WO1998028640A3 - Optische anordnung zum scannen eines strahls in zwei im wesentlichen senkrecht zueinander liegenden achsen - Google Patents

Optische anordnung zum scannen eines strahls in zwei im wesentlichen senkrecht zueinander liegenden achsen Download PDF

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Abstract

Eine optische Anordnung zum Scannen eines Strahls in zwei im wesentlichen senkrecht zueinander liegenden Achsen, insbesondere zur Anwendung bei konfokalen Laserscanmikroskopen, ist zur Vermeidung gravierender Abbildungsfehler dadurch gekennzeichnet, daß drei Spiegel (1, 2; 3) vorgesehen sind, von denen zwei Spiegel (1, 2) mittels eines ersten Antriebs um eine erste Achse (y-Achse) und ein Spiegel (3) mittels eines zweiten Antriebs um eine zweite Achse (x-Achse), die auf der ersten Achse (y-Achse) senkrecht steht, drehbar ist. Die beiden Spiegel (1, 2) sind einander in einer vorgegebenen Winkelposition drehfest zugeordnet, so daß sie gemeinsam um die y-Achse drehen und dabei den Strahl (4) um einen Drehpunkt drehen, der auf der Drehachse (x-Achse) des alleine drehenden dritten Spiegels (3) liegt.
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