linie D-D in 14A ist;
15A und 15B sind Herstellungsprozessdiagramme eines Elektrodensubstrats einer Anzeigevorrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung sind, wobei 15A eine Draufsicht ist und 15B eine Querschnittsansicht längs der Linie D-D in 15A ist;
16A und 16B sind Herstellungsprozessdiagramme einer Anzeigevorrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, wobei 16A eine Draufsicht ist und 16B eine Seitenansicht eines Hauptteils ist;
17 ein Herstellungsprozessdiagramm (eine Seitenansicht eines Hauptteils) einer Anzeigevorrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist; und
18A und 18B sind Herstellungsprozessdiagramme einer Anzeigevorrichtung gemäß der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, wobei 18A eine Draufsicht ist und 18B eine Seitenansicht eines Hauptteils ist.
Zunächst wird eine Übersicht über die vorliegende Erfindung angegeben.
Gemäß einer Anzeigevorrichtung der vorliegenden Erfindung ist bei einer Anzeigevorrichtung mit Wechselstromsteuerung unter Verwendung von Plasmaentladung die Anzeigevorrichtung so angeordnet, dass eine Entladungsaufrechterhaltungs-Elektrodengruppe, welche aus mehreren Entladungsaufrechterhaltungs-Elektroden besteht, und eine Adresselektrodengruppe, welche aus mehreren Adressenelektroden besteht, auf einem Substrat gebildet sind. Eine dielektrische Schicht auf der Entladungsaufrechterhaltungs-Elektrodengruppe, der Adresselektrodengruppe und der Entladungsstart-Adresselektrodengruppe gebildet ist, wobei die Adresselektrodengruppe die Entladungsaufrechterhaltungs-Elektrodengruppe über eine Isolationsschicht kreuzt und eine Entladungsstart-Adressgruppe, die aus mehreren Entladungsstartadresselektroden besteht, die einen Teil der Adresselektrodengruppe umfasst, kontinuierlich im gleichen Zeitpunkt gebildet sind, die Entladungsaufrechterhaltungs-Elektrodengruppe und die Entladungsstart-Adresselektrodengruppe auf der gleichen Fläche des Substrats 22 gebildet sind.
Eine Fluoreszenz-Schicht, die durch ultraviolette Strahlen, welche durch Plasmaentladung erzeugt werden, erregt wird, damit sie leuchtend wird, kann auf dem anderen Substrat gegenüber dem einen Substrat gebildet sein. Die Entladungsaufrechterhaltungs-Elektrodengruppe kann aus einem transparenten leitfähigen Film aus Al, Cr, Au, Ag gebildet sein, weiter einer Laminatschicht aus Cr und Al, beispielsweise eine Al/Cr-Zwei-Schichtstruktur, Cr/Al/Cr-Drei-Schichtstruktur oder dgl..
Wenn die Entladungsaufrechterhaltungs-Elektrodengruppe aus dem Cr- und Al-Laminatfilm gebildet ist, kann ein Flächenoxidfilm von dessen Anschlussbereich entfernt werden.
Die Adresselektrodengruppe und die Entladungsstart-Adresselektrodengruppe kann beispielsweise aus einem Metallmaterial, beispielsweise Al, Ag usw. gebildet sein.
Auf der Fläche der dielektrischen Schicht kann ein MgO-Film gebildet sein, um die dielektrische Schicht zu schützen und der eine Austrittsarbeit vermindert.
Die Entladungsstart-Adresselektroden auf der Seite eines Substrats können in jeder Entladungsbereichseinheit gebildet sein, Partitionswände können auf dem anderen Substrat gebildet sein, die Fluoreszenz-Schicht kann zwischen benachbarten Partitionen gebildet sein und ein Substrat und das andere Substrat können in einer Weise versiegelt sein, dass jede Partitionswand und jede Adresselektrode einander entsprechen.
In der Entladungsaufrechterhaltungselektrode kann der Abstand zwischen den ersten und den zweiten Entladungsaufrechterhaltungselektroden, die das Paar bilden, so festgelegt sein, dass dieser kleiner als 50 μm ist, beispielsweise 5 μm bis 20 μm, und außerdem kleiner als 5 μm und weniger als 1 μm.
Der Abstand zwischen den ersten und den zweiten Entladungsaufrechterhaltungselektroden, welche die beiden Entladungsaufrechterhaltungs-Elektrodengruppen bilden, und der Abstand zwischen der Entladungsstart-Adresselektrode und der Entladungsaufrechterhaltungselektrode (d. h., eine Entladungsaufrechterhaltungselektrode, welche das Paar bildet) kann so festgelegt sein, dass diese im Wesentlichen einander gleich sind, d. h., gleich zueinander oder Abstände bilden, die eng beieinander sind.
Der Abstand zwischen der Entladungsaufrechterhaltungselektrode, d. h., einer Entladungsaufrechterhaltungselektrode, die das Paar bildet, und der Entladungsstart-Adresselektrode, kann innerhalb von ±30& des Abstands zwischen den ersten und zweiten Entladungsaufrechterhaltungselektroden fallen, welche die beiden Entladungsaufrechterhaltungs-Elektrodengruppen bilden.
Der Abstand zwischen der ersten und der zweiten Entladungsaufrechterhaltungselektrode, die das Paar der Entladungsaufrechterhaltungs-Elektrodengruppen bilden, und der Abstand zwischen einer Entladungsbeibehaltungselektrode und der Entladungsstart-Adresselektrode kann innerhalb von ±von Optimalwerten fallen.
In einem luftdichten Container, der durch Versiegeln eines Substrats und des anderen Substrats gebildet wird, d. h., in einen Entladungsraum, können eingeschlossene Gase von mehr als einer Art von He, Ne, Ar, Xe, Kr in einer Weise eingeschlossen sein, dass ein Versiegelungsdruck zu 81 bis 304 kPa (0,8 bis 3,0 atm) wird.
Die Dicke der dielektrischen Schicht auf der Entladungsaufrechterhaltungselektrode und der Entladungsstart-Adresselektrode sollte vorzugsweise so ausgewählt werden, dass diese dünner ist als der Abstand zwischen Elektroden, d. h., dem Abstand zwischen der ersten und der zweiten Entladungsaufrechterhaltungselektrode, die das Paar bilden, und dem Abstand zwischen einer Entladungsaufrechterhaltungselektrode, die das Paar bilden, und der Entladungsstart-Adresselektrode.
Eine Anzeigevorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung kann bei irgendeiner Farbanzeigevorrichtung oder monochromatischen Anzeigevorrichtung angewandt werden.
Bei der Farbanzeigevorrichtung bildet ein Satz von Entladungsbereicheinheiten (sogenannte Dots) aus rot, grün, blau beispielsweise ein Pixel (Bildelement). Bei der monochromatischen Anzeigevorrichtung bildet eine Entladungsbereichseinheit (sogenanntes Dot) ein Pixel (Bildelement).
4 bis 6 zeigen eine Anzeigevorrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Bei dieser Ausführungsform wird die vorliegende Erfindung bei einer Farb-AC-Anzeigevorrichtung angewandt.
Bei dieser Anzeigevorrichtung 21 ist ein sogenanntes Elektrodensubstrat 23 durch Bilden einer Entladungsaufrechterhaltungs-Elektrodengruppe gebildet, welche aus mehreren streifenförmigen Entladungsaufrechterhaltungselektroden I [I₁, I₂ ... I_m] besteht, einer Adresselektrodengruppe, welche aus mehreren streifenförmigen Adresselektroden J [J₁, J₂ ... J_n] besteht, und einer Entladungsstart-Adresselektrodengruppe, welche aus mehreren Entladungsstart-Adresselektroden K [K₁₁, K₂₁, ... K_n, K,₁₂, ... K_n2, ... K_1m, ... K_nm] besteht, die einen Teil jeder Adresselektrode auf dem ersten Isolationssubstrat (beispielsweise Glassubstrat), welches als das eine Substrat dient, zu bilden. Ein sogenanntes Fluoreszenz-Substrat 26, bei dem eine Fluoreszenz-Schicht 25 auf einem zweiten Isolationssubstrat (beispielsweise Glassubstrat) 24 gebildet ist, welches als das andere Substrat gegenüber dem Elektrodensubstrat 23 dient, ist gebildet. Dieses Elektrodensubstrat 23 und das Fluoreszenz-Substrat 26 sind luftdicht versiegelt, um die Anzeigevorrichtung zu bilden.
Die Entladungsaufrechterhaltungs-Elektrodengruppen sind, wie in 6 gezeigt ist, auf der Fläche des Substrats 22 so aufgereiht, um zwei Entladungsaufrechterhaltungselektroden I₁ und I₂, I₃ und I₄, ... I_m–1, und I_m zu bilden, um eine Entladung aufrechtzuerhalten, nachdem die Entladung gestartet wurde.
Die jeweiligen Adresselektroden J₁, ... J_n der Adresselektrodengruppe sind Elektroden, um Anzeigeadressen zu bestimmen, und sie sind einem vorher festgelegten Intervall aufgereiht, die die Entladungsaufrechterhaltungs-Elektrodengruppe kreuzt, längs der Längsrichtung der Entladungsaufrechterhaltungselektroden I [I₁, I₂, ... I_m].
Die jeweiligen Entladungsstart-Adresselektroden K [K_1J, ... K_nm] der Entladungsstart-Adresselektrodengruppe sind Elektroden, um die Entladung zwischen diesen und einer der Elektroden der Entladungsaufrechterhaltungselektroden (I₁, I₂), (I₃, I₄), ... (I_m–1, I_m) zu beginnen, beispielsweise den Entladungsaufrechterhaltungselektroden (I₂, I₄, ... I_m), und sind als Antwort auf die jeweiligen Lichtemissionsbereichseinheiten aufgereiht.
Die Entladungsstart-Adresselektroden K [K_iJ, ... K_nm] sind kontinuierlich und gleichförmig von den jeweiligen Adresselektroden J [J₁, ... J_n] gebildet.
Das heißt, die Adresselektrode J₁ und die Entladungsstart-Adresselektroden K₁₁, K₁₂, ... K_1m sind zusammen als ein Körper gebildet, die Adresselektrode J₂ und die Entladungsstart-Adresselektroden K₂₁, K₂₂ ... K_2m sind zusammen als ein Körper gebildet, ..., und die Adresselektrode J_n und die Entladungsstart-Adresselektroden K_n1, K_n2, ... K_nm sind zusammen als ein Körper ausgebildet.
Wie in 6 und 7 gezeigt ist, sind die Adresselektroden J [J₁, ... J_n] so ausgebildet, dass sie die Entladungsaufrechterhaltungselektroden I [I₁, ... I_m] über eine streifenförmige Isolationsschicht 27 in einer Weise kreuzen, beispielsweise senkrecht dazu sind, dass sie von den Entladungsaufrechterhaltungselektroden I [I₁, ... I_m] elektrisch isoliert werden. Die Entladungsstart-Adresselektroden K [K₁₁, ... K_mn], welche mit den Adresselektroden J [J₁, ... J_n] gebildet sind, als ein Körper, erstrecken sich auf der Fläche des Substrats 22 so, so dass sie den entsprechenden Entladungsaufrecherhaltungselektroden I₂, I₄, ... I_m längs der Seitenfläche der Isolationsschicht 27 gegenüberliegen.
Dementsprechend sind die Entladungsaufrechterhaltungselektroden I [I₁, ... I_m] und die Entladungsstart-Adresselektroden K [K₁₁ ... K_nm] auf der gleichen Fläche des Substrats 22 gebildet. Eine dielektrische Schicht 28, die eine vorher festgelegte Dicke aufweist, ist auf der gesamten Fläche einschließlich der Entladungsaufrechterhaltungselektroden I [I₁, ... I_m], der Adresselektroden J [J₁, ... J_n] und den Entladungsstart-Adresselektroden K [K₁₁, ... K_nm] gebildet. Ein Oxidmagnesiumfilm (MgO) 29, der in der Lage ist, die Entladungsstartspannung durch Reduzierung der Arbeitsfunktion zu vermindern ist auf der Oberfläche der dielektrischen Schicht 28 als Schutzfilm gebildet. In diesem Fall kann der MgO-Film 28 auf der Fläche der dielektrischen Schicht mit Ausnahme der streifenförmigen Adresselektroden J₁, ... J_n gebildet sein, um die Adresselektroden J₁, ... J_n gegenüber einer Entladung zu schützen.
Dann wird, wie in 9 gezeigt ist, ein Abstand d₁ zwischen den Entladungsaufrechterhaltungselektroden, die jedes Paar bilden, und ein Abstand d₂ zwischen einer Entladungsaufrechterhaltungselektrode und der Entladungsstart-Adresselektrode gegenüber dazu so festgelegt, dass diese Abstände sind, die im Wesentlichen gleich einander sind (d. h., Abstände, die einander gleich sind oder Abstände sind, die eng beieinander sind).
Der Abstand d₂ zwischen einer der Entladungsaufrechterhaltungselektroden und der Entladungsstart-Adresselektroden kann in einem Bereich von ±30% des Abstands d zwischen den Entladungsaufrechterhaltungselektroden, die das Paar bilden, fallen.
Wie durch die folgende Gleichung (1) gezeigt ist, sollte ein Druck von Versiegelungsgas, was später beschrieben wird, in einer Weise festgelegt werden, dass ein Produkt eines Versiegelungsgasdrucks P und dem Entladungselektrodenabstand d auf Grund des Gesetzes von Paschen konstant werden kann. Pd = konstant (1)
Der Abstand d₂ kann innerhalb des Bereichs von ±30% des Abstandes fallen, wenn der Versiegelungsgasdruck konstant gemacht wird und die Entladungsstartspannung auf einen Paschen-Minimalwert eingestellt ist.
Außerdem können beide Elektroden d₁ und d₂ innerhalb eines Toleranzbereichs von ±30% der Optimalwerte fallen (äquivalent zu Abständen, die erhalten werden, wenn die Entladungsstartspannung auf den Minimalwert von Paschen eingestellt wird).
Der Abstand d₁ zwischen den beiden Entladungsaufrechterhaltungselektroden I₁ und I₂, I₃ und I₄, ..., I_m–1, und I_m kann auf weniger als 50 μm eingestellt werden, beispielsweise 5 μm bis 20 μm, und außerdem weniger als 5 μm und weniger als 1 μm. Da der Abstand d₂ wird in Abhängigkeit vom Wert dieses Abstands d, bestimmt.
Wenn eine Filmdicke des Films, der als dielektrische Schicht wirkt, d. h., der MgO-Film 29, extrem dünn ist und daher vernachlässigt werden kann, sollte eine Filmdicke t₁ der dielektrischen Schicht 28 so ausgewählt werden, dass diese dünner ist als der Abstand d₂ zwischen der Entladungsstart-Adresselektrode und einer der Entladungsaufrechterhaltungselektroden auf der gleichen Fläche und dem Abstand d₁ zwischen den beiden Entladungsbeibehaltungselektroden.
Das heißt, wie in 10A gezeigt ist, wenn zwei Entladeelektroden 42 und 43 auf einem Substrat 41 gebildet sind und eine dielektrische Schicht 44 auf den Entladeelektroden 42 und 43 gebildet ist, kann, wenn angenommen wird, dass ein Abstand zwischen Entladungselektroden 42 und 43 gleich d ist, die Dicke der dielektrischen Schicht 44 auf den jeweiligen Entladeelektroden 42 und 43 als t und 2t < d angenommen wird, erfüllt ist, die Entladung zwischen den beiden Elektroden 42 und 43 außerhalb der dielektrischen Schicht 44 auftreten.
Wenn dagegen, wie in 10B gezeigt ist, die Dicke t der dielektrischen Schicht 44 so groß ist, um 2t > d zu erfüllen, tritt die Entladung zwischen den beiden Elektroden 42 und 43 innerhalb der dielektrischen Schicht 44 auf, sowie ein dielektrischer Durchbruch zwischen den beiden Elektroden 42 und 43. Folglich wird bei dieser Ausführungsform die Filmdicke t₁ der dielektrischen Schicht 28 so festgelegt, dass diese dünner ist als die Abstände d₂ und d₁, um so die Ungleichungen zu erfüllen: 2t₁ < d₂, 2t₁ < d₁.
Dagegen werden, wie in 5 und 11 gezeigt ist, mehrere streifenförmige Partitionswände 30 gleichförmig mit dem zweiten Isolationssubstrat 24 gebildet, um so Spalten von entsprechenden benachbarten Entladungsbereichseinheiten zu partionieren, und die Fluoreszenz-Schicht 25 ist innerhalb der benachbarten Partitionswände aufgebracht. Das heißt, es sind eine rote Fluoreszenz-Schicht 25R, eine grüne Fluoreszenz-Schicht 25G und eine blaue Fluoreszenz-Schicht 25B wiederholt in dieser Reihenfolge gebildet. Die Breite der Partitionswand 30 ist länger ausgebildet als die der Adresselektroden (J₁, ... J_n), wie in 5 gezeigt ist.
Danach werden das sogenannte Fluoreszenz-Substrat 26, in welchem die Fluoreszenz-Schicht 25 auf dem zweiten Isolationssubstrat 24 gebildet ist, und das sogenannte Elektrodensubstrat 23, in welchem die Entladungsaufrechterhaltungs-Elektrodengruppe, die Adresselektrodengruppe und die Entladungsstartgruppe auf dem ersten Isolationssubstrat 22 gebildet sind, zusammen in einer Weise versiegelt, dass die entsprechenden Partitionswände 30 auf den jeweiligen Adresselektroden J₁, ... J_n angeordnet sind. Ein vorher festgelegtes Gas wird in den luftdichten Container versiegelt, der aus den beiden Substraten 26 und 23 besteht, d. h., innerhalb des Entladungsraums.
Als Versiegelungsgas können Gase von mehr als einer Art verwendet werden, beispielsweise He, Ne, Ar, Xe, Kr. Beispielsweise wird hauptsächlich Penning-Gas welches aus einem Mischgas hergestellt ist, beispielsweise Neon (Ne)/Xenon (Xe)/Argon (Ar)/Xenon (Xe) oder dgl. hauptsächlich verwendet werden.
Die Oberfläche der Partitionswand 30 kann schwarz ausgebildet sein, um den Kontrast zu erhöhen, wenn das Bild angezeigt wird.
Der Betrieb dieser Anzeigevorrichtung wird anschließend beschrieben.
Wenn die Aufrechterhaltungsspannung zum Aufrechterhalten einer Entladung an die beiden Entladungsaufrechterhaltungselektroden I₁ und I₂ angelegt wird und die Entladestartspannung höher ist als die Entladungsaufrechterhaltungsspannung zum Starten der Entladung über die Adresselektrode J₁ an die Entladungsstart-Adresselektrode K₁₁ angelegt wird und eine Entladungsaufrechterhaltungselektrode I₂ nach der Entladung, nachdem das Entladen zwischen einer Entladungsaufrechterhaltungselektrode I₂ und der Entladungsstart-Adresselektrode K₁₁ begonnen wurde, wird durch Entladung Plasma erzeugt, welches zwischen den beiden Entladungsaufrechterhaltungselektroden I₁ und I₂ und den Fluoreszenz-Schichten 25 [15R, 25G, 25B] des entsprechenden Bereichs erzeugt wird, erregt werden, um durch ultravioletten Strahlen leuchtend zu werden, welche durch das Plasma erzeugt werden. Folglich kann durch Auswählen der entsprechenden Adresselektroden J₁, J₂, ... J_n und durch Anlegen der Entladungsstartspannung in dieser Reihenfolge und außerdem durch Anlegen der Entladungsaufrechterhaltungsspannung an die beiden Entladungsaufrechterhaltungselektroden I₁ und I₂, I₃ und I₄, ... I_m–1 und I_m in dieser Reihenfolge eine vorher festgelegte Farbanzeigeeinrichtung gebildet werden.
Das heißt, dass im Entladebereich eines Pixels die drei Fluoreszenz-Schichten 25R, 25G und 25B aus rot, grün und blau, die zwischen den Partitionswänden vorgesehen sind, erregt werden, so dass sie bezüglich der Farbe mit Bestrahlung von ultravioletten Strahlen leuchtend werden, die auf Basis der Plasmaentladung erzeugt werden, wodurch eine Farbanzeige resultiert.
Um eine Entladung zu veranlassen, um zu veranlassen, dass Pixel an einer vorher festgelegten Adressposition auftreten, so dass Pixel leuchtend werden, wird ein Impuls beispielsweise an die Adresselektroden [J₁, ... J_n] angelegt, wodurch die Entladung zwischen den Entladungsstart-Adresselektroden [K₁₁, ... K_mn] von Pixel an dieser Position begonnen wird und eine Entladungsaufrechterhaltungselektrode [I₂, I₄, ... I_m].
Wenn eine Anzeige von dem Elektrodensubstrat 23 in der Anzeigevorrichtung 21 betrachtet wird, wird gewünscht, dass die Entladungsaufrechterhaltungselektroden I₁, I₂, ... I_m aus einem transparenten leitförmigen Film gebildet sein sollten. Wenn die Anzeige von dem Fluoreszenz-Substrat 26 betrachtet wird, können die Entladungsaufrechterhaltungselektroden I₁, I₂, ... I_m aus einem Metall oder dgl. gebildet sein, welches einen niedrigen Widerstandswert hat, um Licht zu reflektieren.
In der Anzeigevorrichtung 21 besteht, nachdem die Entladungsaufrechterhaltungselektroden [I₁, ... I_m] auf dem Substrat 23 gebildet wurden, wenn die streifenförmige Isolationsschicht 27 durch Brennen einer Glaspaste beispielsweise gebildet ist, die Gefahr, dass die Entladungsaufrechterhaltungselektroden [I₁, ... I_m] bei der Brenntemperatur oxidieren (ungefähr 600°C).
Folglich wird im Hinblick auf den oben erwähnten Gesichtspunkt gemäß einer anderen Ausführungsform der Erfindung gewünscht, dass die Entladungsaufrechterhaltungselektroden [I₁, ... I_m] aus einer Laminatschicht aus Cr und Al gebildet sein sollten, beispielsweise einer Al/Cr-Zwei-Schicht-Filmstruktur, bei der eine untere Schicht ein Al-Film 47 und eine obere Schicht ein Cr-Film 48 ist, wie in 5A gezeigt ist, oder einer Cr/Al/Cr-Drei-Schicht-Filmstruktur, bei der der Al-Film 47 zwischen dem oberen und dem unteren Cr-Film 48 liegt, wie beispielsweise in 5B gezeigt ist.
Ein Beispiel eines Herstellungsverfahrens der Anzeigevorrichtung 21, bei dem die Entladungsaufrechterhaltungselektroden I₁, ... I_m aus einer Laminatschicht aus Cr und Al hergestellt sind, wird anschließend beschrieben.
12 bis 15 zeigen Herstellungsprozesse des Elektrodensubstrats 23. Zunächst werden, wie in 12A und 12B gezeigt ist, auf einer Fläche des ersten Substrats, beispielsweise des Glassubstrats 22 Entladungsaufrechterhaltungselektroden [I₁, ... I_m] der Al/Cr-Zwei-Schicht-Filmstruktur oder der Cr/Al/Cr-Drei-Schicht-Filmstruktur beispielsweise gebildet. Dann wird, wie in 13A und 13B gezeigt ist, die streifenförmige Isolationsschicht 27 bei einem Adresselektroden-Bildungsposition gebildet, um so die Entladungsaufrechterhaltungselektroden [I₁, ... I_m] zu kreuzen.
Diese Isolationsschicht 27 ist in einer Weise gebildet, dass eine fotoempfindliche Glaspaste beispielsweise auf der gesamten Fläche (80°C, 20 Minuten) überzogen wird, belichtet wird und entwickelt wird und bei ungefähr 600°C gebrannt wird.
Bei dem Brennprozess der Isolationsschicht 27 wird lediglich die Fläche des Cr-Films 28 der oberen Schicht der Entladungsaufrechterhaltungselektroden [I₁, ... I_m] oxidiert, es wird damit kein Nachteil verursacht, dass alle Entladungsaufrechterhaltungselektroden [I₁, ... I_m] oxidiert werden, um somit einen schlechten Leiter zu erzeugen.
Dann werden, wie in 14A und 14B gezeigt ist, auf der Isolationsschicht 27 und über einen Teil der Fläche des Glassubstrats 22 die Adresselektroden [J₁, ... J_n] eines Al-Films beispielsweise und die Entladungsstart-Adresselektroden [K₁₁, ... K_nm] kontinuierlich dazu simultan durch gleichen Prozess gebildet.
Das heißt, dass die streifenförmigen Adresselektroden J₁, ... J_n auf der streifenförmigen Isolationsschicht 27 gebildet werden, und die Entladungsstart-Adresselektroden J₁₁, ... J_nm auf der Fläche des Glassubstrats gemeinsam mit der Seitenfläche der Isolationsschicht von den Adresselektroden J₁, ... J_n zu den Positionen gegenüber den Entladungsaufrechterhaltungselektroden I₂, I₄ gebildet werden.
Dann wird, wie in 15A und 15B gezeigt ist, die dielektrische Schicht 28 auf der Gesamtfläche des Anzeigebereichs mit Ausnahme zumindest von Anschlussbereichen (nicht gezeigt) der Entladungsaufrechterhaltungselektroden [I₁, ... I_m] und Anschlussbereichen (nicht gezeigt) der Adresselektroden [J₁, ... J_m] gebildet. Außerdem ist der MgO-Film 29, der als Schutzfilm dient, auf der dielektrischen Schicht gebildet, wodurch das Elektrodensubstrat 23 gebildet ist.
Obwohl nicht gezeigt sind die Partitionswände 30 auf dem zweiten Substrat gebildet, beispielsweise dem Glassubstrat 24, und dort ist das Fluoreszenz-Substrat 26 gebildet, wobei die Fluoreszenz-Schicht 25 [25R, 25G, 25B] innerhalb jeder Partitionswand 30 gebildet ist.
Danach werden, wie in 16A und 16B gezeigt ist, das Elektrodensubstrat 23 und das Fluoreszenz-Substrat 26 genau positioniert, so dass die jeweiligen Partitionswände 30 mit den Positionen der entsprechenden Adresselektroden J₁, ... J_m übereinstimmen, und ihre Umgebungsbereiche luftdicht durch Glassintern in einer Weise versehen werden, dass ein Anschlussbereich 51 der Entladungsaufrechterhaltungselektroden [I₁, ... I_m] und ein Anschlussbereich 52 der Adresselektroden [J₁, ... J_n] nach außenhin zugewandt sind. Dann wird der Entladeraum in der Innenseite des luftdichten Behälters evakuiert und das oben erwähnte Entladungsgas wird im evakuierten Entladungsraum versiegelt und ein Chip ist fertig. Nachdem die Umgebungsbereiche durch Glassintern, wie in 17 gezeigt ist, versiegelt sind, wird ein Oxidfilm 53 auf der Fläche des Anschlussbereichs 51 der Entladungsaufrechterhaltungselektroden [I₁, ... I_m], die nach außenhin weisen, entfernt.
Auf diese Weise kann, wie in 18A und 18B gezeigt ist, die Zielanzeigevorrichtung 21 erhalten werden, bei der die Entladungsaufrechterhaltungselektroden [I₁, ... I_m] aus der Cr- und Al-Laminatschicht gebildet sind, versiegelt sind, und wonach der Oxidfilm 53 auf der Fläche des Anschlussbereichs 51 entfernt wird.
Bei der Anzeigevorrichtung 21 von 18 ist die Richtung, in welcher eine Anzeige betrachtet werden kann, die Seite des Fluoreszenz-Substrats 26. Wenn in diesem Fall ein Reflexionsfilm, der aus einem Al-Film oder dgl. hergestellt ist, auf der Seite des Elektrodensubstrats 23 gebildet ist, wird beispielsweise ein Al-Film (Reflexionsfilm) auf der Gesamtfläche der inneren Fläche des Glassubstrats 22 abgelagert, und die Entladungsaufrechterhaltungselektroden. [I₁, ... I_m] oder dgl. werden auf diesen Al-Film über den Isolationsfilm gebildet, dann aus dem emittierten Licht, wobei das Licht, welches in Richtung auf die Seite des Elektrodensubstrats 23 läuft, auf dem Reflexionsfilm reflektiert wird und in Richtung auf die Seite des Fluoreszenz-Substrats 26 geführt wird, so dass der Betrachter ein Anzeigebild mit einer vergrößerten Helligkeit von der Seite des Fluoreszenz-Substrats 26 betrachten kann.
Gemäß der oben erläuterten Anzeigevorrichtung 21 kann, da die Entladungsaufrechterhaltungs-Elektrodengruppen [I₁, I₂, ... I_m], die Entladestart-Adresselektrodengruppen [K₁₁, ... K_nm] und die Adresselektrodengruppen [J₁, J₂, ... J_n] auf dem gleichen Substrat gebildet sind, d. h., auf dem ersten Substrat 22, und die Fluoreszenz-Schicht 25 auf dem zweiten Substrat 24 gegenüber diesem ersten Substrat 22 gebildet ist, sogar, wenn der Elektrodenabstand d₁ zwischen den entsprechenden beiden Entladeaufrechterhaltungselektroden I₁ und I₂, I₃ und I₄, ... I_m–1 und I_m und der Elektrodenabstand d₂ zwischen den Entladungsstart-Adresselektroden [K₁₁, ... K_nm] und Entladungsaufrechterhaltungselektroden I₁, I₄, ... I_m zu weit reduziert wird, der Plasmaentladungsraum durch die Partitionswände 30 auf Seiten des zweiten Substrats 24 aufrechterhalten werden. Das heißt, da die Fluoreszenz-Schicht 25 an der Position beabstandet vom Plasma gebildet sein kann, kann verhindert werden, dass Plasma, welches durch Entladung erzeugt wird, die Fluoreszenz-Schicht 25 kontaktiert, wodurch somit verhindert werden kann, dass die Fluoreszenz-Schicht 25 durch elektrische Ladungspartikel im Plasma beschossen wird, wo durch verhindert werden kann, dass die Fluoreszenz-Schicht 25 verschlechtert wird. Folglich ist es möglich, eine extrem dünne und hochauflösende Plasmaanzeigevorrichtung zu erhalten.
Da die Entladungsaufrechterhaltungs-Elektrodengruppen [I₁, ... I_m], die Adresselektrodengruppen [J₁, ... J_n] und die Entladungsstart-Adresselektrodengruppen [K_ij, ... K_nm] auf dem gleichen Substrat gebildet sind, d. h., dem ersten Substrat 23, werden die Partitionswände 30 und die Fluoreszenz-Schicht 25 auf Seite des zweiten Substrats 24 gebildet, und die beiden Substrate 22 und 24 werden versiegelt, was eine Anzeigevorrichtung 21 zur folge hat, wobei die akkurate Positionierung zwischen den Elektroden festgelegt werden kann, die akkurate Positionierung, wenn erforderlich, wenn die beiden Substrate 22 und 24 versiegelt sind, erhalten werden kann und ein großer Toleranzbereich eines Raumintervalls erhalten werden kann, und der Prozess zum Bilden der Elektroden und der Prozess zum Versiegeln der beiden Substrate oder dgl. mit einem ausreichenden Freiheitsgrad ausgeführt werden kann. Folglich kann die Ausbeute der Anzeigevorrichtung 21 gesteigert werden, und deren Herstellungskosten können vermindert werden.
Da die Entladeaufrechterhaltungs-Elektrodengruppen [I₁, ... I_m] und die Entladestart-Adressenelektrodengruppen [K_ij, ... K_nm] auf der gleichen Fläche des ersten Substrats 22 gebildet sind, kann der Abstand d₁ zwischen den beiden Entladungsaufrechterhaltungs-Elektrodengruppen und der Abstand d₂ zwischen einer Entladungsaufrechterhaltungselektrode I und der Entladungsstartadresselektrode K mit hoher Genauigkeit eingestellt werden.
Da die Adresselektrode J und die Entladungsstart-Adresselektrode K kontinuierlich zur gleichen Zeit gebildet werden, kann verglichen mit der Anordnung, bei der die Adresselektrode J und die Entladungsstart-Adresselektrode K individuell gebildet sind und beide verbunden sind, das Elektrodensubstrat vereinfacht werden, und die Adresselektroden J und die Entladungsstart-Adresselektroden K können hochverlässlich geführt werden. Außerdem kann der Elektrodenherstellungsprozess vereinfacht werden.
Wenn die Entladungsaufrechterhaltungselektroden [I₁, ... I_m] aus der Laminatschicht aus Cr und Al gebildet sind, beispielsweise der Al/Cr-Zwei-Schicht-Filmstruktur oder der Cr/Al/Cr-Drei-Schicht-Filmstruktur ist es, da der Sinterungsprozess, um die streifenförmige Isolationsschicht 27 zu bilden, bevor die Adresselektroden J gebildet sind, lediglich die Fläche des oberen Cr-Films 28 oxidiert wird, möglich, zu vermeiden, dass die Entladungsaufrechterhaltungselektroden [I₁, ... I_m] selbst oxidiert und sublimiert werden.
Wenn in diesem Zusammenhang die Entladungsaufrechterhaltungselektroden [I₁, ... I_m] aus einem Al-Einzelfilm beispielsweise hergestellt sind, um zu verhindern, dass die Entladungsaufrechterhaltungselektroden [I₁, ... I_m] oxidiert werden und zu schlechten Leitern bei dem Prozess werden, bei dem der Isolationsfilm 27 bei ungefähr 600°C gesintert wird, so dass eine Anordnung in Betracht gezogen wird, bei der die Entladungsaufrechterhaltungselektroden I und die Entladungsstart-Adresselektroden K danach gebildet sind, der Isolationsfilm zum Verhindern der Oxidation, der aus SiO₂ oder dgl. hergestellt ist, auf der Gesamtfläche gebildet ist, die Isolationsschicht 27 gebildet wird und außerdem die Adresselektroden J gebildet werden. In diesem Fall ist ein Prozess erforderlich, um ein Kontaktloch durch die Isolationsschicht herzustellen, um so eine Verbindung zwischen der Adresselektrode J und der Entladungsstart-Adresselektrode K herzustellen. Gemäß dieser Ausführungsform, bei der die Entladungsaufrechterhaltungselektroden I jeweils aus der Laminatschicht aus Cr und Al gebildet sind, muss dieser Isolationsfilm nicht gebildet werden und der Prozess zum Bilden des Kontaktloches durch den Isolationsfilm wird nicht notwendig, wodurch der Herstellungsprozess vereinfacht wird.
Wenn die Entladungsaufrechterhaltungselektroden I jeweils aus der Laminatschicht aus Cr und Al gebildet sind, werden außerdem, nachdem das Elektrodensubstrat 23 und das Fluoreszenz-Substrat 26 miteinander versiegelt sind, wenn der Oxidfilm 53 auf der Fläche des Anschlussbereichs 51 der Entladungsaufrechterhaltungselektroden I entfernt ist, die nachfolgende Erfindung zwischen dem Anschlussbereich 51 und der Außenverbindung, d. h., des Anschlussbereichs und der Außenverbindung hochverlässlich hergestellt werden.
Folglich ist es möglich, eine hochauflösende und hochverlässliche Anzeigevorrichtung bereitzustellen.
Da die Abstände d₁, d₂ zwischen den Elektroden von entsprechenden Paaren von Entladungsaufrechterhaltungselektroden I und den Entladungsstart-Adresselektroden K mit hoher Genauigkeit eingestellt werden können, ist es möglich, zu verhindern, dass eine Entladungslichtemission aufgrund eines Fehlers schwankt, der verursacht wird, wenn das Elektrodensubstrat 23 und das Fluoreszenz-Substrat 26 montiert werden.
Das heißt, sogar, wenn das Fluoreszenzsubstrat zusammengebaut wird, mit dem Elektrodensubstrat 23 mit einer Neigung und das Intervall zwischen der Elektrode und der Fluoreszenz-Schicht in der Entladungsbereichseinheit schwankt, sind die Elektrodenabstände d₁, d₂ in jeder Entladungsbereichseinheit gleich, und der Entladungszustand wird gleich beibehalten. Da außerdem eine Übertragung von ultravioletten Strahlen zufriedenstellend im versiegelten Gas ist, kann verhindert werden, dass die Helligkeit der Lichtemission schwankt, und es kann der gesamte Anzeigebereich mit gleichförmiger Helligkeit leuchtend ausgeführt werden. Folglich gibt es keinen praktischen Nachteil, dass die Anzeigevorrichtung 21 mit Leichtigkeit hergestellt werden kann.
Da der Magnesiumoxidfilm (MgO) wirkt, die Austrittsarbeit abzusenken, kann, wenn der Magnesiumoxidfilm auf der Fläche der dielektrischen Schicht 28 gebildet ist, die Entladung mit Leichtigkeit erzeugt werden.
Da die Elektrodenabstände d₁, d₂ kleiner als 50 μm sind, beispielsweise 5 μm bis 20 μm, und weiter auf weniger als 5 μm und weniger als 1 μm reduziert sind, kann eine Anzeigevorrichtung mit hoher Auflösung erhalten werden.
Wenn die Elektrodenabstände d₁, d₂ kleiner als 50 μm sind, beispielsweise 5 μm bis 20 μm, weiter weniger als 5 μm und weniger als 1 μm und ein eingeschlossener Gasdruck auf 81 bis 304 kPa (0,8 bis 3,0 atm) vergrößert wird, wird als Ergebnis eine große Menge an ultravioletten Strahlen erzeugt, so dass bewirkt wird, dass die Fluoreszenz-Schicht 35 mit hoher Helligkeit leuchtend wird.
Wenn der Abstand d₂ zwischen der Entladungsaufrechterhaltungselektrode und der Entladungsstart-Adresselektrode in dem Bereich von ±30% in Bezug auf den Abstand d₁ zwischen den beiden Entladungsaufrechterhaltungselektroden fällt, kann die Entladungsstartspannung sanft als Antwort auf den Abstand d₂ variiert werden, und die Ansteuerungszustände können mit einem vergrößerten Freiheitsgrad eingestellt werden.
Wenn der Elektrodenabstand d₁ und der Elektrodenabstand d₂ in den Bereich von 30% des Optimalwerts fallen, kann die Schwankung der Entladespannung so unterdrückt werden, dass diese klein wird. Daher können bei der Herstellung die Entladungsaufrechterhaltungselektroden [I₁, ... I_m] und die Entladungsstart-Adresselektroden [K_ij, ... K_nm] mit einem ausreichenden Freiheitsgrad gebildet werden.
Da die Adresselektroden [J₁, ... J_n] auf den Entladungsaufrechterhaltungselektroden [I₁, ... I_m] durch die Isolationsschicht gebildet sind, die aus der dielektrischen Schicht 28 gebildet ist, können die Entladungsaufrechterhaltungselektroden [I₁, ... I_m] und die Adresselektroden [J₁, ... J_n], die die Entladungsaufrechterhaltungselektroden kreuzen, voneinander hochverlässlich isoliert werden, und es kann verhindert werden, dass diese einen Kurzschluss bilden.
Da die Dicke t₁ der dielektrischen Schicht 28 dünner ist als die der Elektrodenabstande d₁ und d₂, kann die Entladung über der Entladungsschicht erzeugt werden. Das heißt, die Entladung wird nicht zwischen den Elektroden innerhalb der dielektrischen Schicht 28 erzeugt, folglich kann die Entladung über der dielektrischen Schicht erzeugt werden, ohne einen dielektrischen Durchbruch zwischen den beiden Entladungsaufrechterhaltungselektroden oder einer Entladungsaufrecherhaltungselektrode und der Entladungsstart-Adresselektrode zu verursachen.
Da die Partitionswände auf Seiten des zweiten Substrats 24 an Positionen gebildet sind, welche den Adresselektroden [J₁, ... J_n] auf Seiten des ersten Substrats entsprechen und die breite der Partitionswand 30 so gebildet ist, dass diese breiter ist als diejenigen der Adresselektroden [J₁, ... J_n], kann die Öffnung der Entladebereichseinheit vergrößert werden, und es wird schwierig, dass die Entladungen unmittelbar in den Adresselektroden [J₁, ... J_n] erzeugt werden, so dass ein Übersprechen verhindert werden kann. Durch die Partitionswände 30 ist es außerdem möglich, den Entladungsraum ausreichend beizubehalten.
Da der Plasmaentladungsraum durch das Elektrodensubstrat 23 und das gegenüberliegende Fluoreszenz-Substrat 26 aufrechterhalten kann, in denen die Partitionswände 30 und die Fluoreszenz-Schicht 25 gebildet sind, können ausreichende ultraviolette Strahlen abgestrahlt werden, und die Fluoreszenz-Schicht 25 kann auf der gesamten Fläche innerhalb der benachbarten Partitionswände 30 gebildet sein, die Anzeige einer hohen Luminanz kann erreicht werden, wie auch der breite Bereich der Fluoreszenz-Schicht 25 erreicht werden kann.
Obwohl die vorliegende Erfindung bei der Farb-AC-PDP in den oben erläuterten Ausführungsformen angewandt wird, kann die vorliegende Erfindung bei einer monochromatischen AC-PDP angewandt werden. Obwohl die Erfindung bei der Anzeigevorrichtung angewandt wird, bei die die Fluoreszenz-Schicht so erregt wird, dass sie bei den oben erläuterten Ausführungsformen leuchtend wird, ist die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränkt und kann auch bei einer Anzeigevorrichtung angewandt werden, bei der die Fluoreszenz-Schicht nicht gebildet ist und durch Plasmaentladung leuchtend wird.
Gemäß der Anzeigevorrichtung nach der vorliegenden Erfindung kann bei der Anzeigevorrichtung mit Wechselstromansteuerung unter Verwendung der Plasmaentladung, da die Entladungsaufrechterhaltungs-Elektrodengruppe und die Adresselektrodengruppen auf einem gleichen Substrat gebildet sind, sogar wenn der Elektrodenabstand zwischen der Adresselektrode und der Entladungsaufrechterhaltungselektrode zu weit vermindert wird, der Plasmaentladungsraum aufrechterhalten werden. Somit ist es möglich, die Anzeigevorrichtung extrem dünn herzustellen und zu bewirken, dass die Pixel hochauflösend werden.
Die Adresselektrodengruppe, welche die Entladungsaufrechterhaltungs-Elektrodengruppe über die Isolationsschicht und die Entladungsstart-Adresselektrodengruppe kreuzt, sind kontinuierlich im gleichen Zeitpunkt gebildet, wodurch die Elektrodenstruktur vereinfacht werden kann und der Elektrodenbildungsprozess vereinfacht werden kann.
Da die Entladungsaufrechterhaltungs-Elektrodengruppe und die Entladungsstart-Adresselektrodengruppe auf der gleichen Fläche eines Substrats gebildet sind, kann der Abstand zwischen den entsprechenden Paaren von Entladungsaufrechterhaltungseiektroden und der Abstand zwischen einer Entladungsaufrechterhaltungselektrode und der Entladungsstart-Adresselektrode mit hoher Genauigkeit eingestellt werden.
Folglich kann der Prozess zum Bilden der Elektroden und der Prozess zum Versiegeln eines Substrats und des anderen gegenüberliegenden Substrat oder dgl. mit einem hohen Freiheitsgrad ausgeführt werden. Daher kann die Ausbeute der Anzeigevorrichtung, bei der die Plasmaentladung verwendet wird, vergrößert werden, und die Herstellungskosten können reduziert werden.
Da die Entladungsaufrechterhaltungs-Elektrodengruppe und die Adresselektrodengruppe sich einander kreuzen, und die Isolationsschicht zwischen der Entladungsaufrechterhaltungs-Elektrodengruppe und der Adresselektrodengruppe gebildet ist, kann verhindert werden, dass die Entladungsaufrechterhaltungs-Elektrodengruppe und die Adresselektrodengruppe kurzgeschlossen werden.
Da die Entladungsaufrechterhaltungs-Elektrodengruppe, die Entladungsstart-Adresselektrodengruppe und die Adresselektrodengruppe auf einem Substrat gebildet sind und die Fluoreszenz-Schicht auf dem anderen Substrat gegenliegend dazu gebildet ist, kann, sogar wenn der Elektrodenabstand zu weit reduziert wird, der Plasmaentladungsraum aufrechterhalten werden, und die Fluoreszenzschicht kann erregt werden, um durch ultraviolette Strahlen, welche durch das Plasma erzeugt werden, leuchtend zu werden.
Da verhindert wird, dass die Fluoreszenz-Schicht das Plasma, welches durch die Entladung erzeugt wird, kontaktiert, kann verhindert werden, dass die Fluoreszenz-Schicht verschlechtert wird, wodurch es folglich möglich wird, die Anzeigevorrichtung, die auf der Basis des Fluoreszenz-Materials leuchtend wird, extrem dünn auszuführen und die Pixel hochauflösend zu machen.
Wenn die Entladungsaufrechterhaltungs-Eiektrodengruppe aus der Laminatschicht aus Cr und Al gebildet ist, wird beim Sinterungsprozess, der erforderlich ist, wenn die Isolationsschicht gebildet wird, lediglich die Fläche des Laminatfilms oxidiert, wodurch verhindert wird, dass die gesamte Entladungsaufrechterhaltungselektrode oxidiert wird. Dabei ist es möglich, zu verhindern, dass der gesamte Anschlussbereich der Entladungsaufrechterhaltungs-Elektrodengruppe oxidiert wird. Folglich ist es möglich, eine hochverlässliche Anzeigevorrichtung bereitzustellen.
Wenn die Entladungsaufrechterhaltungs-Elektrodengruppe aus dem Laminatfilm aus Cr und Al gebildet ist, und der Oxidfilm auf der Fläche des Anschlussbereichs entfernt wird, kann der Anschlussbereich der Entladungsaufrechterhaltungs-Elektrodengruppe und die äußere Zwischenverbindung verlässlich ausgeführt werden.
Obwohl bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung mit Bezugnahme auf die beiliegenden Zeichnungen beschrieben wurden, soll verstanden werden, dass die vorliegende Erfindung nicht auf die obigen Ausführungsformen beschränkt ist und dass verschiedene Änderungen und Modifikationen durch den Fachmann durchgeführt werden können, ohne den Rahmen der vorliegenden Erfindung, wie diese in den beigefügten Patentansprüchen definiert ist, zu verlassen.

Claims

Anzeigevorrichtung mit Wechselstromansteuerung unter Nutzung von Plasmaentladung, die eine Entladungsaufrechterhaltungs-Elektrodengruppe, die aus mehreren Entladungsaufrechterhaltungs-Elektroden (I) besteht, und eine Adresselektrodengruppe, die aus mehreren Adresselektroden (J) besteht, die auf einem Substrat (22) gebildet sind, und eine dielektrische Schicht (28), welche auf der Entladungsaufrechterhaltungs-Elektrodengruppe und der Adresselektrodengruppe gebildet ist, aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass die Adresselektrodengruppe (J) die Entladungsaufrechterhaltungs-Elektrodengruppe (I) über eine Isolationsschicht (27) kreuzt, und eine Entladungsstart-Adressgruppe (K) einen Teil der Adresselektrodengruppe (J) aufweist, der zum gleichen Zeitpunkt kontinuierlich gebildet ist, wobei die Entladungsaufrechterhaltungs-Elektrodengruppe (I) und die Entladungsstart-Adresselektrodengruppe (K) auf der gleichen Fläche des Substrats (22) gebildet sind.
Anzeigeeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass sie außerdem eine Fluoreszenzschicht (25) aufweist, die auf dem anderen Substrat (24) gegenüber dem einen Substrat (22) gebildet ist.
Anzeigeeinrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Entladungsaufrechterhaltungs-Elektrodengruppe aus einer Laminatschicht aus Cr und Al gebildet ist.
Anzeigeeinrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Entladungsaufrechterhaltungs-Elektrodengruppe, welche aus der Laminatschicht aus Cr und Al besteht, einen Endbereich hat, von dem ein Oberflächenoxidfilm entfernt ist.