WO1995019502A1 - Micropompe - Google Patents

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WO1995019502A1
WO1995019502A1 PCT/IB1995/000028 IB9500028W WO9519502A1 WO 1995019502 A1 WO1995019502 A1 WO 1995019502A1 IB 9500028 W IB9500028 W IB 9500028W WO 9519502 A1 WO9519502 A1 WO 9519502A1
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WO
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micropump
pumping chamber
plate
outlet
inlet
Prior art date
Application number
PCT/IB1995/000028
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English (en)
Inventor
Harald Van Lintel
Original Assignee
Westonbridge International Limited
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
Application filed by Westonbridge International Limited filed Critical Westonbridge International Limited
Priority to JP51893695A priority Critical patent/JP3948493B2/ja
Priority to EP95904674A priority patent/EP0739451B1/fr
Priority to CA002181084A priority patent/CA2181084C/fr
Priority to US08/676,146 priority patent/US5759014A/en
Priority to DE69500529T priority patent/DE69500529T2/de
Priority to AU13263/95A priority patent/AU679311B2/en
Publication of WO1995019502A1 publication Critical patent/WO1995019502A1/fr

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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B53/00—Component parts, details or accessories not provided for in, or of interest apart from, groups F04B1/00 - F04B23/00 or F04B39/00 - F04B47/00
    • F04B53/10—Valves; Arrangement of valves
    • F04B53/1077—Flow resistance valves, e.g. without moving parts
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61M—DEVICES FOR INTRODUCING MEDIA INTO, OR ONTO, THE BODY; DEVICES FOR TRANSDUCING BODY MEDIA OR FOR TAKING MEDIA FROM THE BODY; DEVICES FOR PRODUCING OR ENDING SLEEP OR STUPOR
    • A61M5/00—Devices for bringing media into the body in a subcutaneous, intra-vascular or intramuscular way; Accessories therefor, e.g. filling or cleaning devices, arm-rests
    • A61M5/14—Infusion devices, e.g. infusing by gravity; Blood infusion; Accessories therefor
    • A61M5/142—Pressure infusion, e.g. using pumps
    • A61M5/14212—Pumping with an aspiration and an expulsion action
    • A61M5/14224—Diaphragm type
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B43/00—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
    • F04B43/02—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
    • F04B43/04—Pumps having electric drive
    • F04B43/043—Micropumps
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
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    • F04B53/00—Component parts, details or accessories not provided for in, or of interest apart from, groups F04B1/00 - F04B23/00 or F04B39/00 - F04B47/00
    • F04B53/10—Valves; Arrangement of valves
    • F04B53/1037—Flap valves
    • F04B53/1047—Flap valves the valve being formed by one or more flexible elements
    • F04B53/1052—Flap valves the valve being formed by one or more flexible elements two flexible elements oscillating around a fixed point
    • A—HUMAN NECESSITIES
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    • A61M2205/02—General characteristics of the apparatus characterised by a particular materials
    • A61M2205/0244—Micromachined materials, e.g. made from silicon wafers, microelectromechanical systems [MEMS] or comprising nanotechnology
    • A—HUMAN NECESSITIES
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    • A61M2205/02—General characteristics of the apparatus characterised by a particular materials
    • A61M2205/0272—Electro-active or magneto-active materials
    • A61M2205/0294—Piezoelectric materials

Definitions

  • the present invention relates to a micropump comprising at least one base plate and a second plate attached to the base plate, at least one of the plates of which is machined so as to define a pumping chamber, at least one member. of fluid inlet control for connecting the pumping chamber to at least one inlet of the micropump, and at least one fluid outlet control member for connecting the pumping chamber to at least one outlet of the micropump, the chamber pump comprising a movable wall machined in one of the plates and capable of being moved in two opposite directions during the aspiration of a fluid from the inlet into the pumping chamber or during the expulsion of this fluid from the pumping chamber towards the outlet, actuation means being provided for moving said movable wall to cause a decrease and an increase periodically in the volume of the pumping chamber, the micropump com ⁇ carrying an internal volume comprising the volume of the pumping chamber, the volume of a space connecting the pumping chamber to the inlet control member and the volume of a space connecting the pumping chamber to the exit control body.
  • Such pumps can be used in particular for the in situ administration of drugs, the miniaturisa ⁇ tion of the pump allowing a patient to carry it on himself, or even possibly to receive a pump directly implanted in the body. Furthermore, such pumps allow the dosing of small quantities of fluid to be injected.
  • the silicon wafer is etched to form a cavity, which with one of the glass wafers defines the pumping chamber, an inlet or suction valve and at least one outlet or discharge valve putting the pumping chamber in communication with an input channel and an output channel respectively.
  • the part of the plate forming a wall of the pumping chamber can be deformed by a control element constituted for example by a pellet or a piezoelectric crystal. This is equipped with two electrodes which, when they are connected to a source of electric voltage, cause deformation of the pad and, consequently, deformation of the wafer, which causes a variation in the volume of the pumping chamber. This movable or deformable wall of the pumping chamber can thus be displaced between two positions.
  • the operation of the micropump is as follows. When no electrical voltage is applied to the piezoelectric grid, the inlet and outlet valves are in the closed position. When an electrical voltage is applied, an increase in pressure occurs the pumping chamber which causes the opening of the outlet valve. The fluid contained in the pumping chamber is then discharged towards the outlet channel by the displacement of the deformable wall from a first position to a second position. During this phase, the inlet valve is kept closed by the pressure prevailing in the pumping chamber.
  • micropump The operation of this type of micropump is strongly influenced by the compressibility of the fluid contained in the internal volume and in fact such a micropump does not work if it contains too much air; the pumped flow is thus greatly reduced, or even reduced to zero.
  • priming such pumps is complicated and requires significant equipment, such as a vacuum pump, priming enclosure or injection device. As a result, priming can only be carried out in a specialized establishment or in the factory during manufacture.
  • micropumps are also provided with a device for protection against overpressures at the inlet, which prevents priming by the application of an overpressure.
  • the object of the present invention is to create a fully self-priming micropump with complete sealing from the inside of the micropump and which also functions correctly when air or another compressible gas or fluid enters the volume. internal of the micropump.
  • said reduction in the volume of the pumping chamber is between 30 and 100% of said internal volume, preferably more than 50%, the volumes of said spaces connecting the pumping chamber to the inlet and outlet control members. being less than 30% of the internal volume, preferably less than 15%.
  • the movable wall comprises a rigid central part surrounded by an elastic border of smaller thickness coming from a part with the rigid central part, the latter projecting with respect to the face of the wall.
  • mobile which is opposite to the pumping chamber and being intended to cooperate with said actuating means.
  • the micropump has at least a third plate attached to the second plate, the actuation means comprise a motor member movably mounted on the third plate, an intermediate piece being disposed between said rigid central door and the motor member. .
  • This construction gives the advantage of efficient actuation. Variations in the shape and in the deformation of the drive member, preferably a piezoelectric element have no influence on the shape of the deformable wall.
  • the intermediate piece com ⁇ carries a lower face intended to come into contact with said rigid central part having a surface similar to that of the rigid central part.
  • the application of the actuating movement is effected over the entire width of the rigid central part which therefore does not undergo any deformation, which allows a very precise eva ⁇ cuation of the pumping chamber.
  • the organs for controlling the inlet and / or outlet of the fluid are consti ⁇ killed by at least one valve comprising two membranes usi ⁇ born in the second plate so as to constitute a V-shape in the closed position of the valve, these mem ⁇ branes being capable of separating to form a central opening in the open position of the valve.
  • This kind of flap or valve can be very small so that the space connecting the flap to the
  • SUBSTITUTE SHEET (RULE 26 ⁇ pumping chamber has an extremely small volume, which greatly enhances the self-priming effect of the micropump.
  • the invention also relates to a use as a micropump capable of being implanted in the body of a patient.
  • FIG. 1 illustrates a first embodiment of the invention in section along the line I-I of FIG. 2.
  • FIG. 2 is a view in horizontal section along line II-II of FIG. 1.
  • FIG. 3 represents a second embodiment in section.
  • Figure 4 shows a third embodiment in section.
  • FIG. 5 represents a fourth embodiment in section along the line V-V of FIG. 6.
  • FIG. 6 is a view in horizontal section along the line VI-VI of FIG. 5.
  • Figures 7a) to 7d) illustrate a particular type of valve used, shown in cross sections and in bottom views for the open and closed positions.
  • FIG. 8 represents a fifth embodiment in section along the line VIII-VIII of FIG. 9.
  • FIG. 9 is a view in horizontal section along the line IX-IX in FIG. 8.
  • Figures 10a and 10b show another particular type of valve used in cross section and in plan view.
  • the micropump is equipped with one or more inlet valves or with a flow limiter and with an outlet valve. It should be noted, however, that the invention also applies to micropumps comprising several valves arranged between the pumping chamber and the outlet.
  • the micropump can also be provided with a plurality of outputs.
  • the inlet and outlet valves may be replaced by any other fluid inlet or outlet control member, such as flow limiters.
  • the micropump according to the first embodiment comprises a base plate 2, preferably made of glass.
  • This base plate 2 is pierced with two channels 4, 5 forming the inlet and outlet pipes of the pump.
  • the inlet conduit 4 can be connected to a reservoir, not shown, in which the liquid substance to be pumped is located, for example a medicament to be administered with a precise dosage.
  • the micro ⁇ pump can be worn on the patient's body, or even be established.
  • the outlet conduit 5 can be connected to an injection needle (not shown) for example.
  • the base plate 2 is surmounted by an intermediate plate 6 made of silicon or another material that can be machined by etching using photolithographic techniques. It is attached to the base plate 2 by known bonding techniques, such as the technique known by the English term “anodic bonding" or anodic solder comprising heating to about 300 ° C and the application of a potential difference. about 500V between the pads.
  • An upper plate 8 preferably made of glass, is joined by the same techniques to the intermediate plate 6.
  • the intermediate silicon wafer 6 may have a crystal orientation ⁇ 100>, in order to lend itself successfully to etching.
  • the inserts 2, 6 and 8 are preferably carefully polished. These plates 2, 6, and 8 are then advantageously rendered hydrophilic, in particular in the case where the substance used in the micropump is an aqueous solution. To this end, the silicon wafer 6 can be immersed in boiling HNO3.
  • the thicknesses of the plates 2, 6 and 8 can respectively be around 1mm, 0.3mm and 0.8mm for a surface dimension of the plates of the order of 15 by 20 mm.
  • the inlet or suction 4 and outlet or discharge 5 conduits are mainly connected by three inlet valves 12, a pumping chamber 14 and an outlet valve 16.
  • the inlet valves 12 are illustrated more particularly with reference to FIGS. 7a) to 7d) and each comprise two membranes 18 machined in the silicon wafer 6 so as to form a V shape in the closed position of the valve (fig. 7c) and d)).
  • the membranes 18 are capable of separating at their junction to form a central opening 20 in the open position of the valve (fig. 7a) and b)).
  • This type of valve obtained by micro-machining is more particularly described by L. Smith and B. Hôk in an article entitled “A silicon self-aligned non reverse valve” published in "Transducers 91, Di- gest of Technical papers, pp. 1049.1051 IEEE catalog number 91CH2817-5, IEEE, piscataway, NJ (1991).
  • valves allow a construction of very small size and require only a connecting space 22 of very small volume for the connection to the pumping chamber.
  • the phenomenon of microcavitation which appears in the valves of the usual type having a valve cooperating with a seat is avoided. Indeed, in these valves of the usual type, a strong decrease in pressure is observed very locally at the level of the valve seat at the time of the separation of the valve from its seat. This reduction in pressure can give rise to the formation of micro ⁇ bubbles of gas, when the pressure at this location of the liquid becomes lower than the vapor pressure of the latter.
  • This drawback cannot appear with the present type of valve 12 with V-shaped membranes because the spacing of the two membranes is done in a smooth manner.
  • connection space 22 located under the three inlet valves 12 has a very small volume and is immediately connected to the pumping chamber 14.
  • the latter is connected to the outlet valve 16 by a second connection space 24 which surrounds the annular rib 26 of this outlet valve 16.
  • This second connection space 24 is preferably also of as small a volume as possible.
  • the outlet valve 16 of the conventional type is likewise machined in the silicon wafer 6 and comprises a membrane 28 carrying the annular rib 26 coated with an oxide layer 27 giving the membrane 28 a preload stressing the top of the rib 26 against the lower plate 2 which serves as a valve seat. Oxide layers 30 applied on the other side of the mem ⁇ brane 28 reinforce this prestress.
  • the rib 26 delimits a compartment 32 outside the rib 26 communicating with the outlet conduit 5.
  • fluid outlet control members can also be provided, such as valves of the V-diaphragm type or, for example, flow limiters.
  • the pumping chamber 14 is of substantially circular shape. Its volume is modulated by a pumping membrane page 36 constituting a movable or deformable wall of the pumping chamber 14.
  • This movable wall is machined in the silicon wafer 6 and has a central part rigid 38 relatively wide compared to the total width of the pumping membrane 36.
  • the diameter of this central part 38 varies between 20 and 90% of the diameter of the pumping membrane 36, preferably between 50 and 80%.
  • This rigid central part 38 has a thickness much greater than the annular edge 40 of the pumping mem ⁇ brane. To fix the ideas, the edge 40 has a thickness between 10 and 100 ⁇ m, while the rigid central portion 38 has a thickness which is 10 to 50 ⁇ m less than the total thickness of the plate 6, which gives for example a thickness of 300 ⁇ m.
  • This pumping membrane 36 has on its lower surface opposite the wafer 2 zones 42 provided with a thin layer of silicon oxide making it possible to avoid sticking of the membrane 36 to the wafer 2.
  • a thin layer of Similar silicon oxide 44 is provided on the upper surface of the rigid central portion 38 for the same purpose.
  • Layers of silicon oxide 46, 48 ap ⁇ applied on both sides of the annular edge 40 are intended to give the membrane a certain prestress (not visible) upwards in FIG. 1.
  • the rigid central part 38 and the upper plate 8 with which it cooperates constitute abutment elements limiting the suction movement of the pumping membrane 36.
  • the inlet or outlet valves 12 and 16 are all arranged on the same side of a fictitious median sur ⁇ face 49 of the wafer 6; the pumping chamber 14 is on the same side of this median surface.
  • a device 1 for actuating the pumping membrane 50 on page 36 comprises a motor member in the form of a piezoelectric element 52 provided with electrodes 54, 56 connected to a generator 58 intended to supply an alternating voltage.
  • This element may be that sold by the Philips company under the name PXE-52. It is fixed by any suitable means such as bonding or welding, on an elastic blade 60 made of metal, silicon or plas ⁇ tic material.
  • This blade 60 is mounted by means of a spacer 62 on the upper plate 8.
  • This spacer 62 may be constituted by a support ring made of plastic, metal or silicon. It could also be formed by a predetermined thickness of glue or by glass coming in one piece with the plate 8.
  • An intermediate piece 64 in the shape of a pushpin can be made integral by its flat head 66 by any suitable means, such as bonding or welding, of the elastic blade 62. It acts on the rigid central part 38 of the pumping membrane 36 by virtue of its vertical rod 68 passing through the upper plate by a bore 69. There may moreover be a slight clearance or a mechanical stress between the vertical rod 68 and the pumping membrane 36, when the pump is at rest.
  • the actuating device 50 comprising a piezoelectric element 52 and an elastic blade 60, may also be replaced by a device comprising two or several contiguous piezoelectric plates or combined piezoceramic and metal discs.
  • the piezoelectric element 52 is independent of the pumping membrane 36.
  • Hysteresis effects of the piezoelectric element 52 ("piezocreep") or variations or deterioration of this element have no influence on the shape of the pumping membrane 36 considering that the latter is independent of the piezoelectric element 52 and set in motion thanks to the intermediate part 64.
  • This construction makes it possible to obtain a large volume of fluid displaced for a diameter given the pumping mem ⁇ brane, considering that the rigid central part 38 acts like a piston.
  • the usi ⁇ born parts of the micropump can be further miniaturized while retaining an actuation device of any size, relatively large. This miniaturization of the machined parts makes it possible to lower the production costs.
  • the micropump described comprises an internal volume (Vi) comprising the volume (Vp) of the pumping chamber 14, the volume (Ve) of the connection space 22 delimited on one side by the inlet valves 12 and connected the other side to the pumping chamber 14, and the volume (Vs) of the connection space 24 towards the outlet valve, including its annular part surrounding the annular rib 26.
  • the actuating means 50 move the wall mobile 26 to cause a periodic variation (_ p), decrease then increase in the volume (Vp) of the pumping chamber 14.
  • the decrease in the internal volume (Vi) of the micropump due to the decrease in volume (Vp ) of the pumping chamber is such as a gas, for example air, or any other compressible fluid contained in the internal volume of the micropump is compressed at least to a pressure sufficient to cause the opening of the outlet valve 16 so that this air can be driven from the micropump which is then self-priming.
  • the variation or reduction ( ⁇ Vp) of the volume of the pumping chamber 14, caused by the movement of the movable wall 36 is not much lower than the volume (Vp) of the pumping chamber.
  • the volume (Ve and Vs) of the connection spaces 22 and 24 must be as small as possible, which can be obtained by micro-machining.
  • the variation or decrease ( ⁇ Vp) is between 30 and 100% of the internal volume (Vi), preferably more than 50%.
  • the volume (Ve and Vs) of the two connecting spaces 22 and 24 together is advantageously less than 30% of the internal volume (Vi) and preferably less than 15% of this internal volume.
  • the embodiment may present a movable wall 36 with a diameter of 7 mm with a rigid central part with a diameter of 5 mm and a vertical displacement of 10 micrometers.
  • the variation or decrease in volume ( ⁇ Vp) of the pumping chamber 14 will then be approximately 0.28 mm 3 .
  • the volume (Vp) of the pumping chamber being 0.38 mm 3 , that (Ve) of the connection space to the inlet valves 22 of 0.015 mm 3 , that (Vs) of the space 24 to the 0.03 mm outlet valve 3 .
  • the internal volume (Vi) will be approxima- 0.43 mm 3 .
  • the pressure generated inside the micropump is more than sufficient to make the latter fully self-priming. Thanks to the rigid central part 38 with a large diameter functioning in the manner of a piston and to the very small connecting spaces 22 and 24, it is possible to obtain sufficient pressures inside the micropump to allow a self-priming.
  • micropumps which generally include a space of a fairly consi ⁇ able volume on the inside of the inlet valve.
  • the internal volume is generally of the order of 3 mm 3
  • the variation in volume due to the pumping movement is approximately 0.1 mm 3 with a conventional pumping membrane with a diameter 7 mm.
  • Such a micropump cannot in this case operate as soon as a gas partially fills its internal volume entirely. This major drawback of operation and initiation is entirely avoided thanks to the present invention.
  • the increase in the internal volume (Vi) of the micropump due to the increase in the volume (Vp) of the pumping chamber 14 is such that the gas, namely the air remaining in the internal volume of the micropump after closing the outlet valve 16 is decompressed to a sufficiently low pressure to cause the opening of the inlet valve (s) 12.
  • the thicker rigid central part 36 intended to come into contact with the upper plate 8, forms a stop element opposite to the stop elements constituted by the zones with silicon oxides 42 coming into contact with the base plate 2.
  • the suction and expulsion movements of the pumping mem ⁇ brane 36 are thus mechanically controlled on the upper and lower side. This makes it possible to obtain a very precise quantity of substance pumped at each round trip from the membrane.
  • the rigid central part 38 is comparable to a piston whose movement is well defined. Since the annular edge 40 of the pumping membrane 36 has a relatively small surface compared to the total surface of the pumping membrane 36, differences in pressure in the pumping chamber 14 cause only slight changes in volume under the pumping membrane 36.
  • the oxide zones 42 avoid a bonding effect of the pumping membrane 36 during the anodic welding or a suction effect of this membrane, when the latter moves from its lowest position towards the high.
  • Electrical contacts or electrodes not illustrated can be arranged opposite one another on the rigid central part 38 and on the lower surface of the upper plate 8. These contacts are then extended towards the outside of the pump. and connected to an electric circuit not illustrated making it possible to control the operation of the pumping membrane 36 and the aspiration of the fluid. Adequate circuits are for example described in European patent application No. 0.498.863.
  • the micropump in accordance with the present invention therefore makes it possible to obtain safe and reliable self-priming.
  • the micropump has a very precise dosage at each alternative movement, a dosage which is practically independent of the pressure prevailing in the inlet and outlet conduits, of the performance of the piezoelectric element and of the deteriorations. and known hysteresis phenomena for this kind of actuation device.
  • the movement of the pumping membrane is precisely controlled as much by the rigid intermediate piece 38 as the oxide zones 42.
  • the flow rate is therefore defined by the machining characteristics of the pumping membrane 36 and by the frequency of the actuator.
  • This type of pump allows the use of piezoelectric elements having fairly wide variations in their characteristics. In addition, it is not necessary to calibrate the pumps for each element used.
  • valves and the arrangement of valves and outlet and inlet conduits, as well as the pumping chamber can be very different.
  • the outlet valve can also be of the type with two V-shaped members.
  • the pumping chamber and these valves or fluid control members can also be placed in part or in whole on the base plate, if that seems preferable.
  • the valves or control members are then arranged on the side of the plate on which they are machined which is closest to the pumping chamber, the inlet valves 12 opening towards the outside of the plate on which they are located, while the outlet valves 16 open towards the interior of the plate on which they are located.
  • the distribution of the oxide zones can be adapted to the desired prestresses for the valves and pumping.
  • the actuating device may have a motor member of another type than a piezoelectric element.
  • the intermediate piece 64 could have come in one piece with the elastic blade 60 or even with the piezoelectric element. It could also be freely placed between the elastic blade and the pumping membrane.
  • the pump may also have one or more screws passing through the upper plate 8 and cooperating at their ends with the rigid central part 38. These screws thus constitute adjustable stop elements allowing the adjustment of the amplitude of the suction movement. .
  • Adjustment screws may also be mounted on the blade 60. In addition, it would be possible to mount adjustment screws in the flat head 66 of the intermediate part.
  • the second embodiment illustrated in Figure 3 differs from the first embodiment only by the constitution of the actuating device. As a result, elements analogous to the two embodiments bear the same reference numbers and will no longer be described in detail.
  • This second embodiment also includes a base plate 2 pierced with inlet conduits 4 and outlet 5 and an upper plate 8. Between these plates 2 and 8 is interposed the intermediate plate 6 in silicon machined by photolitographic techniques to obtain one or more inlet 12 and outlet 16 valves and a pumping chamber 14.
  • Thin oxide layers 27, 30, 46, 48 make it possible to obtain predetermined prestresses in the mem- machined silicon brane.
  • the pumping chamber 14 is of substantially circular shape and connected by two connecting spaces 22, 24 to the inlet and outlet valves.
  • the pumping membrane 36 in the form of a movable, deformable wall comprises a thicker rigid central part 38.
  • the actuating device 150 has an elastic metal blade 160 having curved edges 162 forming spacing elements glued to the upper surface of the wafer 8.
  • a motor member in the form of a piezoelectric element 152 is fixed by welding or gluing to the blade 160. It acts thanks to an intermediate part 164 on the rigid central part 38 of the pumping membrane 36.
  • This intermediate part 164 has a cross section and a lower surface similar to that of the part rigid central unit 38 and is fixed to the latter by any suitable means, such as anodic welding or bonding. Thanks to this intermediate piece 164 of considerable diameter, the pumping membrane 36 is moved vertically without causing deformation over most of its surface. The evacuation of the pumping chamber 14 is therefore particularly effective, which further reinforces the self-priming effect of the microvalve for a given geometry of the internal volume (Vi). In addition, construction and assembly are simple, which lowers the cost price of the micropump.
  • the third embodiment shown in Figure 4 differs from the first and second main embodiment- ment by the constitution of the outlet valve 216 and the actuating device 250. Therefore, elements similar to the three embodiments carry the same reference numerals and will no longer be described in detail.
  • This third embodiment also includes a base plate 2 provided with inlet conduit 4 and outlet 5 and an upper plate 8. Between these plates 2 and 8 is interposed the intermediate plate 6 in silicon machined by photolitographic techniques to obtain one or more inlet 12 and outlet 216 valves and a pumping chamber 14. Thin layers of oxide 227, 230, 46 and 48 make it possible to obtain predetermined pre ⁇ stresses in the membrane machined silicon.
  • the pumping chamber is also of circular shape and connected by connection spaces 22 and 24 to the inlet and outlet valves.
  • the upper plate 208 made of glass is in this embodiment of a small thickness of the order of 0.2 mm so that it can be elastically deformed by the piezoelectric element 252, which is fixed by gluing to its upper surface. .
  • the piezoelectric element 252 acts by elastic defor ⁇ mation of the glass plate on the rigid central part 38 to obtain the pumping movement.
  • This construction does not require drilling the glass plate, therefore faster and easier assembly.
  • the outlet valve 216 comprises a non-perforated membrane 228 having an annular rib 226 disposed around the outlet channel 5 and covered with a thin layer of silicon oxide 227.
  • This embodiment further comprises a chamber 229 disposed between the membrane 228 and the upper plate 208.
  • This chamber 229 can be connected to the inlet conduit 4 and provide protection against overpres ⁇ sion at the entrance to the microvalve closing the outlet conduit 5 in the event of overpressure. It can also be connected to organs for detecting the operation of the valve. Finally, it can also be sealed or re ⁇ linked to the ambient air. This construction requires very good alignment between the annular rib 226 and the outlet conduit 5 which must have a small diameter.
  • the fourth embodiment shown in Figures 5 and 6 comprises a base plate 2 having inlet 4 and outlet 5 conduits and a plate 6 of machined silicon, attached to the base plate.
  • the inlet conduit 4 is provided with a connector 311 connected to a pipe 313 itself connected to a reservoir 315 in which the substance to be pumped is located.
  • the réser ⁇ voir 315 is closed by a pierced cap 317.
  • a movable piston 319 isolates the useful volume of the reservoir 315 from the outside.
  • the outlet conduit 5 has a connector 321 which can be connected to an injection needle (not shown) by means of a pipe 323.
  • this embodiment presents as a control device for the inlet fluid, a flow limiter 312 formed by a duct of very small section connecting the inlet duct 4 directly to the pumping chamber 14.
  • the connection space between these two elements therefore has a very small volume here, which is particularly favorable for self-priming.
  • the outlet valve 316 is similar to that of the third embodiment and comprises a non-pierced membrane 328 with an annular rib 326 surrounding the outlet duct 5.
  • the annular rib 326 is covered with a thin layer 327 of silicon oxide intended to induce a prestress in the membrane 328 urging the annular rib 326 against the base plate 2 which serves as its valve seat.
  • the actuating device 350 is constituted by a piezoelectric element 352 bonded directly to the pumping mem ⁇ 336 and connected to a generator 58 intended to supply an alternating voltage.
  • the piezoelectric element 352 urges the pumping membrane 336 in direction of the upper surface of the base plate 2 to obtain rapid compression of the fluid or gas contained in the pumping chamber 14 and therefore rapid elevation. sufficient pressure to open the outlet valve and to expel this fluid or gas through the outlet channel 5.
  • the operating frequency of the piezoelectric element is in this embodiment with a higher flow limiter, namely between 10 and 100 Hertz instead of 1 to 10 Hertz for the embodiments with valves of Entrance.
  • a self-priming current is installed which can evacuate the gas contained in the internal volume (Vi) of the micropump. the outlet duct.
  • the variation ( ⁇ Vp) of the volume of the pumping chamber 14 must not be much smaller than the volume (Vp) of the pumping chamber and the internal volume (Vi ) of the micropump.
  • the volumes (Ve and Vs) of the connection spaces 322 and 324 to the limiter and to the outlet valve 316 must be as low as possible to obtain effective self-priming.
  • the fifth embodiment shown in FIGS. 8 to 10 comprises, like the first embodiment, a base plate 2 made of glass with inlet and outlet conduits 5, an intermediate plate 6 made of silicon machined by etching and an upper plate 8 preferably made of glass.
  • This embodiment is provided with two inlet valves 412 which are of the type described in the article by Shoji Sh. Et al., Technical Digest of the 7th Sensor Symposium, 1988, pages 217 to 220.
  • these polycrystalline silicon valves are obtained by surface microusining techniques. They comprise an annular structure 418 attached to the plate 6 and connected by four arms 419 to a central piece of obtura ⁇ tion 420 intended to cooperate with a hole 421 provided in the plate 6.
  • the outlet valve 16 is of the same type as that described with reference to FIG. 1.
  • the pumping membrane 436 has here, however in the rest position, an upwardly curved shape and has a central portion 438 of smaller diameter . Its lower surface directed towards the pumping chamber 14 is provided with a plurality of circular zones 442 of silicon oxide intended for pre- come a bonding or a suction of the membrane 436.
  • the broken line 437 indicates the limit of contact between the membrane 436 and the base plate 2.
  • This membrane 436 further comprises a recess 439 connecting the connection space 422 to the connecting space 424. This recess 439 is also intended to avoid suction of the membrane 436. It could of course also be provided in the base plate 2.
  • the actuating device 450 comprises a piezoelectric element 452 of annular shape attached to the mem ⁇ brane 436 around its central part 438.
  • Two electrodes 454 and 456 are connected by wires 457 to an alternating voltage generator.
  • the openings 459 in the plate 8 are hermetically closed, for example by means of an epoxy adhesive or a weld.
  • the membrane 436 moves downwards in FIG. 8 to have an almost flat shape, which makes it possible to obtain an excellent compression ratio of the pumping chamber page 1 which then has a very small residual volume.
  • the height of the bending of the pumping membrane 436 therefore corresponds substantially to the pumping displacement of this membrane.
  • This domed shape of the membrane 436 can be obtained by putting under pressure the chamber 460 located above the hermetically closed membrane. It could also be obtained by applying to its upper surface an oxide layer inducing an adequate pre-stress of deformation. It should be noted that a membrane thus curved upwards could also be very advantageous in the other four embodiments described above.
  • the polycrystalline silicon valves 412 could also be used in the context of the other four embodiments and as an outlet valve. Micro-machining of these valves could also be obtained with other materials, such as silicon nitride or metals used in electroplating.
  • the central piece 438 serving as an opening stop could also be missing, but in the present case it is useful for increasing pumping precision and as a safety element to prevent rupture of the pumping membrane 436 during overpressure in the inlet channel 4.
  • the five described embodiments allow, thanks to a self-priming effect, to evacuate the air entering the pump by observing only a temporary decrease in the pumping rate until the all of the air has been drawn to the outlet of the micropump.
  • the embodiments described are particularly suitable for the administration of drugs and for implantation in the body of a patient.

Abstract

La micropompe comprend deux plaquettes en verre (2, 8) entre lesquelles est intercalée de manière étanche une plaquette (6) en silicium usinée. Des clapets d'entrée (12), une chambre de pompage (14) et un clapet de sortie (16) sont agencés entre un conduit d'entrée (4) et de sortie (5). Une membrane de pompage (36) formant une paroi de la chambre de pompage comporte une partie centrale plus épaisse (38) destinée à fonctionner à la manière d'un piston. Un élément piézoélectrique (52) agit au moyen d'une pièce intermédiaire (64) sur la membrane de façon à effectuer le mouvement de pompage. La chambre de pompage (14) et les espaces (22, 24) reliant cette dernière aux clapets d'entrée et de sortie sont conformés de façon que la diminution du volume interne de la micropompe due à la diminution du volume de la chambre de pompage lors d'un mouvement de pompage est telle que l'air contenu dans la micropompe est comprimé à une pression suffisante pour provoquer l'ouverture du clapet de sortie de façon que la micropompe est auto-amorçante.

Description

MICROPOMPE
La présente invention concerne une micropompe compor¬ tant au moins une plaquette de base et une seconde pla¬ quette accolée à la plaquette de base dont au moins l'une des plaquettes est usinée de manière à définir une chambre de pompage, au moins un organe de contrôle d'entrée du fluide pour relier la chambre de pompage à au moins une entrée de la micropompe, et au moins un organe de contrôle de sortie du fluide pour relier la chambre de pompage à au moins une sortie de la micropompe, la chambre de pompage comportant une paroi mobile usinée dans l'une des pla¬ quettes et susceptible d'être déplacée suivant deux sens opposés lors de l'aspiration d'un fluide de l'entrée dans la chambre de pompage ou lors de l'expulsion de ce fluide de la chambre de pompage vers la sortie, des moyens d'ac- tionnement étant prévus pour déplacer ladite paroi mobile pour provoquer une diminution et une augmentation périodi¬ que du volume de la chambre de pompage, la micropompe com¬ portant un volume interne comprenant le volume de la chambre de pompage, le volume d'un espace de liaison de la chambre de pompage à l'organe de contrôle d'entrée et le volume d'un espace de liaison de la chambre de pompage à l'organe de contrôle de sortie.
De telles pompes peuvent être utilisées notamment pour l'administration in situ de médicaments, la miniaturisa¬ tion de la pompe permettant à un malade de la porter sur soi, voire éventuellement de recevoir une pompe directe¬ ment implantée dans le corps. Par ailleurs, de telles pompes permettent le dosage de faibles quantités de fluide à injecter.
Dans un article intitulé "A piezoelectrtic micropump based on micromachining of silicon" paru dans "Sensors and Actuators" No 15 (1988). pages 153 à 167, H. Van Lintel et al. donnent une description de deux formes de réalisation d'une micropompe, comportant chacune un empilement de trois plaquettes, c'est-à-dire une plaquette en silicium usiné disposée entre deux plaquettes en verre.
La plaquette en silicium est gravée pour former une cavité, qui avec l'une des plaquettes en verre définit la chambre de pompage, un clapet d'entrée ou d'aspiration et au moins un clapet de sortie ou de refoulement mettant la chambre de pompage en communication respectivement avec un canal d'entrée et un canal de sortie. La partie de la pla¬ quette formant une paroi de la chambre de pompage peut être déformée par un élément de commande constitué par exemple par une pastille ou un cristal piézoélectrique. Celle-ci est équipée de deux électrodes qui, lorsqu'elles sont raccordées à une source de tension électrique, pro¬ voquent la déformation de la pastille et, par suite, la déformation de la plaquette, ce qui provoque une variation du volume de la chambre de pompage. Cette paroi mobile ou déformable de la chambre de pompage peut ainsi être dépla¬ cée entre deux positions.
Le fonctionnement de la micropompe est le suivant. Lorsqu'aucune tension électrique n'est appliquée à la pas¬ tille piézoélectrique, les clapets d'entrée et de sortie sont en position fermée. Lorsqu'une tension électrique est appliquée, il se produit une augmentation de pression dans la chambre de pompage qui provoque 1'ouverture du clapet de sortie. Le fluide contenu dans la chambre de pompage est alors refoulé vers le canal de sortie par le déplace¬ ment de la paroi déformable d'une première position vers une seconde position. Pendant cette phase, le clapet d'en¬ trée est maintenu fermé par la pression régnant dans la chambre de pompage.
Au contraire, lorsque l'on fait décroître la tension électrique, la pression dans la chambre de pompage dimi¬ nue. Ceci provoque la fermeture du clapet de refoulement et l'ouverture du clapet d'entrée. Il y a alors aspiration de fluide dans la chambre de pompage par le canal d'entrée par suite du déplacement de la paroi déformable de la se¬ conde position vers la première position.
Le fonctionnement de ce type de micropompe est forte¬ ment influencé par la compressibilite du fluide contenu dans le volume interne et en fait une telle micropompe ne fonctionne pas si elle contient trop d'air; le débit pompé est ainsi diminué très fortement, voire réduit à zéro.
De même, l'amorçage de telles pompes est compliqué et requiert un appareillage important, tels que pompe à vide, enceinte d'amorçage ou dispositif d'injection. De ce fait, l'amorçage ne peut être effectué que dans un établissement spécialisé ou en usine lors de la fabrication.
Certaines micropompes sont en outre munies d'un dispo¬ sitif de protection contre les surpressions à l'entrée, ce qui empêche un amorçage par l'application d'une surpres¬ sion.
On connaît également de nombreux types de petites pompes qui utilisent des membranes de pompage élastiques extensibles, en particulier en élastomer, et au moyen des¬ quelles des volumes de pompage élevés peuvent être at¬ teints. En tant qu'exemple de ce type de pompe, citons ceux utilisés pour les aquariums. Néanmoins, ces pompes ne sont pas du type issu de procédés d'usinage tel que décrit ci-dessus. En outre, les matériaux facilement extensibles utilisés laissent passer des gaz ou des vapeurs limitant ainsi les applications à des utilisations pour lesquelles une étanchéité non hermétique est acceptable. Dans des ap¬ plications dans lesquelles l'entourage de la pompe com¬ prend des composants électroniques contenus dans une chambre étanche par exemple, aucune vapeur ne devra cepen¬ dant s'échapper de la pompe.
Avec des matériaux hermétiquement étanches, comme le silicium qui est cassant et qui n'est pratiquement pas ex¬ tensible, il est nécessaire de trouver d'autres solutions aux problèmes évoqués ci-dessus.
Le but de la présente invention est de créer une micropompe entièrement auto-amorçante à étanchéité com¬ plète de l'intérieur de la micropompe et qui fonctionne également de façon correcte lorsque de l'air ou un autre gaz ou fluide compressible entre dans le volume interne de la micropompe.
La micropompe est caractérisée à cet effet par le fait que la chambre de pompage et les espaces de liaison sont conformés de façon que la diminution du volume interne de la micropompe due à la diminution du volume de la chambre de pompage est telle qu'un gaz contenu dans le volume interne de la micropompe est comprimé au moins à une pres¬ sion suffisante pour provoquer l'ouverture de l'organe de
FEUILLE DE REMPLACEMENT (REGLE 26; contrôle de sortie du fluide de façon que la micropompe est auto-amorçante.
Ainsi, il est possible d'amorcer la micropompe sans appareillage particulier de façon rapide et automatique, considérant que l'air contenu dans le volume interne est évacué par l'effet de pompage même de la micropompe, tout en ayant l'avantage d'une étanchéité parfaite de ce volume interne de la micropompe.
Avantageusement, ladite diminution du volume de la chambre de pompage est comprise entre 30 et 100% dudit volume interne, de préférence plus de 50%, les volumes desdits espaces de liaisons de la chambre de pompage aux organes de contrôle d'entrée et de sortie étant inférieurs à 30% du volume interne, de préférence inférieur à 15%.
On obtient ainsi un amorçage et une évacuation de l'air particulièrement efficace.
Selon un mode d'exécution préféré, la paroi mobile comprend une partie centrale rigide entourée d'une bordure élastique d'épaisseur plus faible venue d'une pièce avec la partie centrale rigide, cette dernière faisant saillie par rapport à la face de la paroi mobile qui est opposée à la chambre de pompage et étant destinée à coopérer avec lesdits moyens d'actionnement.
Une telle construction permet une évacuation très fa¬ vorable de la chambre de pompage, donc un amorçage fiable. La partie centrale rigide de la paroi mobile assure un dé¬ placement précis de cette paroi, comparable au mouvement d'un piston. Des différences de pression dans la chambre de pompage n'engendrent qu'un faible changement de volume grâce à la plus faible surface de la bordure élastique en¬ tourant la partie centrale rigide.
Favorablement la micropompe présente au moins une troisième plaquette accolée à la seconde plaquette, les moyens d'actionnement comportent un organe moteur monté de façon mobile sur la troisième plaquette, une pièce inter¬ médiaire étant disposée entre ladite porte centrale rigide et l'organe moteur.
Cette construction donne l'avantage d'un actionnement efficace. Des variations dans la forme et dans la déforma¬ tion de l'organe moteur, de préférence un élément piézoé¬ lectrique n'ont pas d'influence sur la forme de la paroi déformable.
De manière avantageuse, la pièce intermédiaire com¬ porte une face inférieure destinée à entrer en contact avec ladite partie centrale rigide présentant une surface similaire à celle de la partie centrale rigide.
L'application du mouvement d'actionnement est effec¬ tuée sur toute la largeur de la pièce centrale rigide qui ne subit donc aucune déformation, ce qui permet une éva¬ cuation très précise de la chambre de pompage.
Selon une variante avantageuse, les organes de contrôle d'entrée et/ou de sortie du fluide sont consti¬ tués par au moins un clapet comportant deux membranes usi¬ nées dans la seconde plaquette de façon à constituer une forme en V dans la position fermée du clapet, ces mem¬ branes étant susceptibles de se séparer pour former une ouverture médiane dans la position ouverte du clapet.
Ce genre de clapet ou de valve peut être de très petite taille de sorte que l'espace reliant le clapet à la
FEUILLE DE REMPLACEMENT (REGLE 26} chambre de pompage présente un volume extrêmement réduit, ce qui permet de renforcer très fortement l'effet d'auto- amorçage de la micropompe.
L'invention concerne également une utilisation en tant que micropompe susceptible d'être implantée dans le corps d'un patient.
D'autres avantages ressortent des caractéristiques ex¬ primées dans les revendications dépendantes et de la des¬ cription exposant ci-après l'invention plus en détails à l'aide de dessins qui représentent schematiquement et à titre d'exemple quatre modes d'exécution.
La figure 1 illustre un premier mode d'exécution de l'invention en coupe selon la ligne I-I de la figure 2.
La figure 2 est une vue en coupe horizontale selon la ligne II-II de la figure 1.
La figure 3 représente un second mode d'exécution en coupe.
La figure 4 représente un troisième mode d'exécution en coupe.
La figure 5 représente un quatrième mode d'exécution en coupe selon la ligne V-V de la figure 6.
La figure 6 est une vue en coupe horizontale selon la ligne VI-VI de la figure 5.
Les figures 7a) à 7d) illustrent un type particulier de clapet utilisé, représenté en coupes transversales et en vues de dessous pour les positions ouvertes et fermées.
La figure 8 représente un cinquième mode d'exécution en coupe selon la ligne VIII-VIII de la figure 9.
La figure 9 est une vue en coupe horizontale selon la ligne IX-IX de la figure 8. Les figures 10a et 1Ob représentent un autre type par¬ ticulier de clapet utilisé en coupe transversale et en vue en plan.
Sur les figures 1 à 6, 8 et 9, un même élément repré¬ senté sur plusieurs figures est désigné sur chacune de celles-ci par la même référence numérique. Dans les modes d'exécution qui vont être décrits, la micropompe est équi¬ pée d'un ou plusieurs clapet d'entrée ou d'un limitateur de débit et d'un clapet de sortie. Il convient de noter toutefois que l'invention s'applique également à des micropompes comportant plusieurs clapets disposés entre la chambre de pompage et la sortie. La micropompe peut égale¬ ment être munie d'une pluralité de sorties. Les clapets d'entrée et de sortie pourront être remplacés par tout autre organe de contrôle d'entrée ou de sortie du fluide, tel que des limitateurs de débit.
Il est à noter que, par souci de clarté, les épais¬ seurs de diverses plaquettes composant la micropompe ont été fortement exagérées sur les dessins.
En référence aux figures 1 et 2, la micropompe selon le premier mode d'exécution comporte une plaquette de base 2, en verre de préférence. Cette plaquette de base 2 est percée de deux canaux 4, 5 formant les conduits d'entrée et de sortie de la pompe.
Le conduit d'entrée 4 peut être raccordé à un réser¬ voir non illustré dans lequel se trouve la substance li¬ quide à pomper, par exemple un médicament à administrer avec un dosage précis. Dans cette application, la micro¬ pompe peut être portée sur le corps du patient, voire être implantée. Le conduit de sortie 5 peut être branché à une aiguille d'injection (non représentée) par exemple.
La plaquette de base 2 est surmontée d'une plaquette intermédiaire 6 en silicium ou en un autre matériau usi- nable par gravure à l'aide de techniques photolithogra¬ phiques. Elle est accolée à la plaquette de base 2 par des techniques de liaison connues, telle que la technique connue sous le terme anglais "anodic bonding" ou soudure anodique comportant un échauffement à environ 300°C et l'application d'une différence de potentiel d'environ 500V entre les plaquettes.
Une plaquette supérieure 8, de préférence en verre, est accolée par les mêmes techniques à la plaquette inter¬ médiaire 6.
A titre d'exemple, la plaquette intermédiaire 6 en si¬ licium peut avoir une orientation cristalline <100>, afin de se prêter avec succès à la gravure. Les plaquettes 2, 6 et 8 sont de préférence soigneusement polies. Ces pla¬ quettes 2, 6, et 8 sont ensuite avantageusement rendues hydrophiles, en particulier dans le cas où la substance utilisée dans la micropompe est une solution aqueuse. La plaquette en silicium 6 peut à cette fin être plongée dans du HNO3 bouillant.
Pour fixer les idées, les épaisseurs des plaquettes 2, 6 et 8 peuvent respectivement être d'environ 1mm, 0,3mm et 0,8mm pour une dimension en surface des plaquettes de l'ordre de 15 par 20 mm.
Les conduits d'entrée ou d'aspiration 4 et de sortie ou de refoulement 5 sont principalement reliés par trois clapets d'entrée 12, une chambre de pompage 14 et un cla¬ pet de sortie 16.
Les clapets d'entrée 12 sont illustrés plus particu¬ lièrement en référence aux figues 7a) à 7d) et comportent chacune deux membranes 18 usinées dans la plaquette en si¬ licium 6 de façon à constituer une forme en V dans la po¬ sition fermée du clapet (fig. 7c) et d)). Les membranes 18 sont susceptibles de se séparer à leur jonction pour for¬ mer une ouverture médiane 20 dans la position ouverte du clapet (fig. 7a) et b)). Ce type de valve ou clapet obtenu par micro-usinage est plus particulièrement décrit par L. Smith and B. Hôk dans un article intitulé "A silicon self- aligned non reverse valve" paru dans "Transducers 91 , Di- gest of Technical papers, pp. 1049.1051 IEEE catalog num- ber 91CH2817-5, IEEE, piscataway, NJ (1991).
Ces valves permettent une construction de très petite taille et ne nécessitent qu'un espace de liaison 22 de très faible volume pour le raccord à la chambre de pom¬ page. Le phénomène de microcavitation qui apparaît dans les valves du type habituel présentant un clapet coopérant avec un siège est évité. En effet, dans ces valves du type habituel, une forte diminution de la pression est observée très localement au niveau du siège de valve au moment de la séparation du clapet de son siège. Cette diminution de pression peut donner naissance à la formation de micro¬ bulles de gaz, lorsque la pression à cet endroit du li¬ quide devient inférieure à la tension de vapeur de celui- ci . Cet inconvénient ne peut pas apparaître avec le présent type de clapet 12 à membranes en V du fait que 1'écartement des deux membranes se fait de manière glis- - li ¬
sante avec écoulement du fluide le long des deux mem¬ branes.
Du fait de la dimension très faible des trois clapets, l'espace de liaison 22 situé sous les trois clapets d'en¬ trée 12 présente un volume très restreint et se raccorde immédiatement à la chambre de pompage 14.
Cette dernière est reliée au clapet de sortie 16 par un second espace de liaison 24 qui entoure la nervure an¬ nulaire 26 de ce clapet de sortie 16. Ce second espace de liaison 24 est de préférence également d'un volume aussi restreint que possible.
Le clapet de sortie 16 de type conventionnel est de même usiné dans la plaquette en silicium 6 et comporte une membrane 28 portant la nervure annulaire 26 revêtue d'une couche d'oxyde 27 conférant à la membrane 28 une précon¬ trainte sollicitant le sommet de la nervure 26 contre la plaquette inférieure 2 qui sert de siège de clapet. Des couches d'oxyde 30 appliquées de l'autre côté de la mem¬ brane 28 renforcent cette précontrainte. La nervure 26 dé¬ limite un compartiment 32 extérieur à la nervure 26 commu¬ niquant avec le conduit de sortie 5.
Il est bien entendu que l'on pourra également prévoir d'autres types d'organes de contrôle de sortie du fluide, tels que des clapets du type à membrane en V ou par exemple des limitateurs de débit.
La chambre de pompage 14 est de forme sensiblement circulaire. Son volume est modulé par une membrane de pom¬ page 36 constituant une paroi mobile ou déformable de la chambre de pompage 14. Cette paroi mobile est usinée dans la plaquette de silicium 6 et comporte une partie centrale rigide 38 relativement large par rapport à la largeur totale de la membrane de pompage 36. Le diamètre de cette partie centrale 38 varie entre 20 et 90 % du diamètre de la membrane de pompage 36, de préférence entre 50 et 80 %. Cette partie centrale rigide 38 comporte une épaisseur nettement plus grande que le bord annulaire 40 de la mem¬ brane de pompage. Pour fixer les idées, le bord 40 pré¬ sente une épaisseur entre 10 et 100μm, tandis que la par¬ tie centrale rigide 38 présente une épaisseur qui et de 10 à 50μm inférieure à l'épaisseur totale de la plaquette 6, ce qui donne par exemple une épaisseur de 300 μm.
Cette membrane de pompage 36 comporte sur sa surface inférieure en regard de la plaquette 2 des zones 42 munies d'une fine couche d'oxyde de silicium permettant d'éviter un collage de la membrane 36 à la plaquette 2. Une fine couche d'oxyde de silicium 44 similaire est prévue sur la surface supérieure de la partie centrale rigide 38 dans un but identique. Des couches d'oxyde de silicium 46, 48 ap¬ pliquées des deux côtés du bord annulaire 40 sont desti¬ nées à conférer à la membrane une certaine précontrainte (non visible) vers le haut à la figure 1. La partie cen¬ trale rigide 38 et la plaquette supérieure 8 avec laquelle elle coopère constituent des éléments de butée limitant le mouvement d'aspiration de la membrane de pompage 36.
Il est à noter que les clapets ou valves d'entrée 12 et de sortie 16 sont tous disposés du même côté d'une sur¬ face fictive médiane 49 de la plaquette 6; la chambre de pompage 14 se trouve du même côté de cette surface mé¬ diane. Le clapet de sortie 16, qui présente une construc¬ tion différente de celle des clapets d'entrée 12, s'ouvre en direction de cette surface médiane 49 tandis que les clapets d'entrée 12 s'ouvrent dans la direction opposée vers le bas en s'éloignant de cette surface médiane.
Un dispositif d1actionnement 50 de la membrane de pom¬ page 36 comporte un organe moteur sous forme d'un élément piézoélectrique 52 pourvu d'électrodes 54, 56 branchés à un générateur 58 destiné à fournir une tension alterna¬ tive. Cet élément peut être celui commercialisé par la so¬ ciété Philips sous la dénomination PXE-52. Il est fixé par tous moyens adéquats tels que collage ou soudure, sur une lame élastique 60 en métal, silicium ou en matière plas¬ tique. Cette lame 60 est montée par l'intermédiaire d'un élément d'espacement 62 sur la plaquette supérieure 8. Cet élément d'espacement 62 pourra être constitué par un an¬ neau de support en matière plastique, métallique ou sili¬ cium. Il pourrait également être formé par une épaisseur prédéterminée de colle ou par du verre venu d'une pièce avec la plaquette 8. Une pièce intermédiaire 64 en forme de punaise peut être rendue solidaire par sa tête plate 66 par tous moyens adéquats, tel que collage ou soudure, de la lame élastique 62. Elle agit sur la partie centrale rigide 38 de la membrane de pompage 36 grâce à sa tige verticale 68 traversant la plaquette supérieure par un perçage 69. Il peut par ailleurs exister un faible jeu ou une contrainte mécanique entre la tige verticale 68 et la membrane de pompage 36, lorsque la pompe est au repos.
Le dispositif d'actionnement 50 comprenant un élément piézoélectrique 52 et une lame élastique 60, pourra égale¬ ment être remplacé par un dispositif comprenant deux ou plusieurs plaquettes piézoélectriques accolées ou des disques piézocéramiques et métalliques combinés.
Ainsi, l'élément piézoélectrique 52 est indépendant de la membrane de pompage 36. Des effets d'hystérésis de l'é¬ lément piézoélectrique 52 ("piézocreep") ou des variations ou détériorations de cet élément n'ont pas d'influence sur la forme de la membrane de pompage 36 considérant que cette dernière est indépendante de l'élément piézoélec¬ trique 52 et mise en mouvement grâce à la pièce intermé¬ diaire 64. Cette construction permet d'obtenir un grand volume de fluide déplacé pour un diamètre donné de la mem¬ brane de pompage, considérant que la partie centrale rigide 38 agit à la manière d'un piston. Les parties usi¬ nées de la micropompe peuvent être davantage miniaturisées tout en conservant un dispositif d' actionnement d'une taille quelconque, relativement grande. Cette miniaturisa¬ tion des parties usinées permet d'abaisser les coûts de revient.
La micropompe décrite comporte un volume interne (Vi) comprenant le volume (Vp) de la chambre de pompage 14, le volume (Ve) de l'espace de liaison 22 délimité d'un côté par les clapets d'entrée 12 et relié de l'autre côté à la chambre de pompage 14, et le volume (Vs) de l'espace de liaison 24 vers le clapet de sortie, y compris sa partie annulaire entourant la nervure annulaire 26. Les moyens d'actionnement 50 déplacent la paroi mobile 26 pour provo¬ quer une variation périodique (_ p), diminution puis aug¬ mentation du volume (Vp) de la chambre de pompage 14. La diminution du volume interne (Vi) de la micropompe due à la diminution du volume (Vp) de la chambre de pompage est telle qu'un gaz, par exemple de l'air, ou tout autre fluide compressible contenu dans le volume interne de la micropompe est comprimé au moins à une pression suffisante pour provoquer l'ouverture du clapet de sortie 16 de façon que cet air puisse être chassé de la micropompe qui est alors auto-amorçante.
Pour obtenir cet effet, il est nécessaire que la va¬ riation ou diminution (ΔVp) du volume de la chambre de pompage 14, provoquée par le mouvement de la paroi mobile 36 ne soit pas beaucoup plus faible que le volume (Vp) de la chambre de pompage. En outre, le volume (Ve et Vs) des espaces de liaison 22 et 24 doit être aussi faible que possible, ce qui peut être obtenu par micro-usinage.
Avantageusement, la variation ou diminution (ΔVp) est comprise entre 30 et 100 % du volume interne (Vi), de pré¬ férence plus de 50 %.
Le volume (Ve et Vs) des deux espaces de liaison 22 et 24 ensemble est avantageusement inférieur à 30 % du volume interne (Vi) et de préférence inférieur à 15 % de ce volume interne.
Pour fixer les idées, le mode d'exécution pourra pré¬ senter une paroi mobile 36 d'un diamètre de 7 mm avec une partie centrale rigide d'un diamètre de 5 mm et un dépla¬ cement vertical de 10 micromètres. La variation ou diminu¬ tion du volume (ΔVp) de la chambre de pompage 14 sera alors approximativement de 0.28 mm3. Le volume (Vp) de la chambre de pompage étant de 0,38 mm3, celui (Ve) de l'es¬ pace de liaison vers les clapets d'entrée 22 de 0,015 mm3, celui (Vs) de l'espace de liaison 24 vers le clapet de sortie de 0,03 mm3. Le volume interne (Vi) sera approxima- tivement de 0,43 mm3.
Ainsi la variation ou diminution (ΔVp) sera d'environ 65 % du volume interne (Vi) et le volume (Ve + Vs) des deux espaces de liaison 22, 24 ensemble ne sera que de 10% environ du volume interne (Vi) de la micropompe.
En admettant que la micropompe au repos, non amorcée, est remplie d'air à une pression d'un bar et que l'on com¬ prime ensuite cet air à un volume de 35 % du volume à l'o¬ rigine, une pression supérieure à 2,5 bar est générée dans le volume interne (Vi) de la micropompe.
Etant donné qu'une pression interne de 1.5 bar est né¬ cessaire pour provoquer l'ouverture du clapet de sortie 16, la pression générée à l'intérieur de la micropompe est largement suffisante pour rendre cette dernière entière¬ ment auto-amorçante. Grâce à la pièce centrale rigide 38 d'un diamètre large fonctionnant à la manière d'un piston et aux espaces de liaison 22 et 24 très petits, il est possible d'obtenir des pressions suffisantes à l'intérieur de la micropompe pour permettre un auto-amorçage.
Ceci n'est pas le cas dans les micropompes connues qui comportent généralement un espace d'un volume assez consi¬ dérable du côté intérieur du clapet d'entrée. Ainsi, le volume interne est généralement de l'ordre de 3 mm3, tan¬ dis que la variation de volume due au mouvement de pompage est d'environ 0,1 mm3 avec une membrane de pompage clas¬ sique d'un diamètre de 7 mm. Une telle micropompe ne peut en l'occurence pas fonctionner dès qu'un gaz remplit par¬ tiellement on entièrement son volume interne. Cet inconvé¬ nient majeur du fonctionnement et de l'amorçage est entiè¬ rement évité grâce à la présente invention. De même, lors de la montée complète de la membrane de pompage 36, l'aug¬ mentation du volume interne (Vi) de la micropompe due à l'augmentation du volume (Vp) de la chambre de pompage 14 est telle que le gaz, à savoir l'air, restant dans le volume interne de la micropompe après la fermeture du cla¬ pet de sortie 16 est décomprimé à une pression suffisam¬ ment basse pour provoquer l'ouverture du ou des clapets d'entrée 12.
La pièce centrale rigide 36, plus épaisse, destinée à entrer en contact avec la plaquette supérieure 8, forme un élément de butée opposé aux éléments de butée constitués par les zones à oxydes de silicium 42 entrant en contact avec la plaquette de base 2.
Les mouvements d'aspiration et d'expulsion de la mem¬ brane de pompage 36 sont ainsi mécaniquement contrôlés du côté supérieur et inférieur. Ceci permet d'obtenir une quantité de substance pompée très précise à chaque aller- retour de la membrane. La partie centrale rigide 38 est comparable à un piston dont le mouvement est bien défini. Etant donné que le bord annulaire 40 de la membrane de pompage 36 présente une surface relativement petite par rapport à la surface totale de la membrane de pompage 36, des différences de pression dans la chambre de pompage 14 n'engendrent que de faibles changements de volume sous la membrane de pompage 36.
En outre, les zones à oxyde 42 évitent un effet de collage de la membrane de pompage 36 pendant le soudage anodique ou un effet de succion de cette membrane, lorsque celle-ci se déplace de sa position la plus basse vers le haut.
Des contacts électriques ou électrodes non illustrés peuvent être disposés en regard l'un de l'autre sur la partie centrale rigide 38 et sur la surface inférieure de la plaquette supérieure 8. Ces contacts sont alors prolon¬ gés vers l'extérieur de la pompe et connectés à un circuit électrique non illustré permettant de contrôler le fonc¬ tionnement de la membrane de pompage 36 et l'aspiration du fluide. Des circuits adéquats sont par exemple décrits dans la demande de brevet européen No 0.498.863.
Le mode général de fonctionnement de cette pompe est semblable à celui décrit dans l'article de H. Van Lintel et al. intitulé : " A piezoelectric micropump based on micromachining of silicon" paru dans "Sensor and Actua¬ tors" No 15 (1988) pages 153 à 167.
Par rapport à ce type de micropompe connu, la micro¬ pompe conformément à la présente invention permet donc d'obtenir un auto-amorçage sûr et fiable. En outre, la micropompe présente un dosage très précis à chaque mouve¬ ment alternatif, un dosage qui est pratiquement indépen¬ dant de la pression régnant dans les conduits d'entrée et de sortie, de la performance de l'élément piézoélectrique et des détériorations et phénomènes d'hystérésis connus pour ce genre de dispositif d'actionnement. En outre, le mouvement de la membrane de pompage est contrôlé de façon précise autant par la pièce intermédiaire rigide 38 que les zones à oxyde 42. Le débit est donc défini par les ca¬ ractéristiques d'usinage de la membrane de pompage 36 et par la fréquence du dispositif d'actionnement. Ce type de pompe permet l'utilisation d'éléments pié¬ zoélectriques possédant des variations assez larges dans leurs caractéristiques. En outre, il n'est pas nécessaire de calibrer les pompes pour chaque élément utilisé.
Du fait de la fixation extérieure de l'élément, ce dernier peut être aisément remplacé en cas de défectuosi¬ té.
Il est bien entendu que le mode d'exécution décrit ci- dessus ne présente aucun caractère limitatif et qu'il peut recevoir toutes modifications désirables à l'intérieur du cadre tel que défini par la revendication 1. En particu¬ lier, la construction des clapets et l'agencement des cla¬ pets et des conduits de sortie et d'entrée, ainsi que de la chambre de pompage pourra être très différent. Le cla¬ pet de sortie pourra également être de type à deux mem¬ branes en V. La chambre de pompage et ces clapets ou organes de contrôle du fluide pourront également être dis¬ posés en partie ou dans leur totalité sur la plaquette de base, si tel semble préférable. Les clapets ou organes de contrôle sont alors disposés sur le côté de la plaquette sur laquelle ils sont usinés qui est le plus proche de la chambre de pompage, les clapets d'entrée 12 s'ouvrant vers l'extérieur de la plaquette sur laquelle ils se trouvent, tandis que les clapets de sortie 16 s'ouvrent vers l'inté¬ rieur de la plaquette sur laquelle ils se trouvent. La distribution des zones à oxyde pourra être adaptée aux précontraintes souhaitées pour les clapets et le pompage. Le dispositif d'actionnement pourra présenter un organe moteur d'un autre type qu'un élément piézoélectrique. La pièce intermédiaire 64 pourrait être venue d'une pièce avec la lame élastique 60 ou encore avec l'élément piézoélectrique. Elle pourrait également être librement disposée entre la lame élastique et la membrane de pom¬ page.
La pompe pourra en outre présenter un ou plusieurs vis traversant la plaquette supérieure 8 et coopérant par leur extrémité avec la partie centrale rigide 38. Ces vis constituent ainsi des éléments de butées réglables permet¬ tant d'ajuster l'amplitude de mouvement d'aspiration.
Des vis de réglage pourront également être montées sur la lame 60. En outre, il serait possible de monter des vis de réglage dans la tête plate 66 de la pièce intermé¬ diaire.
Le deuxième mode d'exécution illustré à la figure 3 diffère du premier mode d'exécution uniquement par la constitution du dispositif d'actionnement. De ce fait, des éléments analogues aux deux modes d'exécution portent les mêmes chiffres de référence et ne seront plus décrits en détails.
Ce second mode d'exécution comporte également une pla¬ quette de base 2 percée de conduits d'entrée 4 et de sor¬ tie 5 et une plaquette supérieure 8. Entre ces plaquettes 2 et 8 est intercalée la plaquette intermédiaire 6 en si¬ licium usinée par des techniques photolitographiques pour obtenir un ou plusieurs clapets d'entrée 12 et de sortie 16 et une chambre de pompage 14.
Des fines couches d'oxyde 27, 30, 46, 48 permettent d'obtenir des précontraintes prédéterminées dans la mem- brane en silicium usinée.
La chambre de pompage 14 est de forme sensiblement circulaire et reliée par deux espaces de liaison 22, 24 aux clapets d'entrée et de sortie. Usinée dans la pla¬ quette de silicium 6, la membrane de pompage 36 sous forme d'une paroi mobile, déformable comprend une partie cen¬ trale rigide 38 plus épaisse.
Le dispositif d'actionnement 150 présente une lame mé¬ tallique élastique 160 présentant des bords recourbés 162 formant des éléments d'espacement collés à la surface su¬ périeure de la plaquette 8. Un organe moteur sous forme d'un élément piézoélectrique 152 est fixé par soudure ou collage à la lame 160. Il agit grâce à une pièce intermé¬ diaire 164 sur la partie centrale rigide 38 de la membrane de pompage 36. Cette pièce intermédiaire 164 présente une section droite et une surface inférieure similaire à celle de la partie centrale rigide 38 et est fixée à cette der¬ nière par tous moyens adéquats, tel que la soudure ano¬ dique ou le collage. Grâce à cette pièce intermédiaire 164 d'un diamètre considérable, la membrane de pompage 36 est déplacée verticalement sans provoquer de déformation sur la plus grande partie de sa surface. L'évacuation de la chambre de pompage 14 est donc particulièrement efficace, ce qui renforce encore davantage l'effet d'auto-amorçage de la microvalve pour une géométrie donnée du volume interne (Vi). En outre, la construction et le montage sont simples, ce qui permet de baisser le prix de revient de la micropompe.
Le troisième mode d'exécution représenté à la figure 4 diffère du premier et second mode d'exécution principale- ment par la constitution du clapet de sortie 216 et du dispositif d'actionnement 250. De ce fait, des éléments analogues aux trois modes d'exécution portent les mêmes chiffres de référence et ne seront plus décrits de façon détaillée.
Ce troisième mode d'exécution comporte également une plaquette de base 2 munie de conduit d'entrée 4 et de sor¬ tie 5 et une plaquette supérieure 8. Entre ces plaquettes 2 et 8 est intercalée la plaquette intermédiaire 6 en si¬ licium usinée par des techniques photolitographiques pour obtenir un ou plusieurs clapets d'entrée 12 et de sortie 216 et une chambre de pompage 14. Des fines couches d'oxyde 227, 230, 46 et 48 permettent d'obtenir des pré¬ contraintes prédéterminées dans la membrane en silicium usinée.
La chambre de pompage est également de forme circu¬ laire et reliée par des espaces de liaison 22 et 24 aux clapets d'entrée et de sortie.
La plaquette supérieure 208 en verre est dans ce mode d'exécution d'une épaisseur faible de l'ordre de 0,2 mm de façon à pouvoir être déformée élastiquement par l'élément piézoélectrique 252, qui est fixé par collage à sa surface supérieure. L'élément piézoélectrique 252 agit par défor¬ mation élastique de la plaquette en verre sur la partie centrale rigide 38 pour obtenir le mouvement de pompage.
Cette construction ne nécessite pas de perçage de la plaquette en verre, donc un montage plus rapide et aisé.
Le clapet de sortie 216 comporte une membrane non per¬ cée 228 présentant une nervure annulaire 226 disposée autour du canal de sortie 5 et recouvert d'une fine couche d'oxyde de silicium 227.
Ce mode d'exécution comprend en outre une chambre 229 disposée entre la membrane 228 et la plaquette supérieure 208. Cette chambre 229 pourra être reliée au conduit d'en¬ trée 4 et constituer une protection contre des surpres¬ sions à l'entrée de la microvalve fermant le conduit de sortie 5 en cas de surpression. Elle pourra également être reliée à des organes de détection du fonctionnement de la valve. Finalement, elle pourra aussi être scellée ou re¬ liée à l'air ambiant. Cette construction nécessite un très bon alignement entre la nervure annulaire 226 et le conduit de sortie 5 qui doit présenter un faible diamètre.
Le quatrième mode d'exécution représenté aux figures 5 et 6 comprend une plaquette de base 2 comportant des conduits d'entrée 4 et de sortie 5 et une plaquette 6 en silicium usinée, accolée à la plaquette de base.
Le conduit d'entrée 4 est muni d'un raccord 311 connecté à un tuyau 313 lui-même raccordé à un réservoir 315 dans lequel se trouve la substance à pomper. Le réser¬ voir 315 est obturé par un capuchon percé 317. Un piston mobile 319 isole le volume utile du réservoir 315 de l'ex¬ térieur.
Le conduit de sortie 5 comporte un raccord 321 qui peut être connecté à une aiguille d'injection (non repré¬ sentée) grâce à un tuyau 323.
Au lieu d'un clapet d'entrée, ce mode d'exécution pré¬ sente en tant qu'organe de contrôle du fluide d'entrée, un limitateur de débit 312 formé par un conduit de très faible section reliant le conduit d'entrée 4 directement à la chambre de pompage 14. L'espace de liaison entre ces deux éléments présente donc ici un très faible volume, ce qui est particulièrement favorable pour l'auto-amorçage. Le clapet de sortie 316 est similaire à celui du troisième mode d'exécution et comprend une membrane 328 non percée avec une nervure annulaire 326 entourant le conduit de sortie 5. La nervure annulaire 326 est recouverte d'une couche fine 327 en oxyde de silicium destinée à induire une précontrainte dans la membrane 328 sollicitant la ner¬ vure annulaire 326 contre la plaquette de base 2 qui lui sert de siège de clapet.
Le dispositif d'actionnement 350 est constitué par un élément piézoélectrique 352 collé directement sur la mem¬ brane de pompage 336 et connecté à un générateur 58 desti¬ né à fournir une tension alternative. L'élément piézoélec¬ trique 352 sollicite la membrane de pompage 336 en direc¬ tion de la surface supérieure de la plaquette de base 2 pour obtenir une compression rapide de fluide ou gaz contenu dans la chambre de pompage 14 et donc une éléva¬ tion rapide de la pression qui est suffisante pour ouvrir le clapet de sortie et pour chasser ce fluide ou gaz par la canal de sortie 5.
La fréquence d'actionnement de l'élément piézoélec¬ trique est dans ce mode d'exécution à limitateur de débit plus élevé, à savoir entre 10 et 100 Hertz au lieu de 1 à 10 Hertz pour les modes d'exécution à clapets d'entrée. Considérant cette fréquence plus élevée et la faible sec¬ tion de flux du limitateur de débit 312, il s'installe un courant d'auto-amorçage susceptible d'évacuer le gaz contenu dans le volume interne (Vi) de la micropompe vers le conduit de sortie. Il est bien entendu que dans ce mode d'exécution également, la variation (ΔVp) du volume de la chambre de pompage 14 ne doit pas être beaucoup plus faible que le volume (Vp) de la chambre de pompage et le volume interne (Vi) de la micropompe. Les volumes (Ve et Vs) des espaces de liaison 322 et 324 vers le limitateur et vers le clapet de sortie 316 doivent être aussi faibles que possible pour obtenir un auto-amorçage efficace.
Le cinquième mode d'exécution représenté aux figures 8 à 10 comprend, comme le premier mode d'exécution, une pla¬ quette de base 2 en verre avec des conduits d'entrée et de sortie 5, une plaquette intermédiaire 6 en silicium usiné par gravure et une plaquette supérieure 8 de préférence en verre. Ce mode d'exécution est muni de deux valves d'en¬ trée 412 qui sont du type décrit dans l'article de Shoji Sh. et al., Technical Digest of the 7th Sensor Symposium, 1988, pages 217 à 220. En référence à la figure 10, ces valves en silicium polycristallin sont obtenues par des techniques de microusinage de surface. Elles comportent une structure annulaire 418 accolée à la plaquette 6 et reliée par quatre bras 419 à une pièce centrale d'obtura¬ tion 420 destinée à coopérer avec un trou 421 prévu dans la plaquette 6.
La valve de sortie 16 est du même type que celle dé¬ crit en référence à la figure 1. La membrane de pompage 436 présente ici cependant dans la position de repos une forme bombée vers le haut et comporte une partie centrale 438 de plus petit diamètre. Sa surface inférieure dirigée vers la chambre de pompage 14 est munie d'une pluralité de zones circulaires 442 à oxyde de silicium destinées à pré- venir un collage ou une succion de la membrane 436. La ligne interrompue 437 indique la limite du contact entre la membrane 436 et la plaquette de base 2. Cette membrane 436 comporte en outre une creusure 439 reliant l'espace de liaison 422 à l'espace de liaison 424. Cette creusure 439 est également destinée à éviter une succion de la membrane 436. Elle pourrait bien entendu également être prévue dans la plaquette de base 2.
Le dispositif d'actionnement 450 comprend un élément piézoélectrique 452 de forme annulaire accolé à la mem¬ brane 436 autour de sa partie centrale 438. Deux élec¬ trodes 454 et 456 sont connectées par des fils 457 à un générateur de tension alternative. Les ouvertures 459 dans la plaquette 8 sont fermées de façon hermétique par exemple au moyen d'une colle epoxy ou d'une soudure.
Lorsque l'élément piézoélectrique 452 est activé, la membrane 436 se déplace vers le bas à la figure 8 pour présenter une forme quasi plate, ce qui permet d'obtenir un excellent rapport de compression de la chambre de pom¬ page 1 qui présente alors un volume résiduel très faible. La hauteur du bombage de la membrane de pompage 436 cor¬ respond donc sensiblement au déplacement de pompage de cette membrane.
Cette forme bombée de la membrane 436 peut être obte¬ nue en mettant sous sous-pression la chambre 460 située au-dessus de la membrane hermétiquement fermée. Elle pour¬ rait également être obtenue en appliquant sur sa surface supérieure une couche d'oxyde induisant une pré-contrainte de déformation adéquate. Il est à noter qu'une membrane ainsi bombée vers le haut pourrait également être très avantageuse dans les autres quatre modes d'exécution décrits précédemment. De même, les valves 412 à silicium polycristallin pourrait également être utilisées dans le cadre des quatre autres modes d'exécution et en tant que valve de sortie. Le microusinage de ces valves pourrait également être obtenu avec d'autres matériaux, tels que le nitrure de silicium ou des métaux utilisés en galvanoplastie. La pièce cen¬ trale 438 servant de butée d'ouverture pourrait également manquer, mais dans le cas présent elle est utile pour aug¬ menter la précision de pompage et en tant qu'élément de sécurité pour éviter une rupture de la membrane de pompage 436 lors de surpression dans le canal d'entrée 4.
Ainsi, les cinq modes d'exécution décrits permettent, grâce à un effet d'auto-amorçage, d'évacuer l'air entrant dans la pompe en observant uniquement une diminution tem¬ poraire du débit de pompage jusqu'à ce que l'ensemble de l'air ait été entraîné vers le conduit de sortie de la micropompe.
Les modes d'exécution décrits sont particulièrement adaptés pour l'administration de médicaments et pour une implantation dans le corps d'un patient.

Claims

REVENDICATIONS
1. Micropompe comportant au moins une plaquette de base (2) et une seconde plaquette (6) accollée à la plaquette de base dont au moins l'une de ces plaquettes est usinée de manière à définir une chambre de pompage (14), au moins un organe de contrôle d'entrée du fluide (12) pour relier la chambre de pompage à au moins une entrée (4) de la micropompe, et au moins un organe de contrôle de sortie du fluide (16) pour relier la chambre de pompage (14) à au moins une sortie (5) de la micropompe, la chambre de pom¬ page (14) comportant une paroi mobile (36) usinée dans l'une des plaquettes et susceptible d'être déplacée sui¬ vant deux sens opposés lors de l'aspiration d'un fluide de l'entrée dans la chambre de pompage ou lors de l'expulsion de ce fluide de la chambre de pompage vers la sortie, des moyens d'actionnement (50) étant prévus pour déplacer ladite paroi mobile (36) pour provoquer une diminution et une augmentation périodique du volume de la chambre de pompage (50), la micropompe comportant un volume interne (Vi) comprenant le volume (Vp) de la chambre de pompage (14), le volume (Ve) d'un espace de liaison (22) de la chambre de pompage à 1'organe de contrôle d'entrée (12) et le volume (Vs) d'un espace de liaison de la chambre de pompage à l'organe de contrôle de sortie (16), caractéri¬ sée en ce que la chambre de pompage (14) et les espaces de liaison (22, 24) sont conformés de façon que la diminution du volume interne de la micropompe due à la diminution ; (ΔVp) du volume de la chambre de pompage est telle qu'un gaz contenu dans le volume interne de la micropompe est com- primé au moins à une pression suffisante pour provoquer l'ouverture de l'organe de contrôle de sortie (16) du fluide de façon que la micropompe est auto-amorçante.
2. Micropompe selon la revendication 1 , caractérisée en ce que la chambre de pompage (14) et les espaces de liaison (22, 24) sont conformés de façon que l'augmentation du volume interne de la micropompe due à l'augmentation du volume de la chambre de pompage est telle que le gaz res¬ tant dans la micropompe après la fermeture de l'organe de contrôle de sortie (16) du fluide est décomprimé à une pression suffisamment basse pour provoquer l'ouverture de l'organe de contrôle d'entrée du fluide (12).
3. Micropompe selon la revendication 1 ou 2, caractérisée en ce que ladite diminution du volume (ΔVp) de la chambre de pompage est comprise entre 30 et 100% dudit volume interne (Vi), de préférence plus de 50%, les volumes (Ve et Vs) desdits espaces de liaisons de la chambre de pom¬ page (1 ) aux organes de contrôle d'entrée (12) et de sor¬ tie (16) étant inférieurs à 30% du volume interne (Vi), de préférence inférieur à 15%.
4. Micropompe selon la revendication 1, caractérisée en ce que la chambre de pompage (14) est disposée d'un côté d'une surface médiane de la plaquette dans ou sur laquelle elle est usinée, chacun des organes de contrôle d'entrée (12) et de sortie (16) étant disposé dans ou sur le côté de la plaquette sur laquelle il est usiné qui est le plus proche de la chambre de pompage.
5. Micropompe selon la revendication 4, caractérisée en ce que les organes d'entrée et de sortie (12,16) sont des valves ou clapets, le ou les organes d'entrée (12) s'ou¬ vrant vers l'extérieur de la plaquette sur laquelle il(s) se trouve(nt), le ou les organes de sortie (16) s'ouvrant vers l'intérieur de la plaquette sur laquelle il(s) se trouve(nt) .
6. Micropompe selon l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce que les organes d'entrée (12) pré¬ sentent une construction différente de celle des organes de sortie (16).
7. Micropompe selon l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce que la paroi mobile (36) comprend une partie centrale rigide (38) entourée d'une bordure élas¬ tique (40) d'épaisseur plus faible venue d'une pièce avec la partie centrale rigide (38), cette dernière faisant saillie par rapport à la face de la paroi mobile qui est opposée à la chambre de pompage (14) et étant destinée à coopérer avec lesdits moyens d'actionnement (50).
8. Micropompe selon la revendication 7, caractérisée en ce que la largeur de ladite partie centrale rigide (38) varie entre 20 et 90 % de la largeur de la paroi mobile (36), de préférence entre 50 et 80 %.
9. Micropompe selon l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce qu'elle présente au moins une troisième plaquette (8) accolée à la seconde plaquette (6), les moyens d'actionnement (50) comportent un organe moteur (52) monté de façon mobile sur la troisième plaquette, une pièce intermédiaire (64) étant disposée entre ladite par¬ tie centrale rigide (38) et l'organe moteur (52).
10. Micropompe selon la revendication 9, caractérisée en ce que l'organe moteur (52) est monté de façon mobile sur la face extérieure de ladite troisième plaquette (8), ladite pièce intermédiaire (64) traversant cette troisième plaquette (8) par une ouverture (69).
11. Micropompe selon la revendication 10, caractérisée en ce que l'organe moteur est un élément piézoélectrique (52) qui est monté par l'intermédiaire d'un élément d'espace¬ ment (62) sur la face extérieure de la troisième plaquette (8).
12. Micropompe selon la revendication 10 ou 11, caractéri¬ sée en ce que la pièce intermédiaire (64) comprend une tête plate (66) solidaire de l'organe moteur (52) et une tige (68) traversant la troisième plaquette (8) et agis¬ sant par son extrémité sur la paroi mobile (36).
13. Micropompe selon la revendication 9, caractérisée en ce que la pièce intermédiaire (164) comporte une face in¬ férieure destinée à entrer en contact avec ladite partie centrale rigide (38) présentant une surface similaire à celle de la partie centrale rigide (38).
14. Micropompe selon la revendication 7, caractérisée en ce qu'elle comporte une troisième plaquette (208) présen¬ tant une épaisseur telle qu'elle puisse être déformée élastiquement par le dispositif d'actionnement (250) qui est monté sur la face extérieure de la troisième plaquette (208), la face intérieure de cette troisième plaquette étant susceptible de coopérer avec la partie centrale rigide (38) pour déplacer la paroi mobile (36).
15. Micropompe selon la revendication 1, caractérisée en ce que les moyens d'actionnement (350,450) comprennent un élément piézoélectrique (352,452) monté directement sur ladite paroi mobile (336,436).
16. Micropompe selon la revendication 9 ou 15, caractéri¬ sée en ce que la paroi mobile (36,436) comprend une partie centrale rigide (38, 438),agencée de façon à entrer en contact avec ladite troisième plaquette (8) pour consti¬ tuer un élément de butée limitant le mouvement d'aspira¬ tion du fluide de la paroi mobile (36,436).
17. Micropompe selon l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce que la paroi mobile (436) présente dans la position de repos une forme bombée vers l'extérieur de la chambre de pompage (14).
18. Micropompe selon la revendication 17, caractérisée en ce que la hauteur de la forme bombée correspond sensible¬ ment au déplacement de pompage effectué par la paroi mobile (436) .
19. Micrompompe selon la revendication 17, caractérisée en ce que la forme bombée de la paroi mobile (436) est pro¬ duite par la sous-pression existant dans une chambre (460) située sur la face arrière de la paroi mobile (436) et/ou par la présence d'au moins une couche d'un matériau appli¬ qué sur la surface de la paroi mobile (436) induisant une pré-contrainte de déformation.
20. Micropompe selon l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce que la face de la paroi mobile (36,436) qui est dirigée vers l'intérieur de la chambre de pompage (14) est destinée à venir buter contre la plaquette (2) située en regard pour limiter le mouvement d'expulsion du fluide.
21. Micropompe selon la revendication 1 , caractérisée en ce que les faces de la paroi mobile (36) comprennent des zones (42, 44) constituées dans un matériau destiné à évi¬ ter un collage de ladite face contre la plaquette (2, 8) située en regard.
22. Micropompe selon l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce que les organes de contrôle d'entrée et/ou de sortie du fluide sont constitués par au moins un clapet (12) comportant deux membranes (18) usinées dans la seconde plaquette (6) de façon à constituer une forme en V dans la position fermée du clapet, ces membranes (18) étant susceptibles de se séparer pour former une ouverture médiane (20) dans la position ouverte du clapet.
23. Micrompompe selon l'une des revendications précé¬ dentes, caractérisée en ce que les organes de contrôle d'entrée et/ou de sortie du fluide sont constitués par au moins une valve (412) en un matériau usiné par microusi¬ nage de surface.
24. Micropompe selon l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce que les organes de contrôle d'entrée et/ou de sortie du fluide sont constitués par un limita¬ teur de débit (312) présentant une section de flux res¬ treinte.
25. Micropompe selon la revendication 9 ou 14, caractéri¬ sée en ce que l'organe de contrôle de sortie du fluide comprend une membrane de clapet (228) présentant une ner¬ vure annulaire (226) sollicitée contre une plaquette (2) située en regard et entourant la sortie (5) de la micro¬ pompe, cette dernière comportant au moins une chambre (229) délimitée par la face de la membrane de clapet (228) opposée à la nervure annulaire (226) et la troisième pla¬ quette (208) ou la plaquette de base, cette chambre (229) étant destinée à former une cavité active ou de contrôle de la micropompe.
26. Utilisation d'une micropompe selon l'une des revendi¬ cations 1 à 25 pour l'administration de médicaments en tant que micropompe susceptible d'être implantée dans le corps d'un patient.
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US08/676,146 US5759014A (en) 1994-01-14 1995-01-12 Micropump
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AU13263/95A AU679311B2 (en) 1994-01-14 1995-01-12 Micropump

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US (1) US5759014A (fr)
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DE (1) DE69500529T2 (fr)
ES (1) ES2107908T3 (fr)
WO (1) WO1995019502A1 (fr)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1997029283A1 (fr) * 1996-02-09 1997-08-14 Westonbridge International Limited Filtre micro-usine pour micropompe
WO1998014707A1 (fr) * 1996-10-03 1998-04-09 Westonbridge International Limited Dispositif fluidique micro-usine et procede de fabrication
FR2757906A1 (fr) * 1996-12-31 1998-07-03 Westonbridge Int Ltd Micropompe avec piece intermediaire integree
WO1999009321A1 (fr) * 1997-08-20 1999-02-25 Westonbridge International Limited Micropompe comprenant un organe de controle d'entree permettant son auto-amorcage
DE102004011726A1 (de) * 2004-03-05 2005-09-22 Ing. Erich Pfeiffer Gmbh Dosiervorrichtung
US7204961B2 (en) * 1998-03-04 2007-04-17 Hitachi, Ltd. Liquid feed apparatus and automatic analyzing apparatus
US7645383B2 (en) 1997-09-26 2010-01-12 Boehringer Ingelheim International Gmbh Microstructured filter

Families Citing this family (230)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5919582A (en) 1995-10-18 1999-07-06 Aer Energy Resources, Inc. Diffusion controlled air vent and recirculation air manager for a metal-air battery
DE19546570C1 (de) * 1995-12-13 1997-03-27 Inst Mikro Und Informationstec Fluidpumpe
WO1997029538A1 (fr) * 1996-02-10 1997-08-14 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Microactionneur bistable a membranes couplees
DE19648458C1 (de) * 1996-11-22 1998-07-09 Evotec Biosystems Gmbh Mikromechanische Ejektionspumpe zum Heraustrennen kleinster Fluidvolumina aus einem strömenden Probenfluid
DE29724735U1 (de) * 1996-12-11 2003-11-13 Gesim Ges Fuer Silizium Mikros Mikroejektionspumpe
US6520778B1 (en) 1997-02-18 2003-02-18 Formfactor, Inc. Microelectronic contact structures, and methods of making same
DE19802367C1 (de) * 1997-02-19 1999-09-23 Hahn Schickard Ges Mikrodosiervorrichtungsarray und Verfahren zum Betreiben desselben
US7485263B2 (en) * 1997-08-26 2009-02-03 Eppendorf Ag Microproportioning system
US6833242B2 (en) * 1997-09-23 2004-12-21 California Institute Of Technology Methods for detecting and sorting polynucleotides based on size
US7214298B2 (en) * 1997-09-23 2007-05-08 California Institute Of Technology Microfabricated cell sorter
US6106245A (en) * 1997-10-09 2000-08-22 Honeywell Low cost, high pumping rate electrostatically actuated mesopump
US5836750A (en) * 1997-10-09 1998-11-17 Honeywell Inc. Electrostatically actuated mesopump having a plurality of elementary cells
DE19802368C1 (de) * 1998-01-22 1999-08-05 Hahn Schickard Ges Mikrodosiervorrichtung
US6807734B2 (en) * 1998-02-13 2004-10-26 Formfactor, Inc. Microelectronic contact structures, and methods of making same
US6247908B1 (en) * 1998-03-05 2001-06-19 Seiko Instruments Inc. Micropump
US6780591B2 (en) 1998-05-01 2004-08-24 Arizona Board Of Regents Method of determining the nucleotide sequence of oligonucleotides and DNA molecules
US7875440B2 (en) 1998-05-01 2011-01-25 Arizona Board Of Regents Method of determining the nucleotide sequence of oligonucleotides and DNA molecules
US6148635A (en) * 1998-10-19 2000-11-21 The Board Of Trustees Of The University Of Illinois Active compressor vapor compression cycle integrated heat transfer device
US6672875B1 (en) 1998-12-02 2004-01-06 Formfactor, Inc. Spring interconnect structures
US6491968B1 (en) 1998-12-02 2002-12-10 Formfactor, Inc. Methods for making spring interconnect structures
TW589453B (en) * 1998-12-02 2004-06-01 Formfactor Inc Lithographic contact elements
US6268015B1 (en) 1998-12-02 2001-07-31 Formfactor Method of making and using lithographic contact springs
US6255126B1 (en) * 1998-12-02 2001-07-03 Formfactor, Inc. Lithographic contact elements
US6475658B1 (en) 1998-12-18 2002-11-05 Aer Energy Resources, Inc. Air manager systems for batteries utilizing a diaphragm or bellows
US6436564B1 (en) 1998-12-18 2002-08-20 Aer Energy Resources, Inc. Air mover for a battery utilizing a variable volume enclosure
JP2000314381A (ja) * 1999-03-03 2000-11-14 Ngk Insulators Ltd ポンプ
US20030022383A1 (en) * 1999-04-06 2003-01-30 Uab Research Foundation Method for screening crystallization conditions in solution crystal growth
US7250305B2 (en) * 2001-07-30 2007-07-31 Uab Research Foundation Use of dye to distinguish salt and protein crystals under microcrystallization conditions
US7247490B2 (en) * 1999-04-06 2007-07-24 Uab Research Foundation Method for screening crystallization conditions in solution crystal growth
ATE357656T1 (de) * 1999-04-06 2007-04-15 Univ Alabama Res Found Vorrichtung zum screening von kristallisierungsbedingungen in lösungen zur kristallzüchtung
US7214540B2 (en) 1999-04-06 2007-05-08 Uab Research Foundation Method for screening crystallization conditions in solution crystal growth
US7244396B2 (en) * 1999-04-06 2007-07-17 Uab Research Foundation Method for preparation of microarrays for screening of crystal growth conditions
US6818395B1 (en) 1999-06-28 2004-11-16 California Institute Of Technology Methods and apparatus for analyzing polynucleotide sequences
US6929030B2 (en) * 1999-06-28 2005-08-16 California Institute Of Technology Microfabricated elastomeric valve and pump systems
US6899137B2 (en) * 1999-06-28 2005-05-31 California Institute Of Technology Microfabricated elastomeric valve and pump systems
US8052792B2 (en) * 2001-04-06 2011-11-08 California Institute Of Technology Microfluidic protein crystallography techniques
CA2721172C (fr) * 1999-06-28 2012-04-10 California Institute Of Technology Obturateur elastomere micro-usine et systemes de pompe
US7195670B2 (en) * 2000-06-27 2007-03-27 California Institute Of Technology High throughput screening of crystallization of materials
US8709153B2 (en) 1999-06-28 2014-04-29 California Institute Of Technology Microfludic protein crystallography techniques
US8550119B2 (en) * 1999-06-28 2013-10-08 California Institute Of Technology Microfabricated elastomeric valve and pump systems
US7244402B2 (en) * 2001-04-06 2007-07-17 California Institute Of Technology Microfluidic protein crystallography
US7459022B2 (en) * 2001-04-06 2008-12-02 California Institute Of Technology Microfluidic protein crystallography
US7306672B2 (en) * 2001-04-06 2007-12-11 California Institute Of Technology Microfluidic free interface diffusion techniques
US20080277007A1 (en) * 1999-06-28 2008-11-13 California Institute Of Technology Microfabricated elastomeric valve and pump systems
US7144616B1 (en) * 1999-06-28 2006-12-05 California Institute Of Technology Microfabricated elastomeric valve and pump systems
US7217321B2 (en) * 2001-04-06 2007-05-15 California Institute Of Technology Microfluidic protein crystallography techniques
US7052545B2 (en) * 2001-04-06 2006-05-30 California Institute Of Technology High throughput screening of crystallization of materials
US6444106B1 (en) 1999-07-09 2002-09-03 Orchid Biosciences, Inc. Method of moving fluid in a microfluidic device
AU2001240040A1 (en) * 2000-03-03 2001-09-17 California Institute Of Technology Combinatorial array for nucleic acid analysis
US7867763B2 (en) 2004-01-25 2011-01-11 Fluidigm Corporation Integrated chip carriers with thermocycler interfaces and methods of using the same
US20050118073A1 (en) * 2003-11-26 2005-06-02 Fluidigm Corporation Devices and methods for holding microfluidic devices
CA2410306C (fr) * 2000-05-25 2009-12-15 Westonbridge International Limited Dispositif fluidique micro-usine et son procede de fabrication
US7420659B1 (en) * 2000-06-02 2008-09-02 Honeywell Interantional Inc. Flow control system of a cartridge
US6837476B2 (en) 2002-06-19 2005-01-04 Honeywell International Inc. Electrostatically actuated valve
US6568286B1 (en) 2000-06-02 2003-05-27 Honeywell International Inc. 3D array of integrated cells for the sampling and detection of air bound chemical and biological species
US7351376B1 (en) * 2000-06-05 2008-04-01 California Institute Of Technology Integrated active flux microfluidic devices and methods
US6824915B1 (en) 2000-06-12 2004-11-30 The Gillette Company Air managing systems and methods for gas depolarized power supplies utilizing a diaphragm
US6829753B2 (en) * 2000-06-27 2004-12-07 Fluidigm Corporation Microfluidic design automation method and system
US7000330B2 (en) * 2002-08-21 2006-02-21 Honeywell International Inc. Method and apparatus for receiving a removable media member
EP1334347A1 (fr) 2000-09-15 2003-08-13 California Institute Of Technology Dispositifs a debit transversal microfabriques et procedes associes
US7258774B2 (en) * 2000-10-03 2007-08-21 California Institute Of Technology Microfluidic devices and methods of use
US7097809B2 (en) * 2000-10-03 2006-08-29 California Institute Of Technology Combinatorial synthesis system
US7678547B2 (en) * 2000-10-03 2010-03-16 California Institute Of Technology Velocity independent analyte characterization
AU1189702A (en) * 2000-10-13 2002-04-22 Fluidigm Corp Microfluidic device based sample injection system for analytical devices
WO2002065005A1 (fr) * 2000-11-06 2002-08-22 California Institute Of Technology Valves electrostatiques pour dispositifs microfluidiques
EP1334279A1 (fr) * 2000-11-06 2003-08-13 Nanostream, Inc. Composants microfluidiques a ecoulement unidirectionnel
AU2002248149A1 (en) * 2000-11-16 2002-08-12 Fluidigm Corporation Microfluidic devices for introducing and dispensing fluids from microfluidic systems
EP1343973B2 (fr) 2000-11-16 2020-09-16 California Institute Of Technology Appareil et procedes pour effectuer des dosages et des criblages a haut rendement
US20020098122A1 (en) * 2001-01-22 2002-07-25 Angad Singh Active disposable microfluidic system with externally actuated micropump
US20050143789A1 (en) * 2001-01-30 2005-06-30 Whitehurst Todd K. Methods and systems for stimulating a peripheral nerve to treat chronic pain
US20050196785A1 (en) * 2001-03-05 2005-09-08 California Institute Of Technology Combinational array for nucleic acid analysis
CA2440754A1 (fr) 2001-03-12 2002-09-19 Stephen Quake Procedes et appareil d'analyse de sequences de polynucleotide par extension de base asynchrone
US7670429B2 (en) * 2001-04-05 2010-03-02 The California Institute Of Technology High throughput screening of crystallization of materials
AU2002307152A1 (en) 2001-04-06 2002-10-21 California Institute Of Technology Nucleic acid amplification utilizing microfluidic devices
DE60239328D1 (de) 2001-04-06 2011-04-14 Fluidigm Corp Polymeroberflächenmodifikation
US20020164816A1 (en) * 2001-04-06 2002-11-07 California Institute Of Technology Microfluidic sample separation device
US6752922B2 (en) * 2001-04-06 2004-06-22 Fluidigm Corporation Microfluidic chromatography
TW561223B (en) * 2001-04-24 2003-11-11 Matsushita Electric Works Ltd Pump and its producing method
US6593192B2 (en) 2001-04-27 2003-07-15 Micron Technology, Inc. Method of forming a dual-gated semiconductor-on-insulator device
US6805841B2 (en) 2001-05-09 2004-10-19 The Provost Fellows And Scholars Of The College Of The Holy And Undivided Trinity Of Queen Elizabeth Near Dublin Liquid pumping system
ES2187276B1 (es) * 2001-05-16 2004-08-01 Quimica Farmaceutica Bayer,S.A. Composiciones orales para el tratamiento de humanos obesos y no diabeticos.
US20050149304A1 (en) * 2001-06-27 2005-07-07 Fluidigm Corporation Object oriented microfluidic design method and system
US7075162B2 (en) * 2001-08-30 2006-07-11 Fluidigm Corporation Electrostatic/electrostrictive actuation of elastomer structures using compliant electrodes
SG106631A1 (en) * 2001-08-31 2004-10-29 Agency Science Tech & Res Liquid delivering device
US7134486B2 (en) * 2001-09-28 2006-11-14 The Board Of Trustees Of The Leeland Stanford Junior University Control of electrolysis gases in electroosmotic pump systems
US6942018B2 (en) * 2001-09-28 2005-09-13 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Electroosmotic microchannel cooling system
US6729856B2 (en) 2001-10-09 2004-05-04 Honeywell International Inc. Electrostatically actuated pump with elastic restoring forces
US7192629B2 (en) 2001-10-11 2007-03-20 California Institute Of Technology Devices utilizing self-assembled gel and method of manufacture
TW498933U (en) * 2001-10-18 2002-08-11 Ind Tech Res Inst Negative pressure balance maintaining device for micropump
US8440093B1 (en) 2001-10-26 2013-05-14 Fuidigm Corporation Methods and devices for electronic and magnetic sensing of the contents of microfluidic flow channels
EP1463796B1 (fr) 2001-11-30 2013-01-09 Fluidigm Corporation Dispositif microfluidique et procedes d'utilisation de ce dernier
US7691333B2 (en) 2001-11-30 2010-04-06 Fluidigm Corporation Microfluidic device and methods of using same
US6921253B2 (en) * 2001-12-21 2005-07-26 Cornell Research Foundation, Inc. Dual chamber micropump having checkvalves
US20070077547A1 (en) * 2001-12-31 2007-04-05 The Provost Fellows And Scholars Of The College Of The Holy And Undivided Trinity Of Queen Elizabeth Assay assembly
US6606251B1 (en) 2002-02-07 2003-08-12 Cooligy Inc. Power conditioning module
US20030180711A1 (en) * 2002-02-21 2003-09-25 Turner Stephen W. Three dimensional microfluidic device having porous membrane
US7033148B2 (en) * 2002-03-13 2006-04-25 Cytonome, Inc. Electromagnetic pump
US7312085B2 (en) * 2002-04-01 2007-12-25 Fluidigm Corporation Microfluidic particle-analysis systems
EP1499706A4 (fr) 2002-04-01 2010-11-03 Fluidigm Corp Systemes d'analyse de particules microfluidiques
US20070026528A1 (en) * 2002-05-30 2007-02-01 Delucas Lawrence J Method for screening crystallization conditions in solution crystal growth
US20050238506A1 (en) * 2002-06-21 2005-10-27 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. Electromagnetically-actuated microfluidic flow regulators and related applications
US7867193B2 (en) * 2004-01-29 2011-01-11 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. Drug delivery apparatus
US6827559B2 (en) * 2002-07-01 2004-12-07 Ventaira Pharmaceuticals, Inc. Piezoelectric micropump with diaphragm and valves
US20040007672A1 (en) * 2002-07-10 2004-01-15 Delucas Lawrence J. Method for distinguishing between biomolecule and non-biomolecule crystals
US6874999B2 (en) * 2002-08-15 2005-04-05 Motorola, Inc. Micropumps with passive check valves
US6881039B2 (en) * 2002-09-23 2005-04-19 Cooligy, Inc. Micro-fabricated electrokinetic pump
AU2003270882A1 (en) 2002-09-23 2004-05-04 Cooligy, Inc. Micro-fabricated electrokinetic pump with on-frit electrode
US8220494B2 (en) * 2002-09-25 2012-07-17 California Institute Of Technology Microfluidic large scale integration
EP1551753A2 (fr) * 2002-09-25 2005-07-13 California Institute Of Technology Integration microfluidique a grande echelle
JP5695287B2 (ja) 2002-10-02 2015-04-01 カリフォルニア インスティテュート オブ テクノロジー 微小流体の核酸解析
KR100483079B1 (ko) * 2002-10-23 2005-04-14 재단법인서울대학교산학협력재단 능동형 마이크로 냉각기
KR20040036173A (ko) * 2002-10-23 2004-04-30 김종원 피에조 엑츄에이터로 구동되는 마이크로 압축기
US7000684B2 (en) 2002-11-01 2006-02-21 Cooligy, Inc. Method and apparatus for efficient vertical fluid delivery for cooling a heat producing device
US6986382B2 (en) * 2002-11-01 2006-01-17 Cooligy Inc. Interwoven manifolds for pressure drop reduction in microchannel heat exchangers
US6988535B2 (en) 2002-11-01 2006-01-24 Cooligy, Inc. Channeled flat plate fin heat exchange system, device and method
JP2006516068A (ja) * 2002-11-01 2006-06-15 クーリギー インコーポレイテッド 発熱デバイスにおける温度均一性及びホットスポット冷却を実現する方法及び装置
US7017654B2 (en) 2003-03-17 2006-03-28 Cooligy, Inc. Apparatus and method of forming channels in a heat-exchanging device
US7604965B2 (en) 2003-04-03 2009-10-20 Fluidigm Corporation Thermal reaction device and method for using the same
US8828663B2 (en) 2005-03-18 2014-09-09 Fluidigm Corporation Thermal reaction device and method for using the same
US20050145496A1 (en) 2003-04-03 2005-07-07 Federico Goodsaid Thermal reaction device and method for using the same
US7666361B2 (en) * 2003-04-03 2010-02-23 Fluidigm Corporation Microfluidic devices and methods of using same
US7476363B2 (en) * 2003-04-03 2009-01-13 Fluidigm Corporation Microfluidic devices and methods of using same
WO2004094020A2 (fr) * 2003-04-17 2004-11-04 Fluidigm Corporation Dispositifs et systemes de cristallogenese et methodes d'utilisation de ceux-ci
CA2526368A1 (fr) * 2003-05-20 2004-12-02 Fluidigm Corporation Procede et systeme pour dispositif microfluidique et son imagerie
US7316543B2 (en) * 2003-05-30 2008-01-08 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Electroosmotic micropump with planar features
US7021369B2 (en) * 2003-07-23 2006-04-04 Cooligy, Inc. Hermetic closed loop fluid system
US7591302B1 (en) 2003-07-23 2009-09-22 Cooligy Inc. Pump and fan control concepts in a cooling system
SG145697A1 (en) * 2003-07-28 2008-09-29 Fluidigm Corp Image processing method and system for microfluidic devices
US7231839B2 (en) * 2003-08-11 2007-06-19 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Electroosmotic micropumps with applications to fluid dispensing and field sampling
US7413712B2 (en) 2003-08-11 2008-08-19 California Institute Of Technology Microfluidic rotary flow reactor matrix
EP1515043B1 (fr) * 2003-09-12 2006-11-22 Samsung Electronics Co., Ltd. Pompe à membrane pour air de refroidissement
US7029951B2 (en) * 2003-09-12 2006-04-18 International Business Machines Corporation Cooling system for a semiconductor device and method of fabricating same
US7284966B2 (en) * 2003-10-01 2007-10-23 Agency For Science, Technology & Research Micro-pump
KR100519970B1 (ko) * 2003-10-07 2005-10-13 삼성전자주식회사 밸브리스 마이크로 공기공급장치
US7169560B2 (en) 2003-11-12 2007-01-30 Helicos Biosciences Corporation Short cycle methods for sequencing polynucleotides
US7407799B2 (en) * 2004-01-16 2008-08-05 California Institute Of Technology Microfluidic chemostat
WO2005072353A2 (fr) * 2004-01-25 2005-08-11 Fluidigm Corporation Dispositifs de formation de cristaux et systemes et procedes de fabrication et d'utilisation de ceux-ci
US7867194B2 (en) 2004-01-29 2011-01-11 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. Drug delivery apparatus
EP2248911A1 (fr) 2004-02-19 2010-11-10 Helicos Biosciences Corporation Procès et compositions pour l'analyse des séquences de polynucléotides
US7484940B2 (en) * 2004-04-28 2009-02-03 Kinetic Ceramics, Inc. Piezoelectric fluid pump
WO2006007207A2 (fr) 2004-05-25 2006-01-19 Helicos Biosciences Corporation Procedes et dispositifs pour la determination de sequence d'acides nucleiques
US7476734B2 (en) 2005-12-06 2009-01-13 Helicos Biosciences Corporation Nucleotide analogs
US20060024751A1 (en) * 2004-06-03 2006-02-02 Fluidigm Corporation Scale-up methods and systems for performing the same
US7104767B2 (en) * 2004-07-19 2006-09-12 Wilson Greatbatch Technologies, Inc. Diaphragm pump for medical applications
US20060134510A1 (en) * 2004-12-21 2006-06-22 Cleopatra Cabuz Air cell air flow control system and method
US7222639B2 (en) * 2004-12-29 2007-05-29 Honeywell International Inc. Electrostatically actuated gas valve
US7220549B2 (en) 2004-12-30 2007-05-22 Helicos Biosciences Corporation Stabilizing a nucleic acid for nucleic acid sequencing
US7328882B2 (en) * 2005-01-06 2008-02-12 Honeywell International Inc. Microfluidic modulating valve
US7482120B2 (en) 2005-01-28 2009-01-27 Helicos Biosciences Corporation Methods and compositions for improving fidelity in a nucleic acid synthesis reaction
US7445017B2 (en) * 2005-01-28 2008-11-04 Honeywell International Inc. Mesovalve modulator
JP4668635B2 (ja) * 2005-02-02 2011-04-13 積水化学工業株式会社 マイクロバルブの流量調節方法
US20060194724A1 (en) * 2005-02-25 2006-08-31 Whitehurst Todd K Methods and systems for nerve regeneration
JP4887652B2 (ja) * 2005-04-21 2012-02-29 ソニー株式会社 噴流発生装置及び電子機器
US7320338B2 (en) * 2005-06-03 2008-01-22 Honeywell International Inc. Microvalve package assembly
US7517201B2 (en) * 2005-07-14 2009-04-14 Honeywell International Inc. Asymmetric dual diaphragm pump
US7666593B2 (en) 2005-08-26 2010-02-23 Helicos Biosciences Corporation Single molecule sequencing of captured nucleic acids
US20070051415A1 (en) * 2005-09-07 2007-03-08 Honeywell International Inc. Microvalve switching array
US7624755B2 (en) 2005-12-09 2009-12-01 Honeywell International Inc. Gas valve with overtravel
US20090305248A1 (en) * 2005-12-15 2009-12-10 Lander Eric G Methods for increasing accuracy of nucleic acid sequencing
US20070140875A1 (en) * 2005-12-16 2007-06-21 Green James S Piezoelectric pump
US7815868B1 (en) 2006-02-28 2010-10-19 Fluidigm Corporation Microfluidic reaction apparatus for high throughput screening
US7397546B2 (en) * 2006-03-08 2008-07-08 Helicos Biosciences Corporation Systems and methods for reducing detected intensity non-uniformity in a laser beam
US20080309926A1 (en) * 2006-03-08 2008-12-18 Aaron Weber Systems and methods for reducing detected intensity non uniformity in a laser beam
US7523762B2 (en) 2006-03-22 2009-04-28 Honeywell International Inc. Modulating gas valves and systems
WO2007120530A2 (fr) 2006-03-30 2007-10-25 Cooligy, Inc. Liquide integre dans un module d'amenee d'air
US7715194B2 (en) 2006-04-11 2010-05-11 Cooligy Inc. Methodology of cooling multiple heat sources in a personal computer through the use of multiple fluid-based heat exchanging loops coupled via modular bus-type heat exchangers
US8007704B2 (en) * 2006-07-20 2011-08-30 Honeywell International Inc. Insert molded actuator components
US7543604B2 (en) * 2006-09-11 2009-06-09 Honeywell International Inc. Control valve
US8202267B2 (en) * 2006-10-10 2012-06-19 Medsolve Technologies, Inc. Method and apparatus for infusing liquid to a body
US7644731B2 (en) 2006-11-30 2010-01-12 Honeywell International Inc. Gas valve with resilient seat
US20080161754A1 (en) * 2006-12-29 2008-07-03 Medsolve Technologies, Inc. Method and apparatus for infusing liquid to a body
WO2008094672A2 (fr) 2007-01-31 2008-08-07 Charles Stark Draper Laboratory, Inc. Régulation de liquide à base de membrane dans des dispositifs microfluidiques
US20080186801A1 (en) * 2007-02-06 2008-08-07 Qisda Corporation Bubble micro-pump and two-way fluid-driving device, particle-sorting device, fluid-mixing device, ring-shaped fluid-mixing device and compound-type fluid-mixing device using the same
EP2205869B1 (fr) * 2007-10-22 2017-12-27 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Pompe à membrane
US8708961B2 (en) 2008-01-28 2014-04-29 Medsolve Technologies, Inc. Apparatus for infusing liquid to a body
US20090225514A1 (en) 2008-03-10 2009-09-10 Adrian Correa Device and methodology for the removal of heat from an equipment rack by means of heat exchangers mounted to a door
US9297571B1 (en) 2008-03-10 2016-03-29 Liebert Corporation Device and methodology for the removal of heat from an equipment rack by means of heat exchangers mounted to a door
JP5169693B2 (ja) * 2008-09-29 2013-03-27 株式会社村田製作所 圧電ポンプ
WO2010035862A1 (fr) * 2008-09-29 2010-04-01 株式会社村田製作所 Pompe piézoélectrique
AU2008363189B2 (en) 2008-10-22 2014-01-16 Debiotech S.A. Mems fluid pump with integrated pressure sensor for dysfunction detection
EP2333340A1 (fr) 2009-12-07 2011-06-15 Debiotech S.A. Elément flexible pour micro-pompe
WO2011094577A2 (fr) 2010-01-29 2011-08-04 Micronics, Inc. Cartouche microfluidique « de l'échantillon au résultat »
EP2542810B1 (fr) 2010-03-05 2015-04-15 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der Angewandten Forschung e.V. Procédé de fabrication d'une micropompe et micropompe
US20110223253A1 (en) * 2010-03-15 2011-09-15 Artimplant Ab Physically stabilized biodegradable osteochondral implant and methods for its manufacture and implantation
DE102010040169A1 (de) 2010-09-02 2012-03-08 Robert Bosch Gmbh Vorrichtung zur Drosselung einer Fluidströmung und korrespondierende Kolbenpumpe zur Förderung von Fluiden
EP2469089A1 (fr) 2010-12-23 2012-06-27 Debiotech S.A. Procédé de contrôle électronique et système pour pompe piézo-électrique
JP6162047B2 (ja) 2011-02-02 2017-07-12 ザ チャールズ スターク ドレイパー ラボラトリー インク 薬物送達装置
EP2543404A1 (fr) 2011-07-04 2013-01-09 Debiotech S.A. Procédé et système de détection de dysfonctionnement d'une micro-pompe mems
CA2835174C (fr) 2011-06-23 2020-03-24 Debiotech S.A. Reservoir desaere pour pompe medicale
EP2551523A1 (fr) 2011-07-29 2013-01-30 Debiotech S.A. Procédé et dispositif pour actionnement précis et basse consommation de micro-pompe mems
US9995486B2 (en) 2011-12-15 2018-06-12 Honeywell International Inc. Gas valve with high/low gas pressure detection
US9074770B2 (en) 2011-12-15 2015-07-07 Honeywell International Inc. Gas valve with electronic valve proving system
US8899264B2 (en) 2011-12-15 2014-12-02 Honeywell International Inc. Gas valve with electronic proof of closure system
US9851103B2 (en) 2011-12-15 2017-12-26 Honeywell International Inc. Gas valve with overpressure diagnostics
US9835265B2 (en) 2011-12-15 2017-12-05 Honeywell International Inc. Valve with actuator diagnostics
US8947242B2 (en) 2011-12-15 2015-02-03 Honeywell International Inc. Gas valve with valve leakage test
US8905063B2 (en) 2011-12-15 2014-12-09 Honeywell International Inc. Gas valve with fuel rate monitor
US9557059B2 (en) 2011-12-15 2017-01-31 Honeywell International Inc Gas valve with communication link
US9846440B2 (en) 2011-12-15 2017-12-19 Honeywell International Inc. Valve controller configured to estimate fuel comsumption
US8839815B2 (en) 2011-12-15 2014-09-23 Honeywell International Inc. Gas valve with electronic cycle counter
US9867929B2 (en) * 2012-08-15 2018-01-16 Becton, Dickinson And Company Pump engine with metering system for dispensing liquid medication
US9234661B2 (en) 2012-09-15 2016-01-12 Honeywell International Inc. Burner control system
US10422531B2 (en) 2012-09-15 2019-09-24 Honeywell International Inc. System and approach for controlling a combustion chamber
EP2766606B1 (fr) * 2012-12-21 2015-12-16 Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Ensemble pompe comprenant un ensemble soupape de sûreté
JP2016509206A (ja) 2012-12-21 2016-03-24 マイクロニクス， インコーポレイテッド 携帯型蛍光検出システムおよびマイクロアッセイカートリッジ
WO2014100732A1 (fr) 2012-12-21 2014-06-26 Micronics, Inc. Circuits fluidiques et procédés de fabrication associés
KR20150096788A (ko) 2012-12-21 2015-08-25 마이크로닉스 인코포레이티드. 마이크로 유체공학 용도를 위한 저탄성 막
EP2964986A1 (fr) 2013-03-07 2016-01-13 Debiotech S.A. Vanne microfluidique ayant une tolérance améliorée à des particules
WO2014182847A1 (fr) 2013-05-07 2014-11-13 Micronics, Inc. Dispositif pour la préparation et l'analyse d'acides nucléiques
US10190153B2 (en) 2013-05-07 2019-01-29 Micronics, Inc. Methods for preparation of nucleic acid-containing samples using clay minerals and alkaline solutions
US10386377B2 (en) 2013-05-07 2019-08-20 Micronics, Inc. Microfluidic devices and methods for performing serum separation and blood cross-matching
TWI539076B (zh) * 2013-09-25 2016-06-21 馬小康 腔體分離式薄膜幫浦
EP2868970B1 (fr) 2013-10-29 2020-04-22 Honeywell Technologies Sarl Dispositif de régulation
US10024439B2 (en) 2013-12-16 2018-07-17 Honeywell International Inc. Valve over-travel mechanism
US9841122B2 (en) 2014-09-09 2017-12-12 Honeywell International Inc. Gas valve with electronic valve proving system
US9645584B2 (en) 2014-09-17 2017-05-09 Honeywell International Inc. Gas valve with electronic health monitoring
US10503181B2 (en) 2016-01-13 2019-12-10 Honeywell International Inc. Pressure regulator
WO2018046078A1 (fr) * 2016-09-07 2018-03-15 Robert Bosch Gmbh Micropompes
EP3519013A1 (fr) 2016-09-29 2019-08-07 Koninklijke Philips N.V. Pompe à membrane piézoélectrique pour la perfusion de liquides
US10564062B2 (en) 2016-10-19 2020-02-18 Honeywell International Inc. Human-machine interface for gas valve
CN109891096B (zh) * 2016-10-27 2020-08-18 日东工器株式会社 液体泵
TWI625462B (zh) * 2017-01-05 2018-06-01 研能科技股份有限公司 微型氣壓動力裝置
US11073281B2 (en) 2017-12-29 2021-07-27 Honeywell International Inc. Closed-loop programming and control of a combustion appliance
US10697815B2 (en) 2018-06-09 2020-06-30 Honeywell International Inc. System and methods for mitigating condensation in a sensor module
CN111151311B (zh) * 2018-11-07 2021-10-12 研能科技股份有限公司 微流道结构的制造方法
CN114728281B (zh) * 2019-10-18 2023-11-03 瞬知（广州）健康科技有限公司 用于输注流体的系统和方法
CN111692069B (zh) * 2020-06-19 2021-04-09 燕山大学 一种驱动与阀控融合式流体驱动装置
NL2026780B1 (en) 2020-10-27 2022-06-21 Univ Delft Tech Precise fluid manipulation in the femtolitre range
CN113464410B (zh) * 2021-08-19 2022-03-22 浙江大学 一种压力无级可调的大流量压电泵
WO2023158618A1 (fr) * 2022-02-17 2023-08-24 Aita Bio Inc. Micropompe à microsystème électromécanique (mems) à valve active piézoélectrique qui reste fermée après une perte de puissance de micropompe

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0025005A1 (fr) * 1979-08-18 1981-03-11 Schaldach, Max, Prof. Dr. Ing. Dispositif pour débiter et doser des quantités minimes de liquide
FR2516606A1 (fr) * 1981-11-19 1983-05-20 Bessman Samuel Pompe a diaphragme a commande piezo-electrique, notamment micro-pompe pour implantation dans le corps humain
DE3320443A1 (de) * 1983-06-06 1984-12-06 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Fluessigkeitspumpe
WO1992004569A1 (fr) * 1990-08-31 1992-03-19 Westonbridge International Limited Soupape equipee d'un detecteur de position et micropompe integree a ladite soupape
GB2248891A (en) * 1990-10-18 1992-04-22 Westonbridge Int Ltd Membrane micropump

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE69011631T2 (de) * 1989-06-14 1995-03-23 Westonbridge Int Ltd Mikropumpe.

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0025005A1 (fr) * 1979-08-18 1981-03-11 Schaldach, Max, Prof. Dr. Ing. Dispositif pour débiter et doser des quantités minimes de liquide
FR2516606A1 (fr) * 1981-11-19 1983-05-20 Bessman Samuel Pompe a diaphragme a commande piezo-electrique, notamment micro-pompe pour implantation dans le corps humain
DE3320443A1 (de) * 1983-06-06 1984-12-06 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Fluessigkeitspumpe
WO1992004569A1 (fr) * 1990-08-31 1992-03-19 Westonbridge International Limited Soupape equipee d'un detecteur de position et micropompe integree a ladite soupape
GB2248891A (en) * 1990-10-18 1992-04-22 Westonbridge Int Ltd Membrane micropump

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP0739451A1 *
SMITH: "transducers 91, digest of technical papers, IEEE catalog number 91CH2817-5", 27 June 1991, IEEE, PISCATAWAY,NJ,USA *

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1997029283A1 (fr) * 1996-02-09 1997-08-14 Westonbridge International Limited Filtre micro-usine pour micropompe
US5997263A (en) * 1996-02-09 1999-12-07 Westonbridge International Limited Micromachined filter for a micropump
CN1118628C (zh) * 1996-02-09 2003-08-20 威斯顿布里奇国际有限公司 用于微型泵的微加工过滤器
WO1998014707A1 (fr) * 1996-10-03 1998-04-09 Westonbridge International Limited Dispositif fluidique micro-usine et procede de fabrication
US6237619B1 (en) 1996-10-03 2001-05-29 Westonbridge International Limited Micro-machined device for fluids and method of manufacture
FR2757906A1 (fr) * 1996-12-31 1998-07-03 Westonbridge Int Ltd Micropompe avec piece intermediaire integree
WO1998029661A1 (fr) * 1996-12-31 1998-07-09 Westonbridge International Limited Micropompe avec piece intermediaire integree
US6309189B1 (en) 1996-12-31 2001-10-30 Westonbridge International Limited Micropump with a built-in intermediate part
WO1999009321A1 (fr) * 1997-08-20 1999-02-25 Westonbridge International Limited Micropompe comprenant un organe de controle d'entree permettant son auto-amorcage
US7645383B2 (en) 1997-09-26 2010-01-12 Boehringer Ingelheim International Gmbh Microstructured filter
US7204961B2 (en) * 1998-03-04 2007-04-17 Hitachi, Ltd. Liquid feed apparatus and automatic analyzing apparatus
DE102004011726A1 (de) * 2004-03-05 2005-09-22 Ing. Erich Pfeiffer Gmbh Dosiervorrichtung

Also Published As

Publication number Publication date
US5759014A (en) 1998-06-02
AU1326395A (en) 1995-08-01
AU679311B2 (en) 1997-06-26
CA2181084C (fr) 2004-09-14
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EP0739451A1 (fr) 1996-10-30
DE69500529D1 (de) 1997-09-11
CH689836A5 (fr) 1999-12-15
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JP3948493B2 (ja) 2007-07-25
EP0739451B1 (fr) 1997-08-06

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