WO1999040606A1 - Tube a rayons x, generateur de rayons x, et systeme d'analyse - Google Patents

Description

明糸田書

X線管、 X線発生装置及び検査： 技術分野

本発明は、 X線を発生する X線管、 X線発生装置及びそれらを用いた被検査物 の検査システムに関するものである。 景技術

従来の X線管として、 特開平 7— 2 9 6 7 5 1号公報に記載されるように、 電 子を放出する電子銃及びその電子を受けて X線を発生させる夕一ゲットを内蔵し たものが知られている。 また、 従来の X線発生装置として、 特開平 7— 2 9 5 3 2号公報に記載されるように、 X線管及びその X線管の駆動回路等を内蔵したも のが知られている。

これらの X線管及び X線発生装置は、 特開平 6— 3 1 5 1 5 2号公報に記載さ れるように、 主に、 物体の内部構造の非破壊'被接触観察などに用いられている。 例えば、 X線管及び X線発生装置から出射された X線を被検査物に照射し、 被検 査物を透過した X線を X線蛍光増倍管（イメージインテンシファイア管： I . I . 管） などで検出する。 そして、 被検査物の拡大透視画像を観察することにより、 被検査物の内部構造の非破壊 ·被接触検査が可能となる。

ところで、 このような被検査物の検査において、 特開平 6— 9 4 6 5 0号公報 及び特開平 6— 1 8 4 5 0号公報に記載されるように、 一般に、 X線の照射方向 に対し直交する軸を中心に被検査物を回転させ被検査物の向きを変えることによ り、 不具合箇所を的確に特定する手法が採られている。

一方、 これらの被検査物の検査において、 透視画像の拡大率は、 X線管装置内 の X線発生点 （X線管の焦点位置） から被検査物の位置までの距離 （A ) と、 被 検査物の位置から I . I . 管の X線入射面までの距離 （B ) との比で決まる。 す なわち、 拡大率 Mは、

M = ( A + B ) /A … ( 1 ) である。 通常は、 A 《Bなので、

M = B /A … （2 ) と表すことができる。

すなわち、 大きな拡大率を得るには、 Aを小さくすること、 又は、 Bを大きく することが考えられる。 しかし、 Bを大きくすると、 X線検査装置全体が大きく なるとともに、 X線の外部への漏れを防ぐための鉛シールドの量が増えるなど重 量の増大が著しい。

このため、 少しでも Aを小さくすることが望ましいが、 前述のように、 被検査 物の向きを変える手法を採る場合、 Aを小さくすると、 被検査物を載せるための サンプルホルダなどが X線管の出射面に接触してしまう。 このため、 透視画像の 拡大率を増加には、 一定の制限がある。 従って、 拡大率の大きい透視画像を観察 しながら、 的確な被検査物の状態の検査を行うことは困難であった。

そこで本発明は、以上のような問題点を解決するためになされたものであって、 被検査物を接近させて X線の照射を可能とした X線管、 X線発生装置及び検査シ ステムを提供することを目的とする。 発明の開示

本発明に係る X線管は、 X線の出射窓を有する先端面を有し、 先端面の出射窓 の周辺に X線の出射方向に対して傾斜するテ一パ面が形成されていることを特徴 とする。 また本発明に係る X線管は、 前述のテ一パ面が出射窓を中心としてその 両側に対称的に二つ形成されていることを特徴とする。 また本発明に係る X線管 は、 前述の二つのテーパ面が X線の出射方向に対して同一角度で傾斜しているこ とを特徴とする。 更に本発明に係る X線管は、 被検査物に向けて X線を出射し被 検査物を透過する X線を検出することにより被検査物の状態を検査する検査シス テムであって X線の出射方向に対し交差する軸を中心に被検査物の向きを調節可' 能な検査システムに用いられる X線管において、 被検査物に対向する先端面に X 線の出射窓を有し、その先端面の出射窓の周辺に X線の出射方向に対して傾斜し、 かつ、 軸と平行するテ一パ面が形成されていることを特徴とする。

これらの発明によれば、 X線を被検査物に照射しその被検査物を透過する X線 を検出することにより被検査物の内部構造などを検査する検査システムに用いら れる場合、 被検査物を X線の出射窓に近接させて配置しながらその被検査物を出 射方向と交差する軸を中心に回動させても、 テ一パ面の形成により被検査物が先 端面に当接することを回避できる。 このため、 被検査物を X線の出射位置に近接 させて配置しながら、 その被検査物の向きを変えることが可能である。 従って、 被検査物の拡大率の大きい拡大透視画像が得られると共に、 被検査物の向きを変 えて被検査物の内部構造などを詳細に確認することができる。

また本発明に係る X線発生装置は、 X線を出射する X線出射手段を備えた X線 発生装置であって、 その X線出射手段が前述したいずれかの X線管であることを 特徴とする。 また本発明に係る X線発生装置は、 X線を出射する X線出射手段を 備えた X線発生装置であって、 構成部品を収容する筐体を備え、 X線出射手段の 出射窓が設けられる筐体の表面に X線の出射方向に対して傾斜するテーパ面が形 成されていることを特徴とする。 また本発明に係る X線発生装置は、 筐体の表 面の一方に片寄る位置に出射窓が設けられ、 表面の他方側にテーパ面が形成され ていることを特徴とする。 また本発明に係る X線発生装置は、 前述のテーパ面が 出射窓を中心としてその両側に対称的に二つ形成されていることを特徴とする。 更に本発明に係る X線発生装置は、 前述の二つのテーパ面が X線の出射方向に対 して同一角度で傾斜していることを特徴とする。

これらの発明によれば、 X線を被検査物に照射しその被検査物を透過する X線 を検出することにより被検査物の内部構造などを検査する検査システムに用いら れる場合、 被検査物を X線の出射窓に近接させて配置しながらその被検査物を出 射方向と交差する軸を中心に回動させても、 テ一パ面の形成により被検査物が先 端面に当接することを回避できる。 このため、 被検査物を X線の出射位置に近接 させて配置しながら、 その被検査物の向きを変えることが可能である。 従って、 被検査物の拡大率の大きい拡大透視画像が得られると共に、 被検査物の向きを変 えて被検査物の内部構造などを詳細に確認することができる。

また本発明に係る検査システムは、 X線を被検査物に照射し、 被検査物を透過 する X線を検出することにより被検査物の状態を検査する検査システムであって、 X線を出射する前述のいずれかの X線発生装置と、 被検査物を X線の出射方向に 対し交差する軸を中心に回動させる回動手段と、 X線の出射方向であって被検査 物の後方に配置され被検査物を透過する X線を検出する X線検出手段とを備えた ことを特徴とする。

この発明によれば、 被検査物を X線の出射窓に近接させて配置しながらその被 検査物を出射方向と交差する軸を中心に回動させても、 テ一パ面の形成により被 検査物が先端面に当接することを回避できる。 このため、 被検査物を X線の出射 位置に近接させて配置しながら、その被検査物の向きを変えることが可能である。 従って、 被検査物の拡大率の大きい拡大透視画像が得られると共に、 被検査物の 向きを変えて被検査物の内部構造などを詳細に確認することができる。 図面の簡単な説明

図 1は、 第一実施形態に係る X線管及び X線発生装置の説明図である。

図 2は、 第一実施形態に係る X線管の説明図である。

図 3は、 第一実施形態に係る X線管の説明図である。

図 4は、 第一実施形態に係る X線発生装置の説明図である。

図 5は、 X線発生装置及び X線管を用いた検査システムの説明図である。

図 6は、 X線発生装置及び X線管の使用方法の説明図である。

図 7は、 背景技術の説明図である。 図 8は、 第二実施形態に係る X線管の説明図である。 ' 図 9は、 第二実施形態に係る X線管の説明図である。

図 1 0は、 第二実施形態に係る X線管の説明図である。

図 1 1は、 第二実施形態に係る X線管の説明図である。

図 1 2は、 第三実施形態に係る X線発生装置の説明図である。 発明を実施するための最良の形態

以下、 添付図面に基づき、 本発明の実施形態について説明する。 尚、 各図にお いて同一要素には同一符号を付して説明を省略する。 また、 図面の寸法比率は説 明のものと必ずしも一致していない。

(第一実施形態）

図 1に本実施形態に係る X線発生装置及び X線管を示す。 図 1に示すように、 X線発生装置 1は、 X線を出射する装置であって、 駆動回路などの構成部品を収 容する筐体 2を備えている。 筐体 2は、 縦長の略直方体状を呈し、 頂面 2 1には X線を出射する X線管 3を具備している。 筐体 2の頂面 2 1と側面 2 2との角部 には、 その角部を面取りしてなるテ一パ面 2 3が形成されている。 テ一パ面 2 3 は、 X線の出射方向 （図 1では上下方向） に対し傾斜した面であり、 X線の出射 方向に対し平行でなく、 かつ、 垂直でない向きに形成されている。

また、 このテーパ面 2 3は、 筐体 2の頂面 2 1と側面 2 2の片側との角部にの みに形成されている。 X線管 3は、 筐体 2の中心から一方へ片寄る位置に設けら れている。 例えば、 X線管 3は、 テ一パ面 2 3が形成されていない側へ片寄る位 置に形成される。 この X線管 3は、 X線を発生させるものであり、 電子銃部 4と X線発生部 5を備えている。

筐体 2の正面 2 4の下部には、 通気口 2 5、 コネクタ 2 6が設けられている。 通気口 2 5は、 筐体 2の内外の通気を行うものであり、 その通気口 2 5の内側に は冷却ファン （図示なし） が設置されている。 コネクタ 2 6は、 X線発生装置 1 の駆動制御を行う X線コントローラ等との配線接続を行うためのものである。 図 2に本実施形態に係る X線管の断面図、 図 3に X線管の正面図を示す。 図 2に示すように、 X線管 3の X線発生部 5は、 電子銃部 4からの電子を受け て X線を発生させ出射するためのものであり、 胴部 5 1と頭部 5 2とにより構成 されている。 頭部 5 2は、 軸方向を上下に向けた円柱状を呈し、 その頂面 5 3に

X線を出射するための X線出射窓 5 4を有している。 また、 頭部 5 2の頂面 5 3 と側面 5 5との角部分には、 その角部分を面取りしてなるテ一パ面 5 6が形成さ れている。

テ一パ面 5 6は、 X線の出射方向 （図 2、 図 3では上下方向） に対し傾斜した 面であり、 X線の出射方向に対し平行でなく、 かつ、 垂直でない向きに形成され ている。 また、 テ一パ面 5 6は、 X線出射窓 5 4を中心として対称的に二箇所形 成され、 それらテ一パ面 5 6は X線の出射方向に対して同一角度をもって形成さ れている。

図 3に示すように、 X線発生部 5の頭部 5 2の側部には、 電子銃部 4が結合さ れている。 電子銃部 4は、 電子を発生させ X線発生部 5に向けて放出するもので あり、 その内部には、 外部からの電力供給により発熱するヒ一夕 4 1、 ヒータ 4 1により熱せられ電子を放出するカソード 4 2、 カリード 4 2から放出された電 子を集束させるフォーカスグリッド電極 4 3がそれぞれ設けられている。 この電 子銃部 4と X線発生部 5との内部空間は連通しており、 X線管 3の外部に対し密 封されている。 また、 それら電子銃部 4及び X線発生部 5の内部空間は、 ほぼ真 空の状態に維持されている。

X線発生部 5の内部には、 ターゲット 6が設置されている。 ターゲット 6は、 電子銃部 4からの電子を先端面で受けて X線を発生させるものであり、 X線発生 部 5の頭部 5 2及び胴部 5 1の軸方向に向けて配置されている。

図 4に X線発生装置の正面側から見た断面図を示す。

図 4に示すように、 X線発生装置 1の筐体 2の内部には、 高圧ブロック部 7が 設置されている。 高圧ブロック部 7は高電圧が印加されるものを収容したもので あり、 この高圧ブロック部 7には X線管 3の胴部 5 1、 プリ一ダ抵抗 7 1、 コッ ククロフト回路 7 2、 昇圧トランス 7 3などが内蔵されている。 また、 筐体 2の 内部には、 駆動回路 8 1、 8 2が設置されている。 駆動回路 8 1、 8 2は、 夕一 ゲット電圧回路、 力ソード電圧回路、 グリッド電圧回路、 ヒー夕電圧回路などに より構成されている。

次に X線管及び X線発生装置の使用方法について説明する。

図 5に X線管及び X線発生装置を用いた検査システムの構成を示す。 図 5に示 すように、 X線発生装置 1には、 X線コントローラ 9 1が接続されている。 X線 コントローラ 9 1は、 X線発生装置 1の作動制御を行うものである。 この X線コ ントローラ 9 1には、 C P U 9 2に接続されている。 C P U 9 2は、 検査システ ムの全体の制御を行うものである。

X線発生装置 1の X線の出射方向には検査すべき試料 9 3が配置されている。 試料 9 3としては、 I Cなどの電子デバイス、 アルミダイキャストのほか、 金属、 ゴム、 ブラスチック、 セラミックスなどからなる各種の製品 ·部品などが対象と なる。 この試料 9 3は、 マニピュレータ 9 4の作動により X線出射方向に対して ほぼ直交する軸を中心に回転しその向きが変えられるようになつている。 マニピ ユレ一夕 9 4は、 X線出射方向に対してほぼ直交する回転軸を有しており、 C P U 9 2の指令により駆動回路 9 5を介してその回転軸を駆動させる。

また、 マニピュレータ 9 4は、 試料 9 3を X線出射方向に移動させることがで きる構造となっている。 この試料 9 3の移動により、 試料 9 3が X線の出射位置 に対して接近し又は離間する。 このため、 検査システムによる得られる試料 9 3 の透視拡大画像についてその拡大率を任意に変えることが可能となる。

検査すべき試料 9 3が板状のものであるときには、 その試料 9 3をマニピユレ —夕 9 4の回転軸に直接取り付けられるが、 試料 9 3が板状でないもの又は微小 なものであるときには、 板状のホルダなどを介して試料 9 3をマニピュレータ 9 4の回転軸に間接的に取り付けてもよい。

X線の出射方向の試料 9 3の後方には、 X線カメラ 9 6が設置されている。 X 線カメラ 9 6は、 イメージィンテンシファイア管などを内蔵し X線を検出するも のである。 X線カメラ 9 6には画像処理装置 9 7が接続されており、 この画像処 理装置 9 7により試料 9 3の拡大透視画像が形成される。 また、 画像処理装置 9 7は C P U 9 2に接続されており、 試料 9 3の拡大透視画像のデ一夕を C P U 9 2に伝送する。 また、 C P U 9 2には、 モニタ 9 8が接続されている。 モニタ 9 8は、 C P U 9 2から伝送される信号に基づき試料 9 3の拡大透視画像を表示す る。

このような検査システムにおいて、試料 9 3を X線出射位置の前方にセットし、

X線発生装置 1から X線を出射すると、 その X線は、 試料 9 3に照射され、 試料 9 3を透過して X線カメラ 9 6に入射される。 X線は、 X線カメラ 9 6により検 出され電気的な信号に変換される。 そして、 その信号は、 画像処理装置 9 7に入 力され、 試料 9 3の拡大透視画像のデータに演算される。 拡大透視画像のデータ は、 C P U 9 2を介してモニタ 9 8に伝送され、 その拡大透視画像のデータに基 づいてモニタ 9 8に試料 9 3の拡大透視画像が表示される。

このため、 試料 9 3の拡大透視画像を見ることにより、 試料 9 3の内部構造な どを確認することができる。

一方、 X線の照射方向に対し試料 9 3の向きを変えることにより、 試料 9 3の 内部構造などをより的確に把握することができる。 すなわち、 マニピュレータ 9 4の回転軸を適宜回動させて試料 9 3の向きを変えれば、 モニタ 9 8に異なる方 向から見た試料 9 3の拡大透視画像を表示することができる。 従って、 試料 9 3 の内部におけるヘアクラック、 気泡などの有無を的確に判断することができる。 その際、 図 6に示すように、 X線発生装置 1には X線出射方向に対し傾斜した テーパ面 2 3が形成され、 X線管 3が筐体 2の中心から片寄る位置に設けられて おり、 また、 X線管 3には X線出射方向に対し傾斜したテ一パ面 5 6が形成され ている。 ' このため、 試料 9 3を X線出射窓 5 4により近接させながら、 その試料 9 3の 向きを十分に変えることが可能となる。 従って、 試料 9 3の拡大率の大きい拡大 透視画像が得られると共に、 試料 9 3の向きを変えて試料 9 3の内部構造などを 詳細に確認することができる。

ところで、 このような本実施形態に係る X線発生装置 1及び X線管 3に対し、 テーパ面 2 3を形成しない X線発生装置及びテーパ面 5 6を形成しない X線管に あっては、 それらを用いて試料 9 3の検査を行っても、 試料 9 3の向きを変えな がら拡大率の大きい拡大透視画像を得ることはできない。

例えば、 図 7に示すように、 テ一パ面 2 3を形成しない X線発生装置 C及びテ

—パ面 5 6を形成しない X線管 Dを用いて試料 9 3の検査を行う場合、 試料 9 3 の拡大透視画像の拡大率を上げるために試料 9 3を X線出射位置に近づけつつ、 試料 9 3の向きを変えようとすると、 試料 9 3が X線発生装置 Cの角部分又は X 線管 Dの角部分に接触してしまう。

このため、 試料 9 3の向きを変えるためには試料 9 3を X線出射位置から一定 の距離 A 2だけ離さなければならない。 この距離 A 2は、 前述した式 （2 ) に示 すように拡大透視画像の拡大率に直接影響するものであり、 この距離 A 2が短い ほど拡大率が大きくなる。 また、 距離 A 2は、 本実施形態に係る X線発生装置 1 及び X線管 3を用いた場合の距離 A 1と比べると（図 6参照）、長いものとなる。 従って、 このようなテ一パ面 2 3を形成しない X線発生装置 C及びテ一パ面 5 6 を形成しない X線管 Dにあっては、 拡大率の大きい拡大透視画像を得ることがで きず、 試料 9 3の内部構造などを詳細に確認することができない。

以上のように、 本実施形態に係る X線発生装置 1、 X線管 3及びそれらを用い た検査システムによれば、試料 9 3を X線の出射位置に近接させて配置しながら、 その試料 9 3の向きを変えることが可能である。 従って、 試料 9 3の拡大率の大 きレ、拡大透視画像が得られると共に、 試料 9 3の向きを変えることにより試料 9 3の内部構造などを詳細に確認することができる。

(第二実施形態）

次に第二実施形態に係る X線管、 X線発生装置等について説明する。

図 8に本実施形態に係る X線管 3 aを示す。図 8に示すように、 X線管 3 aは、 頭部 5 2の両側部を垂直に削ぎ落とし、 頭部 5 2の正面側の上部にテーパ面 5 6 を形成したものである。

図 9に本実施形態に係る X線管 3 bを示す。図 9に示すように、 X線管 3 bは、 頭部 5 2の頂面 5 3と側面 5 5の角部分にアールを付けてテ一パ面 5 6としたも のである。 尚、 ここで言う 「テ一パ面」 とは、 傾斜した平面に限られず、 凸状に 湾曲した面及び凹状に湾曲した面も含むものである。

図 1 0に本実施形態に係る X線管 3 cを示す。 図 1 0に示すように、 X線管 3 cは、 頭部 5 2の両側部及び正面側にの上部にテ一パ 5 6をそれそれ形成したも のである。

図 1 1に本実施形態に係る X線管 3 dを示す。 図 1 1に示すように、 X線管 3 dは、 頭部 5 2の両側部及び正面を垂直に削ぎ落としたものである。

これらの X線管 3 a〜3 dであっても、 第一実施形態に係る X線管 3と同様に して、 X線を試料 9 3に照射しその試料 9 3を透過する X線を検出することによ り試料 9 3の内部構造などを検査する検査システムに用いられた場合、 試料 9 3 を X線の出射窓 5 4に近接させて配置しながらその試料 9 3を出射方向と交差す る軸を中心に回動させても、 テ一パ面 5 6又は削ぎ落とし領域の形成により試料 9 3が頂面 5 3に当接することを回避できる。 このため、 試料 9 3を X線の出射 位置に近接させて配置しながら、その試料 9 3の向きを変えることが可能である。 従って、 試料 9 3の拡大率の大きい拡大透視画像が得られると共に、 試料 9 3の 向きを変えて試料 9 3の内部構造などを詳細に確認することができる。

また、 本実施形態に係る X線発生装置は、 第一実施形態に係る X線発生装置 1 の X線管 3を前述の X線管 3 a〜3 dのいずれかに代えたものである。 このよう な X線発生装置であっても、 第一実施形態に係る X線発生装置と同様にして、 X 線を試料 9 3に照射しその試料 9 3を透過する X線を検出することにより試料 9 3の内部構造などを検査する検査システムに用いられた場合、 試料 9 3を X線の 出射窓 5 4に近接させて配置しながらその試料 9 3を出射方向と交差する軸を中 心に回動させても、 テーパ面 2 3の形成により試料 9 3が頂面 2 1に当接するこ とを回避できる。 このため、 試料 9 3を X線の出射位置に近接させて配置しなが ら、 その試料 9 3の向きを変えることが可能である。 従って、 試料 9 3の拡大率 の大きい拡大透視画像が得られると共に、 試料 9 3の向きを変えて試料 9 3の内 部構造などを詳細に確認することができる。

更に、 第一実施形態に係る検査システムにおいて、 本実施形態に係る X線管又 は X線発生装置を用いても、 第一実施形態に係る検査システムと同様な作用効果 が得られる。

(第三実施形態）

次に第三実施形態に係る X線管、 X線発生装置等について説明する。

図 1 2に本実施形態に係る X線発生装置 1 eを示す。 図 1 2に示すように、 X 線発生装置 1は、横長の筐体 2 eを備えたものである。筐体 2 eの頂面 2 1には、 X線を出射する X線管 3 dが設けられている。 筐体 2 eの頂面 2 1と側面 2 2、 2 2との両角部には、 それらの角部を面取りしてなるテ一パ面 2 3がそれぞれ形 成されている。

このような X線発生装置 1 eであっても、 第一実施形態に係る X線発生装置と 同様にして、 X線を試料 9 3に照射しその試料 9 3を透過する X線を検出するこ とにより試料 9 3の内部構造などを検査する検査システムに用いられた場合、 試 料 9 3を X線の出射窓 5 4に近接させて配置しながらその試料 9 3を出射方向と 交差する軸を中心に回動させても、 テ一パ面 2 3の形成により試料 9 3が頂面 2 1に当接することを回避できる。 このため、 試料 9 3を X線の出射位置に近接さ せて配置しながら、 その試料 9 3の向きを変えることが可能である。 従って、 試 料 9 3の拡大率の大きい拡大透視画像が得られると共に、 試料 9 3の向きを変え て試料 9 3の内部構造などを詳細に確認することができる。

また、 本実施形態に係る X線発生装置 1 eは、 X線管 3 dを X線管 3、 3 a〜 3 cのいずれかに代えたものであってもよい。 この場合であっても、 前述と同様 な作用効果が得られる。

更に、 第一実施形態に係る検査システムにおいて、 本実施形態に係る X線管又 は X線発生装置を用いても、 第一実施形態に係る検査システムと同様な作用効果 が得られる。

以上説明したように本発明によれば、 次のような効果が得られる。

X線を被検査物に照射しその被検査物を透過する X線を検出することにより被 検査物の内部構造などを検査する場合、 被検査物を X線の出射窓に近接させて配 置しながらその被検査物を出射方向と交差する軸を中心に回動させても、 テーパ 面の形成により被検査物が先端面に当接することを回避できる。 このため、 被検 査物を X線の出射位置に近接させて配置しながら、 その被検査物の向きを変える ことが可能である。 従って、 被検査物の拡大率の大きい拡大透視画像が得られる と共に、 被検査物の向きを変えて被検査物の内部構造などを詳細に確認すること ができる。 産業上の利用可能性

本発明の X線を発生する X線管、 X線発生装置及びそれらを用いた被検査物の 検査システムは、 X線を被検査物に照射しその被検査物を透過する X線を検出す ることにより被検査物の内部構造などを検査する検査システムに用いられる場合、 被検査物を X線の出射窓に近接させて配置しながらその被検査物を出射方向と交 差する軸を中心に回動させることが可能とするため、 被検査物の拡大率の大きい 拡大透視画像が得られると共に、 被検査物の向きを変えて被検査物の内部構造な どを詳細に確認することができる点で有用である。

Claims

言青求の範囲

1 . X線を出射する X線管において、

前記; X線の出射窓を有する先端面を有し、 前記先端面の前記出射窓の周辺に前 記 X線の出射方向に対して傾斜するテ一パ面が形成されていること、

を特徴とする X線管。

2 . 前記テ一パ面は、 前記出射窓を中心としてその両側に対称的に二 つ形成されていること、

を特徴とする請求項 1に記載の X線管。

3 . 前記二つのテーパ面は、 前記 X線の出射方向に対して同一角度で 傾斜していること、

を特徴とする請求項 2に記載の X線管。

4 . 被検査物に向けて X線を出射し前記被検査物を透過する X線を検 出することにより前記被検査物の状態を検査する検査システムであって前記 X線 の出射方向に対し交差する軸を中心に前記被検査物の向きを調節可能な検査シス テムに用いられる X線管において、

前記被検査物に対向する先端面に前記 X線の出射窓を有し、 その先端面の前記 出射窓の周辺に前記 X線の出射方向に対して傾斜し、 かつ、 前記軸と平行するテ

—パ面が形成されていること、

を特徴とする X線管。

5 . X線を出射する X線出射手段を備えた X線発生装置において、 前記 X線出射手段が請求項 1〜4のいずれかに記載の X線管であること、 を特徴とする X線発生装置。

6 . X線を出射する X線出射手段を備えた X線発生装置において、 構成部品を収容する筐体を備え、

前記 X線出射手段の出射窓が設けられる前記筐体の表面に、 前記 X線の出射方 向に対して傾斜するテ一パ面が形成されていること、 を特徴とする X線発生装置。 '

7 . 前記筐体の前記表面の一方に片寄る位置に前記出射窓が設けられ、 前記表面の他方側に前記テーパ面が形成されていること、

を特徴とする請求項 6に記載の X線発生装置。

8 . 前記テーパ面は、 前記出射窓を中心としてその両側に対称的に二 つ形成されていること、

を特徴とする請求項 6に記載の X線発生装置。

9 . 前記二つのテーパ面は、 前記 X線の出射方向に対して同一角度で 傾斜していること、

を特徴とする請求項 8に記載の X線発生装置。

1 0 . X線を被検査物に照射し、 前記被検査物を透過する X線を検出 することにより前記被検査物の状態を検査する検査システムにおいて、

前記 X線を出射する請求項 5〜 9のいずれかに記載の X線発生装置と、 前記被検査物を前記 X線の出射方向に対し交差する軸を中心に回動させる回動 手段と、

前記 X線の出射方向であって前記被検査物の後方に配置され前記被検査物を透 過する前記 X線を検出する X線検出手段と、

を備えたことを特徴とする検査：