EP1279195A1 - Elektronisches bauelement mit flexiblen kontaktierungsstellen und verfahren zu dessen herstellung - Google Patents

Elektronisches bauelement mit flexiblen kontaktierungsstellen und verfahren zu dessen herstellung

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EP1279195A1
EP1279195A1 EP01929274A EP01929274A EP1279195A1 EP 1279195 A1 EP1279195 A1 EP 1279195A1 EP 01929274 A EP01929274 A EP 01929274A EP 01929274 A EP01929274 A EP 01929274A EP 1279195 A1 EP1279195 A1 EP 1279195A1
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EP
European Patent Office
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electronic component
rubber
elastic
elevation
elevations
Prior art date
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Withdrawn
Application number
EP01929274A
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Jens Pohl
Alfred Haimerl
Harry Hedler
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Qimonda AG
Original Assignee
Infineon Technologies AG
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Filing date
Publication date
Application filed by Infineon Technologies AG filed Critical Infineon Technologies AG
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Withdrawn legal-status Critical Current

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    • H01L2924/35—Mechanical effects
    • H01L2924/351—Thermal stress

Definitions

  • the present invention relates to an electronic component with an electronic circuit according to the preamble of the independent claims.
  • the invention further relates to a method for producing the electronic component according to the invention.
  • Wise-shaped edged elevation protruding from the surface of the component and encased in a metal layer. Because of the polyimide film and because of the complete covering with a relatively rigid metal coating, this elevation is not suitable for compensating between the contacts of the component and the connections of a component carrier to which the component is to be electrically connected via the external contacts. A component with such an external contact structure often has damage or destruction of the soldered connections between the component and the carrier when it is applied to a circuit board. It is also known from US Pat. No. 5,685,885 to arrange electrical contacts on a rubber-elastic layer. The production of components with the layer disclosed there is complex.
  • the object of the present invention is therefore to provide an electronic component which permanently soldered connections. fertilize and provides level compensation for unevenness between the electronic component and a carrier such as a circuit board.
  • the electronic component has an electronic circuit and conductor tracks on a surface for electrically connecting the electronic circuit to metal-coated elevations made of insulating material, the elevations having a rubber-elastic material and each having a metallic contact spot on its tip and on its slope side or have a line path in their volume, which is arranged between the contact pad and one of the conductor tracks on the surface of the electronic component.
  • line path means any electrically conductive path on the slope side of the rubber-elastic elevation and / or within the volume of the rubber-elastic elevation, while conductor tracks represent electrically conductive paths on the surface of the electronic component or on a semiconductor chip of the electronic component.
  • This arrangement according to the invention is particularly important in the case of electronic components, the size of which largely corresponds to the size of the electronic circuit or the circuit chip corresponds to the component, namely in so-called chip-size components. Since here, apart from the electronic circuit on a circuit chip, there are practically no further housing elements that can intercept voltages on the electronic component. Thus, there is a risk of damage or destruction of the electrical contacts in such components.
  • a rubber-elastic elevation prevents the occurrence of excessive mechanical stresses and thus guarantees the operational reliability of the component. At the same time, the rubber-elastic elevation advantageously compensates for unevenness between the components to be contacted.
  • the electrical contact pads of the electronic component are arranged on a rubber-elastic elevation, which compensates for the mechanical stresses that occur.
  • a line path can be provided on the slope side or in the volume of the rubber-elastic bump between the electrical contact pad and the electronic circuit or the conductor tracks.
  • the electronic circuit can directly adjoin the rubber-elastic elevation with its conductor tracks and is electrically connected to the conduction paths of the elevation.
  • the elevation has a dome-like contour with a soft, slightly curved transition to the surface of the electronic component.
  • This contour has the advantage that both the crest on which the
  • the contact patch is at rest, as is the derivation from the tip via the conduction path to the surface without crack-prone sharp transitions, so that a gradual increase from the Surface of the electronic component to the top of the rubber-elastic elevation for the metal is possible and thus a rubber-elastic-supported contact patch with a safe conduction path to the electronic circuit is created.
  • this rubber-elastic property of the elevations is further increased by first arranging a flat base surface made of rubber-elastic material on the surface of the electronic component and then forming the rubber-elastic elevations on this rubber-elastic flat base surface. From the respective crests of the rubber-elastic elevations, which are equipped with contact patches, line paths can first be led on the slopes of the respective rubber-elastic elevation and then via the rubber-elastic flat base to the conductor tracks on the surface.
  • a high degree of flexibility of the contact patches on the tip of the elevations is achieved because the compliance of the elevations and the rubber-elastic base complement one another.
  • the rubber-elastic elevation has a base with a diameter between 100 microns and 250 microns. With this minimal base area, elevations at a height of 50 ⁇ m to 80 ⁇ m can be displayed, which then arch like a dome over the base area with a smooth transition to the surface of the electronic component.
  • additional conductor tracks can be provided between the rubber-elastic elevation and the electronic circuit so that the rubber-elastic elevation is separated from the electronic one Circuit can be arranged spaced apart by a rewiring foil.
  • the rubber-elastic material of the elevations has more than 50% elastic extensibility.
  • Such a material has the advantage that it can be compressed to more than half its height or can be laterally displaced in the same way, so that the contact spot on the dome is also displaceable relative to the center of the base area.
  • a further embodiment of the invention therefore provides that the rubber-elastic material of the elevation has an elastomer.
  • Such elastomers act like natural rubbers and can accordingly be moved with little effort both parallel to the surface of the electronic component and thus perpendicular to it.
  • the rubber-elastic material has a silicone-based elastomer.
  • silicone rubbers are widespread and can be processed in different consistencies, so that a staggering of differently viscous and differently consistent silicone-based materials can be stacked on top of one another in order to realize an optimal dome-like contour with a smooth transition to the surface.
  • the elevation made of rubber-elastic material can be deformed by several 10 ⁇ m.
  • This rubber-elastic deformability of several 10 ⁇ m is particularly in demand when electronic components on contact connections of printed circuit boards or circuit boards at the wafer level for test purposes. Due to the thermal load, it is quite the case that the semiconductor component expands slightly than the contact connection areas on the circuit board, so that displacements in the range from 50 ⁇ m to 150 ⁇ m with a diameter of 300 mm of the semiconductor wafer to be tested are possible.
  • the rubber-elastic elevations according to the invention can advantageously bridge or compensate for these high deflections.
  • the elevations to the surface can be deflected by at least 30 ⁇ m in the vertical direction, which has the advantage that tolerances of up to 150 ⁇ m can be compensated for by warping of a semiconductor wafer or the warping of a circuit board.
  • the rubber-elastic elevation has a height h of 60 to 300 ⁇ m, so that, with rubber-elastic compression of up to 50%, the elevations can advantageously be compressed to 30 to 150 ⁇ m vertically to form the electrical component.
  • a further embodiment of the invention provides that the width b of a line path made of metal is less than or equal to 150 ⁇ m when producing the elevation. This is to ensure at the same time that the metallic path, which acts practically like a metallic spring supported by an elastomer and cooperates with the contact spot on the tip of the elevation, is not too wide and thus does not reduce the flexibility or the rubber-elastic properties .
  • the electronic component has a semiconductor component, on the active top side of which an insulating layer is applied, and this insulating layer only leaves bond channels free, via which contact areas on the semiconductor chip can be connected to the conductor tracks on the insulating layer, the conductor tracks again are connected on the insulating layer via the line paths on the slope side of the rubber-elastic elevation to the contact spot on the summit of the elevation.
  • the electronic component can also have a polymer component, such as an electronic circuit on a circuit board, and the rubber-elastic elevations are then arranged directly on the circuit board.
  • a polymer component such as an electronic circuit on a circuit board
  • the contact pads can be soldered onto a circuit board.
  • the contact pads can be coated with a thin solderable layer and / or the contact connection areas on the circuit board can have such a solderable layer, so that when the electronic component is applied to the circuit board, an intensive connection can be achieved using soft solder.
  • a further connection between the contact pads on the dome of the rubber-elastic elevations and contact connection areas on a circuit board can be achieved by means of a conductive adhesive which is applied, for example, to the contact pads of the dome of the elevation.
  • the elevation with the contact spot and the conduction path is completely embedded in a conductive adhesive.
  • This complete embedding in a conductive adhesive can be carried out when the electronic component is attached to a printed circuit board or a circuit board or a ceramic carrier by applying an appropriate conductive adhesive to the contact connection surfaces of the respective carrier material, which adhesive then spreads over the contour of the rubber-elastic elevation ,
  • the electronic component is arranged on a circuit board, is bonded to the circuit board by means of adhesive bumps shrinking on curing, and, via the at least one electrical contact, forms a rubber-elastic elevation with at least one contact connection area on the circuit board.
  • no solder material is used, and no conductive adhesive will also be required, but the contact to the contact connection areas on a circuit board is effected only by pressure, which in turn takes place by shrinking solder bumps from a shrinking adhesive.
  • This embodiment of the invention has the advantage that mass production can be carried out in an inexpensive manner, in which it is important to arrange electronic components on circuit boards as quickly and inexpensively as possible, to mechanically fasten them, for example via the shrinking adhesive bumps, and to connect them electrically , what automatically at
  • a line path on the slope side of the rubber-elastic elevation a line path can also be arranged inside the rubber-elastic elevation between the electrical contact pad and the electronic circuit. Starting from the electrical contact pad on the tip of the rubber-elastic elevation, the conductive connection is thus guided through the rubber-elastic elevation and to the electronic circuit.
  • the entire rubber-elastic or flexible elevation can also be made from a flexible or rubber-elastic and electrically conductive material, so that the conductive connection is not made from a different material through a separate conduction path, but rather through the rubber-elastic material itself.
  • This requires very specific materials, which place high demands on the rubber-elastic materials, both in their selection and in their composition. Such materials are generally more high-resistance than a pure line material, which forms a line path.
  • a contact spot designed as a metal region can be provided on the cap of the rubber-elastic elevation, a conductor track leading away from the underside of the rubber-elastic elevation.
  • conductor tracks can be arranged on an insulating layer that at least partially covers the first surface of the electronic component, with the insulating layer on the rubber-elastic elevation is adjacent.
  • This has the advantage that the conductor tracks can be structured by indirect structuring, namely by structuring the insulating layer.
  • the electronic component can in principle be designed in any suitable usable form.
  • the component can be a semiconductor component or a polymer component.
  • the electrical contact spot on the dome of the rubber-elastic elevation can also be of any design and adapted to the particular use of the electronic component.
  • the electrical contact can be supplemented by a conductive layer, a conductive pin or a conductive ball and thus advantageously adapted to the requirements of the electronic component.
  • the rubber-elastic elevation is applied to the electronic component by means of a printing process which can be carried out simply and inexpensively.
  • the requirements for the strength tolerances for such surveys can be met by adapting the technically possible printing processes.
  • the insulating layer can also be applied by a printing process.
  • the conductive material for producing the conductor tracks or the conductor paths and the electrical contacts can be applied to the rubber-elastic elevation or to the insulating layer by sputter metallization or chemical metallization.
  • a stencil printing is preferably used, in which the printing is carried out by means of a perforated stencil.
  • This locking template can be optimized in such a way that the entire rubber-elastic elevation can already be formed through the perforated template.
  • perforated templates are used that use a perforated metal foil. This perforated metal foil with its holes is precisely matched to the position and the size of the rubber-elastic elevation, whereby an exact adaptation of the dome-shaped design of the rubber-elastic elevation can be achieved with smooth transitions to the top and the base.
  • a perforated metal foil is used as the shadow mask.
  • such perforated metal foils can be produced extremely precisely, on the other hand, they do not have a fabric structure over the opening for stabilizing the screen printing network, as in the screen printing process, but a completely free through hole, which facilitates metering the amount of silicone rubber.
  • a further exemplary embodiment of the method provides that, in the production of the metal layer structure on the surface of the electronic component and on the rubber-elastic elevations, the conduction paths on the slopes of the elevations, the contact spots on the tips of the elevations and the conductor tracks on the surface of the electronic component simultaneously getting produced.
  • it is initially intended to open a closed metal layer. bring what is possible by sputtering metal layers such as copper-nickel or gold or their alloys or can be achieved by electroplating or by vapor deposition of these metals.
  • a closed photoresist layer is then also applied, it being difficult to apply a uniformly thin or thick layer of lacquer both on the flat or flat upper side of the electronic component and on the dome-like bulges of the elevations.
  • a particularly favorable method here is spraying or electrodeposition, in which a special photoresist can be deposited evenly from an organometallic solution under current.
  • the exposure of the photoresist is also difficult due to the large differences in the surface level, especially since a high depth of field must be achieved, both in the area of the contact spots on the elevations and in the area of the conduction paths on the slope side of the elevation and then on the lower level
  • the top of the electronic component to allow a sharp imaging and exposure.
  • projection exposure is carried out using parallel light beams, and then the photoresist is developed and the structure is cured to form a photoresist mask.
  • the metal layer can then be structured through the photoresist mask by dry or wet etching.
  • the photoresist mask is removed and the desired metal layer structure remains, which has contact spots on the top of the elevation, conductor tracks on the slope side of the elevations and connecting lines on the top of the electronic component.
  • nucleation can first take place on the insulating layer of the elevations and the insulating layer on the top side of the semiconductor component. Only then is metallization carried out in this area in order to increase the adhesion of the conduction paths and the contact patch to the rubber-elastic material of the rubber-elastic elevation.
  • a laser treatment of the surface of the rubber-elastic elevation and optionally also of the insulating layer or by another suitable method can be used to roughen this surface, which offers better adhesion to the conductive material of the metallization to be applied later.
  • metal nuclei or other suitable nuclei which can be made of any suitable material, such as palladium, are applied to the rough surface before the metallization and after the surface roughening. Palladium can be deposited inexpensively on electrically insulating materials and forms cubic seed crystals that anchor themselves excellently in the insulating material and thus improve adhesion for the conductor path or the conductor tracks.
  • the method described above for producing a metal layer structure can also be significantly improved if a method for the metal layer structure is used which works with an inkjet printing technique, wherein a metal layer structuring can be achieved by means of an organometallic solution as ink and subsequent evaporation of the solvent during an annealing process Without any masking technique, simply programming the inkjet printing process can achieve a metal structure on uneven surfaces such as the present rubber-elastic elevations.
  • At least one electronic component according to the invention is bonded to a circuit board by means of an adhesive that shrinks during curing.
  • the shrinking adhesive makes electrical contact between the rubber-elastic bump and its contact pad and an electrical contact pad on the circuit board, so that a rubber-elastic pressure contact occurs.
  • the adhesive is applied to the circuit board in the form of individual adhesive bumps. Then the electronic component with its electrical contact pads is aligned with the electrical contact connection areas of the circuit board and pressed onto the circuit board, so that the electrical contact pads on the tips of the rubber-elastic bumps contact the contact areas of the circuit board while the adhesive shrinks as it cures.
  • This method has the advantage that contacting and placement on a circuit board can be carried out at an extremely low curing temperature.
  • the adhesive is applied in the form of a surface-covering drop on the top of the circuit board and the electronic component with its rubber-elastic-supported contact patches is then pressed onto the contact connection surfaces until the adhesive has cured and shrunk. Since temperatures in the range of 120 to 160 ° C are provided for the curing of the adhesive, it is also possible to provide the contact patches or the contact connection areas of the circuit board with a solderable layer before pressing the electronic component and at the same time pressing and curing the Shrink adhesive to produce a soft solder connection between the contact pads of the electronic component and the contact pads of the circuit board.
  • the assembly of CSP, especially of geometrically large chips, on the board (or the circuit board) is difficult due to the different linear expansion coefficients of Si and laminate.
  • the invention advantageously overcomes the thermal mismatch in the CSP housing.
  • contacting can be achieved by pressing, which is also possible for a large number of contacts and very large chips.
  • This pressing process can be achieved by gluing the chip onto the board selectively with an adhesive which shrinks during curing and thus moves the chip and board towards one another.
  • the present invention facilitates the use of the CSP with interconnect elements that are elastic in all three directions.
  • the use of shrinking glue ensures a safe electrical contact between the chip and the board, especially for large chips and high pin numbers.
  • Figure 1 shows a perspective view of an embodiment of the invention with partial cross-section
  • Figure 2 shows a perspective view of part of an electronic component according to a further embodiment of the invention
  • Figure 3 shows a schematic cross-sectional view of the starting material for the present invention
  • Figure 4 shows a schematic Cross-sectional view through a rubber-elastic elevation of an embodiment of the invention
  • FIG. 5 shows a schematic cross section through a metal-coated, rubber-elastic elevation
  • FIG. 6 shows a schematic cross-sectional view through several rubber-elastic elevations on a rubber-like base
  • FIG. 7 shows a cross-sectional view of an overall view of a component according to a further embodiment of the invention.
  • FIG. 8 shows a cross-sectional view of a section of a semiconductor chip after an insulating layer has been printed on
  • FIG. 9 shows the semiconductor chip according to FIG. 2 after printing on a rubber-elastic elevation
  • FIG. 10 shows the semiconductor chip according to FIG. 9 after the application of a first metallization
  • FIG. 11 shows the semiconductor chip according to FIG. 9 after the application of a second metallization
  • FIG. 12 shows the semiconductor chip according to FIG. 10 after a solder ball has been applied to the contact pad
  • FIG. 13 shows a cross-sectional view of a further embodiment of a line path
  • FIG. 14 shows a schematic cross-sectional view of a further embodiment of the invention.
  • FIG. 15 shows a schematic cross-sectional view of a multilayer circuit board with an electronic component soldered on
  • FIG. 16 shows a cross-sectional view of a multilayer circuit board with adhesive bumps
  • FIG. 17 shows the multilayer circuit board from FIG. 16 together with an electronic component
  • FIG. 18 shows a final assembled electronic component of a further embodiment of the invention on a circuit board
  • FIG. 19 shows a schematic cross-sectional view of a multi-layer circuit board with a spread drop of shrinkable adhesive
  • FIG. 20 shows a schematic cross-sectional view of a multilayer circuit board with an applied and aligned electronic component
  • FIG. 21 shows a schematic cross-sectional view of a multi-layer circuit board with a pressed-on electronic component during the curing of the adhesive.
  • FIG. 1 shows a perspective view of an embodiment of the invention with a partial cross section.
  • a section of a surface 13 of an electronic component 2 is shown, the cross section arranged underneath essentially showing a semiconductor chip 6 with an insulating coating 7.
  • Elevation 3 arranged, which is dome-like over the surface
  • a contact pad 16 made of a metal is arranged at a height h from the surface 13 and forms an electrical contact 1 of the electronic component 2 on the dome 14 of the rubber-elastic elevation 3.
  • a conduction path 8 is arranged, which can extend in a width of up to 150 ⁇ m over the slope side 15 of the rubber-elastic elevation 3. Due to the gentle curvatures 22 of the rubber elastic Exercise 3, when the rubber-elastic elevation 3 is compressed or moved, the material of the conduction path 8 is only loaded in a spring-elastic manner and is therefore protected against micro-cracking.
  • the height h of the rubber-elastic elevation 3 is between 60 and 300 ⁇ m in this embodiment.
  • the base area of the rubber-elastic elevation 3 has a diameter of over 150 ⁇ m to 500 ⁇ m.
  • the width of the line path is between 30 ⁇ m and 150 ⁇ m.
  • Components 2 which are equipped with the rubber-elastic elevations 3 according to the invention as external contacts and have a relatively large semiconductor chip 6, for example with an edge length of 20 mm, can with temperature test cycles between -40 ° C and + 160 ° C a relative shift compared to a circuit board of over 30 microns are exposed in the horizontal direction without breaking the electrical connection.
  • the rubber-elastic elevation 3 can still compensate for height differences in the vertical direction up to 150 ⁇ m.
  • secure electrical connections are created simultaneously for up to 2000 electronic components 2, each with 50 to 100 external contacts on rubber-elastic elevations 3 of a semiconductor wafer, simply by pressing the contact pads 16 of the elevation onto contact connection areas of a test board.
  • the rubber-elastic elevations 3 not only compensate for warping of the test board of +/- 10 ⁇ m and the semiconductor wafer, but also height differences between the elevations of up to +/- 10%. Due to the high elasticity of the rubber Surveys 3 of 50% can completely compensate for these differences in the vertical direction.
  • FIG. 2 shows a perspective view of part of an electronic component 2 according to a further embodiment of the invention.
  • Components with the same functions as in FIG. 1 are identified by the same reference numerals and are not specifically explained.
  • a plurality of rubber-elastic elevations 3 with contact pads 16 can be arranged on their tips 14 and conduction paths 8 on their slopes 15.
  • Metallic conductor tracks 4 run between the rubber-elastic insulating bumps 3 on the upper side 13 of the insulating layer 7 and lead to corresponding contact spots (not shown) in a bond channel of the semiconductor chip 6.
  • the insulating layer 7 is therefore also called the rewiring layer and the conductor tracks 4 represent the rewiring lines.
  • FIGS. 3 to 5 represent the method steps for producing such an electronic component 2.
  • Figure 3 shows a schematic cross-sectional view of the starting material for the present invention. Components with the same functions as in the previous figures are identified by the same reference numerals and are not specifically explained.
  • the starting material for the present invention is a semiconductor chip 6 with contact areas 19 of an integrated circuit, not shown, on the active upper side 24 of the semiconductor chip, which lies opposite the passive rear side 25.
  • An insulating layer 7 is arranged on the semiconductor chip 6, with a surface 13 leaving a bond channel 26 free, which allows access to the contact areas 19 of the semiconductor chip 6.
  • Figure 4 shows a schematic cross-sectional view through a rubber-elastic elevation 3 of an embodiment of the invention. Components with the same functions as in the previous figures are identified with the same reference numerals and are not specifically explained.
  • a silicone-based material was used as the rubber-elastic elastomer, which is applied to the surface 13 of the insulating layer 7 via a perforated template.
  • the template itself consists of a perforated metal foil.
  • FIG. 5 shows a schematic cross-sectional view through a metal-coated, rubber-elastic elevation 3.
  • a metal layer structure is applied to the surface 13 of the insulating layer and to the surface of the rubber-elastic elevation 3 and in the bonding channel 26, which essentially consists of a contact spot 16 on the tip of the rubber-elastic elevation 3, a conduction path 8 on the slope side 15 of the rubber-elastic heir - Exercise 3 and a conductor track 4, which connects the contact pad 16 with the contact surface 19 on the semiconductor chip 6 in the bond channel 26.
  • the electronic component 2 is essentially finished by the application of this metal structure. provides, however, the entire component can be provided with the contact of the rubber-elastic elevation 3 with their contact spot 16 on the top of the elevation 3 with a protective layer, not shown, made of insulating material.
  • the metal structure is produced with the aid of metallization of the entire surface, this metallization then being structured by means of a photolithography process.
  • This photolithography process solves two problems, namely, on the one hand, to apply a uniformly thick layer of photoresist to the metal coating on a non-flat surface, which is predetermined by the bulging elevations. While the metal coating can be applied with a relatively uniform thickness by sputtering, this photoresist layer can be electrodeposited in a metal-organic solution either by spraying or by electrodeposition. In both cases, the coating thickness of the photoresist is relatively uniform.
  • the second problem is an exposure of such an uneven surface, wherein a uniform sharpness of the image can be achieved both on the tip of the rubber-elastic elevation 3 and on the level of the insulating layer 7. This problem is solved by projection exposure.
  • the problem of applying a precise metal layer structure to an uneven surface is achieved in a further exemplary embodiment of the method in FIG. 5 by printing the metal layer structure 27.
  • the considerable differences in height h ie the large unevenness of the surface to be printed on, are an obstacle.
  • This problem is overcome by an inkjet printing the metal layer structure with an ink composed of an organometallic solution. After printing, the solvent is evaporated by a corresponding tempering process to form a metal layer structure.
  • FIG. 6 shows a schematic cross-sectional view through several rubber-elastic elevations 3 on a rubber-elastic base 17.
  • the production method of this electronic component 2 can be produced with the same steps as shown in FIGS. 3 to 5, except that before the rubber-elastic elevations 3 are applied, an intermediate step for the production of flat bases 17 made of rubber-elastic material is carried out first.
  • a stencil printing can be carried out with correspondingly larger openings in the template, so that a plurality of rubber-elastic elevations can subsequently be applied to the base 17.
  • the height hi of the rubber-elastic base is between 30 and 50 ⁇ m, while the height h 2 corresponds to the height h of the rubber-elastic elevation in FIGS. 4 and 5.
  • FIG. 7 schematically shows an overall cross section of an electronic component 2 of a further embodiment of the invention, in which case the rubber-elastic elevations 3 are shown at the edge of the electronic component 2 and the conductor tracks 4 to the corresponding contact areas 19 of an electronic circuit (not shown) in the semiconductor chip 6 lead. Further surveys not shown here gene can be arranged distributed over the entire surface 13. Conduction paths 8 connect the conductor tracks 4 on the surface 13 with electrical contact spots 16 on the tips 14 of the elevations 3, which carry contact balls 5. These contact balls 5 can be gold-plated in order to ensure oxidation-free contact with contact pads 12 of a circuit board.
  • an electrical connection between this circuit of the component 2 and the wiring on the circuit board 10 is achieved by an oxidation-free flexible pressure contact, so that no environmentally harmful solder is used.
  • the rubber-elastic elevations 3 it is also possible for the rubber-elastic elevations 3 to carry a solder ball 5, so that a soldered connection with a circuit board is made possible and the elastic elevations 3 not only compensate for the unevenness of the component 2 and the board, but also reduce thermal stresses, that occur due to different expansion coefficients of component 2 and board 10.
  • FIGS. 8 to 13 exemplarily explain the manufacture of an electronic component 2 which has a rubber-elastic elevation 3 according to the invention.
  • an insulating layer 7, which at least partially covers a first surface of the semiconductor chip 6, is first applied to a semiconductor chip 6, which is shown in cross section in FIG. 2.
  • This insulating layer 7 can be applied and structured using different methods.
  • a printing method in particular a screen printing method, is used which can be carried out simply and inexpensively.
  • a rubber-elastic elevation 3 is then applied to the semiconductor chip 6 in the region of its surface 13, it being possible for the rubber-elastic elevation 3 to be arranged on or next to the insulating layer.
  • the surface of the flexible elevation 3 and the insulating layer 7 can be roughened with the aid of a laser in those areas in which conductor paths 8 and conductor tracks 4 are to be formed in a later step. This is indicated by the vertical arrows in Figure 3.
  • the rough surface ensures in particular better adhesion of the conductive material of the conductor paths 8 and conductor tracks 4 to the respective surfaces.
  • FIG. 10 shows a cross section of a section of the semiconductor chip according to FIG. 9 after a structured metallization has been applied to the surface of the rubber-elastic elevation 3 and to the surface 13 of the insulating layer 7.
  • FIG. 11 shows a cross section of a section of the semiconductor chip 6 according to FIG. 10 after application of a second metallization.
  • This metallization will thus take place in two steps, a first basic metallization 4a and 8a being produced first, or germs 4a, 8a being deposited on the surface, each of which forms conductor tracks serve the insulating layer and a conduction path on the flexible elevation.
  • the seeds can be made of any suitable material such as palladium.
  • This is followed by a final metallization 4b and 8b, as shown in FIG. 11, for the final production of the conductor tracks 4 and conductor paths 8.
  • This structured metallization already forms on the rubber-elastic elevation 3 an electrical contact pad 16, via which the electronic component 2 can be contacted.
  • FIG. 12 shows a cross section of a section of the semiconductor chip 6 according to FIG. 10 after application of a solder ball 5 to the contact point, which forms an electrical contact pad 16.
  • FIG. 13 shows a cross section of an alternative embodiment of the conductive connection to the contact point on the rubber-elastic elevation 3, here a line path 9 being guided through the rubber-elastic elevation 3.
  • a line path 9 is formed in the interior of the rubber-elastic elevation 3 by laser structuring, starting from the surface of the rubber-elastic elevation 3 with a subsequent metallization.
  • FIG. 14 shows a schematic cross-sectional view of a further embodiment of the invention.
  • the rubber-elastic elevation 3 is formed from a simultaneously electrically conductive material and has a metallic contact spot 16 on its tip 14, which is electrically conductive conductive material of the rubber-elastic elevation 3 at the foot of the elevation 3 is connected to a conductor track 4 of the surface 13 of the electronic component.
  • the rubber-elastic elevation also serves as a low-resistance resistor.
  • FIG. 15 shows a schematic cross-sectional view of a multi-layer circuit board 10 with soldered electronic component 2.
  • the multi-layer circuit board 10 has on its top 28 contact pads 12 which have a coating of soft solder.
  • Components with the same functions as in the previous figures are identified by the same reference numerals and are not specifically explained.
  • the electronic component 2 is soldered with its contact pads 16 onto the tips 14 of the rubber-elastic elevations 3 on the contact connection areas 12 of the circuit board 10 and, with its rubber-elastic elevations, can both thermal differences in the expansion of the circuit board 10 compared to the semiconductor chip 6, and also compensate for warpage of the surfaces 13 of the electronic component 2 with respect to the surface 28 of the circuit board 10.
  • the height compensation between the two surfaces can require a rubber elasticity that is 1 ⁇ m on a centimeter and consequently can compensate for a distance difference between the two surfaces 13 and 28 of up to 30 ⁇ m in the case of a semiconductor wafer with semiconductor chips 6 with a diameter of 30 cm.
  • the rubber-elastic extensibility of the rubber-elastic elevations 3 can be vertical
  • the rubber-elastic material of the elevations 3 has one elasticity of 50%.
  • the height h of the rubber-elastic elevations 3 is thus at least 60 ⁇ m.
  • FIG. 16 shows a cross-sectional view of a multilayer circuit board 10 with adhesive bumps 11 and contact pads 12, which can be gold-plated to ensure an oxidation-free contact or which can be coated with solder if a solder connection is desired.
  • FIG. 17 shows the application of an electronic component 2, as is shown in FIG. 7, but with four contact balls 5, which are applied to rubber-elastic elevations 3 and are connected to conductor tracks 4 of the electronic component 2 via conductor paths 8.
  • the adhesive bumps 11 deform somewhat and shrink, as shown in FIG. 18, during curing, so that the electronic component 2 with its contact balls 5 onto the contact pads 12 of the circuit board 10 are pressed in the direction of arrow A, at the same time compressing the rubber-elastic elevation 3.
  • both the contact balls 5 and the contact pads 12 are gold-plated with a gold alloy, the pressure in the direction of arrow A creates an oxidation-free ohmic contact between the components involved.
  • the components are coated with solder, a solder connection can also be made at appropriate soldering temperatures.
  • FIG. 18 shows a final assembled component 2 of a further embodiment of the invention on a circuit board 10. Bumps and warpage of the electronic component 2, which can be up to 10 ⁇ m per cm, and bumps the circuit board 10 can be compensated for stress-free by the flexible ridges 3.
  • FIGS. 19 to 21 now show in detail the fastening of the electronic component 2 to the multilayer circuit board 10 prepared with a spread drop of shrinkable adhesive.
  • FIG. 19 shows a schematic cross-sectional view of a multilayer circuit board 10 with a spread drop 21 of shrinkable adhesive.
  • Components with the same functions as in the previous figures are identified by the same reference numerals and are not specifically explained.
  • a large-area drop of shrinkable adhesive is spread on the upper side 28 of the multilayer circuit board 10 for placing an electronic component on a multilayer circuit board 10.
  • FIG. 20 shows a schematic cross-sectional view of a multilayer circuit board 10 with an applied and aligned electronic component 2.
  • the electronic component 2 differs from the electronic component which is shown in FIG. 15 in that in addition a protective layer 29 leaving the rubber-elastic elevations 3 free with their contact spots 16 on their tip 14 and the conductor paths 8 on the slope side 15 of the rubber-elastic Survey 3 is applied.
  • a protective layer 29 leaving the rubber-elastic elevations 3 free with their contact spots 16 on their tip 14 and the conductor paths 8 on the slope side 15 of the rubber-elastic Survey 3 is applied.
  • the contact pads 16 are immersed in the droplets 21 of shrinkable adhesive 21 spread on the circuit board 10, this is displaced by the contact connection areas 12 of the circuit board 10, so that a contact between contact pads 16 and contact connection areas 12 is created.
  • This electrical contact is reinforced by the fact that, in the shrinking process of the adhesive, it presses the electronic component 2 onto the contact connection surfaces in the direction of arrow A.
  • FIG. 21 shows a schematic cross-sectional view of a multilayer circuit board 10 with pressed-on electronic component 2 during the curing of the adhesive.
  • Components with the same functions as in the previous figures are identified by the same reference numerals and are not specifically explained.
  • the adhesive between the electronic component 2 and the circuit board 10 hardens, the latter shrinks and pulls the electronic component 2 with its rubber-elastic elevations and the contact pads 16 thereon onto the contact connection areas 12 of the circuit board 10 in the direction of arrow A.
  • the protective layer 29 protects the electronic component 2 from influences and damage by the shrinkable adhesive during this process.
  • the curing temperature of the shrinkable adhesive lies in a temperature range which at the same time permits soft soldering between the contact pads 16 of the electronic component and the contact connection areas 12 of the circuit board 10.

Abstract

Die Erfindung betrifft ein elektronisches Bauelement (2) und ein Verfahren zu dessen Herstellung. Das elektronische Bauelement (2) weist eine elektronische Schaltung sowie eine gummielastische Erhebung (3) auf. Diese gummielastische Erhebung (3) ist aus einem isolierenden gummielastischen Material auf eier Oberfläche (13) des elektronischen Bauelements (2) angeordnet und weist einen elektrischen Konaktfleck (16) auf ihrer Kuppe (14) auf. Außerdem weist die gummielastische Erhebung (3) auf ihrer Hangseite (15) oder in ihrem Volumen einen Leitungspfad (8) zwischen dem Kontaktfleck (16) und der elektronischen Schaltung auf.

Description

Beschreibung
Elektronisches Bauelement mit flexiblen Kontaktierungsstellen und Verfahren zu dessen Herstellung
Die vorliegende Erfindung betrifft ein elektronisches Bauelement mit einer elektronischen Schaltung gemäß der Gattung der unabhängigen Ansprüche. Die Erfindung betrifft weiterhin ein Verfahren zur Herstellung des erfindungsgemäßen elektroni- sehen Bauelements.
Ein gattungsgemäßes Bauelement wird in JP 5-251455 unter der Anmeldenummer JP 4-47154 offenbart. Problematisch bei der aus der Druckschrift bekannten Lösung ist die relative Steifig- keit einer aus einem Polyimidfilm auf fotolithographische
Weise geformten kantigen, aus der Oberfläche des Bauelements herausragenden mit einer Metallschicht eingehüllten Erhebung. Diese Erhebung ist aufgrund des Polyimidfilms sowie aufgrund der vollständigen Umhüllung mit einer relativ starren Metall- beschichtung nicht geeignet zum Ausgleich zwischen den Kontakten des Bauelements und den Anschlüssen eines Bauelement- trägers, mit dem das Bauelement elektrisch über die Außenkontakte zu verbinden ist . Ein Bauelement mit einer derartigen AußenkontaktStruktur weist beim Aufbringen auf eine Schal- tungsplatine häufig Beschädigungen oder Zerstörung der Löt- verbindungen zwischen dem Bauelement und dem Träger auf. Ferner ist aus der US 5,685,885 bekannt, elektrische Kontakte auf einer gummielastischen Schicht anzuordnen. Die Herstellung von Bauelementen mit der dort offenbarten Schicht ist aufwendig.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, ein elektronisches Bauelement bereitzustellen, das dauerhafte Lötverbin- düngen aufweist und einen Höhenausgleich bei Unebenheiten zwischen elektronischen Bauelement und einem Träger wie einer Schaltungsplatine bereitstellt.
Erfindungsgemäß ist vorgesehen, daß das elektronische Bauelement eine elektronische Schaltung und Leiterbahnen auf einer Oberfläche zum elektrischen Verbinden der elektronischen Schaltung mit metallbeschichteten Erhebungen aus isolierendem Material aufweist, wobei die Erhebungen ein gummielastisches Material aufweisen und jeweils auf ihrer Kuppe einen metallischen Kontaktfleck und auf ihrer Hangseite oder in ihrem Volumen einen Leitungspfad aufweisen, der zwischen dem Kontaktfleck und einer der Leiterbahnen auf der Oberfläche des elektronischen Bauelements angeordnet ist.
Unter Leitungspfad wird in diesem Zusammenhang jeder elektrisch leitende Weg auf der Hangseite der gummielastischen Erhebung und/oder innerhalb des Volumens der gummielastischen Erhebung verstanden, während Leiterbahnen elektrisch leitende Wege auf der Oberfläche des elektronischen Bauelements oder auf einem Halbleiterchip des elektronischen Bauelements darstellen.
Ein der Erfindung zugrunde liegender Gedanke besteht darin, daß mechanische Spannungen beispielsweise bei thermische Beanspruchung des Bauelementes vermindert werden und zwar insbesondere an den Lötverbindungen. Dies kann dadurch erfolgen, daß unterschiedliche Ausdehnungen und Unebenheiten ausgeglichen werden .
Eine besondere Bedeutung hat diese erfindungsgemäß Anordnung bei elektronischen Bauelementen, deren Größe weitgehend der Größe der elektronischen Schaltung bzw. des Schaltungschips des Bauelementes entspricht, nämlich bei sogenannten Chip- Size Bauelementen. Da hier außer der elektronischen Schaltung auf einem Schaltungschip praktisch keine weiteren Gehäuseelemente vorgesehen sind, die Spannungen am elektronischen Bau- element abfangen können. Somit besteht bei solchen Bauelementen die Gefahr der Beschädigung oder Zerstörung der elektrischen Kontakte. Gerade in solch einem Fall kann durch eine gummielastische Erhebung, wie sie erfindungsgemäß vorgeschlagen wird, das Auftreten zu hoher mechanischer Spannungen ver- mieden werden und somit die Betriebssicherheit des Bauelements garantiert werden. Gleichzeitig gleicht die gummielastische Erhebung Unebenheiten zwischen den zu kontaktierenden Komponenten in vorteilhafter Weise aus.
Die elektrischen Kontaktflecken des elektronischen Bauelements sind auf einer gummielastischen Erhebung angeordnet, welche die auftretenden mechanischen Spannungen ausgleicht. Um eine leitende Verbindung zu einem elektrischen Kontakt- fleck auf der Kuppe einer Erhebung herzustellen, kann ein Leitungspfad auf der Hangseite oder im Volumen der gummielastischen Erhebung zwischen dem elektrischen Kontaktfleck und der elektronischen Schaltung bzw. den Leiterbahnen vorgesehen sein. Die elektronische Schaltung kann mit ihren Leiterbahnen direkt an die gummielastische Erhebung angrenzen und ist mit den Leitungspfaden der Erhebung elektrisch verbunden.
In einer Ausführungsform der Erfindung weist die Erhebung eine domartige Kontur mit weichem schwachgekrümmten Übergang zu der Oberfläche des elektronischen Bauelements auf. Diese Kon- tur hat den Vorteil, daß sowohl die Kuppe, auf welcher der
Kontaktfleck ruht, als auch die Ableitung von der Kuppe über den Leitungspfad zu der Oberfläche ohne rissanfällige scharfe Übergänge erfolgt, so daß ein allmählicher Anstieg von der Oberfläche des elektronischen Bauelements zu der Kuppe der gummielastischen Erhebung für das Metall möglich wird und somit ein gummielastisch gestützter Kontaktfleck mit sicherem Leitungspfad zu der elektronischen Schaltung geschaffen wird.
In einer weiteren Ausführungsform der Erfindung ist vorgesehen, diese gummielastische Eigenschaft der Erhebungen weiter zu vergrößern, indem zunächst eine flache Sockelfläche aus gummielastischem Material auf der Oberfläche des elektroni- sehen Bauelements angeordnet wird und dann auf dieser gummielastischen flachen Sockelfläche die gummielastischen Erhebungen ausgebildet werden. Von den jeweiligen Kuppen der gummielastischen Erhebungen, die mit Kontaktflecken bestückt sind, können Leitungspfade zunächst auf den Hangseiten der jeweili- gen gummielastischen Erhebung und dann über den gummielastischen flachen Sockel zu den Leiterbahnen auf der Oberfläche geführt werden. Somit wird mit dieser Ausführungsform der Erfindung eine hohe Nachgiebigkeit der Kontaktflecken auf der Kuppe der Erhebungen erreicht, weil sich die Nachgiebigkeiten von Erhebungen und gummielastischem Sockel ergänzen.
Eine weitere Ausführungsform der Erfindung sieht vor, daß die gummielastische Erhebung eine Grundfläche mit einem Durchmesser zwischen 100 μm und 250 μm aufweist. Mit dieser minimalen Grundfläche lassen sich Erhebungen in einer Höhe von 50 μm bis 80 μm darstellen, die sich dann domartig über die Grundfläche mit gleichzeitig weichem Übergang zur Oberfläche des elektronischen Bauelements wölben.
In einer weiteren Ausführungsform der Erfindung können zwischen der gummielastischen Erhebung und der elektronischen Schaltung noch zusätzliche Leiterbahnen vorgesehen sein, so daß die gummielastische Erhebung von der elektronischen Schaltung durch eine Umverdrahtungsfolie beabstandet angeordnet werden kann.
Eine weitere Ausführungsform der Erfindung sieht vor, daß das gummielastische Material der Erhebungen mehr als 50 % elastische Dehnbarkeit aufweist. Ein derartiges Material hat den Vorteil, daß es sich auf über die Hälfte seiner Höhe zusammendrücken läßt oder sich in gleicher Weise seitlich verschieben läßt, so daß der Kontaktfleck auf der Kuppe gegen- über dem Mittelpunkt der Grundfläche ebenfalls verschiebbar wird.
Eine weitere Ausführungsform der Erfindung sieht deshalb vor, daß das gummielastische Material der Erhebung ein Elastomer aufweist. Derartige Elastomere wirken wie natürliche Gummis und lassen sich entsprechend mit geringem Kraftaufwand sowohl parallel zur Oberfläche des elektronischen Bauelements also auch senkrecht dazu verschieben.
Eine weitere Ausführungsform der Erfindung sieht vor, daß das gummielastische Material ein Elastomer auf Siliconbasis aufweist. Derartige Silicongummis sind weitverbreitet und in unterschiedlicher Konsistenz verarbeitbar, so daß eine Staffelung von unterschiedlich viskosen und unterschiedlich konsi- stenten Materialien auf Siliconbasis übereinander gestapelt werden können, um eine optimale domartige Kontur mit weichem Übergang zur Oberfläche zu realisieren.
Eine weitere Ausführungsform der Erfindung sieht vor, daß die Erhebung aus gummielastischen Material um mehrere 10 μm gummielastisch verformbar ist. Diese gummielastische Verformbarkeit um mehrere 10 μm ist besonders gefragt, wenn elektronische Bauelemente auf Kontaktanschlüssen von Leiterplatten oder Schaltungsplatinen im Waferlevel zu Testzwecken aufzubringen sind. Aufgrund der thermischen Belastung kommt es durchaus dazu, daß sich das Halbleiterbauelement geringfügiger ausdehnt als die Kontaktanschlussflächen auf der Schaltungsplatine, so daß Verschiebungen im Bereich von 50 μm bis 150 μm bei einem Durchmesser von 300 mm der zu testenden Halbleiterscheibe möglich sind. Die erfindungsgemäßen gummielastischen Erhebungen können in vorteilhafter Weise diese hohen Auslenkungen überbrücken bzw. ausgleichen.
In vertikaler Richtung sind die Erhebungen zur Oberfläche in einer weiteren Ausführungsform der Erfindung mindestens um 30 μm auslenkbar, was den Vorteil hat, daß Toleranzen durch Verwölbungen einer Halbleiterscheibe bzw. der Verwölbung ei- ner Schaltungsplatine von bis zu 150 μm ausgeglichen werden können .
Dazu weist in einer Ausführungsform der Erfindung die gummielastische Erhebung eine Höhe h von 60 bis 300 μm auf, so daß vorteilhaft bei einer gummielastischen Komprimierung bis zu 50 % die Erhebungen auf 30 bis 150 μm vertikal zum elektrischen Bauelement zusammengedrückt werden können.
Eine weitere Ausführungsform der Erfindung sieht vor, daß die Breite b eines Leitungspfades aus Metall bei der Herstellung der Erhebung kleiner gleich 150 μm ist. Damit soll gleichzeitig sichergestellt werden, daß der metallische Pfad, der praktisch wie eine durch ein Elastomer gestützte metallische Feder wirkt und mit dem Kontaktfleck auf der Kuppe der Erhe- bung zusammenarbeitet, nicht zu breit wird und dadurch nicht die Flexibilität bzw. die gummielastischen Eigenschaften vermindert . In einer weiteren Ausführungsform der Erfindung weist das elektronische Bauelement ein Halbleiterbauelement auf, auf dessen aktiver Oberseite eine Isolierschicht aufgebracht ist, und diese Isolierschicht lediglich Bondkanäle freiläßt, über die Kontaktflächen auf dem Halbleiterchip mit den Leiterbahnen auf der Isolierschicht verbunden werden können, wobei wiederum die Leiterbahnen auf der Isolierschicht über die Leitungspfade auf der Hangseite der gummielastischen Erhebung mit dem Kontaktfleck auf der Kuppe der Erhebung verbunden sind.
Anstelle eines Halbleiterbauelementes kann das elektronische Bauelement auch ein Polymerbauelement aufweisen, wie eine elektronische Schaltung auf einer Leiterplatte, und die gummielastischen Erhebungen sind dann unmittelbar auf der Leiterplatte angeordnet .
Eine weitere Ausführungsform der Erfindung sieht vor, daß die Kontaktflecken auf eine Schaltungsplatine auflötbar sind. Dazu können die Kontaktflecken mit einer dünnen lötbaren Schicht beschichtet sein und/oder auch die Kontaktanschlussflächen auf der Schaltungsplatine können eine derartige löt- bare Schicht aufweisen, so daß beim Aufbringen des elektroni- sehen Bauelements auf die Leitungsplatine eine intensive Verbindung durch Weichlot realisierbar ist. Eine weitere Verbindung zwischen den Kontaktflecken auf der Kuppe der gummielastischen Erhebungen und Kontaktanschlussflächen auf einer Schaltungsplatine können mittels eines Leitklebers erreicht werden, der beispielsweise auf die Kontaktflecken der Kuppe der Erhebung aufgetragen ist. In einer weiteren Ausführungsform der Erfindung ist vorgesehen, daß die Erhebung mit dem Kontaktfleck und dem Leitungs- pfad vollständig in einen Leitkleber eingebettet ist. Diese vollständige Einbettung in einen Leitkleber kann beim Anbrin- gen des elektronischen Bauelements auf einer Leiterplatte oder einer Schaltungsplatine oder einem Keramikträger erfolgen, indem auf die Kontaktanschlussflächen des jeweiligen Trägermaterials ein entsprechender Leitkleber aufgebracht wird, der sich anschließend über die Kontur der gummielasti- sehen Erhebung ausbreitet.
Bei einer anderen Ausführungsform der Erfindung ist vorgesehen, daß das elektronische Bauelement auf einer Schaltungsplatine angeordnet ist, mittels beim Aushärten schrumfenden Klebstoffhöckern auf der Schaltungsplatine gebondet ist und über den mindest einen elektrischen Kontakt eine gummielastischen Erhebung mit mindestens einer Kontaktanschlussfläche auf der Schaltungsplatine einen Druckkontakt bildet. Bei dieser Ausführungsform der Erfindung kommt kein Lotmaterial zum Einsatz, auch wird kein Leitkleber erforderlich sein, sondern der Kontakt zu den Kontaktanschlussflächen auf einer Schaltungsplatine wird lediglich durch Andruck bewirkt, der seinerseits wiederum durch ein Schrumpfen von Löthöckern aus einem schrumpfenden Klebstoff erfolgt. Diese Ausführungsform der Erfindung hat den Vorteil, daß auf preiswerte Weise eine Massenfertigung durchgeführt werden kann, bei der es darauf ankommt, möglichst schnell und kostengünstig elektronische Bauelemente auf Schaltungsplatinen anzuordnen, mechanisch zu befestigen, beispielsweise über die schrumpfenden Klebstoff- höcker, und elektrisch zu verbinden, was automatisch beim
Aushärten der schrumpfenden Klebstoffhöcker vollzogen wird. Als Alternativen zu einem Leitungspfad auf der Hangseite der gummielastischen Erhebung kann auch ein Leitungspfad im Inneren der gummielastischen Erhebung zwischen dem elektrischen Kontaktfleck und der elektronischen Schaltung angeordnet sein. Die leitende Verbindung wird somit ausgehend von dem elektrischen Kontaktfleck auf der Kuppe der gummielastischen Erhebung durch die gummielastische Erhebung hindurch und zu der elektronischen Schaltung hin geführt.
Grundsätzlich kann auch die gesamte gummielastische oder flexible Erhebung aus einem flexiblen oder gummielastischen und elektrisch leitenden Material hergestellt sein, so daß die leitende Verbindung nicht durch einen separaten Leitungspfad aus einem anderen Material, sondern durch das gummielastische Material selbst hergestellt wird. Hierzu sind sehr spezifische Materialien nötig, die sowohl in der Auswahl als auch in der Zusammensetzung hohe Anforderungen an die gummielastischen Materialien stellen. Solche Materialien sind in der Regel hochohmiger als ein reines Leitungsmaterial, welches ei- nen Leitungspfad bildet. Somit ist bei der erfindungsgemäßen Lösung eine einzelne Optimierung des jeweiligen flexiblen oder gummielastischen Verhaltens und des jeweiligen Leitungsverhaltens der entsprechenden Erhebung möglich. Zusätzlich kann auf der Kappe der gummielastischen Erhebung ein als Me- tallbereich ausgebildeter Kontaktfleck vorgesehen sein, wobei von der Unterseite der gummielastischen Erhebung eine Leiterbahn wegführt .
Sofern weiter Leiterbahnen zwischen der elektronischen Schal- tung und der gummielastischen Erhebung vorgesehen sind, können diese auf einer isolierenden Schicht, die zumindest teilweise die erste Oberfläche des elektronischen Bauelementes bedeckt, angeordnet sein, wobei die isolierende Schicht an die gummielastische Erhebung angrenzt. Dies hat den Vorteil, daß eine Strukturierung der Leiterbahnen durch eine indirekte Strukturierung, nämlich durch eine Strukturierung der isolierenden Schicht, erfolgen kann.
Das elektronische Bauelement kann grundsätzlich in jeder geeigneten verwendbaren Form ausgebildet sein. So kann das Bauelement ein Halbleiterbauelement oder ein Polymerbauelement sein. Auch der elektrische Kontaktfleck auf der Kuppe der gummielastischen Erhebung kann beliebig ausgebildet und an die jeweilige spezielle Verwendung des elektronischen Bauelementes angepaßt sein. So kann der elektrische Kontakt durch eine leitende Schicht, einen leitenden Stift oder eine leitende Kugel ergänzt werden und damit in vorteilhafter Weise den Erfordernissen des elektronischen Bauelements angepaßt sein.
Die Aufbringung der gummielastischen Erhebung auf das elektronische Bauelement erfolgt durch einen Druckprozeß, der einfach und kostengünstig durchführbar ist. Die Anforderungen an die Festigkeitstoleranzen für solche Erhebungen können durch Anpassen der technisch möglichen Druckprozesse erfüllt werden. Ebenso kann auch die Aufbringung der isolierenden Schicht durch einen Druckprozeß erfolgen. Das leitende Mate- rial zur Herstellung der Leiterbahnen bzw. der Leitungspfade und der elektrischen Kontakte kann durch Sputtermetallisie- rung oder chemische Metallisierung auf die gummielastische Erhebung bzw. auf die isolierende Schicht aufgebracht werden.
Bei der drucktechnischen Aufbringung der gummielastischen Erhebung wird vorzugsweise ein Schablonendruck eingesetzt, bei dem durch eine Lochschablone das Drucken erfolgt. Diese Lockschablone kann derart optimiert werden, daß mit einem Druck- prozess bereits die gesamte gummielastische Erhebung durch die Lochschablone hindurch geformt sein kann.
In einer weiteren Durchführung des Verfahrens werden mehrere aufeinanderfolgende Druckvorgänge durch aufeinander abgestimmte Lochschablonen durchgeführt, um damit besonders weiche Übergänge von der Oberfläche des elektronischen Bauelements zur Kuppe der gummielastischen Erhebung zu schaffen. Dazu werden Lochschablonen eingesetzt, die eine perforierte Metallfolie verwenden. Diese perforierte Metallfolie ist mit ihren Löchern genau auf die Position und auf die Größe der gummielastischen Erhebung abgestimmt, wodurch eine genaue Anpassung der domförmigen Ausbildung der gummielastischen Erhebung mit weichen Übergängen zur Kuppe und zur Grundfläche hin erreicht werden kann.
Bei einem weiteren Durchführungsbeispiel des Verfahrens ist vorgesehen, daß als Lochmaske eine perforierte Metallfolie eingesetzt wird. Derartige perforierte Metallfolien sind ei- nerseits äußerst präzise herstellbar, zum anderen haben sie nicht wie beim Siebdruckverfahren über der Öffnung zur Stabilisierung des Siebdrucknetzes eine Gewebestruktur, sondern ein völlig frei durchgängiges Loch, womit eine Dosierung der Silicongummimenge erleichtert wird.
Ein weiteres Durchführungsbeispiel des Verfahrens sieht vor, daß bei der Herstellung der Metallschichtstruktur auf der Oberfläche des elektronischen Bauelements und auf den gummielastischen Erhebungen die Leitungspfade auf den Hangseiten der Erhebungen, die Kontaktflecken auf den Kuppen der Erhebungen sowie die Leiterbahnen auf der Oberfläche des elektronischen Bauelements gleichzeitig hergestellt werden. Dazu ist es vorgesehen, zunächst eine geschlossene Metallschicht auf- zubringen, was durch Sputtern von Metallschichten wie beispielsweise Kupfer-Nickel oder Gold oder deren Legierungen möglich ist oder durch galvanisches Piatieren oder durch Aufdampfen dieser Metalle erreicht werden kann. Als weiteres wird dann eine geschlossene Photolackschicht aufgebracht, wobei es schwierig ist, eine gleichmäßig dünne bzw. dicke Lackschicht sowohl auf der ebenen oder flachen Oberseite des elektronischen Bauelements als auch auf den domartigen Wölbungen der Erhebungen aufzubringen. Ein besonders günstiges Verfahren ist hier das Aufsprühen oder das Elektroabscheiden, bei dem aus einer organometallischen Lösung unter Strom ein spezieller Photolack gleichmäßig abgeschieden werden kann.
Auch das Belichten des Photolackes gestaltet sich bei den großen Unterschieden in dem Oberflächenniveau schwierig, zumal eine hohe Tiefenschärfe erreicht werden muß, um sowohl im Bereich der Kontaktflecken auf den Erhebungen als auch im Bereich der Leitungspfade auf der Hangseite der Erhebung sowie dann auf der tieferliegenden ebenen Oberseite des elektroni- sehen Bauelements eine scharfe Abbildung und Belichtung zu ermöglichen. In diesem Ausführungsform des Verfahrens wird eine Projektionsbelichtung mit parallelen Lichtstrahlen vorgenommen und anschließend wird der Photolack entwickelt und die Struktur zu einer Photolackmaske ausgehärtet. Danach kann durch Trocken- oder Naßätzen die Metallschicht durch die Photolackmaske hindurch die Metallschicht strukturiert werden. Nach Strukturieren der Metallschicht wird die Photolackmaske entfernt und es bleibt die gewünschte Metallschichtstruktur zurück, die Kontaktflecken auf der Kuppe der Erhebung, Lei- terbahnen auf der Hangseite der Erhebungen und Verbindungs- leitungen auf der Oberseite des elektronischen Bauelements aufweist . Zur besseren Haftung der Metallbeschichtung auf der Oberfläche sowohl der Erhebungen als auch auf der Oberfläche des elektronischen Bauelements kann zunächst eine Keimbildung auf der isolierenden Schicht der Erhebungen und der isolierenden Schicht der Oberseite des Halbleiterbauelements erfolgen. Erst anschließend wird in diesem Bereich eine Metallisierung durchgeführt, um die Haftung der Leitungspfade und des Kontaktflecks auf dem gummielastischen Material der gummielastischen Erhebung zu erhöhen.
Als Alternative zu diesem Verfahren kann durch eine Laserbehandlung der Oberfläche der gummielastischen Erhebung und gegebenenfalls auch der isolierenden Schicht oder durch ein anderes geeignetes Verfahren eine Aufrauhung dieser Oberfläche erfolgen, die dem später aufzutragenden leitenden Material der Metallisierung eine bessere Haftung bietet . Es kann dabei auch vorgesehen werden, daß vor dem Aufbringen der Metallisierung und nach der Oberflächenaufrauhung Metallkeime oder andere geeignete Keime auf die rauhe Oberfläche aufgebracht werden, die aus jedem geeigneten Material bestehen können, wie aus Palladium. Palladium läßt sich preiswert auf elektrisch isolierenden Materialien abscheiden und bildet kubische Keimkristalle, die sich im isolierenden Material ausgezeichnet verankern und somit haftverbessernd für den Lei- tungspfad oder die Leiterbahnen sind.
Auch das oben geschilderte Verfahren zur Herstellung einer Metallschichtstruktur kann erheblich verbessert werden, wenn ein Verfahren zur Metallschichtstruktur eingesetzt wird, das mit einer Tintenstrahldrucktechnik arbeitet, wobei mittels einer organometallischen Lösung als Tinte und anschließender Verdampfung des Lösungsmittels während eines Tempervorgangs eine Metallschichtstrukturierung erreicht werden kann, die ohne jede Maskentechnik allein durch Programmieren des Tin- tenstrahldruckver ahrens eine Metallstruktur auf unebenen Flächen wie den vorliegenden gummielastischen Erhebungen erreichen kann.
In einer weiteren Ausführungsform der Erfindung ist mindestens ein erfindungsgemäßes elektronisches Bauelement auf einer Schaltungsplatine mittels eines beim Aushärten schrumpfenden Klebstoffs gebondet. Durch den schrumpfenden Klebstoff wird ein elektrischer Kontakt zwischen der gummielastischen Erhebung und ihrem Kontaktfleck und einer elektrischen Kontaktanschlußfläche auf der Schaltungsplatine hergestellt, so daß ein gummielastischer Andruckkontakt auftritt. Diese Ausführungsform hat den Vorteil, daß kein bleihaltiges, die Um- weit belastendes Lot zum Einsatz kommt und Unebenheiten des Bauelementes ausgeglichen werden können. Schließlich werden Unterschiede in der thermischen Ausdehnung ausgeglichen, so daß thermisch bedingte Spannungen vermieden werden.
Zum Andrücken des Kontaktes der gummielastischen Erhebung auf eine elektrische Andruckfläche wird der Klebstoff auf die Leitungsplatine in Form einzelner Klebstoffhöcker aufgebracht. Dann wird das elektronische Bauelement mit seinen elektrischen Kontaktflecken zu den elektrischen Kontaktan- schlußflächen der Schaltungsplatine ausgerichtet und auf die Schaltungsplatine gedrückt, so daß die elektrischen Kontakt- flecken auf den Kuppen der gummielastischen Erhebungen die Kontaktflächen der Schaltungsplatine kontaktieren, während der Klebstoff schrumpfend aushärtet. Dieses Verfahren hat den Vorteil, daß eine Kontaktierung und ein Plazieren auf einer Schaltungsplatine bei äußerst niedriger Aushärtetemperatur durchgeführt werden kann. Bei einem weiteren Durchführungsbeispiel des Verfahrens wird der Klebstoff in Form eines flächendeckenden Tropfens auf der Oberseite der Schaltungsplatine aufgetragen und anschließend das elektronische Bauelement mit seinen gummielastisch ge- stützten Kontaktflecken auf die Kontaktanschlussflächen bis zum Ende des Aushärtens und Schrumpfens des Klebstoffs gepreßt . Da für das Aushärten des Klebstoffes Temperaturen im Bereich von 120 bis 160°C vorgesehen sind, ist es auch möglich, vor dem Anpressen des elektronischen Bauelements die Kontaktflecken oder die Kontaktanschlussflächen der Schaltungsplatine mit einer lötfähigen Schicht zu versehen und gleichzeitig mit dem Andrücken und Aushärten des Schrumpfklebers eine Weichlotverbindung zwischen den Kontaktflecken des elektronischen Bauelements und den Kontaktanschlussflächen der Schaltungsplatine herzustellen.
Die Montage von CSP, insbesondere von geometrisch großen Chips, auf das Board (bzw. die Schaltungsplatine) ist aufgrund der unterschiedlichen Längenausdehnungskoeffizienten von Si und Laminat schwierig. Die Erfindung überwindet in vorteilhafter Weise den thermischen mismatch im CSP-Gehäuse.
Durch die Nutzung eines CSP mit in z-Richtung elastischem Interconnect läßt sich über einen Andrückvorgang eine Kontak- tierung erzielen, welche auch für sehr viele Kontakte und sehr große Chips möglich ist. Dieser Andrückvorgang kann erzielt werden, indem der Chip auf das Board punktuell aufgeklebt wird mit einem Klebstoff, welcher beim Aushärten schrumpft und somit Chip und Board aufeinander zu bewegt . Bei diesem Vorgang werden die elastischen Interconnect Elemente
(bzw. gummielastischen Erhebungen) mit einer Anpresskraft mit dem Pad (bzw. Kontaktanschlußflache) verbunden. So können die unterschiedlichen Höhen der Interconnect-Elemente ausgegli- chen werden und eine sichere Verbindung entsteht. Mit Hilfe der gummielastischen Erhebungen können Wafer bis 10 μm pro cm durchgebogen sein. Bei Chipgroßen von 30 mm bedeutet dies eine Toleranz von bis zu 30 μm, die durch die gummielastischen Erhebungen ausgleichbar ist.
Die Vorteile dieses Verfahrens sind: seine Verarbeitung bei vergleichsweise niederer Temperatur (< 200°C) , - die Bleifreiheit der Verbindung (green components) , die Elastizität sowohl in x/y als auch in z-Richtung bei thermomechanischer Belastung (Boardverzug) .
Mit der vorliegenden Erfindung wird die Nutzung der CSP mit in alle drei Richtungen elastischen Interconnect Elementen erleichtert. Durch den Einsatz schrumpfender Kleber wird insbesondere für große Chips und hohe Pinzahlen ein sicherer elektrischer Kontakt zwischen Chip und Board erreicht.
Anschließend wird die Erfindung anhand von Ausführungsformen und von Figuren näher erläutert .
Figur 1 zeigt eine perspektivische Ansicht einer Ausführungsform der Erfindung mit teilweisem Querschnitt, Figur 2 zeigt eine perspektivische Ansicht eines Teil eines elektronischen Bauelements gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung, Figur 3 zeigt eine schematische Querschnittsansicht des Ausgangsmaterials für die vorliegende Erfindung, Figur 4 zeigt eine schematische Querschnittsansicht durch eine gummielastische Erhebung einer Ausführungsform der Erfindung, Figur 5 zeigt einen schematischen Querschnitt durch eine metallbeschichtete gummielastische Erhebung,
Figur 6 zeigt eine schematische Querschnittsansicht durch mehrere gummielastische Erhebungen auf einem gummi- artigen Sockel,
Figur 7 zeigt eine Querschnittsansicht einer Gesamtansicht eines Bauelements gemäß einer weiteren Ausführungs- form der Erfindung,
Figur 8 zeigt eine Querschnittsansicht eines Ausschnitts eines Halbleiterchips nach dem Aufdrucken einer isolierenden Schicht,
Figur 9 zeigt den Halbleiterchip nach Figur 2 nach dem Aufdrucken einer gummielastischen Erhebung,
Figur 10 zeigt den Halbleiterchip nach Figur 9 nach dem Auf- bringen einer ersten Metallisierung,
Figur 11 zeigt den Halbleiterchip nach Figur 9 nach dem Aufbringen einer zweiten Metallisierung,
Figur 12 zeigt den Halbleiterchip nach Figur 10 nach dem Aufbringen einer Lötkugel auf den Kontaktfleck, Figur 13 zeigt eine Querschnittsansicht einer weiteren Aus- führugnsform eines Leitungspfades,
Figur 14 zeigt eine schematische Querschnittsansicht einer weiteren Ausführungsform der Erfindung,
Figur 15 zeigt eine schematische Querschnittsansicht einer mehrlagigen Schaltungsplatine mit aufgelötetem elektronischen Bauelement,
Figur 16 zeigt eine Querschnittsansicht einer mehrlagigen Schaltungsplatine mit Klebstoffhöckern,
Figur 17 zeigt die mehrlagige Schaltungsplatine aus Figur 16 zusammen mit einem elektronischen Bauelement,
Figur 18 zeigt ein endmontiertes elektronisches Bauelement einer weiteren Ausführungsform der Erfindung auf einer Schaltungsplatine, Figur 19 zeigt eine schematische Querschnittsansicht einer mehrlagigen Schaltungsplatine mit einem ausgebreiteten Tropfen aus schrumpffähigen Klebstoff,
Figur 20 zeigt eine schematische Querschnittsansicht einer mehrlagigen Schaltungsplatine mit aufgebrachtem und ausgerichteten elektronischen Bauelement,
Figur 21 zeigt eine schematische Querschnittsansicht einer mehrlagigen Schaltungsplatine mit aufgepresstem elektronischen Bauelement während der Aushärtung des Klebstoffs.
Figur 1 zeigt eine perpektivische Ansicht einer Ausführungsform der Erfindung mit teilweisem Querschnitt. Abgebildet ist ein Teilstück einer Oberfläche 13 eines elektronischen Bau- elements 2, wobei der darunter angeordnete Querschnitt im wesentlichen ein Halbleiterchip 6 mit einer isolierenden Beschichtung 7 zeigt. Auf der Oberfläche 13 dieser isolierenden Beschichtung 7 ist eine strukturierte Metallschicht angeordnet, die im wesentlichen aus Leiterbahnen 4 besteht. Ferner ist unmittelbar auf der Oberfläche 13 eine gummielastische
Erhebung 3 angeordnet, die sich domartig über die Oberfläche
13 wölbt und eine Kontur 15 aufweist, die sich mit einer schwachen Krümmung der Oberfläche 13 angleicht. Auf der Kuppe
14 der gummielastischen Erhebung 3 ist in einer Höhe h von der Oberfläche 13 entfernt ein Kontaktfleck 16 aus einem Metall angeordnet, der einen elektrischen Kontakt 1 des elektronischen Bauelements 2 auf der Kuppe 14 der gummielastischen Erhebung 3 bildet. Zwischen einer der Leiterbahnen 4 auf der Oberfläche 13 und dem Kontaktfleck 16 auf der Kuppe 14 der gummielastischen Erhebung 3 ist ein Leitungspfad 8 angeordnet, der sich in einer Breite von bis zu 150 μm über die Hangseite 15 der gummielastischen Erhebung 3 erstrecken kann. Aufgrund der sanften Krümmungen 22 der gummielastischen Erhe- bung 3 wird beim Zusammendrücken oder Verschieben der gummielastischen Erhebung 3 das Material des Leitungspfads 8 lediglich federelastisch belastet und ist somit vor Mikrorissbil- dungen geschützt. Die Höhe h der gummielastischen Erhebung 3 liegt in dieser Ausführungsform zwischen 60 und 300 μm. Die Grundfläche der gummielastischen Erhebung 3 weist einen Durchmesser von über 150 μm bis 500 μm auf. Die Breite des Leitungspfades liegt in diesem Ausführungsbeispiel zwischen 30 μm und 150 μm.
Bauelemente 2, die mit den erfindungsgemäßen gummielastischen Erhebungen 3 als Außenkontakte ausgestattet sind und einen relativ großen Halbleiterchip 6 beispielsweise von einer Kantenlänge von 20 mm aufweisen, können bei Temperaturtestzyklen zwischen -40°C und +160°C einer relativen Verschiebung gegenüber einer Schaltungsplatine von über 30 μm in horizontaler Richtung ausgesetzt werden, ohne daß es zu einem Abriß der elektrischen Verbindung führt .
Werden die Bauelemente 2 bereits im Waferlevel getestet, so kann die gummielastische Erhebung 3 noch Höhendifferenzen in vertikaler Richtung bis zu 150 μm ausgleichen. Bei derartigen Testverfahren auf Waferlevel werden gleichzeitig für bis zu 2000 elektronische Bauelemente 2 mit jeweils 50 bis 100 Au- ßenkontakten auf gummielastischen Erhebungen 3 eines Halblei- terwafers sichere elektrische Verbindungen allein durch Andrücken der Kontaktflecken 16 der Erhebung auf Kontaktanschlußflächen einer Prüfplatine geschaffen. Dabei gleichen die gummielastischen Erhebungen 3 nicht nur Verwölbungen der Prüfplatine von +/- 10 μm und des Halbleiterwafers aus, sondern auch Höhendifferenzen unter den Erhebungen von bis zu +/- 10%. Aufgrund der hohen gummielastischen Dehnbarkeit der Erhebungen 3 von 50 % können diese Differenzen in vertikaler Richtung vollständig ausgeglichen werden.
Figur 2 zeigt eine perspektivische Ansicht eines Teils eines elektronischen Bauelements 2 gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung. Komponenten mit gleichen Funktionen wie in Figur 1 werden mit gleichen Bezugszeichen gekennzeichnet und nicht extra erläutert. Wie Figur 2 zeigt, können mehrere gummielastische Erhebungen 3 mit Kontaktflecken 16 auf ihren Kuppen 14 und Leitungspfaden 8 auf ihren Hangseiten 15 angeordnet sein. Zwischen den gummielastischen isolierenden Erhebungen 3 laufen auf der Oberseite 13 der isolierenden Schicht 7 metallische Leiterbahnen 4, die zu entsprechenden nicht gezeigten Kontaktflecken in einem Bondkanal des Halb- leiterchips 6 führen. Die isolierende Schicht 7 wird deshalb auch Umverdrahtungsschicht genannt und die Leiterbahnen 4 stellen die Umverdrahtungsleitungen dar.
Die Figuren 3 bis 5 stellen die Verfahrensschritte zur Her- Stellung eines derartigen elektronischen Bauelements 2 dar.
Figur 3 zeigt eine schematische Querschnittsansicht des Ausgangsmaterials für die vorliegende Erfindung. Komponenten mit gleichen Funktionen wie in den vorhergehenden Figuren werden mit gleichen Bezugszeichen gekennzeichnet und nicht extra erläutert . Das Ausgangsmaterial für die vorliegende Erfindung ist ein Halbleiterchip 6 mit Kontaktflächen 19 einer nicht gezeigten integrierten Schaltung auf der aktiven Oberseite 24 des Halbleiterchips, die der passiven Rückseite 25 gegenüber liegt. Auf dem Halbleiterchip 6 ist eine isolierende Schicht 7 angeordnet, mit einer Oberfläche 13 unter Freilassung eines Bondkanals 26, der einen Zugriff zu den Kontaktflächen 19 des Halbleiterchips 6 zuläßt . Figur 4 zeigt eine schematische Querschnittsansicht durch eine gummielastische Erhebung 3 einer Ausführungsform der Erfindung. Komponenten mit gleichen Funktionen wie in den vor- hergehenden Figuren werden mit gleichen Bezugszeichen gekennzeichnet und nicht extra erläutert. Auf die Oberfläche 13, die gleichzeitig auch eine Oberfläche des elektronischen Bauelements 2 darstellt, wird unmittelbar auf der isolierenden Schicht 7 eine gummielastische Erhebung 3 aufgebracht, die aus einem gummielastischen Elastomer besteht. In dieser Ausführungsform der Figur 4 wurde als gummielastisches Elastomer ein Material auf Siliconbasis eingesetzt, das über eine Lochschablone auf die Oberfläche 13 der isolierenden Schicht 7 aufgebracht ist . Die Schablone selbst besteht aus einer per- forierten Metallfolie. Durch die Einstellung von Viskosität und Zusammensetzung der Silicongummimasse läßt sich die Höhe h der domförmigen gummielastischen Erhebung 3 gezielt einstellen.
Figur 5 zeigt eine schematische Querschnittsansicht durch eine metallbeschichtete gummielastische Erhebung 3. Komponenten mit gleichen Funktionen wie in den vorhergehenden Figuren werden mit gleichen Bezugszeichen gekennzeichnet und nicht extra erläutert . Auf die Oberfläche 13 der isolierenden Schicht sowie auf die Oberfläche der gummielastischen Erhebung 3 und in dem Bondkanal 26 wird eine Metallschichtstruktur aufgebracht, die im wesentlichen aus einem Kontaktfleck 16 auf der Kuppe der gummielastischen Erhebung 3, einem Leitungspfad 8 auf der Hangseite 15 der gummielastischen Erhe- bung 3 und einer Leiterbahn 4, die den Kontaktfleck 16 mit der Kontaktfläche 19 auf dem Halbleiterchip 6 in dem Bondkanal 26 verbindet. Durch das Aufbringen dieser Metallstruktur ist im wesentlichen das elektronische Bauelement 2 fertigge- stellt, es kann jedoch das gesamte Bauelement unter Freilassung der gummielastischen Erhebung 3 mit ihrem Kontaktfleck 16 auf der Kuppe der Erhebung 3 mit einer nicht gezeigten Schutzschicht aus isolierendem Material versehen werden.
Die Metallstruktur ist in dieser Ausführungsform nach Figur 5 mit Hilfe einer Metallisierung der gesamten Oberfläche hergestellt, wobei diese Metallisierung anschließend durch ein Photolithographieverfahren strukturiert wird. Dieses Photoli- thographieverfahren löst zwei Probleme, nämlich einerseits auf einer nicht ebenen Oberfläche, die durch die sich aufwölbenden Erhebungen vorgegeben ist, eine gleichmäßig dicke Photolackschicht auf die Metallbeschichtung aufzutragen. Während die Metallbeschichtung mit einer relativ gleichmäßigen Dicke urch Sputtern aufbringbar ist, kann diese Photolackschicht entweder durch eine Sprühtechnik oder duch eine Elektroab- scheidung in einer metallorganischen Lösung galvanisch abgeschieden werden. In beiden Fällen ergibt sich eine relativ gleichmäßige Beschichtungsdicke des Photolackes. Das zweite Problem ist eine Belichtung einer derartigen unebenen Fläche, wobei eine gleichmäßige Schärfe der Abbildung sowohl auf der Kuppe der gummielastischen Erhebung 3 als auch auf der Ebene der isolierenden Schicht 7 zu erreichen ist. Dieses Problem wird durch eine Projektionsbelichtung gelöst.
Das Problem der Aufbringung einer präzisen Metallschichtstruktur auf eine unebene Fläche wird in einem weiteren Durchführungsbeispiel des Verfahrens in Figur 5 dadurch erreicht, daß die MetallschichtStruktur 27 gedruckt wird. Bei der herkömmlichen Siebdrucktechnik oder der Lochmaskentechnik sind jedoch die erheblichen Unterschiede in der Höhe h, d.h. die große Unebenheit der zu bedruckenden Fläche ein Hindernis. Dieses Problem wird überwunden durch ein Tintenstrahl- drucken der Metallschichtstruktur mit einer Tinte, die sich aus einer organometallischen Lösung zusammensetzt. Nach dem Drucken wird durch einen entsprechenden Tempervorgang das Lösungsmittel unter Bildung einer Metallschichtstruktur ver- dampft .
Figur 6 zeigt eine schematische Querschnittsansicht durch mehrere gummielastische Erhebungen 3 auf einem gummielastischen Sockel 17. Komponenten mit gleichen Funktionen wie in den vorhergehenden Figuren werden mit gleichen Bezugszeichen gekennzeichnet und nicht extra erläutert. Die Herstellungsweise dieses elektronischen Bauelements 2 kann mit den gleichen Schritten, wie sie mit den Figuren 3 bis 5 dargestellt sind hergestellt werden, außer daß vor dem Aufbringen der gummielastischen Erhebungen 3 zunächst ein Zwischenschritt zur Herstellung von flachen Sockeln 17 aus gummielastischen Material durchgeführt wird. Für diesen Zwischenschritt zur Bildung flacher gummielastischer Sockel 17 kann ein Schablonendruck durchgeführt werden mit entsprechend größeren Öff- nungen in der Schablone, so daß auf dem Sockel 17 mehrere gummielastische Erhebungen anschließend aufbringbar sind. In dieser Ausführungsform der Erfindung ist die Höhe hi des gummielastischen Sockels zwischen 30 und 50 μm, während die Höhe h2 der Höhe h der gummielastischen Erhebung in Figur 4 und 5 entspricht.
Figur 7 zeigt schematisch einen Gesamtquerschnitt eines elektronischen Bauelements 2 einer weiteren Ausführungsform der Erfindung, wobei in diesem Fall die gummielastischen Erhebun- gen 3 am Rand des elektronischen Bauelementes 2 dargestellt sind und die Leiterbahnen 4 zu den entsprechenden Kontaktflächen 19 einer nicht dargestellten elektronischen Schaltung im Halbleiterchip 6 führen. Weitere hier nicht gezeigte Erhebun- gen können über die gesamte Oberfläche 13 verteilt angeordnet sein. Leitungspfade 8 verbinden die Leiterbahnen 4 auf der Oberfläche 13 mit elektrischen Kontaktflecken 16 auf den Kuppen 14 der Erhebungen 3, die Kontaktkugeln 5 tragen. Diese Kontaktkugeln 5 können vergoldet sein, um einen oxidations- freien Kontakt zu Kontaktanschlußflächen 12 einer Schaltungs- platine, zu gewährleisten. In diesem Fall wird eine elektrische Verbindung zwischen dieser Schaltung des Bauelementes 2 und der Verdrahtung auf der Schaltungsplatine 10 durch einen oxidationsfreien flexiblen Andruckkontakt erreicht, so daß kein umweltbelastendes Lot zum Einsatz kommt. Es ist jedoch auch möglich, daß die gummielastischen Erhebungen 3 eine Löt- kugel 5 tragen, so daß eine Lötverbindung mit einer Schaltungsplatine ermöglicht wird und die elastischen Erhebungen 3 nicht nur die Unebenheiten des Bauelementes 2 und der Platine ausgleichen, sondern auch thermische Spannungen vermindern, die aufgrund unterschiedlicher Ausdehnungskoeffizienten von Bauelement 2 und Platine 10 auftreten.
In den Figuren 8 bis 13 wird beispielhaft die Herstellung eines elektronischen Bauelementes 2 erläutert, das eine erfindungsgemäße gummielastische Erhebung 3 aufweist . Wie Figur 8 zeigt, wird dabei zunächst auf einem Halbleiterchip 6, der in Figur 2 ausschnittweise im Querschnitt dargestellt ist, eine isolierende Schicht 7 aufgebracht, die eine erste Oberfläche des Halbleiterchips 6 zumindest teilweise bedeckt. Das Aufbringen und Strukturieren dieser isolierenden Schicht 7 kann dabei durch unterschiedliche Verfahren erfolgen. In einer Ausführungsform der Erfindung wird ein Druckverfahren, insbe- sondere ein Siebdruckverfahren, verwendet, das einfach und kostengünstig durchführbar ist. Wie Figur 9 zeigt, wird anschließend eine gummielastische Erhebung 3 auf den Halbleiterchip 6 im Bereich seiner Oberfläche 13 aufgebracht, wobei die gummielastische Erhebung 3 auf oder neben der isolierenden Schicht angeordnet sein kann.
Eine Aufrauhung der Oberfläche der flexiblen Erhebung 3 und der isolierenden Schicht 7 mit Hilfe eines Lasers kann in denjenigen Bereichen erfolgen, in denen in einem späteren Schritt Leitungspfade 8 und Leiterbahnen 4 gebildet werden sollen. Dies ist durch die senkrechten Pfeile in Figur 3 angedeutet . Die rauhe Oberfläche sorgt dabei insbesondere für eine bessere Haftung des leitenden Materials der Leitungspfade 8 und Leiterbahnen 4 auf den jeweiligen Oberflächen.
Figur 10 zeigt einen Querschnitt eines Ausschnitts des Halbleiterchips nach Figur 9 nach Aufbringen einer strukturierten Metallisierung auf die Oberfläche der gummielastischen Erhebung 3 sowie auf die Oberfläche 13 der isolierenden Schicht 7.
Figur 11 zeigt einen Querschnitt eines Ausschnitts des Halbleiterchips 6 nach Figur 10 nach Aufbringen einer zweiten Metallisierung. Diese Metallisierung wird, wie die Figuren 10 und 11 zeigen, somit in zwei Schritten erfolgen, wobei zu- nächst eine erste Grundmetallisierung 4a und 8a hergestellt wird oder eine Abscheidung von Keimen 4a, 8a auf der Oberfläche erfolgt, welche jeweils zur Bildung von Leiterbahnen auf der isolierenden Schicht und einem Leitungspfad auf der flexiblen Erhebung dienen. Die Keime können aus jedem geeigneten Material wie Palladium bestehen. Anschließend erfolgt eine endgültige Metallisierung 4b und 8b, wie sie Figur 11 zeigt, zur endgültigen Herstellung der Leiterbahnen 4 und Leitungspfade 8. Diese strukturierte Metallisierung bildet bereits auf der gummielastischen Erhebung 3 einen elektrischen Kontaktfleck 16, über den die Kontaktierung des elektronischen Bauelements 2 erfolgt kann.
Figur 12 zeigt einen Querschnitt eines Ausschnitts des Halbleiterchips 6 nach Figur 10 nach Aufbringen einer Lötkugel 5 auf die Kontaktstelle, die einen elektrischen Kontaktfleck 16 bildet.
Figur 13 zeigt einen Querschnitt einer alternativen Ausführungsform der leitenden Verbindung zu der Kontaktstelle auf der gummielastischen Erhebung 3, wobei hier ein Leitungspfad 9 durch die gummielastische Erhebung 3 hindurch geführt ist. Eine solche Anordnung kann dadurch hergestellt werden, daß zunächst, wie in Figur 8, eine isolierende Schicht 7 auf den Halbleiterchip 6 aufgebracht wird. Anschließend erfolgt bereits eine Metallisierung zur Herstellung von Leiterbahnen 4 auf der isolierenden Schicht 7. Erst dann erfolgt die Aufbringung der flexiblen Erhebung 3, vorzugsweise durch einen Druckprozeß. Schließlich erfolgt die Bildung eines Leitungspfades 9 im Inneren der gummielastischen Erhebung 3 durch eine Laserstrukturierung ausgehend von der Oberfläche der gummielastischen Erhebung 3 mit einer anschließenden Metallisierung.
Figur 14 zeigt eine schematische Querschnittsansicht einer weiteren Ausführungsform der Erfindung. Komponenten mit gleichen Funktionen wie in den vorhergehenden Figuren werden mit gleichen Bezugszeichen gekennzeichnet und nicht extra erläu- tert. In dieser Ausführungsform der Erfindung ist die gummielastische Erhebung 3 aus einem gleichzeitig elektrisch leitendem Material gebildet und weist auf ihrer Kuppe 14 einen metallischen Kontaktfleck 16 auf, der über das elektrisch leitende Material der gummielastischen Erhebung 3 am Fuß der Erhebung 3 mit einer Leiterbahn 4 der Oberfläche 13 des elektronischen Bauteils verbunden ist. Die gummielastische Erhebung dient in diesem Fall gleichzeitig als niederohmiger Schutzwiderstand.
Figur 15 zeigt eine schematische Querschnittsansicht einer mehrlagigen Schaltungsplatine 10 mit aufgelötetem elektronischen Bauelement 2. Dazu weist die mehrlagige Schaltungspla- tine 10 an ihrer Oberseite 28 Kontaktanschlussflächen 12 auf, die eine Beschichtung aus Weichlot tragen. Komponenten mit gleichen Funktionen wie in den vorhergehenden Figuren werden mit gleichen Bezugszeichen gekennzeichnet und nicht extra erläutert .
Das elektronische Bauelement 2 ist bei dieser Anordnung der Erfindung mit seinen Kontaktflecken 16 auf den Kuppen 14 der gummielastischen Erhebungen 3 auf den Kontaktanschlussflächen 12 der Schaltungsplatine 10 aufgelötet und kann mit seinen gummielastischen Erhebungen sowohl thermische Unterschiede in der Ausdehnung der Schaltungsplatine 10 gegenüber dem Halbleiterchip 6, als auch Verwölbungen der Oberflächen 13 des elektronischen Bauelements 2 gegenüber der Oberfläche 28 der Schaltungsplatine 10 ausgleichen. Der Höhenausgleich zwischen den beiden Oberflächen kann eine Gummielastizität erfordern, die auf einem Zentimeter 1 μm ausmacht und folglich bei einer Halbleiterscheibe mit Halbleiterchips 6 von einem Durchmesser von 30 cm einen Abstandsunterschied zwischen den beiden Oberflächen 13 und 28 von bis zu 30 μm ausgleichen kann. Die gum- mielastische Dehnbarkeit der gummielastischen Erhebungen 3 kann bei dieser Ausführungsform der Erfindung vertikal zur
Oberfläche 13 eine gummielastische Dehnung von 30 μm aufweisen. Das gummielastische Material der Erhebungen 3 weist eine gummielastische Dehnbarkeit von 50 % auf. Somit ist die Höhe h der gummielastischen Erhebungen 3 mindestens 60 μm.
Figur 16 zeigt eine Querschnittsansicht einer mehrlagigen Schaltungsplatine 10 mit Klebstoffhöckern 11 und Kontaktanschlußflächen 12, die vergoldet sein können, um einen oxida- tionsfreien Kontakt zu gewährleisten oder die mit Lot beschichtet sein können, wenn eine Lötverbindung erwünscht ist.
Figur 17 zeigt das Aufbringen eines elektronischen Bauelementes 2, wie es in Figur 7 gezeigt wird, jedoch mit vier Kontaktkugeln 5, die auf gummielastischen Erhebungen 3 aufgebracht sind und über Leitungspfade 8 mit Leiterbahnen 4 des elektronischen Bauelements 2 in Verbindung stehen. Beim Auf- bringen und Justieren des elektronischen Bauelementes 2 auf der mehrlagigen Schaltungsplatine 10 verformen sich die Klebstoffhöcker 11 etwas und schrumpfen, wie es Figur 18 zeigt, beim Aushärten, so daß das elektronische Bauelement 2 mit seinen Kontaktbällen 5 auf die Kontaktanschlußflächen 12 der Schaltungsplatine 10 in Pfeilrichtung A gedrückt werden, wobei gleichzeitig die gummielastische Erhebung 3 zusammengepreßt wird. Wenn sowohl die Kontaktkugeln 5 als auch die Kontaktanschlußflächen 12 mit einer Goldlegierung vergoldet sind, entsteht durch den Andruck in Pfeilrichtung A ein oxi- dationsfreier ohm' scher Kontakt zwischen den beteiligten Komponenten. Sind die Komponenten mit Lot beschichtet, kann bei entsprechenden Löttemperaturen auch eine Lötverbindung hergestellt werden.
Figur 18 zeigt ein endmontiertes Bauelement 2 einer weiteren Ausführungsform der Erfindung auf einer Schaltungsplatine 10. Unebenheiten und Verwölbungen des elektronischen Bauelementes 2, die bis zu 10 μm pro cm betragen können, und Unebenheiten der Schaltungsplatine 10 können spannungsfrei durch die flexiblen Erhöhungen 3 ausgeglichen werden.
Die Figuren 19 bis 21 zeigen nun im einzelnen die Befestigung des elektronischen Bauelements 2 auf die mit einem ausgebreiteten Tropfen aus schrumpffägigen Klebstoff vorbereitete mehrlagige Schaltungsplatine 10.
Figur 19 zeigt eine schematische Querschnittsansicht einer mehrlagigen Schaltungsplatine 10 mit einem ausgebreiteten Tropfen 21 aus schrumpffähigen Klebstoff. Komponenten mit gleichen Funktionen wie in den vorhergehenden Figuren werden mit gleichen Bezugszeichen gekennzeichnet und nicht extra erläutert .
Anders als in der Figur 16 wird bei der Ausführungsform der Erfindung nach Figur 19 zum Aufsetzen eines elektronischen Bauelements auf eine mehrlagige Schaltungsplatine 10 ein großflächiger Tropfen aus schrump fähigen Klebstoff auf der Oberseite 28 der mehrlagigen Schaltungsplatine 10 ausgebreitet .
Figur 20 zeigt eine schematische Querschnittsansicht einer mehrlagigen Schaltungsplatine 10 mit aufgebrachtem und ausge- richtetem elektronischen Bauelement 2. Komponenten mit gleichen Funktionen wie in den vorhergehenden Figuren werden mit gleichen Bezugszeichen gekennzeichnet und nicht extra erläutert . Das elektronische Bauelement 2 unterscheidet sich von dem elektronischen Bauelement, das in Figur 15 gezeigt wird dadurch, daß zusätzlich eine Schutzschicht 29 unter Freilassung der gummielastischen Erhebungen 3 mit ihren Kontaktflek- ken 16 auf ihrer Kuppe 14 und den Leitungspfaden 8 auf der Hangseite 15 der gummielastischen Erhebung 3 aufgebracht ist. Beim Eintauchen der Kontaktflecken 16 in den auf der Schaltungsplatine 10 ausgebreiteten Tropfen 21 aus schrumpfbaren Klebstoff 21 wird dieser von den Kontaktanschlussflächen 12 der Schaltungsplatine 10 verdrängt, so daß ein Kontakt zwischen Kontaktflecken 16 und Kontaktanschlussflächen 12 entsteht. Dieser elektrische Kontakt wird dadurch verstärkt, daß in dem Schrumpfprozess der Klebstoffs dieser das elektronische Bauelement 2 in Pfeilrichtung A auf die Kontaktanschlussflächen presst.
Figur 21 zeigt eine schematische Querschnittsansicht einer mehrlagigen Schaltungsplatine 10 mit aufgepressten elektronischen Bauelement 2 während der Aushärtung des Klebstoffs. Komponenten mit gleichen Funktionen wie in den vorhergehenden Figuren werden mit gleichen Bezugszeichen gekennzeichnet und nicht extra erläutert .
Beim Aushärten des Klebstoffs zwischen dem elektronischen Bauelement 2 und der Schaltungsplatine 10 schrumpft dieser und zieht in Pfeilrichtung A das elektronische Bauelement 2 mit seinen gummielastischen Erhebungen und den darauf befindlichen Kontaktflecken 16 auf die Kontaktanschlussflächen 12 der Schaltungsplatine 10. Somit kann bereits allein durch Kontaktierung ein intensiver elektrischer Kontakt hergestellt werden. Die Schutzschicht 29 schützt bei diesem Vorgang das elektronische Bauelement 2 vor Einflüssen und Beschädigungen durch den schrumpffähigen Klebstoff . Die Aushärttemperatur des schrumpffähigen Klebstoffs liegt in einem Temperaturbereich, der gleichzeitig ein Weichlöten zwischen den Kontakt- flecken 16 des elektronischen Bauelements und den Kontaktanschlussflächen 12 der Schaltungsplatine 10 erlaubt. Somit können mit dieser Ausführungsform der Erfindung sowohl elektrische Kontaktstellen geschaffen werden, die nur auf Beruh- rung basieren und/oder Kontaktstellen, die zusätzlich durch eine Weichlötung mechanisch gesichert sind.

Claims

Patentansprüche
1. Elektronisches Bauelement mit einer elektronischen Schaltung und Leiterbahnen (4) auf einer Oberfläche (13) des elektronischen Bauelements (2) zum elektrischen Verbinden der elektronischen Schaltung mit metallbeschichteten Erhebungen (3) aus isolierendem Material, dadurch gekennzeichnet, dass die Erhebungen (3) ein gummielastisches Material und je- weils auf ihrer Kuppe (14) einen metallischen Kontaktfleck (16) und auf ihrer Hangseite (15) oder in ihrem Volumen einen Leitungspfad (8) aufweisen, der zwischen dem Kontaktfleck (16) und einer der Leiterbahnen (4) angeordnet ist .
2. Elektronisches Bauelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass daß die Erhebung (3) eine domartige Kontur mit weichem schwachgekrümmten Übergang zu der Oberfläche (13) auf- weist.
3. Elektronisches Bauelement nach Anspruch 1 oder Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere Erhebungen auf einer gummielastischen flachen Sockelfläche angeordnet sind und sich der Leitungspfad (8) von jedem Kontaktfleck (16) über die Hangseite (15) der jeweiligen gummielastischen Erhebung (3) über den gummielastischen Sockel (17) zu einer der Leiterbahnen (4) auf der Oberfläche (13) erstreckt.
4. Elektronisches Bauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Erhebung (3) eine Grundfläche mit einem Durchmesser zwischen 150 und 500 μm aufweist.
5. Elektronisches Bauelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß eine isolierende Schicht (7) mindestens teilweise die aktive Oberfläche bedeckt und an die gummielastische Er- hebung (3) angrenzt, und
Leiterbahnen (4) auf der isolierenden Schicht angeordnet sind, die eine leitende Verbindung zwischen dem Leitungspfad (8) , der gummielastischen Erhebung (3) und der elektronischen Schaltung bilden.
6. Elektronisches Bauelement nach einem der vorhergehenden
Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das gummielastische Material der Erhebungen (3) mehr als 50 % gummielastische Dehnbarkeit aufweist.
7. Elektronisches Bauelement nach einem der vorhergehenden
Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das gummielastische Material der Erhebungen (3) einen Elastomer aufweist.
8. Elektronisches Bauelement nach einem der vorhergehenden
Ansprüche, dadurch gekennzeichnet , dass das gummielastische Material ein Elastomer auf Siliconbasis aufweist.
9. Elektronisches Bauelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Erhebungen (3) aus gummielastischem Material um meh- rere 10 μm gummielastisch verformbar sind.
10. Elektronisches Bauelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Erhebungen (3) parallel zur Oberfläche (13) bis zu 50 μm gummielastisch auslenkbar sind.
11. Elektronisches Bauelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Erhebungen (3) vertikal zur Oberfläche um 50 μm bis 150 μm auslenkbar sind.
12. Elektronisches Bauelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Höhe (h) der gummielastischen Erhebungen (3) 60 μm bis 300 μm aufweist.
13. Elektronisches Bauelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Breite (b) des Leitungspfades (8) auf der Hangseite (15) der Erhebung (3) kleiner gleich 150 μm ist.
14. Elektronisches Bauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß das elektronische Bauelement (2) ein Halbleiterbauelement ist.
15. Elektronisches Bauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß das elektronische Bauelement (2) ein Polymerbauelement ist .
16. Elektronisches Bauelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die gummielastische Erhebung (3) elektrisch leitend ist und auf ihrer Kuppe (14) einen Kontaktfleck (16) aufweist und mit ihrer Grundfläche mit einer Leiterbahn (4) auf der Oberfläche (13) des elektronischen Bauteils (2) elektrisch verbunden ist.
17. Elektronisches Bauelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Kontaktflecken (16) mittels eines Leitklebers mit Kontaktanschlussflächen (12) einer Schaltungsplatine (10) elektrisch verbindbar sind.
18. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Erhebungen (3) mit ihren Kontaktflecken (16) und ih- ren Leitungspfaden (8) vollständig in Leitkleber (18) engebettet sind.
19. Elektronisches Bauelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das elektronische Bauelement (2) auf einer Schaltungs- platine (10) angeordnet ist, mittels beim Aushärten schrumpfenden Klebstoffhöckern (11) auf der Schaltungsplatine (10) gebondet ist und über den mindestens einen elektrischen Kontakt (1) einer gummielastischen Erhebung (3) mit mindestens einer elektrischen Kontaktanschluß- fläche (12) auf der Schaltungsplatine (10) einen Andruckkontakt bildet.
20. Verfahren zur Herstellung eines elektronischen Bauelements (2) nach einem der Ansprüche 1 bis 19, dadurch gekennzeichnet, daß die Aufbringung der gummielastischen Erhebung (3) durch einen Druckprozeß erfolgt.
21. Verfahren nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, dass der Druckprozess mittels Schablonendruck durch eine Lochschablone erfolgt .
22. Verfahren nach Anspruch 20 oder Anspruch 21, dadurch gekennzeich et, dass die Erhebung (3) mittels mehrerer aufeinander folgender Druckvorgänge durch aufeinander abgestimmte Lochschablonen erfolgt .
23. Verfahren nach einem der Ansprüche 20 bis 22, dadurch gekennzeichnet, dass als Lochschablone eine perforierte Metallfolie eingesetzt wird.
24. Verfahren nach einem der Ansprüche 20 bis 23, dadurch gekennzeichnet, dass eine Metallschichtstruktur der Leitungspfade (8) und der Kontaktflecken (16) auf den Erhebungen (3) sowie der Leiterbahnen (4) auf der Oberfläche (13) gleichzeitig hergestellt wird.
25. Verfahren nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, dass die Metallschichtstruktur mit folgenden Schritten hergestellt wird:
Aufbringen einer geschlossenen Metallschicht auf die Oberfläche (13) und die Erhebungen (3) durch Sputtern, galvanisches Piatieren oder Aufdampfen,
Aufbringen einer geschlossenen Photolackschicht auf die Metallschicht durch Aufsprühen oder Elektroabscheiden, Projektionsbelichten, Entwickeln und Aushärten der Photolackschicht zu einer strukturierten Photolackmaske,
Strukturieren der Metallschicht durch Trocken- oder Naßätzung, Entfernen der Photolackmaske unter Zurückbleiben der Metallschichtstruktur mit Leitungspfaden (8) ,
Kontaktflecken (16) auf den Erhebungen (3) sowie den Leiterbahnen (4) auf der Oberfläche (13) .
26. Verfahren nach einem der Ansprüche 20 bis 25, dadurch gekennzeichnet, dass nach dem Aufbringen der gummielastischen Erhebung (3) eine Aufrauhung der Oberfläche der Erhebung (3) zumin- dest im Bereich der späteren Leitungspfade (8) erfolgt, insbesondere mit Hilfe eines Lasers.
27. Verfahren nach Anspruch 26, dadurch gekennzeichnet, dass nach der Aufrauhung der Oberfläche der gummielastischen Erhebung (3) und vor dem Aufbringen eines leitenden Materials zur Bildung von Leitungspfaden (8) auf der Hang- seite (15) der Erhebung (3) eine Abscheidung von Keimen auf der Oberfläche der Erhebung (3) erfolgt.
28. Verfahren nach Anspruch 27, dadurch gekennzeichnet, daß die Keime aus Palladium bestehen.
29. Verfahren nach einem der Ansprüche 20 bis 28, dadurch gekennzeichnet, daß die Bildung der Leitungspfade (8) auf der Hangseite (15) der Erhebung (3) durch die Abscheidung eines leitenden Materials auf der aufgerauhten Oberfläche erfolgt.
30. Verfahren nach einem der Ansprüche 20 bis 29, dadurch gekennzeichnet, daß eine Aufrauhung der Oberfläche der isolierenden Schicht (7) mindestens im Bereich der zu bildenden Leiterbahnen (4) erfolgt, insbesondere mit Hilfe eines Lasers.
31. Verfahren nach Anspruch 30, dadurch gekennzeichnet, daß nach der Aufrauhung der Oberfläche der isolierenden
Schicht (7) und vor dem Aufbringen eines leitenden Materials zur Bildung von Leiterbahnen (4) auf der Oberflä- ehe der isolierenden Schicht eine Abscheidung von Keimen auf der Oberfläche der isolierenden Schicht (7) erfolgt.
32. Verfahren nach Anspruch 31, dadurch gekennzeichnet, daß die Keime aus Palladium bestehen.
33. Verfahren zur Herstellung einer Metallschichtstruktur auf flachen Oberflächen mit Erhebungen und Vertiefungen auf denselben, dadurch gekennzeichnet, dass die Metallschicht selektiv und strukturiert durch Tin- tenstrahldrucken mittels einer organometallischen Lösung als Tinte und anschließender Verdampfung des Lösungsmit- tels während eines Tempervorgangs gebildet wird.
34. Verfahren nach einem der Ansprüche 20 bis 33, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens ein fertiges elektronisches Bauelement (2) auf eine Schaltungsplatine (10) geklebt wird, wobei die elektrischen Kontaktflecken (16) auf den Erhebungen (3) auf Kontaktanschlußflächen (12) der Schaltungsplatine (10) gedrückt werden.
35. Verfahren nach Anspruch 34, dadurch gekennzeichnet, daß als Klebstoff ein beim Aushärten schrumpfender Klebstoff eingesetzt wird.
36. Verfahren nach Anspruch 34 oder Anspruch 35, dadurch gekennzeichnet , daß der Klebstoff in Form von Klebstoff höckern (11) auf der Schaltungsplatine (10) angeordnet wird.
7. Verfahren nach Anspruch 34 oder Anspruch 35, dadurch gekennzeichnet, dass der Klebstoff in Form eines flächendeckenden Tropfens auf der Oberseite der Schaltungsplatine (10) aufgetragen wird und anschließend das elektronische Bauelement (2) mit seinen gummielastisch gehaltenen Kontaktflecken (16) auf die Kontaktanschlussflächen (12) bis zum Ende des Aushärtens und Schrumpfens des Klebstoffs gepresst wird.
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