DE69919555T2 - Isolierungssystem für isolierungstafel oder dergleichen - Google Patents

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E. Douglas IVERS
P. Leslie FOWLER
E. Russell ALTIERI
F. Stephen BUCHNER
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Lord Corp
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16FSPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
    • F16F15/00Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16FSPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
    • F16F15/00Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
    • F16F15/02Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems
    • F16F15/03Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using magnetic or electromagnetic means

Description

  • Die Erfindung ist auf Einrichtungen gerichtet zum Isolieren eines Körpers von der Vibration, die von einem anderen Körper übertragen wird. Im besonderen stellt die Erfindung ein kostengünstiges, unabhängiges aktives Isolierungssystem bereit, welches einfach an einer Isolationstafel oder einem ähnlichen Aufbau montiert werden kann, um Vibrationsstörungen zu steuern.
  • Elektromagnetische Aktuatoren sind besonders gut geeignet zur Erzeugung von Kräften in Situationen, in welchen die relative Verschiebung niedrig ist. Elektromagnete sind kostengünstig und billig zu betreiben, worin ein zusätzlicher Vorteil liegt. Bekannte Systeme, die Elektromagnete bei Vibrationsisolationstafeln einsetzen, sind unnötig kompliziert und können nicht leicht installiert oder eingestellt werden. Darüber hinaus sind bekannte Systeme nicht leicht anpassbar, um nachträglich in einer existierenden Isolationstafel oder einem anderen Aufbau eingesetzt werden zu können.
  • Die EP-A-0 767 320 beschreibt eine Isolationseinrichtung zum Isolieren einer Vibration zwischen einem ersten Element und einem zweiten Element, wobei ein Targetelement auf ein magnetisches Feld anspricht und mit dem ersten Element assoziiert ist.
  • Die Erfindung stellt die folgenden Merkmale bereit:
    Eine Isolierungseinrichtung (20) zum Isolieren einer Vibration zwischen einem ersten Element (11) und einem zweiten Element (12) mit
    einem Targetelement (24), welches ansprechbar ist von einem Magnetfeld, welches einem ersten Element (11) zugeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Einrichtung darüber hinaus die folgenden Merkmale umfasst
    einen Behälter (22), der mit einem zweiten Element (12) verbindbar ist, wobei der Behälter (22) die folgenden Elemente aufnimmt:
    einen Elektromagneten (30) mit einem Polstück (27) und einer Spule (23),
    einen Sensor (32) zur Erzeugung eines Eingangssignals, welches repräsentativ ist für die Bewegung des zweiten Elementes (12), und
    eine Steuerung (34) zur Aufnahme und Bearbeitung des Eingangssignals für die Ableitung eines Steuersignals zur Erregung der Spule (23) zur Erzeugung eines Magnetfeldes in den Polstücken (27), um eine Wirkung auf das Targetelement (24) auszuüben und damit die Vibration des zweiten Elementes (12) zu steuern.
  • Die Aufnahme der Komponenten in einem einzigen Behälter oder Gehäuse erleichtert die Montage der Einrichtung an einer Isolationstafel und reduziert die Installationskosten sowie die Komplexität. Das Gehäuse macht die Einrichtung für den Benutzer weniger auffällig und weniger lästig. Gemäß der Erfindung (siehe Anspruch 17), kann das Gehäuse oben auf der Tafel montiert werden (die typischerweise aus eisenhaltigem Metall bestehen) mit Dauermagneten, wodurch eine augenblickliche Befestigung bereitgestellt wird, die auch die Fähigkeit eines leichten Entfernens und Repositionierens des Gehäuses, falls dies gewünscht wird, besitzt. Andere Befestigungseinrichtungen, wie Kleber oder Schraubenbefestiger, können als Alternativen zum Einsatz kommen.
  • Die Erfindung wird vorteilhafterweise an einer Isolierungstafel installiert, um parallel zu einem Federsystem zu wirken, welches die Tafel auf einem Rahmen oder Füssen abstützt. Derartige Federsysteme sind typischerweise pneumatisch, aber die Erfindung kann auch mit anderen Typen von Federabstützungen arbeiten.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform ist der Sensor ein Accelerometer, welches ein Signal erzeugt, das repräsentativ für die Beschleunigung in der Isolierungstafel ist. Das Signal wird durch eine Steuerung bearbeitet, die ein Steuersignal erzeugt für den Elektromagneten, so dass dieser eine Kraft zur Aufhebung der Vibration erzeugt. Ein bevorzugter Steuermodus liegt darin, das Beschleunigungssignal zu integrieren, um eine Geschwindigkeit zu erhalten, worauf dann eine Summe der proportionierten Beschleunigung und Geschwindigkeit rückgekoppelt wird. Alternativ kann ein anderer Bewegungssensor zum Einsatz kommen mit einer entsprechenden Steuerung. Beispielsweise können ein Geophon, ein Velocimeter oder ein Verschiebungssensor Verwendung finden, um die Bewegung oben auf der Tafel zu erfassen.
  • Gemäß einem Aspekt der Erfindung ist ein Targetelement eingeschlossen, gegen welches ein Elektromagnet wirkt mit einer Vibrationsaufhebungskraft. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform ist das Targetelement ein Dauermagnet. Vorzugsweise ist das Targetelement an dem Stützrahmen oder den Füssen befestigt und das Gehäuse ist oben auf der Tafel montiert in der Nähe zu Magneten, so dass ein Spalt gebildet wird zwischen dem Elektromagneten und dem Dauermagneten. Der Dauermagnet erzeugt einen Druck, welcher es dem Elektromagneten gestattet, einen Schub oder eine Zugkraft an dem Dauermagneten zu erzeugen, wodurch die Vibrationsaufhebungskräfte wirksamer werden. Die Isolationstafeln besitzen typischerweise horizontale Stützschienen in der Nähe der Oberseite der Tafel. Für eine vertikale Vibration ist das Targetelement praktischerweise an der Schiene montiert. Für Systeme ohne Schienen zwischen den Füssen können Klammern auf den Füssen montiert werden, um ein Targetelement bereitzustellen. Für horizontale Vibrationen kann das Targetelement an einem Tafelfuß oder einer Klammeranordnung montiert werden. Das Gehäuse ist entsprechend orientiert, so dass der Elektromagnet positioniert ist, um eine Kraft zu erzeugen, die auf das Targetelement wirkt über einen Spalt.
  • Gemäß der Erfindung kann das Targetelement alternativ ein magnetisch empfindsames Element sein, wie etwa ein eisenhaltiges metallisches Element, an welchem der Elektromagnet eine Anziehungskraft erzeugt. Dementsprechend kann eine Vorspannung an dem Elektromagneten angelegt werden durch das Anlegen eines Gleichstromeinganges oder durch das Installieren eines Dauermagneten in dem Elektromagneten, so dass sowohl Anziehungs- als auch Abstoßungskräfte erzeugt werden können für eine wirksame Vibrationsaufhebung.
  • Gemäß der Erfindung umfasst die Steuerung eine Eingangs- und Ausgangssignalbearbeitung. Die Eingangsbearbeitung kann eine Maßnahme einschließen zum Trimmen jeglicher Gleichspannungsvorspannung, die vorhanden sein kann, wodurch jede Gleichspannungsdrift eingestellt werden kann, die sich aus der Bearbeitung des Eingangssignals ergibt. Darüber hinaus kann mindestens eines und vorzugsweise alle beide der Eingangs- und Ausgangssignalbearbeitung eine aktive Verstärkungsschalteinrichtung einschließen zum Umschalten zwischen einem niedrigen Verstärkungswert auf einen zweiten höheren Verstärkungswert, vorzugsweise mit Hilfe eines programmierbaren Verstärkers. Hierdurch wird ein adäquat starkes Signal bereitgestellt für das Steuerungsverfahren und/oder den Aktuator für einen großen Bereich von übertragenen Vibrationsniveaus. Darüber hinaus kann die Eingangs- und/oder Ausgangsbearbeitung Maßnahmen einschließen zum Überwachen der Signale, um die Systemfunktion zu überwachen.
  • Die Einrichtungen gemäß der Erfindung können einen einzigen Elektromagneten einschließen für eine Vibrationssteuerung in einer Richtung. Alternativ kann das Gehäuse zwei Elektromagnete einschließen, die relativ orientiert sind für eine Dämpfung in unterschiedlichen Richtungen. Sensoren können in dem Gehäuse eingeschlossen sein zum Messen der Bewegung in jeder Richtung. Zusätzlich sind Targetelemente jedem Elektromagneten zugeordnet und können, wenn getrennte Elemente vorhanden sind, an dem Tafelrahmen befestigt werden an entsprechenden Stellen.
  • Die Tafeloberseite wird verschiedenen Vibrationsstörungen ausgesetzt, die unterschiedliche Bewegungen der Tafeloberseite verursachen können einschließlich einer einfachen linearen Vertikalvibration, Schlingerbewegung, Nickbewegung, Horizontalbewegung in Längs- und Seitenrichtung sowie Gierbewegung. Ein System gemäß der Erfindung umfasst eine Isolationstafel, die versehen ist mit einer Mehrzahl von Einrichtungen zur Steuerung dieser unterschiedlichen Vibrationsmodi.
  • Gemäß einer Ausführungsform ist die Tafeloberseite mit drei Dämpfungseinrichtungen versehen zur Steuerung aller Bewegungen auf Vertikalbasis: Linearvertikal-, Nick- und Schlingervibrationen. Die Einrichtungen können jeweils einen ein zelnen Elektromagneten einschließen sowie einen zugeordneten Targetdauermagneten.
  • Eine Einrichtung ist an jedem der beiden vorderen Füße der Tafel positioniert und eine Einrichtung ist entlang der Rückkante der Tafeloberseite positioniert halbwegs zwischen den anderen Füßen. Die Einrichtungen wirken unabhängig an unterschiedlichen Stellen und erzeugen Dämpfungskräfte zur Steuerung der drei vorerwähnten Vibrationsbewegungen. Die relative Beabstandung und Positionierung der aktiven Dämpfungseinrichtungen auf der Tafeloberseite optimiert die erforderlichen Steuerkräfte.
  • Ein Dreieinrichtungssystem stellt vorteilhafterweise vertikale Vibrationssteuerung bereit mit einer minimalen Anzahl von Einrichtungen. Alternativ kann eine Tafel mit vier Dämpfungseinrichtungen versehen sein, wobei jeweils eine an jedem Tafelfuß positioniert ist für eine robustere Dämpfungssteuerung, d.h. eine geringere Steuerungskraft ist für jede Einrichtung erforderlich.
  • Eine Isolierungstafel kann mit zwei Einrichtungen zur Steuerung der beiden horizontalen Vibrationsmodi versehen sein. Die Einrichtungen sind auf der Tafeloberseite an benachbarten Füßen montiert, wobei die Targetelemente an oder integral mit einem jeden Fuß montiert sind. Vorzugsweise werden die Einrichtungen so wenig störend wie möglich positioniert, wobei die Einrichtungen an den hinteren Füßen positioniert sind. Die Einrichtungen sind entsprechend ausgerichtet, um einen diagonalen Kraftvektor zu erzeugen, welcher den Schwerpunkt der Tafel (CG) durchläuft. Auf diese Weise können die Längs- und Querbewegungen gesteuert werden.
  • Gemäß einer weiteren Ausführungsform umfassen die Einrichtungen vertikal und horizontal orientierte Elektromagneten, die in dem einzigen Gehäuse enthalten sind, und eine Isolierungstafel ist konfiguriert zur Steuerung sowohl der vertikalen als auch der horizontalen Vibration in allen sechs Modi. Vorteilhafterweise kann die Steuerung aller sechs Modi erzielt werden mit drei Einrichtungen, die an der Tafel montiert sind, jeweils eine an den vorderen Füßen und eine dritte an der Hinterkante in der Mitte zwischen den hinteren Füßen. Targetelemente sind an jedem der vorderen Füße positioniert und an der Stützschiene angrenzend an die vorderen Füße. Zusätzlich ist das Targetelement an der hinteren Schiene montiert für die vertikale Steuerung und eine Klammer, die an der hinteren Schiene montiert ist, erstreckt sich vertikal nach oben, um ein zusätzliches Targetelement abzustützen für die horizontale Steuerung durch die hinten positionierte Einrichtung.
  • Andere Konfigurationen sind ebenfalls möglich, beispielsweise durch den Einsatz mehrfacher Dämpfungseinrichtungen für eine robustere Vibrationssteuerung. Zusätzlich können, wenn eine bestimmte Form der Vibration oder Bewegung in Betracht zu ziehen ist, beispielsweise, weil die Ausrüstung auf der Isolierungstafel geführt ist, die Einrichtungen entsprechend positioniert werden. Als Beispiel für einen Roboter, der in Längsrichtung auf einer Isolierungstafel orientiert ist, können mehrere Einrichtungen an der Tafel montiert sein und orientiert sein zur Erzeugung einer horizontalen Aufhebungskraft, die in der Längsrichtung ausgerichtet ist.
  • Ein weiterer Vorteil des Systems gemäß der Erfindung liegt darin, dass die Anordnung aller aktiven Komponenten in einem einzigen Gehäuse ein einfaches Nachrüsten existierender Isolierungstafeln oder anderer Strukturen gestattet. Wenn außerdem Magnetmontagen zum Einsatz kommen, kann die Dämpfung in einer Isolierungstafel leicht eingestellt werden oder temporär angepasst werden für einen speziellen Einsatz durch die Hinzufügung von Einrichtungen zur Tafel oder Änderung der Position oder Ausrichtung der Einrichtungen auf der Tafel.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • Die Erfindung lässt sich besser verstehen unter Bezugnahme auf die nachfolgende Beschreibung in Verbindung mit den beigefügten Zeichnungen. Dabei sind:
  • 1 eine Seitenansicht einer Dämpfungseinrichtung für einen einzelnen Dämpfungsmodus gemäß der Erfindung an einer Isolierungstafel montiert;
  • 2a eine schematische Darstellung einer beispielhaften Rückkopplungssteuerschleife für die Dämpfungseinrichtungen gemäß der Erfindung;
  • 2b eine schematische Darstellung einer weiteren Ausführungsform einer Rückkopplungssteuerschleife für die Dämpfungseinrichtung gemäß der Erfindung;
  • 2c eine schematische Darstellung noch einer weiteren Ausführungsform einer Rückkopplungssteuerschleife für die Dämpfungseinrichtungen gemäß der Erfindung;
  • 3 eine Seitenansicht einer Dämpfungseinrichtung gemäß einer weiteren Ausführungsform montiert an einer Isolierungstafel;
  • 4 eine Seitenansicht einer Dämpfungseinrichtung, die an einer Isolierungstafel montiert ist, auf welcher eine Stützklammer montiert ist, um ein Targetelement abzustützen;
  • 5 eine Seitenansicht einer Dämpfungseinrichtung für ein Zweimodusdämpfen montiert an einer Isolierungstafel;
  • 6 eine perspektivische Ansicht zur Erläuterung eines Systems gemäß der Erfindung einschließlich einer Isolierungstafel mit Dämpfungseinrichtungen, die für eine vertikale Dämpfung angeordnet sind;
  • 7 eine schematische Darstellung des Systems gemäß 6;
  • 8 eine schematische Darstellung eines alternativen Systems für eine horizontale Dämpfung;
  • 9 eine schematische Darstellung eines alternativen Systems sowohl für eine vertikale als auch eine horizontale Dämpfung;
  • 10 eine schematische Darstellung einer alternativen Ausführungsform des Systems gemäß 9;
  • 11 eine schematische Darstellung eines Systems für die Steuerung einer verstärkten Vibration von vorne nach hinten;
  • 12 eine schematische Darstellung eines Systems für die Steuerung einer verstärkten Vibration von Seite zu Seite;
  • 13 eine schematische Darstellung einer alternativen Ausführungsform des in 7 dargestellten Systems;
  • 14 eine schematische Darstellung eines Systems mit einer minimalen Klammeranordnung;
  • 15a und 15b Blockdarstellungen zur Erläuterung der Komponenten der Ein richtung und der Steuerung hierfür und
  • 16 und 17 Blockdarstellungen zur Erläuterung der Komponenten der Ein gangs- und Ausgangsbearbeitung.
  • DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
  • Die 1 zeigt eine lsolierungstafel 10 mit einer Dämpfungseinrichtung 20 gemäß einer ersten Ausführungsform der Erfindung. Wie dem Sachverständigen auf diesem Gebiet einleuchtet, isoliert die Einrichtung gemäß der Erfindung ein zweites Element von einer Vibration, die von einem ersten Element übertragen wird, durch die Erzeugung von Kräften zur Aufhebung der Vibration in dem zweiten Element. Die Erfindung ist im besonderen geeignet für Isolierungstafeln, wie sie hier beschrieben sind, eignen sich jedoch auch für andere Vorrichtungen, wie z.B. Motormontagen von Rotationsausrüstung und Turbomaschinen, wobei die Beschreibung eher erläuternd sein soll als einschränkend.
  • Die Isolierungstafel 10 umfasst eine Tafeloberseite 12, die von einem Rahmen 11 abgestützt wird mit einer Mehrzahl von Füßen 14 (nur ein Fuß ist in 1 wiedergegeben). Benachbarte Füße des Tafelrahmens 11 sind vorzugsweise verbunden über horizontale Schienen 18, um die Stabilität des Rahmens bereitzustellen. Die Schiene wird normalerweise von der vorderen Kante der Tafel 10 weggelassen, um Raum bereitzustellen für die Beine der Betriebsperson, so dass diese unter die Tafel ausgestreckt werden können. Ein Federsystem 16 ist zwischen dem Fuß 14 und der Tafeloberseite 12 montiert, um die Tafeloberseite von den Füßen zu isolieren. Typischerweise ist das Federsystem 16 ein pneumatischer Isolator mit einer geringen Federsteifigkeit. Ein Problem bei ungedämpften Federsystemen liegt in der Unfähigkeit, Vibrationen zu handhaben, die bei oder in der Nähe der Resonanzfrequenz des Systems auftreten. Darüber hinaus können sie niedrigfrequente Vibrationen verstärken. Die vorliegende Erfindung, die parallel zu einem Federsystem eingesetzt wird, hebt die Vibration bei oder um die Resonanzfrequenz herum wie auch/oder bei niedrigen Frequenzen auf.
  • Die Dämpfungseinrichtung 20 in 1 umfasst einen Behälter 22, der auf der Unterseite der Tafeloberseite 12 montiert ist, sowie ein Targetelement 27, welches dem Rahmen 11 zugeordnet ist und montiert ist in der Nähe des Behälters und unterhalb des Elektromagneten 30. Der Behälter 22 und das Targetelement 24 werden somit leicht installiert und werden positioniert praktisch außerhalb des direkten Gesichtsfeldes und aus dem Arbeitsbereich der Bedienungsperson heraus, die die Tafel einsetzt. Der Behälter 22 nimmt die aktiven Komponenten der Einrichtung auf einschließlich eines krafterzeugenden Elektromagneten 30 als unabhängige Einheit. Der Behälter 22 ist eine stabile Schachtel, die einen Innenraum bereitstellt zur Aufnahme der aktiven Komponenten, wie dies nachfolgend noch beschrieben werden wird. Der Behälter kann als Aluminiumgehäuse ausgebildet sein, als gefaltete oder gestanzte Metallgehäuseeinrichtung oder als ein anderer geeigneter Aufbau.
  • Die aktiven Komponenten der Dämpfungseinrichtungseinheit 20 umfassen einen Elektromagneten 30, einen Bewegungssensor 32 sowie eine Steuerung 34. Der Elektromagnet 30 umfasst ein Polstück 27 sowie eine Spule 23 und ist vom Typ, wie er hergestellt wird, von der Fa. Magnetic Products Inc., Highland Michigan.
  • Speziell wurde das Modell RE-12121 bemessen auf eine maximale Zugbelastung von 156,8 N (35 Pfd.) als besonders wirksam empfunden innerhalb der Einrichtung 20. Der Bewegungssensor 32 erfasst die Bewegung der Tafeloberseite 12 und sendet ein Impulssignal, welches repräsentativ ist für die Bewegung zur Steuerung 34. Vorzugsweise ist der Bewegungssensor ein Accelerometer, hergestellt von Oceana Sensor Technologies, Inc., Virginia Beach, VA. Modell-Nr. A8000-01 mit einer Empfindsamkeit von 1 V/g, welche sich als besonders wirksam erwiesen hat. Die Steuerung bearbeitet das Eingangssignal und erzeugt ein Steuersignal und sendet dieses zum Elektromagneten 30 zur Erzeugung einer magnetischen Kraft. Ein Netzkabel 36 führt den aktiven Komponenten in dem Behälter 22 elektrische Leistung zu. Es ist herauszustellen, dass die Anordnung der Komponenten innerhalb des Behälters beispielhaft ist und dass die Orte sich ändern können.
  • Der Behälter 22 kann auf der Tafeloberseite 12 durch irgendwelche geeigneten Maßnahmen montiert werden einschließlich z.B. mechanische Befestigungsmittel (Schrauben, Bolzen oder Nieten), Kleber sowie zweiseitige Klebebänder. Wenn die Tafeloberseite 12 aus einem eisenhaltigen Material besteht, ist es besonders praktisch, den Behälter 12 mit einem oder mehreren Montagemagneten 26 zu befestigen, die sowohl eine augenblickliche Montage ohne Vorbereitung der Tafel gestatten, und es gibt die Möglichkeit, den Behälter 22 leicht zu entfernen oder seine Position zu verändern, falls dies erforderlich ist. Die 1 zeigt den Montagemagneten 26 außerhalb des Behälters 12, wobei es jedoch auch möglich ist, die Magnete 26 in dem Behälter zu positionieren für ein sauberes Erscheinungsbild.
  • Der Behälter 22 ist auf der Tafeloberseite 12 montiert mit einem Spalt 28 zwischen dem Elektromagneten 30 und dem Targetelement 24, welches in diesem Fall an der Schiene 18 montiert ist. Entsprechend der Darstellung in 1 ist der Elektromagnet 30 gegenüberliegend dem Targetelement 24 über den Spalt 28 angeordnet. Die Kraft, die durch den Elektromagneten 30 erzeugt wird, wirkt auf das Targetelement 24, um gegen die Störbewegung zu wirken, die durch den Sensor 32 erfasst wird, um somit die Vibration in der Tafeloberseite 12 aufzuheben. Die Breite des Spaltes 24 sollte so klein wie möglich sein, ohne dass der Behälter 22 und das Targetelement miteinander in Kontakt treten, für eine optimale Kraftwirksamkeit.
  • Die Vibrationsstörungen, die von dem Boden auf die Tafeloberseite 12 übertragen werden, liegen typischerweise in der Größenordnung von 0,2 bis 20 Mikron (0,000008 – 0,0008 Zoll) für Isolierungstafeln. Aufgrund der pneumatischen Tafelresonanzen werden nicht akzeptierbar höhere Vibrationsniveaus auf die Tafeloberseite 12 übertragen. Geringe Bewegungen der Tafeloberseite erfordern jedoch nur eine geringe Kraft, die von dem Elektromagneten erzeugt wird für die Vibrationsdämpfung. Eine Kraft im Bereich von 0,5 bis 1,0 Pfd. hat sich als wirksam erwiesen, wenn die Einrichtungen zum Einsatz kommen bei dem Modell VH, VW und LW-Isoliertafeln, hergestellt von Newport Corporation, beispielsweise. Bei einem System, welches mit Tafeln dieses Typs integriert ist, liegt die Breite des Spaltes 28 vorzugsweise zwischen etwa 1,27 mm (0,05 Zoll) und 11,4 mm (0,45 Zoll) und ein Spalt mit einer Breite von etwa 3,18 mm (0,125 Zoll) hat sich als sehr wirksam erwiesen und gestattet einen gewissen Schwingungsraum, um harten Kontakt zwischen den aktiven Dämpfungseinheiten und dem Rahmen 11 zu vermeiden. Vorzugsweise wird der Spalt 28 so schmal wie praktikabel gebildet, wobei nach wie vor statische Bewegungen aufgrund des Verlustes oder des Abschaltens eines pneumatischen Druckes zu den Luftfedern und/oder Übergangslasten, die auf die Tafeloberseite 12 aufgebracht werden, aufgenommen werden können. Der Aktuator 30 kann leicht über den Behälter 22 herausragen entsprechend der Darstellung in 4 in dem Bestreben, den Spalt 28 zwischen dem Aktuator und dem Targetelement 24 zu minimieren. Darüber hinaus kann die Tafeloberseite 12 angehoben oder abgesenkt werden unter Einsatz ihrer Stellschrauben, um den geeigneten Spalt 28 einzustellen.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist der Sensor 32 ein piezoelektrisches Accelerometer, um die Beschleunigung der Tafeloberseite 12 zu erfassen. Alternativ können andere bewegungserfassende Einrichtungen eingesetzt werden, wie z.B. ein Geophon, ein Velocimeter oder eine andere Erfassungseinrichtung. Der speziell ausgewählte Sensor bewirkt und erfordert Einstellungen des Steueralgorithmus, wie dem Sachverständigen auf diesem Gebiet einleuchtet.
  • Beispielsweise kann entsprechend der Darstellung in den 2a und 2c ein Rückkopplungssteuerverfahren auf der Basis der Beschleunigung und der Geschwindigkeit zum Einsatz kommen. Die Beschleunigung (z.B. vertikal) der Tafeloberseite 12 wird durch den Sensor 32 erfasst und ein Eingangssignal, welches die Beschleunigung in der Leitung 33 repräsentiert, wird zur Steuerung 34 übertragen. Innerhalb der Steuerung wird das Eingangssignal verstärkt und konditioniert in Block 29a, wie dies im größeren Detail später hier beschrieben wird. Dieses hochverstärkte und konditionierte Signal wird einem Integrator 35 bereitgestellt, wo eine Integration durchgeführt wird, um ein Signal zu erhalten, welches für die Geschwindigkeit der Tafel repräsentativ ist. Das repräsentative Geschwindigkeitssignal in der Leitung 41 und das repräsentative Beschleunigungssignal in der Leitung 45 werden dann erneut skaliert (verstärkt oder abgeschwächt) in einem ersten und einem zweiten Verstärkerblock 37, 38, um verstärkungsjustierte und relativ gewichtete relative Beschleunigungs- und Geschwindigkeitssignale in den Leitungen 43 bzw. 44 zu erzeugen. Die Verstärker 37, 38 werden ausgewählt, basierend auf der Erfahrung mit dem System, und sind vorzugsweise hart codiert in die Mikrosteuerung.
  • Eine Summierung der verstärkungsjustierten Signale 43, 44 wird an der Summierungsverbindung 39 durchgeführt. Im Anschluss an die Summierung wird das summierte Signal erneut verstärkt und konditioniert in dem Block 29b, wodurch ein Steuersignal 40 erzeugt wird, welches dem elektromagnetischen Aktuator 38 zugeführt wird. Der Elektromagnet 30 erzeugt eine Steuerkraft F, um die Bewegung der Tafeloberseite 12 aufzuheben. Eine kombinierte Beschleunigungs- und Geschwindigkeitssteuerung stellt eine bessere Hochfrequenz-Vibrationssteuerung bereit als die Geschwindigkeitsrückkopplung allein (beschrieben im Zusammenhang mit 2c) und verbreitert den wirksamen Bereich der Steuerung.
  • Die Ausführungsform gemäß 2b unterscheidet sich von derjenigen der 2a, indem ein zusätzlicher Kompensator 31 bereitgestellt wird. Der Kompensator 31 ist ein Niedrigfrequenz-Anschlußkompensator, der eine Phasenverschiebung bei niedrigen Frequenzen verursacht. Im einzelnen stellt der Kompensator ein Maximum von 15° Phasenverschiebung bereit, zentriert bei 0,5 Hz. Dieser Kompensator 31 verbessert die Leistungsfähigkeit der Einrichtung 20 durch das Kompen sieren der Phasenverzögerung, die verursacht wird durch den Sensor 32 sowie die Eingangssignalkonditionierung und Verstärkung 29a. Entsprechend der Darstellung zeigt das Blockdiagramm gemäß 2a die vertikale Vibrationssteuerung. Es ist jedoch herauszustellen, dass die vorliegende Erfindung und die hier beschriebene Steuerung in gleicher Weise geeignet sind zur Steuerung horizontaler Vibrationen der Tafel 12. Darüber hinaus können bei mehrfachem Einsatz mehrere Modi gesteuert werden, wie dies später hier beschrieben wird. Die Einrichtung 20 gemäß der Erfindung wird gesteuert durch Bereitstellung einer Dämpfung bei der Resonanzfrequenz des Tafelsystems 10, welche typischerweise zwischen etwa 1 bis 4 Hz liegt. Vorzugsweise wirkt die Einrichtung 20 bei Frequenzen im Bereich zwischen 0,2 bis 10 Hz. Das vorerwähnte Steuerverfahren ist sehr stabil, derart, dass dann, wenn irgendwelche Übergangsbelastungen auf die Tafeloberseite 12 aufgebracht werden, diese wirkungsvoll gedämpft werden.
  • Ein einfacheres Steuerverfahren ist in 2c gezeigt. Bei diesem Verfahren wird die Beschleunigung der Tafeloberseite 12 durch den Accelerometer-Sensor 32 erfasst. Dieses Signal, welches repräsentativ ist für die Beschleunigung in Leitung 33, wird verstärkt und konditioniert in Block 29a und dann integriert im Integratorblock 35 zur Erzeugung eines Signals, welches repräsentativ ist für die Geschwindigkeit der Tafeloberseite 12 in der Leitung 41. Dieses Signal in der Leitung 41 wird entsprechend verstärkt oder abgeschwächt im Verstärkerblock 38. Erneut wird dieser Verstärkungswert bestimmt basierend auf dem Wissen über und die Erfahrung mit dem System. Das verstärkungsmultiplizierte Signal 47 wird dann verstärkt und erneut konditioniert in dem Block 29b und dann weitergeleitet als ein Steuersignal 40 zum elektromagnetischen Aktuator 30. Die Geschwindigkeitsrückkopplung stellt eine gute Steuerung der Resonanzen der Tafeloberseite bereit. Es ist herauszustellen, dass dann, wenn ein Velocimeter oder Geophon als Sensor eingesetzt wird, der Integrator 35 entfernt wird.
  • Die Dämpfungseinrichtung 20 in 1 wird angeordnet, um eine vertikal gerichtete Dämpfungskraft bereitzustellen, d.h. der Elektromagnet 30 ist orientiert quer über den vertikal ausgerichteten Spalt 28 zwischen dem Behälter 22 und dem Targetelement 24. Die Einrichtung 20 kann positioniert werden zum Dämpfen horizontal gerichteter Vibration einfach durch die Positionierung des Targetelemen tes 24 an einer vertikalen Oberfläche so, dass ein horizontal ausgerichteter Spalt bereitgestellt wird und die Orientierung des Behälters 22 ist derart, dass der Elektromagnet 30 dem Targetelement 24 über den Spalt 28 gegenüberliegt.
  • Darüber hinaus ist gemäß einer bevorzugten Ausführungsform das Targetelement 24 ein Dauermagnet, der eine kontinuierliche Vorspannung für den Elektromagneten 30 bereitstellt. Die Vorspannung gestattet den Betrieb des Elektromagneten 30 zur Erzeugung sowohl von Schub- als auch Zugkräften relativ zum Tafelrahmen 18, wodurch das Aufheben der Vibrationsbewegungen erleichtert wird. Ein zusätzlicher Vorteil eines Dauermagneten liegt darin, dass das Targetelement 24 in der Lage ist, augenblicklich an dem Tafelrahmen 11 befestigt zu werden, wenn der Rahmen aus einem eisenhaltigen Material besteht.
  • Alternativ könnte das Targetelement 24 eine magnetisch ansprechende Masse sein, d.h. es ist eine Masse, welche die elektromagnetische Kraft anzieht, oder es könnte ein eisenhaltiger Fuß, eine Schiene oder ein anderer Teil des Rahmens 11 sein. Bei einer derartigen Ausführungsform kann eine Vorspannung an den Elektromagneten gelegt werden durch die Anlage eines Gleichstromeinganges. Natürlich ist dieses weniger erstrebenswert als der Einsatz eines Dauermagneten wegen der höheren Leistungsanforderungen.
  • Die 3 zeigt eine alternative Ausführungsform, bei welcher sich ein scheibenförmiger Dauermagnet 25 in dem Elektromagneten 31 befindet, um die Vorspannung bereitzustellen. Das Targetelement 24 ist ein magnetisch permeables Polstück, welches magnetisch reagieren kann mit dem Magneten und den elektromagnetischen Kraftfeldern. Wenn alternativ die Schiene 18 aus einem Material besteht, welches eine hinreichend hohe magnetische Permeabilität besitzt, kann das Targetelement 24 eliminiert werden und die Schiene 18 kann als Targetelement wirken. Diese Alternative stellt den Vorteil bereit, dass alle Komponenten der Einrichtung sich innerhalb des Behälters 22 befinden, wodurch die Installation noch weiter vereinfacht wird.
  • 4 erläutert ein Merkmal der Erfindung für Isolierungstafeln, die keine horizontalen Schienen besitzen oder bei welchen die horizontale Schiene nicht nahe ge nug an der Tafeloberseite 12 liegt, um geeignet zu sein, das Targetelement 24 zu halten. Eine Klammer 42 ist an dem Fuß 14 des Rahmens 11 montiert, um das Targetelement 24 in der Nähe der Tafeloberseite 12 zu halten. Die Klammer 42 stellt eine Oberfläche bereit, auf welcher das Targetelement 24 montiert ist. Vorzugsweise ist die Klammer 40 mittels Montagemagneten 26 gehalten ähnlich denjenigen, die zum Einsatz kommen, um den Behälter zu befestigen, womit eine Erleichterung der Positionierung und Installation der Klammer gestattet ist. 4 erläutert auch eine weitere Alternative für das Targetelement 24, d.h. ein Targetelement bestehend aus einem Permanentmagneten 25, welcher auf einem Polstück 27 montiert ist. Die Kombination eines Permanentmagneten mit dem Polstück erhöht die wirksame Fläche, auf welche das elektromagnetische Feld einwirken kann.
  • 5 illustriert eine Ausführungsform der Einrichtung 20a, die angepasst ist zum Dämpfen von Vibrationen sowohl in der vertikalen als auch der horizontalen Richtung. Der Behälter 22 schließt zwei Sensoren 32V, 32H ein: ein erster 32V ist orientiert zum Erfassen vertikal gerichteter Vibration und ein zweiter 32H ist orientiert zum Erfassen horizontal gerichteter Vibration (Pfeile zeigen die Erfassungsrichtung an). Zwei Elektromagneten 30V, 30H sind vorgesehen: ein erster 30V ist positioniert zur Erzeugung einer Vertikalkraft und der zweite 30H ist positioniert zur Erzeugung einer horizontalen Kraft. Dementsprechend sind zwei Targetelemente 24H, 24L an dem Rahmen 11 montiert, und zwar eines an dem Tafelfuß 14, um mit dem Horizontalkraft-Elektromagneten 30H zusammenzuwirken, und das zweite an der Schiene 18, um mit dem Vertikalkraft-Elektromagneten 30V zusammenzuwirken. Die einzige Steuerung 34 ist angepasst, um die Eingangssignale von den Sensoren 32V, 32H aufzunehmen und Steuersignale zu erzeugen für die beiden Elektromagneten 30V, 30H. Die Steuerung für die individuellen Richtungen wird erzielt über das Steuerverfahren, welches in bezug auf 2a beschrieben wurde.
  • 6 illustriert eine perspektivische Ansicht einer Isolierungstafel 10 mit einem Bezugskoordinatenrahmen zur Erläuterung der Typen der Vibrationsbewegungen, die von der Tafeloberseite 12 erfahren werden können. Störungen, die auf die Tafeloberseite 12 übertragen werden, können zu einer einfachen Vertikalvibration entlang der Z-Achse führen, d.h. einer einfachen Auf- und Abbewegung. Wenn die Vertikalstörung hinsichtlich ihrer Amplitude oder Zeit ungleich ist über die Tafeloberseite 12, können Stoßbewegungen auftreten, beispielsweise eine Nickbewegung in der YZ-Ebene, eine Schlingerbewegung in der XZ-Ebene oder eine Bewegung, in welcher Nick- und Schlingerbewegung kombiniert sind.
  • Außerdem kann eine Störung zu einer Vibration der Tafeloberseite 12 in der horizontalen oder XY-Ebene führen einschließlich einfacher linearer Bewegung entlang der X- oder Y-Achse oder einer Gierbewegung in der XY-Ebene. Verschiedene Wege, um die Einrichtungen 20, 20a gemäß dem erfindungsgemäßen System zur Aufhebung dieser Störungen zu montieren, werden nachfolgend beschrieben.
  • Am häufigsten sind die Vertikalbewegungen, die einfachen linearen vertikalen und die Nick- und Schlingervibrationen. Das System, welches in den 6 und 7 dargestellt ist, ist ausgebildet zum Aufheben irgendeiner dieser drei vertikal gerichteten Vibrationen. Beispielsweise zeigt die 7 eine Unteransicht der Tafel 10. Die Tafel 10 umfasst drei im gegenseitigen Abstand angeordnete vertikal wirkende aktive Dämpfungseinheitseinrichtungen 20, wie sie in den 1, 3 oder 4 beschrieben sind. Eine Einrichtung 20 ist an der Tafeloberseite 12 in der Nähe eines jeden der beiden vorderen Füße 14a, 14b montiert. Ein zugeordnetes Targetelement (nicht dargestellt), vorzugsweise ein Permanentmagnet, ist an den (nicht dargestellten) Seitenschienen montiert oder integral hiermit ausgebildet in der Nähe einer jeden der Dämpfungseinrichtung 20, wie dies beschrieben wurde im Zusammenhang mit den 1, 3 oder 4. Eine dritte Dämpfungseinrichtung 20 ist in der Mitte zwischen den beiden hinteren Füßen 14c, 14d positioniert, wobei das Targetelement benachbart an der rückwärtigen Schiene (ebenfalls nicht dargestellt) montiert oder integral hiermit ausgebildet ist. Die Einrichtungen 20 wirken unabhängig, d.h. die Steuerung der jeweiligen Einrichtungen sind nicht für eine koordinierte Wirkung angeschlossen und dementsprechend wirkt jede Einrichtung 20 zur Aufhebung der Vibration, die erfasst wird an ihrer individuellen Montagestelle. Das Netzkabel 36, welches in 7 dargestellt ist, verläuft in der dargestellten Weise, um die Verdrahtung von dem Netzanschluss fernzuhalten, der sich an dem Boden der Tafel befindet, bis auf ein Minimum. Dies reduziert die Neigung dahingehend, dass eine Vibration auf die Tafel 12 übertragen wird über mehrere elektrische Kabel.
  • Unter erneuter Bezugnahme auf 7 lässt sich verstehen, dass die drei Einrichtungen 20 wirken, um lineare vertikale Vibration aufzunehmen (die Z-Achsenbewegung in die Papierebene hinein und aus dieser heraus). Die Nickbewegung in der YZ-Ebene wird gehandhabt durch die kumulative Wirkung der vorderen Dämpfungseinrichtungen 20 und die rückwärtige Dämpfungseinrichtung 20, die aufeinander gegenüberliegende vordere und hintere Kanten der Tafeloberseite wirkt. Die Schlingerbewegung in der XZ-Ebene wird gehandhabt durch die kumulative Wirkung der Dämpfungseinrichtungen 20 an einander gegenüberliegenden Seiten der Tafel an den vorderen Füßen 14a, 14b. Die illustrierte Anordnung erfordert eine minimale Anzahl von Dämpfungseinrichtungen, um die Vibration der drei Freiheitsgrade aufzuheben. Natürlich können zusätzliche Dämpfungseinrichtungen installiert werden, wenn ein robusteres Dämpfen erforderlich ist, beispielsweise eine Dämpfungseinrichtung könnte an jedem Fuß positioniert sein.
  • 8 illustriert eine Anordnung, die geeignet ist zum Dämpfen nur der horizontalen Vibrationsstörungen, der X-Achsen- und Y-Achsenlinearvibrationen. Die Dämpfungseinrichtungen 20 sind positioniert angrenzend an jeden der rückwärtigen Füße 14c, 14d und sind orientiert zur Bereitstellung einer horizontalen Kraft, die gegen den jeweiligen Fuß gerichtet ist. Die Dämpfungseinrichtungen sind außerdem diagonal orientiert in Bezug auf die Achsen, wodurch es ermöglicht wird, dass die Dämpfungseinrichtungen mit einem Kraftvektor wirken durch die Mitte des Schwerpunktes CG oder die Erzeugung eines Drehmomentes um die Z-Achse. Die zugeordneten Targetelemente (nicht dargestellt) sind an den Füßen montiert oder integral hiermit ausgebildet. Alternativ können zusätzliche Einrichtungen an der Tafeloberseite montiert werden für ein verstärktes Dämpfen oder um Gierbewegungen zu steuern.
  • Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung kann eine Isolationstafel 10 vorgesehen sein, welche mit Dämpfungseinrichtungen 20a versehen ist zum Dämpfen sowohl in der horizontalen als auch der vertikalen Richtung, um somit in allen sechs Modi der Vibrationsbewegung in der Tafeloberseite zu wirken. Die 9 illustriert beispielsweise eine Ausführungsform unter Einsatz einer minimalen Anzahl von Dämpfungseinrichtungen 20a, um eine Dämpfung aller sechs Modi zu erreichen. Die Dämpfungseinrichtungen 20a schließen jeweils zwei Elektromagnete ein, die in dem Behälter 22 montiert sind, wie dies im Zusammenhang mit 5 beschrieben wurde. Die Dämpfungseinrichtungen 20a sind benachbart zu den vorderen Füßen 14a, 14b platziert und vorzugsweise in der Mitte zwischen den rückwärtigen Füßen 14c und 14d. Zwei Targetelemente 24 sind jeder Dämpfungseinrichtung 20a zugeordnet. An der Vorderseite sind die Targetelemente an den Schienen (nicht dargestellt) positioniert oder integral hiermit ausgebildet für eine vertikale Dämpfung und an den Füßen 14a, 14b für eine horizontale Dämpfung entlang der X-Achse. Die rückwärtige Dämpfungseinrichtung 20a ist auf der Tafeloberseite 12 montiert, wobei ein erstes zugeordnetes Targetelement an der rückwärtigen Schiene (nicht dargestellt) installiert oder hiermit integral ausgebildet ist. Eine Klammer 40 ist an der Schiene (nicht dargestellt) montiert und erstreckt sich nach oben, um ein zweites Targetelement 24 abzustützen für eine horizontale Dämpfung entlang der Y-Achse.
  • Die Anordnung in 9 stützt sich auf zwei Dämpfungseinrichtungen 20a vorn, um horizontale Vibration in der Y-Achse aufzuheben, und eine einzige Dämpfungseinrichtung 20a auf der Rückseite der Tafel, um eine horizontale Vibration entlang der X-Achse aufzuheben. 10 illustriert eine Anordnung, in welcher zwei Dämpfungseinrichtungen 20a an den rückwärtigen Füßen 14c, 14d positioniert sind für eine verbesserte Dämpfung entlang der X-Achse. In gleicher Weise sind die vorderen Dämpfungseinrichtungen 20a orientiert zum Dämpfen entlang der Y-Achse in Verbindung mit Targetelementen, die sich an den Füßen 14a, 14b befinden oder integral hiermit ausgebildet sind. Zusätzliche Targetelemente, die an den rückwärtigen und Seitenrahmenschienen (nicht dargestellt) installiert oder integral hiermit ausgebildet sind, wirken mit den vorderen und hinteren Dämpfungseinrichtungen 20a, um eine vertikale Vibration entlang der Z-Achse aufzuheben. Somit wirken bei der Anordnung, die in 10 gezeigt ist, die beiden Dämpfungseinrichtungen 20a an der Vorderseite der Tafel, um vertikale und Y-Achsenhorizontalvibration aufzuheben, und die beiden Dämpfungseinrichtungen an der rückwärtigen Seite der Tafel wirken auf vertikale und X-Achsenvibrationen. Die kumulative Wirkung der Dämpfungseinrichtungen 20a wirkt auf Nick-, Schlin ger- und Gierbewegungen, wie zuvor erläutert wie auch Vibrationen entlang den X-, Y- und Z-Achsen.
  • Die 11 und 12 illustrieren Anordnungen, die geeignet sind, dort wo eine besondere Form einer Horizontalvibration in Betracht zu ziehen ist. 11 zeigt eine Anordnung für starkes Dämpfen entlang der Y-Achse. Die Dämpfungseinrichtungen 20 sind derart positioniert, dass die horizontal orientierten Elektromagneten entlang der Y-Achse wirken. Diese Anordnung ist geeignet für Einrichtungen, wie Roboter, die oben auf der Tafeloberseite 12 über die Breite abgestützt sind und die dementsprechend starke Vibrationen entlang der Y-Achse erzeugen.
  • 12 zeigt eine Anordnung, die geeignet ist für eine überhöhte X-Achsenvibration, z.B. für einen Roboter oder eine ähnliche Vorrichtung, die über die Länge der Tafeloberseite 12 abgestützt ist. Die Dämpfungseinrichtungen 20 werden entsprechend positioniert, so dass die horizontal orientierten Elektromagnete entlang der X-Achse wirken. Bei den Anordnungen, die in den 11 und 12 gezeigt sind, können die Dämpfungseinrichtungen 20 ausgerüstet sein sowohl für horizontale als auch vertikale Dämpfung unter Einsatz der Einrichtung, wie sie in 5 illustriert ist.
  • Die 13 und 14 zeigen verschiedene andere Anordnungen, die geeignet sind für die Vibrationssteuerung in mehreren Modi. In 13 können die Einheiten 20, 20a horizontal allein wirken oder als Mehrachseneinrichtung, wie in 5 gezeigt ist. Diese Ausführungsform gemäß 13 ist eine alternative Ausführungsform zu derjenigen, die in 7 gezeigt ist. Die Anordnung in 13 kann Vibration entlang den X- und Y-Achsen dämpfen wie auch eine Gierbewegung um die Z-Achse. Wenn die Einheiten von dem Typ sind, wie er in 5 beschrieben wird, dann können die Vertikalbewegung entlang der Z-Achse, die Nickbewegung in der YZ-Ebene und die Schlingerbewegung in der XZ-Ebene ebenfalls gesteuert werden. Diese Anordnung ist besonders gut geeignet für die Steuerung von Y-Achsenvibrationen. Es ist herauszustellen, dass dann, wenn das System keine vertikale Dämpfung einschließt, die Einheiten vorzugsweise direkt auf die Füße 14a, 14b und 14c der Tafel 10 wirken, d.h. das Targetelement ist der jeweilige Fuß. Alternativ können ähnliche Targetelemente entsprechend der Darstellung in den 1, 3 oder 4 an den Füßen montiert sein. Die 14 illustriert ein System mit leicht unterschiedlicher Ausgestaltung, verglichen mit demjenigen gemäß 13. Grundsätzlich kann das System gemäß 14 X-, Y-, Z-, Nick-, Schlinger- und Gierbewegungen dämpfen, wenn die Einheiten 20a entsprechend der Darstellung in 5 zum Einsatz kommen. Wenn Einheiten 20a Verwendung finden, eliminiert diese Ausführungsform die Klammern, die erforderlich sind für die Ausführungsform gemäß 9. Dieses System ist allgemein höchst wirksam bei der Dämpfung von X-Achsenvibrationen.
  • Die 15a bis 17 illustrieren Details der Dämpfungseinrichtung 20 fokussiert auf die elektronischen Hardware-Aspekte. Der Sensor 32, bei welchem es sich vorzugsweise um ein Accelerometer handelt, welches oben beschrieben wurde, stellt ein Signal bereit, repräsentativ für die Beschleunigung. Die Stromquelle 21 stellt den Strom zur Verfügung für den Betrieb des Sensors 32, wodurch das Eingangssignal bereitgestellt wird für die Eingangskonditionierung und den Verstärkungsblock 29a. Die Eingangskonditionierung und der Verstärkungsblock 29a schließen einen Konditionierer 46 ein und können auch wahlweise einen programmierbaren Verstärker 52a einschließen. Der Signalkonditionierer 46, der am deutlichsten in 16 dargestellt ist, umfasst einen Verstärkungs- und Filterblock 48, welcher einen Hochpassfilter, einen Niedrigpassfilter, einen Kondensator (etwa 10 Mikrofarad) und einen Betriebsverstärker einschließt. In einer wirksamen Weise stellt der Verstärkungs- und Filterblock 48 ein Ausgangssignal bereit, welches vervielfacht wurde durch eine Verstärkung, am stärksten bevorzugt eine Verstärkung von fünf (5), wobei die Signalaußenseite des angestrebten Betriebsbereiches entfernt ist. Im Fall der Isoliertafel wird angestrebt, Signale zu entfernen, die außerhalb des Bereiches liegen zwischen etwa 0,04 Hz und 90Hz. Dieses gefilterte und verstärkte Signal wird dann einem Verstärkungsblock 50 zugeführt, welcher das Signal weiter vervielfacht um einen zusätzlichen Verstärkungswert. Vorzugsweise ist für die Isolierungstafel der zusätzliche Verstärkungswert eingestellt auf über Fünfzig (50).
  • Der Ausgang des Verstärkerblockes 50 wird vorzugsweise einer Einrichtung bereitgestellt zum aktiven Schalten zwischen einem ersten und einem zweiten Verstärkungswert. In diesem Fall umfasst die aktive Schalteinrichtung einen optiona len programmierbaren Verstärker (PGA) 52, der aktiv schaltbar ist zwischen Verstärkungen eines niedrigen und eines hohen Wertes. Beispielhaft und nicht als Einschränkung anzusehen liegt der niedrige Wert vorzugsweise bei etwa 3,52 und der hohe Wert liegt vorzugsweise zwischen etwa 30 und 60, kann jedoch auch bis zu 250 ausmachen. Der ausgewählte Verstärkungswert hängt ab von der Größenordnung des eingehenden Signals zum Eingang A/D 58a als Funktion des gesamten dynamischen Bereiches. Vorzugsweise ist der Eingang D/A integral innerhalb der Mikrosteuerung 54 und übernimmt das Signal, welches von dem optionalen Eingang PGA 52a zur Verfügung gestellt wird bei etwa 1000 Hz. Es wird angestrebt, den programmierbaren Verstärker (PGA) 52 einzusetzen in Fällen, wenn die Größenordnung des vorliegenden Signals unbekannt ist oder veränderbar über breite Bereiche. Wenn die Durchschnittsleistung des Signals oberhalb eines Schwellenwertes liegt, dann wird die Verstärkung eingestellt auf die erste Einstellung, während dann, wenn die durchschnittliche Leistung unterhalb des Schwellenwertes liegt, die Verstärkung auf einen zweiten höheren Wert eingestellt wird. Dies stellt sicher, dass ein Signal einer entsprechenden Signalstärke der Mikrosteuerung 54 bereitgestellt wird. Ein ähnlicher PGA wird vorzugsweise an dem Ausgangsbearbeitungsteil der Einrichtung 20 vorgesehen, wie dies für den Eingangsbearbeitungsteil beschrieben wurde, und wird geschaltet in einer ähnlichen, jedoch entgegengesetzten Logik zur gleichen Zeit, d.h., wenn der Eingangs-PGA 52a das Signal verstärkt hat, dann wird der Ausgangs-PGA 52b dieses zurückführen, vorzugsweise um das gleiche Ausmaß. Es ist auszuführen, dass dann, wenn der PGA nicht zum Einsatz kommt, der Verstärkungswert des Verstärkungsblockes 50 höher eingestellt werden muss, d.h., etwa 176, so dass eine Gesamtsystemeingangsverstärkung von etwa 880 erreicht wird. Derartig hohe Verstärkungen von 750 oder mehr werden angestrebt zum Erreichen einer guten Systemleistungsfähigkeit, wenn sie Basisstörungen von zwischen 2 bis 10 Mikron ausgesetzt werden und wenn eine 8-Bit-Mikrosteuerung zum Einsatz kommt.
  • Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung ist eine Einrichtung zur Einstellung der Gleichstromvorspannung des Eingangssignals vorgesehen. Entsprechend der Darstellung in 16 überwacht die Mikrosteuerung 54 das nominale Gleichspannungsniveaus des Signals, welches an dem Eingang D/A 58a bereitgestellt wird, und gibt einen Wert an den aktiven Trim-Digital- zu Analog-Konverter (DAC) 65, der dementsprechend eine Gleichspannung bereitstellt, die entweder hinzugefügt zu oder abgezogen wird von der Gleichspannung, die ausgegeben wird von dem Verstärkungs- und Filterblock 48 an der Verbindung 64. Diese aktive Abgleichfunktion hält die Eingangssignalspannung an einem nominalen Wert beispielsweise bei etwa 2,5 V. Hierdurch wird die Gleichspannung zentriert aufrechterhalten innerhalb des Spannungsbereiches, wodurch ein maximaler Einsatz des dynamischen Bereiches gestattet wird.
  • Die Eingangs- und Ausgangsbearbeitungsteile können auch Überwachungseinrichtungen umfassen, die geeignet sind, um ein Versagen des Sensors 32 und/oder des Aktuators 30 innerhalb der Einrichtung 20 zu erfassen. Die Eingangsüberwachungsmaßnahme umfasst das Extrahieren des Signals an der Verbindung 67, welches repräsentativ ist für das ursprüngliche Accelerometersignal. Das Signal wird über die Leitung 68a der Überwachung A/D 70a in der Mikrosteuerung 54 bereitgestellt. Das Signal wird dann untersucht, um zu bestimmen, ob es in einen vorher eingestellten Bereich fällt. Wenn es dies tut, zeigt dies einen fehlerfreien Betrieb des Sensors 32 an.
  • Innerhalb der Mikrosteuerung 54, bei welcher es sich vorzugsweise um eine Motorola-68HC705P6ACDW handelt, wird ein Steuerverfahren ausgeführt, wie z.B. irgendeines der Verfahren, wie sie unter Bezugnahme auf die 2a-2c beschrieben wurden. Ein Ausgangssignal wird bereitgestellt von der Steuerung D/A 58b zum optionalen Ausgang PGA 52b bei einer Probenfrequenz von etwa 200 Hz. Die Steuerung umfasst vorzugsweise ein Mehrratenabtasten, wie es beschrieben ist in der gleichzeitig schwebenden US-Patentanmeldung 09/053,478 von Hamo et al. mit dem Titel "Dynamic System Controller", worauf hiermit ausdrücklich Bezug genommen wird. Das Signal von den PGA 52b wird dann einem Brückenverstärker 56 zugeführt, welcher mehrere Leistungsverstärker 60a, 60b einschließt und positioniert ist auf jeder Seite des Elektromagneten 30, und ein Stromsteuerblock 62 ist vorgesehen zur Bereitstellung einer Rückkopplungssteuerung, um sicherzustellen, dass das Steuersignal zu den Verstärkern 60a, 60b tatsächlich dasjenige ist, welches gesteuert wird. Das Steuersignal von dem PGA 52b treibt den Leistungsverstärker 60a direkt. Im Gegensatz dazu wird über den Widerstandsinverter 63, der das Steuersignal umkehrt, der Leistungsverstärker 60b in gegengesetzter Richtung getrieben, wodurch ein Wechselstromszenarium erzeugt wird über die Wicklungen des elektromagnetischen Aktuators 30. Vorzugsweise kommt eine Rückkopplungseinrichtung zum Einsatz, um den Strom zu messen, der durch die Leistungsverstärker 60a, 60b zugeführt wird, worauf dann ein Signal rückgekoppelt wird, welches zusammen mit dem Steuersignal eine entsprechende Einstellung desselben durchführt. Rückkopplungssignale, die zu dem Strom proportional sind, welcher einem jeden Verstärker 60a, 60b zugeführt wird, werden zum Stromsteuerblock 62 geführt über die Rückkopplungsleitungen 61a, 61b. Diese Signale werden dann kombiniert, um einen Ausgang an einer Leitung 68b zu erzeugen. Dieser Ausgang wird an einer Verbindung 69 bereitgestellt und dort summiert mit dem Steuersignal. Hierdurch wird konstant der Strom i korrigiert durch den Elektromagneten derart, dass er in etwa gleich ist zu dem gesteuerten (befohlenen) Strom. Das Signal 68b wird außerdem dem A/D-Konverter 70b innerhalb der Mikrosteuerung 54 bereitgestellt, um die Einrichtung zur Überwachung des Stromes zum Elektromagneten 30 vorzusehen. Wenn der Spannungswert, der vorliegt, innerhalb einer vorbestimmten Toleranz des befohlenen Steuersignals liegt, dann arbeiten der Elektromagnet 30 und der Brückenleistungsverstärker 56 in einer richtigen Art und Weise. Wenn sich das Signal nicht ändert, dann zeigt dies einen Kurzschluss oder eine andere Schaltungsfehlfunktion an.
  • In 15b werden die Betriebsfunktionen illustriert, die innerhalb der Mikrosteuerung 54 stattfinden. Das gefilterte und verstärkte Eingangssignal wird von dem PAG 52a dem Eingang A/D 58a bereitgestellt, der das analoge Signal konvertiert in eine digitale Form bei der vorerwähnten Abtastrate. Ein Dezimierungsfilter 72 ist innerhalb eines Niedrigpassfilters vorzugsweise erster Ordnung vorgesehen mit einer Durchbruchfrequenz von weniger als 90 Hz und stärker bevorzugt etwa 40 Hz. Ein zusätzlicher Hochpassfilter 74 mit einer Durchbruchfrequenz von etwa 0,125 Hz ist vorgesehen, um weiter ein Niedrigfrequenzrauschen zu verwerfen. Das Signal wird dann abwärts abgetastet in dem Abwärtsabtastblock 73 bei 200 Hz durch Abtasten in etwa jeder fünften Probe, die von dem Dezimierungsfilter 72 ausgeht. Der Ausgang des Abwärtsabtastblockes 73 wird dann integriert in dem Integrator 35 auf einem ersten Weg und multipliziert über einen ersten Verstärker 1 im Block 38. In einer ähnlichen Weise ist ein zweiter Weg vorgesehen, in welchem das abwärts abgetastete Signal multipliziert wird über einen zweiten Ver stärker 2 in Block 37. Das Signal in dem ersten und dem zweiten Weg wird dann summiert an der Summierungsverbindung 39 und dann der Steuerung D/A 58b bereitgestellt für die Übertragung zu dem Aktuator 30. Es ist zu erwähnen, dass der Verstärkungs- und Konditionierblock 29a in den 2a-2c den Signalkonditionierblock 46, den PGA 52a, den A/D-Konverter 58a, den Dezimierungsfilter 72, den HP-Filter 74 und die Abwärtsabtastung 73 umfasst. In einer ähnlichen Weise umfasst der Verstärkungs- und Konditionierblock 29b die Steuerung D/A 58b, den Ausgang PGA 52b und den Brückenleistungsverstärker 56. Der Brückenleistungsverstärker 56 umfasst die Leistungsverstärker 60a, 60b und die Stromsteuerung 62.
  • Die Erfindung wurde beschrieben in Begriffen von bevorzugten Prinzipien und Strukturen, wobei jedoch die speziellen Beispiele, die gegeben werden, lediglich erläuternd sind und nicht einschränkend. Die Anzahl und Anordnung der Einheiten kann geändert werden, um wirkungsvoll die dominanten Bewegungen in dem System zu dämpfen. Außerdem kann die Erfindung, obwohl sie unter Bezugnahme auf eine Isolierungstafel beschrieben wurde, auch eingesetzt werden für jeden anderen Aufbau zur Isolierung eines Elementes von einem anderen, wie etwa bei Motor- oder Maschinenhalterungsaufbauten.

Claims (22)

  1. Isolierungseinrichtung (20) zum Isolieren einer Vibration zwischen einem ersten Element (11) und einem zweiten Element (12) mit einem Targetelement (24), welches ansprechbar ist von einem Magnetfeld, welches einem ersten Element (11) zugeordnet ist, gekennzeichnet durch, einen Behälter (22), der mit dem zweiten Element (12) verbindbar ist, wobei der Behälter (22) die folgenden Elemente aufnimmt: einen Elektromagneten (30) mit einem Polstück (27) und einer Spule (23), einen Sensor (32) zur Erzeugung eines Eingangssignals, welches repräsentativ ist für die Bewegung des zweiten Elementes (12) und eine Steuerung (34) zur Aufnahme und Bearbeitung des Eingangssignals für die Ableitung eines Steuersignals zur Erregung der Spule (23) zur Erzeugung eines Magnetfeldes in dem Polstück (27), um eine Wirkung auf das Targetelement (24) auszuüben und damit die Vibration des zweiten Elementes (12) zu steuern.
  2. Isolierungseinrichtung gemäß Anspruch 1, wobei das Targetelement (24) ein Permanentmagnet ist, der an dem ersten Element montiert ist.
  3. Isolierungseinrichtung gemäß Anspruch 1, wobei das Targetelement (24) gebildet ist durch ein magnetisch ansprechbares Material.
  4. Isolierungseinrichtung gemäß Anspruch 3, wobei der Elektromagnet (30) einen Permanentmagneten (25) einschließt, um eine Vorspannung bereitzustellen.
  5. Isolierungseinrichtung gemäß Anspruch 1, wobei der Sensor (32) ein Akzelerometer ist, welches das Eingangssignal erzeugt, das repräsentativ ist für die Beschleunigung des zweiten Elementes.
  6. Isolierungseinrichtung gemäß Anspruch 5, wobei das Beschleunigungssignal integriert wird zur Erzeugung eines für die Geschwindigkeit repräsentativen Signals, welches dann rückgekoppelt wird zur Bereitstellung des Steuersignals.
  7. Isolierungseinrichtung gemäß Anspruch 5, wobei das Beschleunigungssignal integriert wird zur Erzeugung eines Signals, welches repräsentativ für die Geschwindigkeit ist, wobei das Signal, welches repräsentativ ist für die Beschleunigung und das Signal, welches repräsentativ ist für die Geschwindigkeit, dann multipliziert werden mit einer ersten bzw. einer zweiten Verstärkung zur Erzeugung eines verstärkungsjustierten Beschleunigungssignals und eines verstärkungsjustierten Geschwindigkeitssignals, worauf dann die verstärkungsjustierten Beschleunigungs- und Geschwindigkeitssignale summiert werden, um das Steuersignal bereitzustellen.
  8. Isolierungseinrichtung gemäß Anspruch 1, gekennzeichnet durch ein zusätzliches Targetelement, welches dem ersten Element zugeordnet ist, und wobei der Behälter (22) darüber hinaus einen zusätzlichen Elektromagneten, sowie einen zusätzlichen Sensor aufnimmt, der an die Steuerung (34) angeschlossen ist, wobei der Elektromagnet und der zusätzliche Elektromagnet orientiert sind zur Erzeugung einer Kraft auf unterschiedlichen Achsen.
  9. Isolierungseinrichtung gemäß Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine Mehrzahl von Magneten (26), um den Behälter (22) mit dem zweiten Element (12) zu verbinden.
  10. Isolierungseinrichtung gemäß Anspruch 1, wobei der Sensor (32) ein Geschwindigkeitsmesser oder ein Geophon ist und ein Signal bereitstellt, welches für die Geschwindigkeit repräsentativ ist.
  11. Isolierungseinrichtung gemäß Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine Rückkopplungseinrichtung zum aktiven Abstimmen einer Gleichstromvorspannung von dem Eingangssignal.
  12. Isolierungseinrichtung gemäß Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine Einrichtung zum Überwachen mindestens eines des Eingangssignals und des Steuersignals zur Bestimmung des Systemwohlergehens.
  13. Isolierungseinrichtung gemäß Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine aktive Einrichtung zum Schalten einer Eingangsverstärkung zwischen einem ersten niedrigen Niveau und einem zweiten höheren Wert in Abhängigkeit von einem aufladbaren Größeneingang.
  14. Isolierungseinrichtung gemäß Anspruch 13, gekennzeichnet durch eine aktive Einrichtung zum Schalten einer Ausgangsverstärkung zwischen einem ersten niedrigen Niveau und einem zweiten höheren Wert.
  15. Isolierungseinrichtung gemäß Anspruch 1, gekennzeichnet durch einen Brückenleistungsverstärker (56), der den Elektromagneten (30) treibt.
  16. Isolierungstafel (10) einschließlich der Isolierungseinrichtung (20) gemäß Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine Tafel mit der Isolierungseinrichtung (20), die hierunter befestigt ist, einen Rahmen (11) einschließlich einer Mehrzahl von Isolatoren (16) niedriger Steifigkeit, die die Tafel (12) relativ zum Rahmen (11) abstützen, wobei das Targetelement (24) dem Rahmen (11) zugeordnet ist; wobei die Einrichtung (20) in der Nähe des Targetelementes positioniert ist mit einem Spalt (28) dazwischen.
  17. Aktiv gesteuerte Isolierungstafel, gekennzeichnet durch Gemäß der Erfindung umfasst die Steuerung eine Eingangs- und Ausgangssignalbearbeitung. Die Eingangsbearbeitung kann eine Maßnahme einschließen zum Trimmen jeglicher Gleichspannungsvorspannung, die vorhanden sein kann, wodurch jede Gleichspannungsdrift eingestellt werden kann, die sich aus der Bearbeitung des Eingangssignals ergibt. Darüber hinaus kann mindestens eines und vorzugsweise alle beide der Eingangs- und Ausgangssignalbearbeitung eine aktive Verstärkungsschalteinrichtung einschließen zum Umschalten zwischen einem niedrigen Verstärkungswert auf einen zweiten höheren Verstärkungswert, vorzugsweise mit Hilfe eines programmierbaren Verstärkers. Hierdurch wird ein adäquat starkes Signal bereitgestellt für das Steuerungsverfahren und/oder den Aktuator für einen großen Bereich von übertragenen Vibrationsniveaus. Darüber hinaus kann die Eingangs- und/oder Ausgangsbearbeitung Maßnahmen einschließen zum Überwachen der Signale, um die Systemfunktion zu überwachen. Die Einrichtungen gemäß der Erfindung können einen einzigen Elektromagneten einschließen für eine Vibrationssteuerung in einer Richtung. Alternativ kann das Gehäuse zwei Elektromagnete einschließen, die relativ orientiert sind für eine Dämpfung in unterschiedlichen Richtungen. Sensoren können in dem Gehäuse eingeschlossen sein zum Messen der Bewegung in jeder Richtung. Zusätzlich sind Targetelemente jedem Elektromagneten zugeordnet und können, wenn getrennte Elemente vorhanden sind, an dem Tafelrahmen befestigt werden an entsprechenden Stellen. Die Tafeloberseite wird verschiedenen Vibrationsstörungen ausgesetzt, die unterschiedliche Bewegungen der Tafeloberseite verursachen können einschließlich einer einfachen linearen Vertikalvibration, Schlingerbewegung, Nickbewegung, Horizontalbewegung in Längs- und Seitenrichtung sowie Gierbewegung. Ein System gemäß der Erfindung umfasst eine Isolationstafel, die versehen ist mit einer Mehrzahl von Einrichtungen zur Steuerung dieser unterschiedlichen Vibrationsmodi. Gemäß einer Ausführungsform ist die Tafeloberseite mit drei Dämpfungseinrichtungen versehen zur Steuerung aller Bewegungen auf Vertikalbasis: Linearvertikal-, Nick- und Schlingervibrationen. Die Einrichtungen können jeweils einen ein zelnen Elektromagneten einschließen sowie einen zugeordneten Targetdauermagneten. Eine Einrichtung ist an jedem der beiden vorderen Füße der Tafel positioniert und eine Einrichtung ist entlang der Rückkante der Tafeloberseite positioniert halbwegs zwischen den anderen Füßen. Die Einrichtungen wirken unabhängig an unterschiedlichen Stellen und erzeugen Dämpfungskräfte zur Steuerung der drei vorerwähnten Vibrationsbewegungen. Die relative Beabstandung und Positionierung der aktiven Dämpfungseinrichtungen auf der Tafeloberseite optimiert die erforderlichen Steuerkräfte. Ein Dreieinrichtungssystem stellt vorteilhafterweise vertikale Vibrationssteuerung bereit mit einer minimalen Anzahl von Einrichtungen. Alternativ kann eine Tafel mit vier Dämpfungseinrichtungen versehen sein, wobei jeweils eine an jedem Tafelfuß positioniert ist für eine robustere Dämpfungssteuerung, d.h. eine geringere Steuerungskraft ist für jede Einrichtung erforderlich. Eine Isolierungstafel kann mit zwei Einrichtungen zur Steuerung der beiden horizontalen Vibrationsmodi versehen sein. Die Einrichtungen sind auf der Tafeloberseite an benachbarten Füßen montiert, wobei die Targetelemente an oder integral mit einem jeden Fuß montiert sind. Vorzugsweise werden die Einrichtungen so wenig störend wie möglich positioniert, wobei die Einrichtungen an den hinteren Füßen positioniert sind. Die Einrichtungen sind entsprechend ausgerichtet, um einen diagonalen Kraftvektor zu erzeugen, welcher den Schwerpunkt der Tafel (CG) durchläuft. Auf diese Weise können die Längs- und Querbewegungen gesteuert werden. Gemäß einer weiteren Ausführungsform umfassen die Einrichtungen vertikal und horizontal orientierte Elektromagneten, die in dem einzigen Gehäuse enthalten sind, und eine Isolierungstafel ist konfiguriert zur Steuerung sowohl der vertikalen als auch der horizontalen Vibration in allen sechs Modi. Vorteilhafterweise kann die Steuerung aller sechs Modi erzielt werden mit drei Einrichtungen, die an der Tafel montiert sind, jeweils eine an den vorderen Füßen und eine dritte an der Hinterkante in der Mitte zwischen den hinteren Füßen. Targetelemente sind an jedem wobei die aktive Einheit und mindestens eine zusätzliche aktive Einheit sich im Abstand voneinander befinden.
  18. Aktiv gesteuerte Isolierungstafel gemäß Anspruch 17, gekennzeichnet durch ein zusätzliches Targetelement, welches dem Rahmen (11) zugeordnet ist, wobei die Isolierungseinrichtung einen zusätzlichen Elektromagneten sowie einen zusätzlichen Sensor umfasst, wobei das Targetelement und der Elektromagnet zum Aufheben einer vertikal gerichteten Vibration in vertikaler Ausrichtung angeordnet sind, während das zusätzliche Targetelement und der zusätzliche Elektromagnet zum Aufheben einer horizontal gerichteten Vibration in horizontaler Ausrichtung angeordnet sind.
  19. Aktiv gesteuerte Isolierungstafel gemäß Anspruch 26, gekennzeichnet durch mindestens eine zusätzliche Isolierungseinrichtung mit Targetelementen gemäß Anspruch 26, wobei eine erste Isolierungseinrichtung (20) und Targetelemente an einem ersten Fuß (14a) des Rahmens (11) und eine zweite Isolierungseinrichtung (20) und Targetelemente an einem zweiten Fuß (14b) des Rahmens (11) angeordnet sind.
  20. Aktiv gesteuerte Isolierungstafel gemäß Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß der Rahmen (11) vier Füße (14) umfasst, die jeweils einen Isolator (26) niedriger Steifigkeit zur Abstützung der Tafel relativ zu dem Rahmen aufweisen, eine Mehrzahl aus ersten und zweiten Targetelementen vorgesehen ist, wobei jedes Targetelement auf ein Magnetfeld anspricht, die ersten Targetelemente relativ zu horizontalen Oberflächen des Rahmens ausgerichtet sind und die zweiten Targetelemente relativ zu vertikalen Oberflächen des Rahmens ausgerichtet sind, eine Mehrzahl von Isolierungseinrichtungen (20) vorgesehen ist und jede Einrichtung (20a) ein Gehäuse umfasst, welches starr an der Tafel (12) nahe den Targetelementen mit jeweils einem vertikalen Spalt und einem horizontalen Spalt dazwischen befestigt ist, wobei jedes Gehäuse die folgenden Elemente enthält: einen ersten und einen zweiten Elektromagneten jeweils mit einer Spule zur Erzeugung eines Magnetfeldes sowie ein Polstück zum Ausrichten des Magnetfeldes, wobei der erste Elektromagnet dem ersten Targetelement gegenüber positioniert ist über den Vertikalspalt und der zweite Elektromagnet gegenüber dem zweiten Targetelement positioniert ist über dem Horizontalspalt; einen ersten Sensor zur Erzeugung eines ersten Eingangssignals, welches repräsentativ ist für eine vertikale Vibration in der Tafel, einen zweiten Sensor zur Erzeugung eines zweiten Eingangssignals, welches repräsentativ ist für eine horizontale Vibration in der Tafel, und eine Steuerung zur Bearbeitung des ersten Eingangssignals zur Erzeugung eines Steuersignals, welches den ersten Elektromagneten erregt zur Erzeugung eines Magnetfeldes für die Aufhebung der vertikalen Vibration und zur Bearbeitung des zweiten Eingangssignals zur Erzeugung eines Steuersignals, welches den zweiten Elektromagneten erregt zur Erzeugung eines Magnetfeldes zur Aufhebung der horizontalen Vibration.
  21. Aktiv gesteuerte Isolierungstafel gemäß Anspruch 28, wobei die Mehrzahl von Isolierungseinrichtungen (20) mindestens drei Einrichtungen (20) umfasst und wobei jede der Mehrzahl der Einrichtungen (20) nahe einem unterschiedlichen Fuß (14) des Rahmens (11) befestigt ist.
  22. Aktiv gesteuerte Isolierungstafel gemäß Anspruch 28, dadurch gekennzeichnet, daß die Mehrzahl der Einrichtungen (20) drei Einrichtungen (20) umfasst, wobei die erste Einrichtung an der Tafel nahe dem ersten Fuß (14a) befestigt ist, die zweite Einrichtung an der Tafel (12) nahe dem zweiten Fuß (14b) befestigt ist und die dritte Einrichtung an der Tafel nahe einer Tafelkante zwischen dem dritten und vierten Fuß (14) befestigt ist, und wobei der Rahmen zwischen dem dritten Fuß (14c) und dem vierten Fuß (14d) ein horizontales Element (18) aufweist.
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