WO2000067026A1 - Verfahren zum herstellen von detektionssystemen mit planaren arrays - Google Patents

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WO2000067026A1
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Reinhard Bredehorst
Rainer Hintsche
René SEITZ
Walter Gumbrecht
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Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Siemens Ag
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    • G01N27/27—Association of two or more measuring systems or cells, each measuring a different parameter, where the measurement results may be either used independently, the systems or cells being physically associated, or combined to produce a value for a further parameter

Definitions

  • the invention relates to the production of planar substrates or planar sensor elements, on which the same or different biomolecules are arranged immobilized as so-called arrays. This arrangement is preferably used as part of measuring devices in chemical analysis, in biotechnology and in industrial process control.
  • the invention also relates to substrates or sensor elements in which a planar substrate is partially covered with a specifically structured layer or layer in such a way that specifically shaped microcompartments are formed in which the biomolecules can be immobilized on the uncovered substrate surface.
  • the specified, specifically structured layer or layer can optionally be removed from the substrate again, the above planar substrates or sensor elements being produced.
  • microreactors, micro-compartments or micro-cavities have long been known, which are produced in silicon and glass using standard methods of microsystem technology, e.g. as etched structures in Si or glass microsystem technology as well as in plastics via embossing processes.
  • a photolithographic technique for producing the smallest separated microactivities in polystyrene is also known.
  • the etched ends of fiber bundles embedded in polymers have also been used as microcavities.
  • U.S. Patent 5605662 describes the formation of microstructured areas surrounded by walls of the substrate with gel-covered electrodes for receiving various molecules, e.g. Nucleotides, described and the loading with liquids shown.
  • R. Shighvi et al. describes an elastomeric polysiloxane stamp for taking impressions by means of photolithographic techniques, with which molecular-structured arrays can be produced by printing and abstraction processes using thiol-derivatized fatty acids.
  • stamping this stamp on gold substrates self-organized monomolecular layers corresponding to the shape of the stamp can be formed, which can be used as a barrier for growing cells.
  • Gold surfaces can be coated with stamps with monomolecular layers and used as protection against chemical etching in order to structure substrate areas lying between the stamp regions down to the nm range.
  • micro contact pressure i.e. The transfer of molecules by means of micro stamping was carried out by A. Kumar and G.M. Whitesidess [Appl. Phys. Lett. 63 (1993) 2002].
  • stamping techniques are the lack of edge precision and inhomogeneities in the area distribution of the molecules, particularly with increasing stamp area.
  • Localized substance arrays can also be created using a micro-nebulization technique.
  • the localized application of the smallest microscopic drops of liquids with different substances is also possible on structured, so-called “seif assembied monolayers”.
  • Filling with microdroplets in the manner of the well-known inkjet printing techniques is also common and is frequently used; Analog inkjet technology is also used to deposit so-called microspots on planar carriers and transducers.
  • micro contact printing i.e. the transfer of molecules using micro-stamping was done by A. Kumar and G.M. Whitesidess [Appl. Phys. Lett. 63 (1993) 2002].
  • Molecules describe Blanchard et al., Biosensors & Bioelectronics 11 (1996) 687, the deposition of liquid drops with inkjet printing technology on approximately 100 ⁇ m large circular areas with hydrophilic surface properties, which are separated by approximately 30 ⁇ m wide areas with hydrophobic surface properties. Due to the poorer wettability of the hydrophobic areas with aqueous liquids, the mixing of adjacent drops is to be prevented. As there are no differences in height between the hydrophilic and hydrophobic areas, the risk of mechanically caused contamination remains, particularly in the case of the fast and automated loading processes sought, and limits the applicability.
  • the liquids and reactants used need to dry quickly in order to avoid mixing. Problems of these methods are geometrical irregularities of the spots, the impossibility of quantitative dosing at individual positions and the limitation of the applicable coupling reactions in the liquid phase as well as the possible carryover of substances between individual array positions.
  • a newer method for producing and filling microcavities in nm and ⁇ m dimensions is the so-called "dewetting” technique, the capillary forces for filling and the liquid drains from the planar surface [Whitesides et al., Anal. Chem. 70 (1998) 2280].
  • Perforated membranes which are pressed onto chip surfaces with the aid of a stamp, enable immobilization reactions on the surfaces in the liquid phase in the open areas [E. Ermantraut et al., Proc. of ⁇ TAS'98, Alberta, Can., 1998, p. 217]. This method poses contamination problems due to capillary forces between the stamp and the array surface, which can cause errors in synthesis or immobilization reactions.
  • the one by Wadkins et al. The proposed method is due to the manual steps for mass production with standard industrial methods e.g. not suitable on wafers. Another disadvantage is that the measurement signal which is taken from the sample cannot be collected directly at the location of the immobilization.
  • inorganic surfaces with monomeric and in particular with polymeric biomolecules is carried out in different ways in the prior art, these as a single layer or as a multi-layer e.g. by covalent bonding, adsorption, incorporation in polymers or as crystalline films.
  • the inorganic surfaces of the base substrates are treated, for example, with bifunctional reagents, and the surfaces with chemical b
  • the methods shown stand for standard methods that allow DNA, oligonucleotides, proteins and other molecules to be immobilized on array positions.
  • the object of the present invention is to provide a method which makes it possible to form bioarrays with catcher molecules (“detection systems”) adhering to the substrate surface on planar substrates, which is technologically simple and / or compatible with microelectronic chip production
  • Substrates or biosensors in the wafer association should allow the immobilization of biomolecules, minimize contamination problems and be homogeneously accessible and unproblematic for fluid handling.
  • the method should lead to substrates or biosensors (“detection systems”), with the help of which either a large number of materials can be used in a very small space
  • Samples for the presence of a substance to be detected (“analyte”) or a sample for the presence of a large number of substances (“analytes”) can be examined.
  • the object is achieved by a method for producing a detection system for detecting different analytes in a sample or for detecting an analyte in a plurality of samples, the detection system having a flat or essentially flat substrate surface and arrays of the same or different arranged on this level , Analyte-binding capture molecules, characterized by the following steps:
  • Microstructuring the layer in each case such that regions of the substrate which are separate from one another are not covered by the layer, the layer and substrate being sealingly connected to one another at least around the uncovered regions, (c) bringing at least part of the uncovered regions into contact with at least one liquid containing catcher molecules, the catcher molecules being able to adhere to or bind to the substrate surface and / or the surface of the sensors, (d) removing the non-adherent or bound components of the liquid. (e) removing the microstructured layer or parts of this layer.
  • microcompartments The regions of the substrate which are separate from one another and which are not covered by the layer can also be referred to as microcompartments.
  • step (b) such microcompartments are formed which have a lateral boundary due to the parts of the layer surrounding them, that is to say are separated from one another by mechanical barriers. This limitation or barrier is eliminated again by step (e), so that after this step the microcompartments are in the form of regions occupied by capture molecules, which are also referred to as (bio) arrays, without lateral limitation on the substrate surface or the surface of the sensors.
  • capture molecules is to be understood as meaning those substances which can be immobilized on the surface of the substrate and / or the sensors, the type of immobilization being freely selectable. A wide range of possibilities are available to the person skilled in the art here, some of them
  • the immobilization can be carried out by chemical bonding or by adhesion or the like, or it can be carried out directly or with the aid of other substances with which suitable chemical groups on the Substrate or sensor surface are provided.
  • capture molecules is also intended to mean that these substances have suitable groups in order to hold the analyte in their vicinity, directly or with the inclusion of further substances.
  • the analyte can be “captured” or bound chemically or physically; In addition to chemical bonding, van der Waals bonds, adhesion or the like can also be the reason for the analyte to remain in the vicinity of the capture molecules.
  • van der Waals bonds, adhesion or the like can also be the reason for the analyte to remain in the vicinity of the capture molecules.
  • the sensors can be in or on the substrate surface, i.e. applied as a thin structure thereon or buried in the substrate surface or arranged in another way in such a way that the substrate surface is flat. Since the sensor structures are usually extremely thin, especially when sensors are provided for electrical detection, the terms include “planar”
  • Substrate surface "or" flat substrate surface “of course also those substrate surfaces in which the sensors on the actual substrate, e.g. a silicon wafer.
  • the sensors are sensors for electrical detection, which is preferred, transducers, e.g. Electrodes or field effect transistors can be used. Instead of this, optical, possibly also chemical sensors can also be used.
  • the layer according to step (b) is preferably applied and / or is or is structured such that the locations on the substrate surface at which the sensors are located are not covered by the layer.
  • microcompartments and arrays populated with capture molecules are obtained, in which the sensors for optical or electrical detection are in direct contact or at least in close proximity to the capture molecules and thus during the measurement also to the analytes or capture molecule to be detected / Analyte complexes or combinations.
  • the invention thus provides detection systems with micro-compartments or micro-capillary reactors in which molecular immobilizations can be carried out in mass production, but which are removed from the carrier or sensor after the binding of molecules. Furthermore, the invention provides special detection systems which can be obtained with the aid of steps (a) to (d) of the method listed above, while the removal of the microstructured layer in accordance with step (e) can be dispensed with. These detection systems are characterized by specific geometries and possibly materials of the layer to be applied in accordance with step (b).
  • step (b) on e.g. Silicon devices are e.g. helpful if a sensor array with different molecules, e.g. DNA or RNA or their building blocks or proteins or peptides or other affinity-binding molecules should be documented, in particular if fluid changes are necessary. In the opposite case, such compartments are also necessary, if in all
  • Microcopartiments of similar capture molecules are bound, which are then tested with different analytes containing different substances or mixtures of substances to be detected.
  • planar substrates suitable for the invention can consist of conventional materials, in particular silicon, glass or ceramic, the microcompartments produced permitting wet-chemical processes for producing the molecular arrays without mutual contamination occurring.
  • the invention realizes the microcompartments preferably with the aid of a layer of polymeric, but also of mineral or metallic materials.
  • Array surfaces on the substrates or sensor elements are accessible through openings or channels for the liquids to be applied for the application of the capture molecules.
  • microcapillary reactors are particularly suitable for complex reactions and fluid changes, possibly by means of an additional stamp-like fluid distributor, for example with regard to the application of the capture molecules.
  • the side and top walls of these microcompartments or microcapillary reactors can be carried out according to the step (e) removed. It is particularly advantageous that all mechanical barriers for the liquid exchange between the array positions are removed in this way and important rinsing, washing or detection processes for the use of the element are accelerated and improved.
  • the substrate or the sensor element in advance by means of embossing and / or photolithography and to fix them in place by adhesive bonding or heat sealing or self-adhesion.
  • foils or thin plates can be applied as a whole. They are then opened at the desired array positions by conventional lithographic and / or etching processes and freed of the compartment-forming material.
  • the present invention is particularly suitable for sensor elements in which arrays of different molecules, molecular aggregates or whole biological cells have to be applied to the different positions with sensitive optical or electrical elements.
  • An advantage of the invention is in particular that the method can be combined well with the tried-and-tested silicon technology and the automated liquid distribution by means of a dispenser or ink-jet method.
  • the removal of the side boundaries of the microcompartments after the formation of the molecular array can be carried out by mechanical removal or chemical detachment so gently that sensitive
  • Biomolecule coatings are not affected. After removal of the polymers, homogeneous wetting with liquids or other analytical media is possible without disruptive surface structures.
  • the same methods can also be used to immobilize the same types of molecules in all microcompartments or microcapillary reactors in a batch process and then to charge them with different analytes or reaction partners for analytical analysis.
  • FIG. 1 shows a top view and sectional images of a planar sensor array with micro-compartments and immobilized molecules in different
  • FIG. 2 shows a top view and sectional images of a planar array
  • Microcapillary reactors and immobilized molecules at various stages of the manufacturing process are Microcapillary reactors and immobilized molecules at various stages of the manufacturing process
  • FIG. 3 shows a top view and sectional images of a planar sensor array with structured surfaces and immobilized molecules
  • FIG. 4 shows a top view and sectional views of a stamp for handling liquids on a planar array.
  • FIG. 1 shows an example of the generation and use of micro-compartments by means of a structured polymer coating on an electrode array using silicon technology.
  • FIG. 1 a shows the top view of an array with 12 sensor electrodes 2 on an insulated silicon chip 1.
  • the electrical chip contacts 10 serve as connections with which the electrodes 2 are electrical be contacted.
  • the conductor tracks run invisibly below the polymer film 3 and are covered separately with an insulator (not shown).
  • the liquid drops 6 and 7 illustrate the selective dosing in two of the laterally delimited micro-compartments formed by the polymer 3.
  • the section line AA 'in the figure marks the area which is shown in Figures 1b to 1f.
  • FIG. 1b shows a detail of the silicon substrate 1 along the section line A-A 'with two electrodes 2 as sensor elements, which is covered by a polymer coating 3 applied over the entire element. A shadow mask 4 is placed over this polymer layer.
  • FIG. 1c shows the arrangement as in FIG. 1b after removal of the polymer film 3 at the locations of the openings in the shadow mask by means of dry etching and subsequent customary removal of the photolithographic mask 4.
  • the microcompartments 5 formed in this way with lateral walls above the sensor electrodes 2 have the shape of pot-like depressions.
  • FIG. 1d shows the arrangement as in FIG. 1c after selective introduction or dosing of drops 6 and 7 with dissolved chemical species A and B.
  • FIG. 1e shows the arrangement as in FIG. 1d after chemical bonding of the molecules A 8 and B 9 when the polymer film 3 is detached from the electrode array.
  • Figure 1f shows the detail as in Figure 1e after detachment of the polymer film 2 and represents the planar sensor array without mechanical barriers, which is used for analytical use with immobilized types of molecules A and B.
  • microcapillary reactors The formation and use of microcapillary reactors is shown in FIG.
  • a previously structured polymer layer 3 is attached to the silicon substrate 1 in section B-B 'according to FIG. 2e.
  • the microcapillary reactors prefabricated by punching and embossing techniques in the polymer consist of the inlet and outlet openings 11 and 12, which are connected to one another by a channel 13.
  • the microcapillary reactor is filled with a solution 7 through the inlet opening 11, and the molecular type B 8 is immobilized at the bottom of the microcapillary reactor.
  • FIG. 2c shows the mechanical removal of the polymer layer 3.
  • a planar molecular array is produced as described above for FIG. 1f.
  • the structure of the microcapillary reactors is eliminated again.
  • FIG. 2e shows the top view of an arrangement of microcapillary reactors on a chip substrate.
  • the connecting channels 13 which are not visible from above, are indicated by black dashed lines.
  • the section line B-B ' shows the cross section, which is shown in Figure 2a.
  • Section line B "-B '" shows a microcapillary reactor filled with liquid 7 according to FIG. 2b.
  • FIG. 3a shows a planar sensor array with a microstructured surface.
  • nine microelectrode arrangements 2 are shown in a polymer layer 3 with the sensor areas 5, the contacts 10 and a position 6 filled with liquid 6 at A-A 'and trench-like depressions 15 which extend around the areas 5.
  • the cross sections of Figures 3b, 3c and 3d correspond to the section line A-A 'in Figure 3a.
  • the production of this structure is shown in FIGS. 3b and 3c:
  • the planar substrate 1 and the microelectrode arrangement 2 and the polymer layer 3 are covered in FIG. 3b with a photolithographic mask 14.
  • FIG. 3b shows a photolithographic mask 14.
  • FIG. 3c shows a section of a planar array with a microstructure composed of trench-like depressions 15 in the polymer layer 3 and the immobilized type of molecule 8.
  • FIG. 4 shows the design of a stamp 20 for handling liquids on planar arrays 1 with microcapillary reactors (see also FIG. 2).
  • FIG. 4a shows the top view of a stamp with which the substrate with the microcapillary reactors, as shown in FIG. 2d, can be completely or partially covered.
  • An inlet opening 16 and two outlet openings 17 can be seen in the top view in FIG. 4a.
  • the black lines mark the cavities within the stamp which, according to FIG. 4b, represent inlet distributor channels 18 and two outlet distributor channels 19.
  • the white dashed lines indicate how the microcapillary reactors according to FIG. 2d are arranged under the stamp.
  • a stamp 20 is placed on a sensor array 1 with the microcapillary reactors.
  • the inlet opening 16 of the stamp is arranged over the inlet distributor channel 18 and the inlet openings 11 of the microcapillary reactors. Above the outlet openings 12 of the microcapillary reactors there are outlet distribution channels 19, which all outlet openings 12 with the outlet openings 17 of the Connect stamp. When liquids are applied, the micro-compartments are filled through the inlet openings 16 of the plunger via the inlet distribution channels 16 and the inlet opening 16. Through the connecting channels 13 of the microcapillary reactors, the liquid flows through the outlet openings 12 into the outlet distributor channels 19 of the stamp to the outlet openings 17 of the stamp, from which the liquid can be removed again.
  • An essential principle of the invention is that on a planar substrate, e.g. Various biomolecules such as peptides, proteins, oligonucleotides or nucleic acids are immobilized safely and deliberately on defined defined areas made of silicon, glass, ceramic or organic polymers or analog or similar planar elements that are equipped with chemical, optical or electrical sensors. For this purpose, microcompartments that are laterally delimited from one another are produced on the intended surfaces of the substrates or sensor elements. In a specific embodiment variant, the shape of
  • Microcapillary reactors can have which solutions e.g. can take up with different molecules without these mixing together. Using common chemical coupling reactions, e.g. with bifunctional reagents, molecules from such solutions are bound to the surfaces of the substrates or sensor elements, i.e. immobilized, which can later act as capture molecules.
  • the microcompartments to be produced in this way can have a circular, square or any other geometry.
  • polymeric, but also mineral or metallic materials can be used as a layer for the process according to the invention.
  • polymers for example polysiloxanes, polyamides, polymethacrylates, polycarbonates or polystyrenes can be used.
  • planar substrates or the planar sensor elements which can be, for example, a complete silicon wafer or a glass plate or also a single chip, and, if necessary, fastened thereon.
  • the liability of the materials or materials for these micro-compartments is achieved either by self-adhesion or by heat sealing processes or by laser spot welding or by additional adhesives. At least in the area around the compartments, it should preferably be sealing.
  • polymer films, polymer films or thin polymer plates are used for the layer, which are provided beforehand with predetermined openings and then attached to the substrate or sensor element in such a way that the intended areas remain free of polymer and form a micro-compartment.
  • These areas are preferably those which carry sensors for the later detection of the analytes.
  • the corresponding openings are preferably produced by punching processes or also photolithographically or using shadow masks, for example in combination with dry etching processes. As a result, the element shown in Figure 1a is obtained in a process which is suitable for mass production.
  • This method has the advantage that sensitive surfaces and sensor elements such as optical gratings or electrodes are kept free from contact with foreign substances and in this way contamination or contamination of the sensitive surfaces is avoided.
  • Microcompartments of step (b) can alternatively also be produced by gluing thin silicon, glass, metal or ceramic plates. These materials are preferably structured beforehand using standard microsystem technology processes and can be attached to the substrates or sensor elements by means of removable adhesives, such as are customary for labels, or also by means of heat-sealing polymers.
  • a polymer or its precursor can be used for the production of the microcompartments according to step (b), this in unstructured form as a whole (as a layer) on the substrate or a sensor element as described above in liquid or pasty form applied or attached in self-supporting form.
  • This polymer layer can be structured photochemically according to known processes, for example by exposing the desired areas, preferably above the sensor elements, which will later represent the microcompartments, by means of photoresist and conventional lithography or using shadow masks. The material above the desired substrate surfaces and possibly sensor elements is then removed, for example by using dry etching methods, and the laterally delimited micro-compartments are formed.
  • This method is particularly suitable for the production of micro-compartment structures in which trench-like depressions should remain around the actual bioarrays, since these cannot be completely realized on a prefabricated (pre-punched and / or pre-embossed) layer: webs would have to remain here, these Hold structures.
  • a substrate or sensor element is then obtained which has micro-compartments in the form of small pots or chambers, possibly surrounded by further depressions.
  • the geometric shape of these structures is not restricted, so that the configurations shown in the figures with round openings in the areas are only intended to represent examples.
  • the diameters and heights of the compartments are also not necessarily specified. They can advantageously be in the range between approximately 0.2 ⁇ m and several 100 ⁇ m.
  • the ratio of diameter to height of the compartments is also freely selectable, it can be suitably e.g. are in the range from 20: 1 to 0.5: 1, preferably from about 10: 1 to 1: 1.
  • the substrates or sensor elements with laterally delimited micro-compartments (ie micro-compartments that are mechanically separated from one another) produced in one of the aforementioned ways can then be filled with any solutions as shown in FIG. 1c or 2b.
  • the volume of the microcompartments to be selected is adapted to the dosing means such as micropipettes, ink jet technology or other dosing techniques as well as the intended chemical reactions or the given sensor functions.
  • the liquid volumes preferably vary between approximately 5 to 500 ⁇ l in the case of piezo metering and approximately 1 nl to several ⁇ l in the case of pipetting devices.
  • both the reagents for immobilizing the capture molecules as well as various biomolecules e.g. intended as capture molecules
  • the intended surfaces are reacted with short-chain reactive bifunctional molecules from the solution or from the gas phase, in particular if the surfaces are substrates.
  • these molecules are all molecules which react with the substrate, in the case of inorganic substrates (silicon, SiO 2 , SiON x , glass variants), that is to say molecules which include groups such as chloroalkyl- or arylsilanes, chloroaromatics, alkox -alkyl- / -arylysilanes or mixtures of these components and which have at the other end of the molecule, which is preferably designed as a spacer molecule, a second reactive chemical group such as aldehyde, isocyanate, cyanate, thiocyanate, thiol derivative or thioester.
  • Selfassembling monolayer formation can be used as an alternative immobilization variant. This is particularly suitable when the surface of metallic sensors (e.g. transducers such as electrodes or the like) is to be covered with the capture molecules.
  • metallic sensors e.g. transducers such as electrodes or the like
  • the capture molecules e.g. Thiol derivatives, e.g. 1-thiol-n-aminoalkanes, on gold surfaces of sensors or neighboring ones
  • Auxiliary surfaces near the sensors are applied.
  • a special feature of the coupling of biomolecules in the previously described array structures is the possibility to activate all cavities simultaneously in a batch process in such a way that different types of molecules are subsequently introduced into the individual compartments and, as described above, immobilized.
  • microcompartments or microcapillary reactors can be selected and various chemical reactions carried out therein.
  • the polymer 3 can be removed again from the substrate or the sensor element. This can e.g. can be achieved mechanically in accordance with an exfoliation process, possibly also with thermal support.
  • Suitable polymers can also be removed by detachment with solvents to which the immobilized molecules are resistant. For example, polymethacrylates, polycarbonates, etc. remove with solvents such as acetone or ethyl acetate, while an oligonucleotide library remains unaffected. If sensitive types of molecules such as proteins, in particular enzymes, antibodies or the like, are immobilized, the reagent-free and thermally non-stressful mechanical removal of the micro-compartments is particularly advantageous.
  • the substrates or sensor elements After being coated with different molecular species and after removing the compartments, the substrates or sensor elements have an essentially ideally planar surface which allows the unhindered exchange of liquids, Washing processes or homogeneous analysis processes are possible, whereby both the measurement of an analyte in a large number of samples to be applied and the measurement of a large number of possible analytes (for example with the aid of a library of oligonucleotides which has been arranged on the array positions) are possible in a single sample.
  • Teflon is used as the polymeric material for the layer to be used in step (b) of the process according to the invention as a film analogous to a photoresist on e.g. spun a silicon wafer and attached it to the wafer using adhesion promoters using standard methods.
  • the teflon material is then removed from the intended positions by shadow masks or photolithography, and micro-compartments corresponding to FIG. 1 are formed.
  • the height of these micro-compartments can be reduced to only 0.5 to approximately 10 ⁇ m. If one chooses a ratio of the diameter of the compartments to the height of the polymer layer of approx.
  • the Teflon polymers can remain on the wafer without being an essential mechanical obstacle for rinsing processes or analyte access.
  • the advantage of using this Teflon is its pronounced hydrophobic behavior.
  • the small edge heights of the micro compartments with the hydrophobic, i.e. water-repellent coatings of the interspaces very well as separating elements between the individual compartments, so that the remaining structures of the layer have no disadvantages due to their low height compared to a detection system in which this layer has been completely removed.
  • step (e) of the method according to the invention detachment of the microstructured layer
  • step (e) of the method according to the invention detachment of the microstructured layer
  • the height of the structured layer is chosen such that it does not involve rinsing processes and the like with special needs.
  • a Teflon layer can also be applied to the substrate in a self-supporting form, which can be structured either before application (e.g. by stamping) or afterwards.
  • microcompartments are produced in the form of so-called microcapillary reactors, as already mentioned.
  • These capillary reactors exist as in Figure 2a shown from 2 micro-compartments 11 and 12 analogous to that described above for Figure 1, which are connected by a capillary-like channel 13.
  • the openings and the channels are preferably prefabricated by stamping and embossing from (organo) polymeric, mineral or metallic material or, if appropriate, by a combination of lithography and etching processes, and are fastened to the substrate or sensor element as described in the above case of the individual compartments.
  • the channels are prefabricated, e.g. by embossing or etching, and the inlet and outlet openings are as described above for the microcompartments, e.g. generated only after application to the substrate surface.
  • microcapillary reactor acts like a system of communicating tubes. Due to the small dimensions of the compartment and channel in dimensions of 1 ⁇ m to approx. 1 mm, preferably 50-500 ⁇ m, capillary forces act when filling with liquids.
  • the capillary force also fills the second compartment spontaneously via the channel without additional aids.
  • the applied liquid displaces the gas present in the micro-compartments and the channel through the second opening and thus reliably prevents gas bubbles from remaining. Therefore, drops that are larger than the opening of one of the compartments can be metered into these microcapillary reactors, because such a drop is sucked in spontaneously by the capillary forces.
  • the arrangement of the capillary reactor also enables direct filling from a capillary placed on one of the compartment openings. After fitting such a capillary filled with liquid, the system spontaneously soaks up liquid without any leakage being observed.
  • the capillary reactor system can also be used for supplying the same liquids or for efficient liquid changes, as are often necessary in chemical reactions or immobilization processes.
  • a washing process is implemented by placing a capillary for dosing on or on a compartment opening and suctioning it off with a second capillary from the second compartment opening.
  • the detection system can be freed from the microstructured layer either in step (e) of the production method according to the invention after the capture molecules have been applied to the surface of the substrate.
  • the microcapillary reactors can also remain on the substrate during the detection of the analytes.
  • the capillary action of the microreactors can also be used in a favorable manner for steps in the course of the detection, for example when applying a large number of analyte liquids using metering techniques such as stamping or ink-jet techniques, or when the amount of the analyte liquid to be measured should be able to be dosed relatively precisely in the micro-compartment.
  • photostructurable polyimide (or another suitable, preferably hydrophobic organic polymer material) is used according to standard procedures as a material for micro-compartments and additional trench-like structures. As described above, photostructurable polyimide (or another suitable, preferably hydrophobic organic polymer material) is used according to standard procedures as a material for micro-compartments and additional trench-like structures. As described above, photostructurable polyimide (or another suitable, preferably hydrophobic organic polymer material) is used according to standard procedures as a material for micro-compartments and additional trench-like structures. As described above, photostructurable polyimide (or another suitable, preferably hydrophobic organic polymer material) is used according to standard procedures as a material for micro-compartments and additional trench-like structures. As described above, photostructurable polyimide (or another suitable, preferably hydrophobic organic polymer material) is used according to standard procedures as a material for micro-compartments and additional trench-like structures. As described above, photostructurable polyimide (or
  • Microcompartments which are preferably about 50-200 microns high, produced photolithographically or by dry etching.
  • the sensor areas are surrounded by annular trench-like structures, e.g. in dimensions between 10 and 100 microns width (see Figure 3). A few wider or many correspondingly narrow structures can optionally be arranged.
  • the hydrophobic character of the polyimide as shown for the coating with Teflon, has a repellent property for aqueous solutions. When droplets are dosed into the sensor areas, the risk of entering into an adjacent cavity is significantly reduced by the trench-like structures that can hold liquid material. Opposite a flat
  • liquids on hydrophobic substrates are known or can be measured, the volume of the liquid drops placed on them can be calculated relatively precisely, so that quantitatively definable amounts of capture molecules can be applied to the substrate.
  • step (e) of the method according to the invention not to free the detection system from the microstructured layer according to step (e) of the method according to the invention, but rather to delimit the analyte or analytes in the side surrounded by the trench-like structures To detect micro-compartments.
  • this should not be the rule, especially if structures present on the substrate hinder necessary washing processes or the like to be carried out over the entire chip or wafer.
  • capillaries are pulled out in such a way that the outer diameter at their tip is adapted to the microstructures on the detection system, e.g. is approx. 2 - 10 ⁇ m.
  • the capillary tips are therefore relatively small in relation to the individual array positions.
  • the volumes that can be dispensed separately with these capillaries are also very small in the lower nl range in relation to the total volume in a microcompartment or in a microcapillary reactor, since they amount to approximately 5-10% of this total volume.
  • pl-quantities of the corresponding solutions are introduced in a non-contact manner into microcompartments or into a microcapillary reactor using piezo dosing heads.
  • the dimension of the incident pl-drop beam is even smaller in relation to the dimension of the array position.
  • the polarity of the outside of the glass capillaries can be adjusted by chemical modification in the opposite direction to the polarity of the solvent used in each case.
  • aqueous solutions can be defined and metered without loss, since retrograde migration of drops emerging from the capillary tip no longer takes place.
  • the reverse solution is used for dosing organic solvents. With the hydrophilic outside of the capillary tip, retrograde migration of the escaped drops is no longer possible.
  • the filling and suctioning can also be carried out by fitting a stamp 20 which is complementary to the structure shown in FIG. As shown in FIG. 4, the stamp causes several or all of the inlet openings 11 of the microcapillary reactors to be connected to one another through a distributor channel 18 in the stamp 20 connected. In the same way, the different outflow openings 12 of the capillary reactors in the array are connected to one another by the distribution channels 19. This can be implemented in rows or for the entire array, so that the entire microcapillary reactor array can be flushed or charged under pressure with inlet and outlet openings 16 and 17, respectively. For this purpose, liquid with hoses from corresponding reservoirs or filling apparatus is fed into the inlet opening 16 and discharged through the outlet openings 17 in the stamp through the second channel system.
  • stamps can preferably be produced from sealing polymers or rubber-like materials such as, for example, silicones, polyamides or polyhydrocarbons. But metal or silicon stamps with thin elastic seals are also suitable. In the case of glass or silicon materials, the usual etching methods for producing microstructures can be used particularly advantageously.
  • Microelectrode structures according to FIG. 1 are produced using standard silicon technology. [K. Reimer et al. Sensors and Actuators, A 46/47 (1995) 66]. For this purpose, 500 nm thick thermal oxide is produced on 4 "silicon wafers. Lacquer is structured photolithographically on the oxide in such a way that the contours of the electrodes are exposed for the electrode structures.
  • the electrode system according to details in FIG. 1a consists of comb-like electrode strips with a width of 1.5 ⁇ m at a distance of 800 nm. The electrode strips are below the conductor tracks (not visible)
  • Insulation 3 connected to the contact surfaces 10.
  • the silicon dioxide-coated wafer is provided with the structures of the electrodes using a photolithographic mask.
  • a 20 nm thick titanium adhesive layer and a 150 nm thick gold layer are deposited on the entire surface by means of an electron beam.
  • a lift-off process removes all material between the electrodes, conductor tracks and contacts.
  • the wafer is then covered with a 400 nm thick silicon oxynitride layer, which is generated in the plasma by chemical deposition (PECVD-SiN x : H).
  • PECVD-SiN x chemical deposition
  • the array positions and the external contact areas are exposed down to the gold areas by reactive chemical dry etching.
  • the wafer is sawn in from the rear in accordance with the individual chip edges provided, approximately 250 ⁇ m deep from the rear.
  • Electrical sensor arrays which were produced according to Example 1, are freed from protective lacquer with acetone in an ultrasonic bath and repeatedly with alcohol and
  • Ultrapure water washed. In the following step, they are coated with microcompartments in the wafer composite by laminating a previously perforated 400 ⁇ m thick polypropylene film. The perforation corresponds to the sizes of the sensor array positions and the contact areas. Laminating is done by heating with a stamp. Approx. 200 ⁇ m wide strips are sealed around the array positions. The adjustment of the film applied by means of a vacuum stamp in wafer size is carried out by means of alignment marks on the wafer surface by optical control. The wafer cooled to -20 ° C. is broken along the chip edges pre-sawn according to Example 1, so that the individual chips are obtained.
  • Optical sensor arrays which consist of glass wafers, which are homogeneously provided with a light-conducting layer of silicon oxynitride and a silicon dioxide layer of approximately 20 nm, are sawn from the rear according to Example 1. Then they are stripped of protective varnish with acetone in an ultrasonic bath and washed several times with alcohol and ultrapure water.
  • a 0.3 mm polypropylene film is attached to the entire surface using residue-free removable adhesive.
  • the polymeric material is etched away using reactive dry etching with a hole arrangement that corresponds to the desired array positions and micro-compartments up to the silicon dioxide layer. Reactive plasma is used for this.
  • the wafer cooled to -20 ° C. is broken along the chip edges pre-sawn according to Example 1, so that the individual chips are obtained.
  • Electrical sensor arrays which have been produced according to Example 1 are freed of protective lacquer with acetone in an ultrasound bath and washed several times with alcohol and ultrapure water. In the following step, they are glued in the same way as in Example 3 with a previously perforated 0.5 mm thick polyamide disc
  • Wafer format To create the microcapillary reactors, the 100 ⁇ m long connecting channels are stamped into the polymer disk beforehand.
  • the inlet and outlet openings are made like the micro-compartments in Example 3.
  • the inlet openings have a diameter of 200 ⁇ m and the outlet openings have a diameter of 300 ⁇ m.
  • the wafer cooled to -20 ° C. is broken along the chip edges pre-sawn according to Example 1, so that the individual chips are obtained.
  • Electrical sensor arrays in the wafer assembly according to Example 1 are freed from protective aciae with acetone in an ultrasonic bath and washed several times with alcohol and ultrapure water. Then they are spin coated with Teflon AF (DuPont) with a 15 ⁇ m thick film. The entire wafer is previously wetted with the associated adhesive (DuPont). After baking the Teflon layer at 150 ° C for 20 min, a photolithographic mask with the structures of the array positions and the trench-like depressions according to 15 in Figure 3a and the Contact surfaces applied. The Teflon is exposed by means of reactive dry etching from the areas of the array positions and the contact areas and the trench-like structures to the surfaces of the electrodes or the substrate surface.
  • the polymer layer can also be made from standard polyimide and structured identically.
  • the wafer is broken along the chip edges pre-sawn according to Example 1, so that the individual chips are obtained.
  • a chip produced according to Example 3 is placed on a ceramic carrier with conventional ones
  • a reaction vessel with a diameter of approx. 5 mm is attached to the chip by gluing a polymer molded part made of polysiloxane along the edge of the chip, which delimits the active electrode areas.
  • a 5 mM solution of 11-mercapto-undecanylamine in cyclohexanone is poured into this reaction vessel and covered and left at room temperature for 5 hours.
  • the assignment of the electrodes by self-assembling is controlled by an online impedance measurement (EG&G Model 398).
  • This covering of the metal surfaces can alternatively also be carried out before the chips are broken and separated by dipping the entire previously stripped wafer into the analog solutions.
  • the surface of the chip now derivatized with amino functions, is then incubated with a drop (0.1-10 ⁇ l) of 20 mM tolylene-2,4-diisocyanate (TDI) in ethyl acetate (EEE) at room temperature for 10-60 min. It is washed with EEE and dried.
  • TDI tolylene-2,4-diisocyanate
  • EEE ethyl acetate
  • the nucleotide sequence is different at each array position according to the different target DNA molecules to be analyzed.
  • the coupling reaction takes place spontaneously for one hour at room temperature.
  • the electrical sensor array is washed with SSPE buffer (0.9M NaCl, 50mM NaH 2 PO 4 , 5mM Na 2 EDTA, pH 7.5).
  • the above-mentioned structured polymer coatings are removed from the chips by mechanical peeling.
  • a chip produced according to Example 5 is mounted on a ceramic carrier with conventional conductor tracks and wire-bonded.
  • a reaction vessel with a diameter of approximately 5 mm is attached to the chip by gluing a polymeric molded part made of polysiloxane along the chip edges, which delimits the active electrode regions.
  • the areas in this ring are washed with alcohol and distilled water.
  • the surfaces in the array positions are silanized by incubation in toluene with the addition of a silane (e.g. aminopropyltriethoxysilane; isocyanatopropyltriethoxysilane; glycidoxypropyltrimethoxysilane) ad 1-5% (v / v) at 40-80 ° C for 1-30 h.
  • a silane e.g. aminopropyltriethoxysilane; isocyanatopropyltriethoxysilane; glycidoxypropyltrimethoxysilane
  • the surfaces derivatized in this way with secondary chemical functions are then incubated directly with a drop (0.1-10 ⁇ l) of 20 mM tolylene-2,4-diisocyanate (TDI) in ethyl acetate (EEE) at RT for 10-60 min. After washing with EEE, a drop (0.1-10 ⁇ l) of another antigen protein solution (C protein approx. 1-10 mg / ml in carbonate buffer or phosphate buffer pH 9.5) was added to each microcompartment and at RT during 0 , Incubated for 1-2 hours.
  • TDI tolylene-2,4-diisocyanate
  • EEE ethyl acetate
  • the above-mentioned structured polymer coatings are removed from the chips by mechanical peeling.
  • Example 1 Use of a stamp for affinity binding of DNA on sensor arrays
  • Electrical sensor arrays are produced according to Example 1, the actuators being designed as interdigital electrodes [M. Paeschke et al., Anaiytica Chimica Acta 305 (1995) 126]. According to Example 4, they are provided with microcapillary reactors and, according to Example 6, coated with various oligonucletides.
  • a stamp according to Figure 4 is attached to the array under mechanical pressure. Subsequently, DNA analyte is introduced as a mixture through the stamp inlet 16 into the microcapillary reactors. Analyte DNA is used, into which biotinylated primers biotinylated residues were introduced during the conventional duplication of the DNA by means of PCR.
  • the analyte DNA in SSPE buffer is transferred with Denhardt's solution (0.5 g Ficoll, 0.5 g polyvinylpyrrolidone, 0.5 g RSA in 0.5 IH 2 O) to a concentration of 1 ⁇ g / ml and applied to the sensor array and incubated at room temperature for 2 hours.
  • Bound DNA is detected after labeling with streptavidin / alkaline phosphatase conjugates and washing again by electrochemical redox recycling [Hintsche et al. in Frontiers in Biosensorics / Fundamental Aspects, eds. F.W. Scheller et al., Birkhäuser Verlag Basel / Switzerland 1997, p 278] at each array position.
  • the invention is therefore directed, inter alia, to a method for producing a molecular array, on which molecules are immobilized on planar substrates or sensor elements using microcompartments or microcapillary reactors, molecular arrays having planar surfaces being produced.
  • the method can be used to create temporary micro-compartments in additional layers and openings with surface access on planar substrates or sensor elements. These temporary micro-compartments can be created by additionally applied perforated layers with openings and access to the surface on the planar substrates or sensor elements.
  • Two micro-compartments can be connected to each other by a channel to form a microcapillary reactor, the bottom of which is formed by the surface of the planar substrates or sensor elements.
  • the microcompartments or the microcapillary reactors can be made of (different, but possibly also the same) polymeric or metallic or mineral materials.
  • the sensor elements can be multiple optical or electrical transducers.
  • the materials are preferably releasably connected to the substrate. They can be perforated or embossed beforehand (for example in the form of (self-supporting) layers), resulting in structures which correspond to the microcompartments or microcapillary reactors, or they can be converted into prefabricated substructures by additional steps.
  • microcapillary reactors and / or microcompartments can be produced by photolithographic processes in combination with wet etching processes or reactive dry etching at the desired locations by creating the corresponding volumes of the microcompartments or microcapillary reactors.
  • Their surface, which is formed by the substrate or sensor elements, should be freely accessible for chemical reactors, so that catcher molecules can be arranged on them.
  • the materials in the micro-compartments can then be physically or chemically removed.
  • a stamp adapted to the dimensions of the microcapillary reactors, which is equipped with fluidic channels, can be placed thereon, the reactors being able to be provided with liquid in pairs, in rows or in total.
  • the arrays that can be produced according to the invention can be used for affinity binding of DNA.

Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines Detektionssystems zur Detektion unterschiedlicher Analyte in einer Probe, gekennzeichnet durch die folgenden Schritte: Bereitstellen eines planaren oder im wesentlichen planaren Substrats mit Sensoren zur chemischen, optischen oder elektrischen Detektion der Analyte, Aufbringen einer Schicht auf das Substrat, die entweder bereits mikrostrukturiert ist, oder Aufbringen einer durchgehenden Schicht auf das Substrat und Mikrostrukturieren der Schicht, jeweils derart, daß voneinander getrennte Bereiche des Substrats nicht von der Schicht bedeckt sind, wobei Schicht und Substrat zumindest um die unbedeckten Bereiche herum dichtend miteinander verbunden sind, In-Kontakt-Bringen zumindest eines Teils der unbedeckten Bereiche mit mindestens einer Fängermoleküle enthaltenden Flüssigkeit, derart, daß die Fängermoleküle in der Lage sind, an der Substratoberfläche und/oder auf der Oberfläche der Sensoren zu haften oder daran zu binden, Entfernen der nicht haftenden Bestandteile der Flüssigkeit und Entfernen der mikrostrukturierten Schicht oder von Teilen dieser Schicht.

Description

Verfahren zum Herstellen von Detektionssystemen mit planaren Arrays
Die Erfindung betrifft die Herstellung planarer Substrate oder planarer Sensorelemente, auf denen flächig abgegrenzt voneinander gleiche oder verschiedene Biomoleküle als sogenannte Arrays immobilisiert angeordnet sind. Diese Anordnung findet als Teil von Meßeinrichtungen bevorzugt in der chemischen Analytik, in der Biotechnologie und in der industriellen Prozeßkontrolle Verwendung. Außerdem betrifft die Erfindung Substrate oder Sensorelemente, in denen ein planares Substrat mit einer spezifisch strukturierten Schicht oder Lage derart teilweise bedeckt ist, daß spezifisch ausgeformte Mikrokompartimente entstehen, in denen die Biomoleküie auf der unbedeckten Substratoberfläche immobilisiert werden können. Die genannte, spezifisch strukturierte Schicht oder Lage kann ggf. wieder vom Substrat entfernt werden, wobei die obigen planaren Substrate oder Sensorelemente entstehen.
Zur Immobilisierung und Lokalisierung verschiedener Arten chemischer Spezies in kleinen, lokalen Arealen sind seit langem Mikroreaktoren, Mikrokompartimente oder Mikrokavitäten bekannt, die in Silizium und Glas mit Standardverfahren der Mikrosystemtechnik erzeugt werden, z.B. als geätzte Strukturen in Si- oder Glas-Mikrosystemtechnologie sowie in Kunststoffen über Prägeverfahren. Bekannt ist auch eine fotolithografische Technik zur Erzeugung kleinster separierter Mikroaktivitäten in Polystyrol. Auch die geätzten Enden in Polymere eingebetteter Faserbündel wurden bereits als Mikrokavitäten genutzt.
Im US Patent 5605662 ist die Bildung mikrostrukturierter, von Wänden des Substrates umgebener Areale mit gelbedeckten Elektroden zur Aufnahme verschiedener Moleküle, z.B. Nucleotide, beschrieben und die Beschickung mit Flüssigkeiten aufgezeigt.
Charakteristische Nachteile der vorstehend beschriebenen dauerhaften Mikrokavitäten bzw. Kompartimentstrukturen, die in der Regel eine einfache Geometrie besitzen
(eckige oder runde "Vertiefungen"), zur Herstellung von Bioarrays sind die bestehenden mechanischen Hindernisse auf der Oberfläche der Substrate. Notwendige gleichmäßige Reagentienzuführung bzw. Spülvorgänge können in Mikrokavitäten schlecht realisiert werden, da hohe Kapillarkräfte den Flüssigkeitsaustausch behindern können und so bei aufeinanderfolgenden Reaktionsschritten unerwünschte
Verunreinigungen bewirken. Darüber hinaus wird die Befüllung der Mikrokavitäten besonders bei Si- und Glasoberflächen durch Luftblasenbildung erschwert. Technologische Schwierigkeiten und Kostennachteile entstehen insbesondere, wenn es notwendig ist, chemische oder physikalische Sensorelemente in oder unter die Mikrokavitäten individuell zu plazieren. Ein weiterer Nachteil der dauerhaft volumenkompartimentierten Mikroarrays mit der genannten einfachen Geometrie ist die Schwierigkeit, Analyte homogen und gleichmäßig in alle Mikrokompartimente zu verteilen und gegebenenfalls wieder zu entfernen.
In Science 264 (1994) 696 wurde von R. Shighvi et al. eine elastomerer Polysiloxan-Stempel zur Abformung mittels fotolithografischer Techniken beschrieben, mit dem durch Drucken und Abstraktionsverfahren mittels thiolderivatisierter Fettsäuren molekülstrukturierte Arrays hergestellt werden können. Durch das Abstempeln dieses Stempels auf Goldsubstraten können sich selbstorganisierte monomolekulare Schichten entsprechend der Form des Stempels ausbilden, die als Barriere für aufwachsenden Zellen nutzbar sind. Eine Weiterentwicklung dieser Technologie, auch Microcontact-printing genannt, wird in Nanotechnology 7(1996) 452 beschrieben. Dabei können Goldflächen durch Stempel mit Monomoleküllagen beschichtet und als Schutz vor chemischem Abätzen genutzt werden, um zwischen den Stempelbereichen liegende Substratgebiete bis in den nm-Bereich zu strukturieren. Zusätzlich können danach von Gold und Metall befreite Flächen im Silizium oder Glas chemisch geätzt werden, so daß mikromechanisch erzeugte Vertiefungen oder Mikrokompartimente mit Geometrien zwischen wenigen nm und einigen μm gefertigt werden können. Eine weitere Variante dieses Mikrokontaktprintings wird in Kombination mit Trockenätzverfahren beschrieben [Nanotechnology 7 (1996) 447].
Vom makroskopischen Auftupfen ist das Aufsetzen miniaturisierter Ringe auf Chipoberflächen abgeleitet, auf die vorher entsprechende Moleküle durch Tauchen aufgebracht wurden [S.D. Rose, J. Ass. Lab.Autom. 3, 3 (1998) 53]. Die Kontaminationsgefahr ist bei dieser Methode erheblich.
Das sogenannte Mikrokontaktd rucken, d.h. das Übertragen von Molekülen mittels Mikrostempel, wurde von A. Kumar und G.M. Whitesidess [Appl. Phys. Lett. 63 (1993) 2002] beschrieben.
Nachteile der Stempeltechniken sind mangelnde Kantenpräzision und Inhomogenitäten bei der Flächenverteilung der Moleküle insbesondere mit zunehmender Stempelfläche.
Lokalisierte Substanzarrays können auch durch die Verwendung einer Mikrovernebelungstechnik erzeugt werden. Die lokalisierte Aufbringung kleinster mikroskopischer Tropfen von Flüssigkeiten mit verschiedenen Substanzen ist ebenso auf strukturierte, sogenannte "seif assembied monolayers" möglich. Auch die Befüllung mit Mikrotröpfchen nach Art der allgemein bekannten Tintenstrahldrucktechniken ist üblich und wird häufig verwendet; analoge Tintenstrahltechnologie wird ferner zum Absetzen von sogenannten Mikrospots auf planare Träger und Transducer eingesetzt.
Das sogenannte Mikrokontaktdrucken, d.h. das Übertragen von Molekülen mittels MikroStempeln, wurde von A. Kumar und G.M. Whitesidess [Appl. Phys. Lett. 63 (1993) 2002] beschrieben.
Für die Erzeugung von planaren Arrays mit unterschiedlichen immobilisierten
Molekülen beschreiben Blanchard et al., Biosensors & Bioelectronics 11 (1996) 687, das Absetzen von Flüssigkeitstropfen mit Tintenstrahldrucktechnologie auf ca. 100μm große Kreisflächen mit hydrophilen Oberflächeneigenschaften, die durch ca. 30μm breite Bereiche mit hydrophoben Oberflächeneigenschaften getrennt sind. Durch die schlechtere Benetzbarkeit der hydrophoben Bereiche mit wäßrigen Flüssigkeiten soll die Vermischung benachbarter Tropfen verhindert werden. Da hydrophile und hydrophobe Bereiche keine Höhenunterschiede aufweisen, bleibt die Gefahr mechanisch verursachter Kontamination besonders bei den angestrebten schnellen und automatisierten Verfahren der Beschickung bestehen und schränkt die Anwendbarkeit ein.
Bei den beschriebenen Verfahren zur Arrayerzeugung auf planaren Elementen mit den genannten Mikrospot-, Nebel- oder Druckverfahren ist rasches Antrocknen der verwendeten Flüssigkeiten und Reaktionspartner notwendig, um eine Vermischung zu vermeiden. Probleme dieser Verfahren sind geometrische Unregelmäßigkeiten der Spots, die Unmöglichkeit quantitativer Dosierung auf individuellen Positionen und die Einschränkung der anwendbaren Kopplungsreaktionen in flüssiger Phase sowie die mögliche Verschleppung von Substanzen zwischen einzelnen Arraypositionen.
Ein weiteres Verfahren zum strukturierten Belegen von Oberflächen ist die fotochemisch induzierte Bindung von Molekülen oder Molekülketten an laseraktivierte Mikroflächen [A.C. Pease et al., Proc. Natl. Acad. Sei., USA 91 (1994), 5022]. Organische Haft- und Kopplungsschichten können außerdem selektiv mit Hilfe der Elektropolymerisation aufgebracht werden, beispielsweise für die Bindung von Ferrocenen auf Platinelektroden.
Eine neuere Methode zur Herstellung und zum Füllen von Mikrokavitäten in nm- und μm-Dimensionen ist die sog. "Dewetting'-Technik, die Kapillarkräfte zum Befüllen und das Abfließen der Flüssigkeit von der planaren Oberfläche nutzt [Whitesides et al., Anal. Chem. 70 (1998) 2280].
Durch perforierte Membranen, die mit Hilfe eines Stempels auf Chipoberflächen aufgedrückt werden, sind an den offenen Stellen Immobilisierungsreaktionen an den Oberflächen in flüssiger Phase möglich [E. Ermantraut et al., Proc. of μTAS'98, Alberta, Can., 1998, p. 217]. Dieses Verfahren birgt Kontaminationsprobleme durch Kapillarkräfte zwischen Stempel und Arrayoberfläche, die Fehler bei Synthese- oder Immobilisierungsreaktionen hervorrufen können.
R.M. Wadkins et al., Biosensors & Bioelectronics 13 (1998) 407, stellten temporär 0,2mm hohe Mikrokompartimente durch Photostrukturierung eines flüssigen poiymeren Klebers her. Manuell wurde mit einem acetongetränkten Wattebausch unvernetzter Kleber nach der Photostruktuierung wieder entfernt. Mit konventionellen Immobilisierungsverfahren wurden dann verschiedene Antikörper an den Boden der Kompartimente gebunden. Später wurden die Kompartimente durch Ablösen mit Protein-Salzlösung wieder beseitigt. Die Analytbestimmung erfolgte durch Bestrahlen der immobilisierten Probe mit einem Laser, wobei reflektiertes Licht nach Durchlaufen optischer Anordnungen (Gitter, Filter) analysiert wurde.
Das von Wadkins et al. vorgeschlagene Verfahren ist aufgrund der manuellen Schritte für eine Massenfertigung mit industriellen Standardmethoden z.B. auf Wafern nicht geeignet. Außerdem ist von Nachteil, daß das Meßsignal, das von der Probe genommen wird, nicht direkt am Ort der Immobilisierung aufgefangen werden kann.
Die Bewertung der beschriebenen Verfahren zur Bioarraykonstruktion zeigt den Bedarf für eine Optimierung in Bezug auf technologisch kompatible und leistungsfähige Dosierverfahren ohne Kontaminationsprobleme in Verbindung mit einer günstigen Handhabung des fertiggestellten Arrays in Flüssigkeiten.
Die Modifizierung und Belegung anorganischer Oberflächen mit monomeren und insbesondere mit poiymeren Biomolekülen wird im Stand der Technik in unterschiedlicher Art und Weise durchgeführt, wobei diese als Einzelschicht oder als Multiiayer z.B. durch kovalente Anbindung, Adsorption, Einlagerung in Polymere oder als kristalline Filme aufgebracht werden.
Zur chemischen Anbindung werden die anorganischen Oberflächen der Basissubstrate z.B. mit bifunktionellen Reagenzien behandelt, um die Oberflächen mit chemischen b
Funktionen zu versehen, welche mit Biomolekülen reagieren können. Die nachfolgende Anbindung der Biomoleküle kann zum einen in direkter Weise oder auch zum anderen in indirekter Weise unter Verwendung weiterer homo- oder heterobifunktioneller Moleküle an die derivatisierte Oberfläche erfolgen [C.F. Mandenius et al., Methods in Enzymoiogy 137 (1988) 388].
Weit verbreitet ist die Haftschichterzeugung auf Oberflächen mit funktionalisierten Silanen als Monoschichten [CM. Fischer et al., Europhysics Letters 28 (2) (1994) 129-134] oder über gasförmig oder in flüssiger Phase aufgebrachte quervernetzte Schichten [R.A. Williams et al., Biosensors & Bioelectronics 9 (1994) 159]. An diese Silanderivate, die Amino-, Thiol-, Aldehyd-, Hydroxyl-, Carboxyl- oder andere funktioneile Gruppen tragen können, werden, meist mit Hilfe von Crosslinking-Techniken [H. G. Baumert and H. Fasold, Methods in Enzymoiogy, Vol. 172, p. 584] verschiedenste andere Verbindungen mit passenden reaktiven Gruppen kovalent gebunden. Auf diese Weise sind alle als affinitätsbindende Fängermoleküle geeigneten bioaktiven Substanzen wie Oligonucleotide, Peptide, Haptene und dergleichen auf den Elektrodenflächen zu immobilisieren.
Die aufgezeigten Verfahren stehen für Standardmethoden, die es erlauben, DNA, Oligonucleotide, Proteine und andere Moleküle auf Arraypositionen zu immobilisieren.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein Verfahren zur Verfügung zu stellen, das es gestattet, auf planaren Substraten Bioarrays mit an der Substratoberfläche haftenden Fängermolekülen („Detektionssysteme") auszubilden, das technologisch einfach und/oder kompatibel zur mikroelektronischen Chipherstellung ist. Die so hergestellten Substrate oder Biosensoren sollen im Waferverband die Immobilisierung von Biomolekülen erlauben, Kontaminationsprobleme minimieren und homogen zugänglich und unproblematisch für die fluidische Handhabung sein. Das Verfahren soll zu Substraten oder Biosensoren („Detektionssystemen") führen, mit deren Hilfe auf sehr kleinem Raum entweder eine Vielzahl von Proben auf das Vorhandensein einer zu detektierenden Substanz („Analyt") oder eine Probe auf das Vorhandensein einer Vielzahl von Substanzen („Analyten") untersucht werden kann.
In speziellen Ausgestaltungen der Erfindung ist darüberhinaus die Aufgabe zu lösen, mit Hilfe des genannten Verfahrens intermediäre Ausgestaltungen der
Detektionssysteme bereitzustellen, die aufgrund geometrischer Gegebenheiten spezielle Vorteile aufweisen. Erfindungsgemäß wird die Aufgabe durch ein Verfahren zum Herstellen eines Detektionssystems zur Detektion unterschiedlicher Analyte in einer Probe oder zur Detektion eines Analyten in einer Vielzahl von Proben gelöst, wobei das Detektionssystem eine ebene oder im wesentlichen ebene Substratoberfläche und auf dieser Ebene angeordnete Arrays von gleichen oder unterschiedlichen, Analyt bindenden Fängermolekülen aufweist, gekennzeichnet durch die folgenden Schritte:
(a) Bereitstellen eines planaren oder im wesentlichen planaren Substrats mit Sensoren zur optischen oder elektrischen Detektion,
(b) Aufbringen einer Schicht auf das Substrat, die entweder bereits mikrostrukturiert ist, oder Aufbringen einer durchgehenden Schicht auf das Substrat und
Mikrostrukturieren der Schicht, jeweils derart, daß voneinander getrennte Bereiche des Substrats nicht von der Schicht bedeckt sind, wobei Schicht und Substrat zumindest um die unbedeckten Bereiche herum dichtend miteinander verbunden sind, (c) In-Kontakt-Bringen zumindest eines Teils der unbedeckten Bereiche mit mindestens einer Fängermoleküle enthaltenden Flüssigkeit, wobei die Fängermoleküle in der Lage sind, an der Substratoberfläche und/oder auf der Oberfläche der Sensoren zu haften oder daran zu binden, (d) Entfernen der nicht haftenden oder gebundenen Bestandteile der Flüssigkeit. (e) Entfernen der mikrostrukturierten Schicht oder von Teilen dieser Schicht.
Die voneinander getrennten Bereiche des Substrats, die nicht von der Schicht bedeckt sind, können auch als Mikrokompartimente bezeichnet werden. In Schritt (b) entstehen solche Mikrokompartimente, die durch die sie umgebenden Teile der Schicht eine seitliche Begrenzung aufweisen, also durch mechanische Barrieren voneinander getrennt sind. Diese Begrenzung oder Barriere wird durch Schritt (e) wieder eliminiert, so daß sich nach diesem Schritt die Mikrokompartimente in Form von mit Fängermolekülen besetzten Bereichen, die auch als (Bio-)Arrays bezeichnet werden, ohne seitliche Begrenzung auf der Substratoberfläche bzw. der Oberfläche der Sensoren befinden.
Unter dem Ausdruck „Fängermoleküle" sind diejenigen Substanzen zu verstehen, die sich auf der Oberfläche des Substrates und/oder der Sensoren immobilisieren lassen, wobei die Art der Immobilisierung frei wählbar ist; dem Fachmann steht hier eine breite Palette von Möglichkeiten zur Verfügung, die teilweise auch in der Einleitung dieser Anmeldung erwähnt wurde. Die Immobilisierung kann durch chemische Bindung oder durch Adhäsion oder dgl. erfolgen; sie kann direkt oder unter Zuhilfenahme von weiteren Substanzen erfolgen, mit denen geeignete chemische Gruppen auf der Substrat- bzw. Sensoroberfläche bereitgestellt werden. Der Ausdruck „Fängermoleküle" soll weiterhin besagen, daß diese Substanzen geeignete Gruppen aufweisen, um - direkt oder unter Einbeziehung weiterer Substanzen - den Analyten in ihrer Nähe zu halten. Dabei kann dieser chemisch oder physikalisch „gefangen" oder gebunden werden; neben chemischer Bindung können also auch Van-der-Waals-Bindungen, Adhäsion oder dgl. Ursache für den Verbleib des Analyten in der Nähe der Fängermoleküle sein. Auch diesbezüglich sind eine Reihe der dem Fachmann zur Verfügung stehenden Substanzen in der Einleitung dieser Anmeldung aufgeführt. Die erwähnten Möglichkeiten sollen aber nicht einschränkend verstanden werden.
Die Sensoren können in oder auf der Substratoberfläche liegen, d.h. als dünne Struktur darauf aufgebracht oder in die Substratoberfläche eingegraben oder auf andere Weise so darin angeordnet sein, daß die Substratoberfläche eben ist. Da die Sensorstrukturen insbesondere dann, wenn Sensoren für die elektrische Detektion vorgesehen sind, meist extrem dünn sind, umfassen die Ausdrücke „planare
Substratoberfläche" oder „ebene Substratoberfläche" selbstverständlich auch solche Substratoberflächen, bei denen die Sensoren auf dem eigentlichen Substrat, z.B. einem Siliciumwafer, aufliegen.
Wenn es sich bei den Sensoren um Sensoren für die elektrische Detektion handelt, was bevorzugt ist, können bevorzugt Transducer, z.B. Elektroden oder Feldeffekttransistoren, eingesetzt werden. Statt dessen können auch optische, ggf. auch chemische Sensoren verwendet werden. Vorzugsweise wird die Schicht gemäß Schritt (b) so aufgebracht und/oder ist oder wird so strukturiert, daß die Orte auf der Substratoberfläche, an denen sich die Sensoren befinden, nicht von der Schicht bedeckt werden. In dieser Ausgestaltung der Erfindung erhält man Mikrokompartimente und mit Fängermolekülen besetzte Arrays, in denen sich die Sensoren für die optische oder elektrische Detektion in unmittelbarem Kontakt oder zumindest in nächster Nachbarschaft zu den Fängermolekülen und damit bei der Messung auch zu den zu detektierenden Analyten bzw. Fängermolekül/Analyt-Komplexen oder -Kombinationen befinden.
Die Erfindung stellt damit Detektionssysteme mit Mikrokompartimenten oder Mikrokapillarreaktoren bereit, in denen Molekülimmobilisierungen in Massenfertigung realisiert werden können, die aber nach erfolgter Bindung von Molekülen vom Träger oder Sensor wieder entfernt werden. Des weiteren stellt die Erfindung spezielle Detektionssysteme bereit, die mit Hilfe der Schritte (a) bis (d) des oben aufgeführten Verfahrens erhalten werden können, während auf die Entfernung der mikrostrukturierten Schicht gemäß Schritt (e) verzichtet werden kann. Diese Detektionssysteme sind durch spezifische Geometrien und ggf. Materialien der gemäß Schritt (b) aufzubringenden Schicht gekennzeichnet.
Preiswerte Herstellung durch Technologien der Halbleiterindustrie sowie komfortable Handhabung sind Vorteile der Erfindung.
Die Erzeugung der gemäß Schritt (b) hergestellten, separierten Mikrokompartimente auf z.B. Siliziumbauelementen ist z.B. dann hilfreich, wenn ein Sensorarray mit unterschiedlichen Molekülen, z.B. DNA oder RNA bzw. ihren Bausteinen oder Proteinen oder Peptiden oder anderen affinitätsbindenden Molekülen, belegt werden soll, insbesondere dann, wenn dabei Flüssigkeitswechsel nötig sind. Im umgekehrten Fall sind solche Kompartimente aber auch dann nötig, wenn in allen
Mikrokopartimenten gleichartige Fängermolekülen gebunden werden, die danach mit unterschiedlichen Analyten getestet werden, die unterschiedliche Stoffe oder zu detektierende Stoffgemische enthalten.
Die für die Erfindung geeigneten planaren Substrate können aus üblichen Materialien bestehen, insbesondere aus Silizium, Glas oder Keramik, wobei die erzeugten Mikrokompartimente naßchemische Verfahren zur Erzeugung der molekularen Arrays gestatten, ohne daß gegenseitige Kontaminationen entstehen. Die Erfindung realisiert die Mikrokompartimente vorzugsweise mit Hilfe einer Schicht aus poiymeren, aber auch aus mineralischen oder metallischen Materialien. Die bestimmungsgemäßen
Arrayflächen auf den Substraten oder Sensorelementen sind dabei durch Öffnungen oder Kanäle für die zu applizierenden Flüssigkeiten zum Aufbringen der Fängermoleküle zugänglich.
In einer besonderen Ausführungsform werden in Schritt (b) voneinander getrennte Bereiche oder Mikrokompartimente geschaffen, wobei jedoch jeweils zwei Mikrokompartimente durch einen Kanal zu einem sogenannten Mikrokapillarreaktor verbunden sind. Diese Mikrokapillarreaktoren sind besonders für komplexe Reaktionen und Flüssigkeitswechsel, gegebenenfalls mittels eines zusätzlichen stempelartigen Flüssigkeitsverteilers, geeignet, u.a. in Hinblick auf das Aufbringen der Fängermoleküle. Nach erfolgter Immobilisierung gleicher oder unterschiedlicher Moleküle und gegebenenfalls Waschprozessen können die Seiten- und Deckwände dieser Mikrokompartimente bzw. Mikrokapillarreaktoren gemäß Schritt (e) entfernt werden. Besonders vorteilhaft ist dabei, daß auf diese Weise alle mechanischen Barrieren für den Flüssigkeitsaustausch zwischen den Arraypositionen beseitigt werden und für die Nutzung des Elementes wichtige Spül-, Wasch- oder Detektionsprozesse beschleunigt und verbessert werden. Erfindungsgemäß ist die Möglichkeit gegeben, durch Prägung und/oder Photolithographie im voraus strukturierte Materialien auf das Substrat oder das Sensorelement aufzubringen und durch Kleben oder Heißsiegeln oder Eigenadhäsion zu fixieren. Alternativ dazu können Folien oder dünne Platten im Ganzen aufgebracht werden. Durch konventionelle lithographische und/oder Ätz-Verfahren werden sie dann an den gewünschten Arraypositionen geöffnet und vom kompartimentbildenden Material befreit.
Die vorliegende Erfindung ist besonders geeignet für Sensorelemente, bei denen Arrays verschiedener Moleküle, Molekülaggregate oder ganzer biologischer Zellen auf die verschiedenen Positionen mit sensitiven optischen oder elektrischen Elementen lokalisiert aufgebracht werden müssen. Ein Vorteil der Erfindung besteht insbesondere darin, daß das Verfahren gut mit der erprobten Silizium-Technologie sowie der automatisierten Flüssigkeitsverteilung mittels Dispenser- oder Tintenstrahlverfahren kombinierbar ist. Die Beseitigung der Seitenbegrenzung der Mikrokompartimente nach erfolgter Molekülarrayausbildung kann durch mechanisches Entfernen oder chemisches Ablösen so schonend erfolgen, daß empfindliche
Biomolekülbeschichtungen nicht beeinflußt werden. Nach Entfernung der Polymere ist eine homogene Benetzung mit Flüssigkeiten oder anderen analytischen Medien ohne störende Oberflächenstrukturen möglich. Die gleichen Verfahren können auch benutzt werden, um in allen Mikrokompartimenten oder Mikrokapillarreaktoren im Batchverfahren gleiche Molekülarten zu immobilisieren und sie danach zur analytischen Untersuchung mit unterschiedlichen Analyten bzw. Reaktionspartnern zu beschicken.
In einer besonderen Ausführung werden pemanente Mikrokompartimente mit niedrigem Aspektverhältnis (Höhe/Durchmesser) aufgezeigt, die besondere Schutzvorrichtungen gegen Vermischungen aufweisen.
Beschreibung der Abbildungen:
Figur 1 zeigt eine Aufsicht und Schnittbilder eines planaren Sensorarrays mit Mikrokompartimentenen und immobilisierten Molekülen in verschiedenen
Stadien des Herstellungsverfahrens; Figur 2 zeigt eine Aufsicht und Schnittbilder eines planaren Arrays mit
Mikrokapillarreaktoren und immobilisierten Molekülen in verschiedenen Stadien des Herstellungsverfahrens;
Figur 3 zeigt eine Aufsicht und Schnittbilder eines planaren Sensorarrays mit strukturierten Oberflächen und immobilisierten Molekülen; und
Figur 4 zeigt eine Aufsicht und Schnittbilder eines Stempels zur Handhabung von Flüssigkeiten auf einem planaren Array.
Bedeutung der Bezugszeichen
1 Substrat
2 Dünnfϊlmelektrode 3 Polymerschicht
4 Lochmaske
5 seitlich begrenztes Mikrokompartiment
6 Flüssigkeitstropfen mit Molekülart A
7 Flüssigkeitstropfen mit Molekülart B 8 Immobilisierte Molekülart A
9 Immobilisierte Molekülart B
10 Chipkontakt
11 Kapillarreaktor-Einlaß
12 Kapillarreaktor-Auslaß 13 Kapillarreaktor-Kanal
14 Photolithographische Maske
15 grabenartige Mikrostruktur
16 Stempeleinlassöffnung
17 Stempelauslassöffnung 18 Stempeleinlassverteilerkanal
19 Stempelauslassverteilerkanal
20 Stempel aus Polymer
In Figur 1 ist die Erzeugung und Anwendung von Mikrokompartimenten durch eine strukturierte Polymerbeschichtung auf einem Elektrodenarray in Siliziumtechnologie beispielhaft dargestellt. In Figur 1a ist die Aufsicht auf ein Array mit 12 Sensorelektroden 2 auf einem isolierten Siliziumchip 1 dargestellt. Die elektrischen Chipkontakte 10 dienen als Anschlüsse, mit denen die Elektroden 2 elektrisch kontaktiert werden. Die Leitungsbahnen verlaufen dabei nicht sichtbar unterhalb des Polymerfilms 3 und sind separat mit einem Isolator (nicht dargestellt) bedeckt. Mit den Flüssigkeitstropfen 6 und 7 wird die selektive Dosierung in zwei der durch das Polymer 3 gebildeten, seitlich begrenzten Mikrokompartimente illustriert. Die Schnittlinie A-A' in der Figur markiert den Bereich, der in den Figuren 1b bis 1f dargestellt ist.
Figur 1b zeigt im Ausschnitt das Siliziumsubstrat 1 entlang der Schnittlinie A-A' mit zwei Elektroden 2 als Sensorelementen, die von einer über das gesamte Element aufgebrachten Polymerbeschichtung 3 bedeckt ist. Über diese Polymerschicht ist eine Lochmaske 4 aufgelegt.
Figur 1c zeigt die Anordnung wie in Figur 1b nach der Entfernung des Polymerfilms 3 an den Stellen der Öffnungen in der Lochmaske mittels Trockenätzverfahren und nachfolgender üblicher Entfernung der photolithographischen Maske 4. Die so mit seitlichen Wandungen ausgebildeten Mikrokompartimente 5 über den Sensorelektroden 2 haben die Gestalt von topfähnlichen Vertiefungen.
Figur 1d zeigt die Anordnung wie in Figur 1c nach selektiver Einbringung bzw. Dosierung der Tropfen 6 und 7 mit gelösten chemischen Spezies A und B.
Figur 1e zeigt die Anordnung wie in Figur 1d nach chemischer Anbindung der Moleküle A 8 und B 9 bei der Ablösung des Polymerfilms 3 vom Elektrodenarray.
Figur 1f zeigt den Ausschnitt wie in Figur 1e nach Ablösung des Polymerfilms 2 und stellt das planare Sensorarray ohne mechanische Barrieren dar, das zur analytischen Anwendung mit immobilisierten Molekülarten A und B benutzt wird.
In Figur 2 ist die Ausbildung und Nutzung von Mikrokapillarreaktoren gezeigt. Dazu wird gemäß Figur 2a im Schnitt B-B' nach Figur 2e auf dem Siliziumsubstrat 1 eine zuvor strukturierte Polymerschicht 3 befestigt. Die durch Stanz- und Prägetechniken im Polymeren vorgefertigten Mikrokapillarreaktoren bestehen aus den Ein- und Auslaßöffnungen 11 und 12, die durch einen Kanal 13 miteinander verbunden sind.
in Figur 2b ist der Mikrokapiliarreaktor mit einer Lösung 7 durch die Einlaßöffnung 11 befüllt, und die Molekülart B 8 wird am Boden des Mikrokapillarreaktors immobilisiert.
Figur 2c zeigt das mechanische Entfernen der Polymerschicht 3. Es entsteht, wie in Figur 2d gezeigt, ein planares Molekülarray wie vorstehend für Figur 1f beschrieben. Die Struktur der Mikrokapillarreaktoren wird dabei wieder eliminiert.
Figur 2e zeigt die Aufsicht auf eine Anordnung von Mikrokapillarreaktoren auf einem Chipsubstrat. Neben den Einlaßöffnungen 11 und den Auslaßöffnungen 12 im Polymer 3 sind dabei die von oben nicht sichtbaren Verbindungskanäle 13 durch schwarze Strichlinien angedeutet. Die Schnittlinie B-B' zeigt den Querschnitt, der in Figur 2a dargestellt ist. Die Schnittlinie B"-B'" zeigt einen mit Flüssigkeit 7 befüllten Mikrokapillarreaktor gemäß Figur 2b.
In Figur 3a ist ein planares Sensorarray mit mikrostrukturierter Oberfläche gezeigt. Auf dem planaren Substrat 1 sind neun Mikroelektrodenanordnungen 2 in einer Polymerschicht 3 mit den Sensorarealen 5, den Kontakten 10 sowie einer mit Flüssigkeit 6 befüllten Position bei A-A' und grabenartigen Vertiefungen 15 dargestellt, die sich rund um die Areale 5 erstrecken. Die Querschnitte der Figuren 3b, 3c und 3d entsprechen der Schnittlinie A-A' in Figur 3a. In den Figuren 3b und 3c wird die Herstellung dieser Struktur gezeigt: Das planare Substrat 1 und die Mikroelektrodenanordnung 2 sowie die Polymerschicht 3 sind in Figur 3b mit einer photolithographischen Maske 14 bedeckt. In Figur 3c ist durch Trockenätzen die Mikroelektrodenanordnung 2 im Sensorareal 5 und eine MikroStruktur mit grabenartigen Vertiefungen 15 freigelegt. Das Sensorareal 5 ist in dieser Darstellung bereits mit einem Tropfen der Flüssigkeit 7 befüllt. Figur 3d stellt einen Ausschnitt eines planaren Arrays mit einer MikroStruktur aus grabenartigen Vertiefungen 15 in der Polymerschicht 3 und der immobilisierten Molekülart 8 dar.
In Figur 4 ist die Ausbildung eines Stempels 20 zur Handhabung von Flüssigkeiten auf planaren Arrays 1 mit Mikrokapillarreaktoren (siehe auch Figur 2) gezeigt. In Figur 4a ist die Aufsicht auf einen Stempel dargestellt, mit dem das Substrat mit den Mikrokapillarreaktoren, wie sie in Figur 2d dargestellt sind, ganz oder teilweise bedeckt werden kann. In der Aufsicht Figur 4a sind dabei eine Einlaßöffnung 16 und zwei Auslaßöffnungen 17 zu sehen. Die schwarzen Linien markieren die Hohlräume innerhalb des Stempels, die gemäß Figur 4b Einlaßverteilerkanäle 18 und zwei Auslaßverteilerkanäle 19 darstellen. Die weißen Strichlinien zeigen an, wie die Mikrokapillarreaktoren nach Figur 2d unter dem Stempel angeordnet sind. Im Querschnitt Figur 4b ist ein Stempel 20 auf einen Sensorarray 1 mit den Mikrokapillarreaktoren aufgesetzt. Die Einlaßöffnung 16 des Stempels ist über den Einlaßverteilerkanal 18 und den Einlaßöffnungen 11 der Mikrokapillarreaktoren angeordnet. Oberhalb der Auslaßöffnungen 12 der Mikrokapillarreaktoren befinden sich Auslaßverteilerkanäle 19, die alle Auslaßöffnungen 12 mit den Auslaßöffnungen 17 des Stempels verbinden. Bei Applikation von Flüssigkeiten werden durch die Einlaßöffnungen 16 des Stempels über die Einlaßverteiierkanäle 16 und die Einlaßöffnung 16 die Mikrokompartimente gefüllt. Durch die Verbindungskanäle 13 der Mikrokapillarreaktoren fließt die Flüssigkeit über die Auslaßöffnungen 12 in die Auslaßverteilerkanäle 19 des Stempels zu den Auslaßöffnungen 17 des Stempels, an denen die Flüssigkeit wieder entnommen werden kann.
Detaillierte Erfϊndungsbeschreibung
Ein wesentliches Prinzip der Erfindung besteht darin, daß auf einem planaren Substrat, z.B. aus Silizium, Glas, Keramik oder organischen Polymeren oder analogen oder ähnlichen planaren Elementen, die mit chemischen, optischen oder elektrischen Sensoren bestückt sind, verschiedene Biomoleküle, wie Peptide, Proteine, Oligonucleotide oder Nucleinsäuren auf definierten abgegrenzten Flächen sicher und abgegrenzt immobilisiert werden. Dazu werden auf den vorgesehenen Flächen der Substrate oder Sensorelemente seitlich voneinander abgegrenzte Mikrokompartimente erzeugt, die in einer spezifischen Ausführungsvariante die Form von
Mikrokapillarreaktoren besitzen können, welche Lösungen z.B. mit unterschiedlichen Molekülen aufnehmen können, ohne daß diese sich miteinander vermischen. Mittels gebräuchlicher chemischer Kopplungsreaktionen, z.B. mit bifunktionellen Reagentien, werden Moleküle aus solchen Lösungen an die Oberflächen der Substrate oder Sensorelemente gebunden, d.h. immobilisiert, die später als Fängermoleküle fungieren können.
Die auf diese Weise herzustellenden Mikrokompartimente (Schritt (b) des Herstellverfahrens) können eine kreisförmige, quadratische oder beliebige andere Geometrie aufweisen. Für ihre Herstellung können polymere, aber auch mineralische oder metallische Werkstoffe als Schicht für das erfindungsgemäße Verfahren benutzt werden. Im Falle von Polymeren kommen beispielsweise Polysiloxane, Polyamide, Polymethacrylate, Polycarbonate oder Polystyrole in Betracht. Diese werden auf die planaren Substrate oder die planaren Sensorelemente aufgebracht, bei denen es sich beispielsweise um einen kompletten Siliziumwafer oder eine Glasplatte oder auch einen einzelnen Chip handeln kann, und ggf. darauf befestigt. Die Haftung der Materialien bzw. Werkstoffe für diese Mikrokompartimente wird entweder durch Eigenhaftung oder durch Heißsiegelverfahren oder durch Laserpunktschweißen oder durch zusätzliche Klebstoffe erreicht. Zumindest im Bereich um die Kompartimente herum sollte sie dabei vorzugsweise dichtend sein. Durch Abstimmung der
Eigenschaften von Substrat und Polymer sowie der Befestigungsmethode wird die Möglichkeit der Wiederentfernung erreicht. Dazu werden z.B. Polymere mit entsprechenden Haftungseigenschaften sowie mit ausreichender Resistenz gegen die benutzten Flüssigkeiten ausgewählt.
In einer Ausgestaltung der Erfindung werden Polymerfolien, Polymerfilme oder dünne Polymerplatten für die Schicht verwendet, die vorab mit vorgegebenen Öffnungen versehen und danach so auf dem Substrat oder Sensorelement befestigt werden, daß die vorgesehenen Flächen frei von Polymer bleiben und ein Mikrokompartiment bilden. Bei diesen Flächen handelt es sich vorzugsweise um solche, die Sensoren für die spätere Detektion der Analyten tragen. Die entsprechenden Öffnungen werden bevorzugt durch Stanzprozesse oder auch fotolithographisch oder mit Lochmasken, z.B. in Kombination mit Trockenätzverfahren, hergestellt. Dadurch wird das in Figur 1a dargestellte Element in einem Prozeß erhalten, der zur Massenproduktion geeignet ist.
Diese Methode hat den Vorteil, daß empfindliche Oberflächen und Sensorelemente wie optische Gitter oder auch Elektroden vom Kontakt mit Fremdstoffen freigehalten werden und man auf diese Weise Kontamination bzw. Verunreinigung der empfindlichen Oberflächen vermeidet.
Mikrokompartimente des Schrittes (b) können alternativ auch durch Aufkleben von dünnen Silizium-, Glas-, Metall- oder Keramikplatten erzeugt werden. Diese Werkstoffe werden vorzugsweise zuvor mit Standardprozessen der Mikrosystemtechnik strukturiert und können durch wiederablösbare Klebstoffe, wie sie etwa bei Etiketten üblich sind, oder auch durch heißsiegelnde Polymere auf den Substraten oder Sensorelementen befestigt werden.
Erfindungsgemäß kann in einer alternativen Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens ein Polymer oder dessen Vorstufe für die Erzeugung der Mikrokompartimente gemäß Schritt (b) eingesetzt werden, wobei dieses in unstrukturierter Form als Ganzes (als Schicht) auf dem Substrat oder einem Sensorelement wie vorstehend beschrieben in flüssiger oder pastöser Form aufgebracht oder in selbsttragender Form befestigt wird. Diese Polymerschicht kann photochemisch nach bekannten Verfahren strukturiert werden, z.B. indem mittels Fotolack und konventioneller Lithographie oder durch Lochmasken die gewünschten Flächen, vorzugsweise oberhalb der Sensorelemente, freigelegt werden, die später die Mikrokompartimente darstellen sollen. Nachfolgend wird z.B. durch Anwendung von Trockenätzverfahren das Material über den gewünschten Substratoberflächen und ggf. Sensorelementen entfernt, und es entstehen die seitlich begrenzten Mikrokompartimente. Dieses Verfahren ist besonders für die Herstellung von Mikrokompartimentstrukturen geeignet, in denen grabenartige Vertiefungen um die eigentlichen Bioarrays herum bestehen bleiben sollen, da sich diese auf einer vorgefertigten (vorgestanzten und/oder vorgeprägten) Schicht nicht vollständig realisieren lassen: Hier müßten Stege verbleiben, die diese Strukturen halten. Als Ergebnis beider Verfahren, sowohl mit vorstrukturierten als auch mit auf den Substraten strukturierten Materialien, erhält man dann ein Substrat oder Sensorelement, das Mikrokompartimente in Form von kleinen Töpfchen oder Kammern, ggf. von weiteren Vertiefungen umgeben, aufweist. Wie bereits erwähnt, ist die geometrische Form dieser Strukturen nicht beschränkt, so daß die in den Figuren dargestellten Ausgestaltungen mit runden Öffnungen der Areale nur Beispiele darstellen sollen. Weder sind die Größenverhältnisse der Öffnungen und der Tunnels der Mikrokapillarreaktoren zueinander notwendigerweise vorgegeben, noch die geometrische Form der Strukturen. Der Fachmann wird die jeweils günstige Form anhand der vorgesehenen Fertigungsmethoden festlegen, die wegen der Vielfalt der Fertigungsmöglichkeiten stark voneinander abweichen können. So sind auch eckige (rechteckige, quadratische), ovale oder anders geformte Mikrokompartimente möglich.
Die Durchmesser bzw. Höhen der Kompartimente sind ebenfalls nicht notwendigerweise vorgegeben. Vorteilhafterweise können sie im Bereich zwischen ca. 0,2 μm und mehreren 100 μm liegen. Das Verhältnis von Durchmesser zu Höhe der Kompartimente ist ebenfalls frei wählbar, es kann in geeigneter Weise z.B. im Bereich von 20:1 bis 0,5:1 , vorzugsweise von etwa 10:1 bis 1 :1 liegen.
Die auf einem der vorgenannten Wege hergestellten Substrate oder Sensorelemente mit seitlich begrenzten Mikrokompartimenten (also Mikrokompartimenten, die mechanisch voneinander abgegrenzt sind), können sodann wie in Figur 1c oder 2b dargestellt mit beliebigen Lösungen befüllt werden. Das zu wählende Volumen der erzeugten Mikrokompartimente wird dabei den Dosiermitteln wie Mikropipetten, Tintenstrahltechnik oder anderen Dosiertechniken sowie den vorgesehenen chemischen Reaktionen bzw. den gegebenen Sensorfunktionen angepaßt. Die Flüssigkeitsvolumina variieren vorzugsweise zwischen ca. 5 - 500 pl bei Piezodosieren und ca. 1 nl bis mehrere μl bei Pipettiereinrichtungen. Mit den Dosierflüssigkeiten können sowohl die Reagentien zur Immobilisierung der Fängermoleküle als auch verschiedene Biomoleküle (die z.B. als Fängermoleküle vorgesehen sind) in die verschiedenen Mikrokompartiments appliziert werden.
Die vorgesehenen Oberflächen werden hierfür, insbesondere wenn es sich hierbei um Substratoberflächen handelt, beispielsweise mit kurzkettigen reaktiven bifunktionellen Molekülen aus der Lösung oder aus der Gasphase in Reaktion gebracht. Beispiele für diese Moleküle sind im Prinzip alle Moleküle, die mit dem Substrat reagieren, im Falle von anorganischen Substraten (Silzilium, SiO2, SiONx, Glasvarianten) also Moleküle, die Gruppen wie z.B. Chlor-alkyl- oder -arylsilane, Chloraromaten, Alkox-alkyl- / -arylysilane oder Gemische aus diesen Komponenten tragen und die am anderen Ende des Moleküls, das vorzugsweise als Spacermolekül ausgestaltet ist, über eine zweite reaktive chemische Gruppe wie z.B. Aldehyd, Isocyanat, Cyanat, Thiocyanat, Thiolderivat oder Thioester verfügen. Zur Ankopplung beliebiger organischer Moleküle, vor allem Biomoleküle wie RNA- und DNA-Moleküle, Proteine, Peptide und Oligonucleotide, werden äquivalente Prinzipverfahren benutzt wie zur Ankopplung der hydrophoben Molekülreste beschrieben. Dabei ist auch sowohl die direkte Kopplung als auch die Spacerkopplung über die genannten Silan- und Halogengruppen an die Träger- oder Sensoroberflächen möglich.
Als alternative Immobilisierungsvariante kann die selfassembling-Monoschicht-Bildung angewendet werden. Diese eignet sich insbesondere dann, wenn die Oberfläche von metallischen Sensoren (z.B. von Transducern wie Elektroden oder dgl.) mit den Fängermolekülen belegt werden sollen. So können z.B. Thiolderivate, z.B. 1-Thiol-n-aminoalkane, auf Goldoberflächen von Sensoren bzw. benachbarten
Hilfsflächen in der Nähe der Sensoren (Transducern oder dgl.) aufgebracht werden. Eine Besonderheit bei der Ankopplung von Biomolekülen in den zuvor beschriebenen Arraystrukturen ist die Möglichkeit, im Batchverfahren alle Kavitäten gleichzeitig so zu aktivieren, daß nachfolgend unterschiedliche Molekülarten in die einzelnen Kompartimente eingebracht und, wie vorstehend beschrieben, immobilisiert werden.
Dazu kann man wie in Figur 1e dargestellt, Mikrokompartimente oder Mikrokapillarreaktoren selektieren und darin verschiedene chemische Reaktionen ausführen. Nach ausgeführten chemischen Reaktionen, z.B. nach Immobilisierung einer sogenannten Molekül-Bibliothek, kann das Polymer 3 vom Substrat oder dem Sensorelement wieder entfernt werden. Dies kann z.B. mechanisch entsprechend einem Peeling-prozeß, gegebenenfalls auch mit thermischer Unterstützung, erreicht werden. Geeignete Polymere können auch durch Ablösen mit Lösungsmitteln, gegen die die immobilisierten Moleküle resistent sind, entfernt werden. Beispielsweise lassen sich Polymethacrylate, Polycarbonate u.a. mit Lösungsmitteln wie Aceton oder Essigester entfernen, während eine Oiigonukleotid-Bibliothek hiervon unbeeinflußt gebunden bleibt. Werden empfindliche Molekülarten wie Proteine, insbesondere Enzyme, Antikörper oder dgl., immobilisiert, ist das reagenzfreie und thermisch nicht belastende mechanische Entfernen der Mikrokompartimente von besonderem Vorteil.
Die Substrate bzw. Sensorelemente weisen nach der Belegung mit unterschiedlichen Molekülspezies und nach Entfernung der Kompartimente eine im wesentlichen ideal planare Oberfläche auf, die den ungehinderten Austausch von Flüssigkeiten, Waschprozesse oder homogene Analysenvorgänge ermöglicht, wobei sowohl die Messung eines Analyten in einer Vielzahl von aufzubringenden Proben als auch die Messung einer Vielzahl von möglichen Analyten (z.B. mit Hilfe einer Bibliothek von Oligonucleotiden, die auf den Arraypositionen angeordnet wurde) in einer einzigen Probe möglich ist.
In einer speziellen Aufführungsvariante wird als polymeres Material für die in Schritt (b) des erfϊndungsgemäßen Verfahrens einzusetzende Schicht Teflon als Film analog einem Fotolack auf z.B. einen Siiiziumwafer aufgeschleudert und nach Standardmethoden auf dem Wafer durch Haftvermittler befestigt. Wie vorstehend beschrieben wird anschließend durch Lochmasken oder Photolithographie das Teflonmaterial von den vorgesehenen Positionen entfernt, und es entstehen Mikrokompartimente entsprechend Figur 1. Die Höhe dieser Mikrokompartimente kann in dieser Ausführungsvariante auf nur 0,5 bis etwa 10μm gesenkt werden. Wählt man ein Verhältnis von Durchmesser der Kompartimente zur Höhe der Polymerschicht von ca. 10 : 1 oder größer, können die Teflonpolymere auf dem Wafer verbleiben, ohne ein wesentliches mechanisches Hindernis für Spülprozesse oder Analytzugang darzustellen. Der Vorteil der Verwendung dieses Teflons besteht in seinem ausgeprägt hydrophoben Verhalten. Dabei wirken schon die geringen Randhöhen der Mikrokompartimente mit den hydrophoben, d.h. wasserabweisenden Beschichtungen der Zwischenräume sehr gut als Trennelemente zwischen den einzelnen Kompartimenten, so daß die verbleibenden Strukturen der Schicht wegen ihrer geringen Höhe keine Nachteile gegenüber einem Detektionssystem aufweisen, in dem diese Schicht vollständig entfernt wurde. In Ausgestaltungen unter Verwendung einer deutlich hydrophoben Schicht sind Detektionssysteme also auch dann geeignet, wenn auf Schritt (e) des erfindungsgemäßen Verfahrens (Ablösen der mikrostrukturierten Schicht) verzichtet wird, sofern die Höhe der strukturierten Schicht so gewählt wird, daß sie Spülprozesse und dgl. nicht behindert.
Eine Teflonschicht kann alternativ auch in selbsttragender Form auf das Substrat aufgebracht werden, die wahlweise vor dem Aufbringen (z.B. durch Stanzen) oder danach strukturiert werden kann.
In einer anderen Ausführungsform der Erfindung, insbesondere bei sehr kleinen Kompartimentvolumina oder bei Dosierung schlecht benetzender Flüssigkeiten, werden wie bereits erwähnt die Mikrokompartimente in Form sogenannter Mikrokapillarreaktoren hergestellt. Diese Kapillarreaktoren bestehen wie in Figur 2a dargestellt aus 2 Mikrokompartimenten 11 und 12 analog wie vorstehend zu Figur 1 beschrieben, die durch einen kapillarartigen Kanal 13 miteinander verbunden sind.
Bei dieser Ausführungfor der Erfindung werden die Öffnungen und die Kanäle vorzugsweise durch Stanzen und Prägen aus (organo)polymerem, mineralischem oder metallischem Material oder gegebenenfalls durch Kombination von Lithographie und Ätzprozessen vorgefertigt und wie im vorstehenden Fall der Einzelkompartimente beschrieben auf dem Substrat oder Sensorelement befestigt. Alternativ werden nur die Kanäle vorgefertigt, z.B. durch Prägen oder Ätzen, und die Ein- und Auslaßöffnungen werden wie vorstehend für die Mikrokompartimente beschrieben, z.B. erst nach Aufbringen auf die Substratoberfläche, erzeugt.
Die Anordnung eines Mikrokapillarreaktors wirkt wie ein System kommunizierender Röhren. Durch die geringen Abmessungen von Kompartiment und Kanal in Dimensionen von 1 μm bis ca. 1mm, vorzugsweise 50 - 500 μm, wirken Kapillarkräfte beim Befüllen mit Flüssigkeiten.
Wird in eines der Kompartimente, das auch gleichgroß wie oder größer oder kleiner als das andere ausgebildet sein kann, eine Flüssigkeit appliziert, füllt sich durch die Kapillarkraft auch das zweite Kompartiment über den Kanal spontan ohne zusätzliche Hilfsmittel. Ein weiterer Vorteil ist es, daß die applizierte Flüssigkeit vorhandenes Gas in den Mikrokompartimenten und dem Kanal durch die zweite Öffnung verdrängt und damit zuverlässig den Verbleib von Gasbläschen verhindert. Daher können in diese Mikrokapillarreaktoren auch Tropfen dosiert werden, die größer sind als die Öffnung eines der Kompartimente, weil durch die Kapillarkräfte ein solcher Tropfen spontan eingesaugt wird. Die Anordnung des Kapillarreaktors ermöglicht weiterhin auch die direkte Befüllung aus einer auf eine der Kompartimentöffnungen aufgesetzten Kapillare. Nach dem Aufsetzen einer solchen mit Flüssigkeit gefüllten Kapillare saugt sich das System spontan mit Flüssigkeit voll, ohne daß ein Auslaufen beobachtet wird. Neben den besonders einfachen Pipettiermethoden sind auch Piezo- oder andere
Tintenstrahldosiertechniken zur Befüllung anwendbar. Das System des Kapillarreaktors kann auch für die Zuführung gleicher Flüssigkeiten oder effiziente Flüssigkeitswechsel, wie sie häufig bei chemischen Reaktionen oder Immobilisierungsverfahren notwendig sind, benutzt werden. Im einfachsten Fall wird ein solcher Waschvorgang durch das Aufsetzen einer Kapillare zum Dosieren an oder auf eine Kompartimentöffnung und dem Absaugen mit einer zweiten Kapillare aus der zweiten Kompartimentöffnung realisiert. Das Detektionssystem kann in dieser Ausgestaltung der Erfindung entweder gemäß Schritt (e) des erfindungsgemäßen Herstellungsverfahrens von der mikrostrukturierten Schicht befreit werden, nachdem die Fängermoleküle auf die Oberfläche des Substrates aufgebracht wurden. In einer speziellen Ausgestaltung können die Mikrokapillarreaktoren jedoch auch während der Detektion der Analyte auf dem Substrat verbleiben. Dies ist z.B. dann günstig, wenn die Kapillarwirkung der Mikroreaktoren auch für Schritte im Verlauf der Detektion in günstiger Weise genutzt werden kann, z.B. beim Aufbringen einer Vielzahl von Analytflüssigkeiten mit Hilfe von Dosiertechniken wie Stempel- oder Tintenstrahltechniken, oder wenn die Menge der zu messenden Analytflüssigkeit im Mikrokompartiment relativ genau dosierbar sein soll.
In einer weiteren Ausführungsform wird photostrukturierbares Polyimid (oder ein anderes geeignetes, vorzugsweise hydrophobes organisches Polymermaterial) nach Standardprozeduren als Material für Mikrokompartimente und zusätzliche grabenartigen Strukturen verwendet. Wie oben beschrieben werden
Mikrokompartimente, die vorzugsweise etwa 50-200 μm hoch sind, photolithographisch oder durch Trockenätzen erzeugt. Zusätzlich werden bei dieser Ausführungsform die Sensorareale von ringförmigen grabenartigen Strukturen umgeben, z.B. in Dimensionen zwischen 10 und 100 μm Breite (siehe Figur 3). Wahlweise können wenige breitere oder viele entsprechend schmale Strukturen angeordnet werden. Der hydrophobe Charakter des Polyimids bewirkt, ebenso wie für die Beschichtung mit Teflon aufgezeigt, eine abweisende Eigenschaft für wäßrige Lösungen. Bei der Dosierung von Tropfen in die Sensorareale wird die Gefahr des Übertretens in eine benachbarte Kavität durch die grabenartigen Strukturen, die flüssiges Material aufnehmen können, entscheidend vermindert. Gegenüber einem flächigen
Zwischenraum zwischen den Kompartimenten wirken hier drei trennende Effekte: erstens die hydrophobe Eigenschaft des Polyimids, zweitens das Volumen der grabenartigen Strukturen, die Flüssigkeit aufnehmen können, und drittens die Kanteneigenschaften der MikroStrukturen, die Tropfen wie an der Kante einer planen Fläche am Abfließen hindern. Da die Winkel der Abrißkanten von hydrophilen
Flüssigkeiten auf hydrophoben Unterlagen bekannt oder meßbar sind, kann bei solchen Ausgestaltungen das Volumen der aufgesetzten Flüssigkeitstropfen relativ genau berechnet werden, so daß quantitativ defϊnierbare Mengen an Fängermolekülen auf dem Substrat aufgebracht werden können. Z.B. aus diesem Grund kann es auch in dieser Ausgestaltung der Erfindung gegebenenfalls vorteilhaft sein, das
Detektionssystem nicht von der mikrostrukturierten Schicht gemäß Schritt (e) des erfindungsgemäßen Verfahrens zu befreien, sondern den oder die Analyte in den seitlich von den grabenartigen Strukturen umgebenen, abgegrenzten Mikrokompartimenten zu detektieren. Dies sollte jedoch nicht die Regel sein, vor allem, wenn auf dem Substrat vorhandene Strukturen notwendige, über den gesamten Chip oder Wafer zu erfolgende Waschprozesse oder dgl. behindern.
Zum Dosieren und auch Absaugen der verwendeten Lösungen werden Kapillaren derart ausgezogen, daß der Außendurchmesser an ihrer Spitze an die MikroStrukturen auf dem Detektionssystem angepaßt sind, z.B. ca. 2 - 10 μm beträgt. Die Kapillarenspitzen sind damit im Verhältnis zu den einzelnen Arraypositionen relativ klein. Die mit diesen Kapillaren getrennt abgebbaren Volumina sind im unteren nl-Bereich damit in Relation zum Gesamtvolumen in einem Mikrokompartiment oder in einem Mikrokapillarreaktor ebenfalls sehr klein, da sie ca. 5-10 % dieses Gesamtvolumens betragen. Alternativ werden mit Piezo-Dosierköpfen pl-Mengen der entsprechenden Lösungen berührungslos in Mikrokompartimente oder in einen Mikrokapillarreaktor eingebracht. Hierbei ist die Dimension des auftreffenden pl-Tropfenstrahls in Relation zur Dimension des Arrayposition noch geringer.
Für das Dosieren verschiedener Lösungsmittel mit den Glaskapillaren kann die Polarität der Außenseite der Glaskapillaren durch chemische Modifikation im Gegensinn zur Polarität des jeweils verwendeten Lösungsmittels eingestellt werden. So können nach Hydrophobisierung der Außenseite der Kapillaren mit Chlorsilan wäßrige Lösungen definiert und veriustfrei dosiert werden, da eine retrograde Wanderung von aus der Kapillarenspitze ausgetretenen Tropfen nicht mehr erfolgt. Für die Dosierung organischer Lösungsmittel wird die umgekehrte Lösung verwendet. Mit hydrophiler Außenseite der Kapillarenspitze ist retrogrades Wandern der ausgetretenen Tropfen nicht mehr möglich.
Die Verdunstung von wäßrigen Lösungen kann im Falle planarer Strukturen und Mikrokompartimente wirksam durch Lagerung unter gesättigter Wasserdampfatmosphäre verhindert werden. Es besteht zudem die Möglichkeit, Volumenverluste durch Verdunstung mittels aufgelegter oder aufgeklebter Folien zu verhindern. Ohne diese Maßnahme erfolgt bei planaren Strukturen innerhalb 0,5 min und bei Mikrokompartimenten innerhalb weniger Minuten das Abtrocknen der aufgebrachten Flüssigkeit.
Das Füllen und Absaugen kann ebenso durch das Aufsetzen eines zur Struktur in Figur 3 gezeigt komplementären Stempels 20 vorgenommen werden. Durch den Stempel werden wie in Figur 4 dargestellt mehrere oder alle Einlaßöffnungen 11 der Mikrokapillarreaktoren durch einen Verteilerkanal 18 im Stempel 20 miteinander verbunden. In gleicher weise werden die verschiedenen Ausflußöffnungen 12 der Kapillarreaktoren im Array durch die Verteilerkanäle 19 miteinander verbunden. Dies kann reihenweise oder für das gesamte Array realisiert werden, so daß mit Einlaß- und Auslaßöffnung 16 bzw. 17 das gesamte Mikrokapillarreaktorarray unter Druck gespült oder beschickt werden kann. Dazu wird Flüssigkeit mit Schläuchen aus entsprechenden Reservoirs oder Befüllungsapparaturen in die Einlaßöffnung 16 zugeführt und durch die Auslaßöffnungen 17 im Stempel durch das zweite Kanalsystem wieder abgeführt. Solche Stempel können bevorzugt aus dichtenden Polymeren oder gummiartigen Materialien wie z.B. Silikonen, Polyamiden oder Poiykohlenwasserstoffen hergestellt werden. Es sind aber auch Metall- oder Siliziumstempel mit dünnen elastischen Dichtungen geeignet. Im Falle von Glas- oder Siliziummateriaiien können besonders vorteilhaft die üblichen Ätzverfahren zum Herstellen von MikroStrukturen verwendet werden.
Nach Reaktionen in den Arrays und/oder Immobilisation von Molekülen auf den
Bodenflächen der Kompartimente, die sich auf den Substraten oder Sensorelementen befinden, kann ebenso wie für die „einfachen" Mikrokompartimentarrays beschrieben die Materialschicht, die den Mikrokapillarreaktor bildet, entfernt werden. Erfindungsgemäß wird auf diese Weise ein planares Molekülarray ohne mechanische Hindernisse zwischen Einzeipositionen erzeugt.
Nachstehend soll die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert werden.
Beispiel 1 :
Herstellung eines elektrischen Sensorarrays
Mikroelektrodenstrukturen entsprechend Figur 1 werden in Standard- Siliziumtechnologie hergestellt. [K. Reimer et al. Sensors and Actuators, A 46/47 (1995) 66]. Dazu wird 500 nm dickes thermisches Oxid auf 4"-Siliziumwafem erzeugt. Auf dem Oxid wird Lack photolithografisch so strukturiert, daß die Konturen der Elektroden für die Elektrodenstrukturen freiliegen. Das Elektrodensystem gemäß Details in Figur 1a besteht aus kammartigen Elektrodenbändern mit 1 ,5 μm Breite im Abstand von 800 nm. Die Eiektrodenbänder sind über Leiterbahnen (nicht sichtbar) unter der
Isolierung 3 mit den Kontakflächen 10 verbunden. Es sind 12 Sensorarraypositionen in einer 4x4 Matrix mit Arraypositionen von 300 μm Durchmesser auf dem Sensorarray angeordnet. Die Abstände der Sensorarraypositionen betragen 400 μm, so daß ein aktives Sensorarraygebiet von ca. 2,5 mm x 2,5 mm entsteht.
Der mit Siliziumdioxid beschichtete Wafer wird mit einer photolithographischen Maske mit den Strukturen der Elektroden versehen. Eine 20 nm dicke Titanhaftschicht und eine 150 nm dicke Goldschicht werden auf die gesamte Oberfläche mittels Elektronenstrahl aufgedampft. Durch einen Lift off-Prozeß wird alles Material zwischen den Elektroden, Leiterbahnen und Kontakten beseitigt. Der Wafer wird anschließend mit einer 400 nm dicken Silizium-Oxinitrid-Schicht bedeckt, die im Plasma durch chemische Abscheidung (PECVD-SiNx:H) erzeugt wird. Im folgenden werden die Arraypositionen und die außenliegenden Kontaktflächen durch reaktives chemisches Trockenätzen bis auf die Goldflächen freigelegt. Nach Aufschleudern eines Schutzlackes wird der Wafer von der Rückseite entsprechend der vorgesehenen Einzelchipkanten ca. 250 μm tief von der Rückseite eingesägt.
Beispiel 2:
Aufbau von Mikrokompartimenten mit vorgefertigten Polymeren durch Heißsiegeln Elektrische Sensorarrays, die nach Beispiel 1 hergestellt worden sind, werden mit Aceton im Ultraschallbad von Schutzlack befreit und mehrmals mit Alkohol und
Reinstwasser gewaschen. Im folgenden Schritt werden sie im Waferverbund durch das Aufiaminieren einer vorher perforierten 400 μm dicken Polypropylen-Folie mit Mikrokompartimenten belegt. Die Perforation entspricht dabei den Größen der Sensorarraypositionen und der Kontaktflächen. Das Aufiaminieren geschieht mittels Erwärmung durch einen Stempel. Es werden ca. 200 μm breite Streifen um die Arraypositionen herum versiegelt. Die Justage der mittels eines Vakuumstempels in Wafergröße aufgebrachten Folie wird mittels Justiermarken auf der Waferoberfläche durch optische Kontrolle vorgenommen. Der auf -20°C gekühlte Wafer wird entlang der gemäß Beispiel 1 vorgesägten Chipkanten gebrochen, so daß die einzelnen Chips erhalten werden.
Beispiel 3:
Aufbau von Mikrokompartimenten mit vorgefertigten Polymeren durch Laminieren
Optische Sensorarrays, die aus Glaswafern bestehen, die homogen mit einer lichtleitenden Schicht aus Siliziumoxinitrid sowie einer Siliziumdioxidschicht von ca. 20 nm versehen sind, werden gemäß Beispiel 1 von der Rückseite angesägt. Anschließend werden sie mit Aceton im Ultraschallbad von Schutzlack befreit und mehrmals mit Alkohol und Reinstwasser gewaschen.
Im folgenden Schritt wird ganzflächig eine 0,3 mm Polypropylenfoiie mittels rückstandsfrei ablösbaren Klebers befestigt. Nach dem Auflegen einer 0,6 mm starken Lochmaske aus geätztem Silizium wird mit einer Lochanordnung, die den gewünschten Arraypositionen und Mikrokompartimenten entspricht, mittels reaktivem Trockenätzen das polymere Material entsprechend den Arraypositionen bis zur Siliziumdioxidschicht weggeätzt. Dazu benutzt man reaktives Plasma. Der auf -20°C gekühlte Wafer wird entlang der gemäß Beispiel 1 vorgesägten Chipkanten gebrochen, so daß die einzelnen Chips erhalten werden.
Beispiel 4:
Aufbau von Mikrokapillarreaktoren
Elektrische Sensorarrays, die nach Beispiel 1 hergestellt worden sind, werden mit Aceton im Ultraschallbad von Schutzlack befreit und mehrmals mit Alkohol und Reinstwasser gewaschen. Im folgenden Schritt werden sie durch Kleben analog Beispiel 3 mit einer vorher perforierten 0,5 mm dicken Polyamid-Scheibe im
Waferformat versehen. Zur Erzeugung der Mikrokapillarreaktoren werden vorher in die Polymerscheibe die 100 μm langen Verbindungskanäle eingeprägt. Die Ein- und Auslaßöffnungen werden wie die Mikrokompartimente in Beispiel 3 hergestellt. Die Einlaßöffnungen haben 200 μm und die Auslaßöffnungen 300 μm Durchmesser. Der auf -20°C gekühlte Wafer wird entlang der gemäß Beispiel 1 vorgesägten Chipkanten gebrochen, so daß die einzelnen Chips erhalten werden.
Beispiel 5:
Aufbau von Mikrokompartimenten mit photolithographisch strukturierten Polymeren
Elektrische Sensorarrays im Waferverbund nach Beispiel 1 werden mit Aceton im Ultraschallbad von Schutziack befreit und mehrmals mit Alkohol und Reinstwasser gewaschen. Anschließend werden sie im Spin Coat-Verfahren mit Teflon AF (DuPont) mit einem 15 μm dicken Film beschichtet. Zuvor wird der gesamte Wafer mit dem zugehörigen Haftmittel (DuPont) benetzt. Nach Ausbacken der Teflonschicht bei 150°C für 20 min wird eine photolithographische Maske mit den Strukturen der Arraypositionen sowie der grabenartigen Vertiefungen gemäß 15 in Figur 3a und der Kontaktflächen aufgebracht. Das Teflon wird mittels reaktivem Trockenätzen von den Gebieten der Arraypositionen und der Kontaktflächen sowie der grabenartigen Strukturen bis zu den Oberflächen der Elektroden bzw. der Substratoberfläche freigelegt.
Alternativ zu Teflon AF kann die Polymerschicht auch aus Standard-Polyimid hergestellt und identisch strukturiert werden. Der Wafer wird entlang der gemäß Beispiel 1 vorgesägten Chipkanten gebrochen, so daß die einzelnen Chips erhalten werden.
Beispiel 6:
Immobilisierung von Oligonukleotiden auf Sensorarrays
Ein nach Beispiel 3 hergestellter Chip wird auf einen Keramikträger mit üblichen
Leiterbahnen montiert und drahtgebondet. Durch Aufkleben eines poiymeren Formteils aus Polysiloxan entlang der Chipkanten, das die aktiven Elektrodengebiete eingrenzt, wird ein Reaktionsgefäß von ca. 5 mm Durchmesser auf dem Chip befestigt. In dieses Reaktionsgefäß wird eine 5mM Lösung von 11-Mercapto-undecanylamin in Cyclohexanon eingefüllt und abgedeckt und bei Raumtemperatur für 5 Std. belassen. Die Belegung der Elektroden durch Self-Assembling wird kontrolliert durch eine Online- Impedanz-Messung (EG&G Model 398).
Diese Belegung der Metalloberflächen kann alternativ auch vor dem Brechen und Vereinzeln der Chips durch Tauchen des gesamten vorher entlackten Wafers in die analogen Lösungen vorgenommen werden.
Die nun mit Aminofunktionen derivatisierte Oberfläche des Chips wird anschließend mit einem Tropfen (0,1-10 μl) 20 mM Tolylen-2,4-diisocyanat (TDI) in Essigsäureethylester (EEE) bei Raumtemperatur während 10-60 min inkubiert. Es wird mit EEE gewaschen und getrocknet.
Nach Waschen eines so aktivierten Chips mit neutraler Phosphatpufferlösung werden mittels Mikrokapiliardosierung nacheinander in jede Sensorarrayposition je 5 nl 24mer- Oligonukleotid eingebracht, das am 5'-Terminus eine Jodoacetyl-Gruppe trägt.
Die Nucleotidsequenz ist an jeder Arrayposition unterschiedlich entsprechend der zu analysierenden verschiedenen Ziel-DNA-Moleküle. Dabei entsprechen die Reaktionsflüssigkeiten den Volumina der Mikrokompartimente. Die Kopplungsreaktion erfolgt spontan während einer Stunde bei Zimmertemperatur. Nach erfolgter kovalenter Anbindung wird das elektrische Sensorarray mit SSPE-Puffer (0,9M NaCI, 50mM NaH2PO4, 5mM Na2EDTA, pH 7,5) gewaschen.
Die vorstehend genannten strukturierten Polymerbeschichtungen werden durch mechanisches Peeling von den Chips entfernt.
Beispiel 7:
Immobilisierung von Antigen-Proteinen auf Sensorarrays
Ein nach Beispiel 5 hergestellter Chip wird auf einen Keramikträger mit üblichen Leiterbahnen montiert und drahtgebondet.
Durch Aufkleben eines poiymeren Formteils aus Polysiloxan entlang der Chipkanten, das die aktiven Elektrodengebiete eingrenzt, wird ein Reaktionsgefäß von ca. 5mm Durchmesser auf dem Chip befestigt. Die in diesem Ring liegenden Flächen werden mit Alkohol und destilliertem Wasser gewaschen.
Direkt danach erfolgt eine Silanisierung der Oberflächen in den Arraypositionen durch Inkubation in Toluol unter Zugabe eines Silans (z.B. Aminopropyltriethoxysilan; Isocyanatopropyltriethoxysilan; Glycidoxypropyltrimethoxysilan) ad 1-5 % (v/v) bei 40-80°C während 1-30 h. Nach mehrfachem Waschen in Toluol wird im Trockenofen während 0,5-2 h bei 60-80°C getempert. Die derartig mit sekundären chemischen Funktionen derivatisierten Oberflächen werden anschließend direkt mit einem Tropfen (0,1-10 μl) 20 mM Tolylen-2,4-diisocyanat (TDI) in Essigsäureethylester (EEE) bei RT während 10-60 min inkubiert. Nach Waschen mit EEE wurde nach Trocknen in jedes Mikrokompartiment ein Tropfen (0,1-10μl) einer anderen Antigen-Proteinlösung (CProtein ca. 1-10 mg/ml in Carbonatpuffer oder Phosphatpuffer pH 9,5) aufgegeben und bei RT während 0,1 - 2 h inkubiert.
Die vorstehend genannten strukturierten Polymerbeschichtungen werden durch mechanisches Peeling von den Chips entfernt.
Beispiel 8:
Anwendung eines Stempels zur Affinitätsbindung von DNA auf Sensorarrays Elektrische Sensorarrays werden nach Beispiel 1 hergestellt, wobei die Aktuatoren als interdigitale Elektroden gestaltet sind [M. Paeschke et al., Anaiytica Chimica Acta 305 (1995) 126]. Nach Beispiel 4 werden sie mit Mikrokapillarreaktoren versehen und nach Beispiel 6 mit verschiedenen Oligonucletiden belegt.
Ein Stempel entsprechend Figur 4 wird unter mechanischem Druck auf dem Array befestigt. Anschließend wird DNA-Analyt als Gemisch durch den Stempeleingang 16 in die Mikrokapillarreaktoren eingefüllt. Es wird Analyt-DNA verwendet, in welche bei der konventionellen Vervielfältigung der DNA mittels PCR biofinylierte Primer Biotin-Reste eingeführt wurden. Die Analyt-DNA in SSPE-Puffer wird mit Denhardt's Lösung (0,5 g Ficoll, 0,5 g Polyvinylpyrrolidon, 0,5 g RSA in 0.5 I H2O) in eine Konzentration von 1 μg/ml überführt und auf das Sensorarray aufgegeben und bei Raumtemperatur 2 Std inkubiert. Zur Entfernung überschüssiger Analyt-DNA wird bei 40°C mit SSC-Puffer (52,6 g NaCI, 26,5 g Na-Citrat in 0,8 I H2O) gewaschen, indem die Spülflüssigkeit unter Druck durch Stempel und Reaktoren gespült und an den Ausgangsöffnungen 17 entnommen wird.
Die Detektion gebundener DNA erfolgt nach Markierung mit Streptavidin/alkalische Phosphatase-Konjugaten und erneutem Waschen durch elektrochemisches Redox- Recycling [Hintsche et al. in Frontiers in Biosensorics/Fundamental Aspects, eds. F.W. Scheller et al., Birkhäuser Verlag Basel/Switzerland 1997, p 278] an jeder Arrayposition.
Die Erfindung ist also unter anderem auf ein Verfahren zu Herstellung eines molekularen Arrays gerichtet, auf dem Moleküle mittels Mikrokompartimenten oder Mikrokapillarreaktoren auf planaren Substraten oder Seonsorelementen immobilisiert werden, wobei molekulare Arrays mit planaren Oberflächen erzeugt werden. Mit dem Verfahren können temporäre Mikrokompartimente in zusätzlich aufgebrachten Schichten und Öffnungen mit Zugang zur Oberfläche auf planaren Substraten oder Sensorelementen erzeugt werden. Diese temporären Mikrokompartimente können durch zusätzlich aufgebrachte perforierte Schichten mit Öffnungen und Zugang zur Oberfläche auf den planaren Substraten oder Sensorelementen erzeugt werden. Dabei können jeweils zwei Mikrokompartimente durch einen Kanal miteinander zu einem Mikrokapillarreaktor verbunden werden, wobei dessen Boden von der Oberfläche der planaren Substrate oder Sensorelemente gebildet wird. Die Mikrokompartimente oder die Mikrokapillarreaktoren können wie auch die planaren Substrate oder Sensorelemente aus (unterschiedlichen, ggf. aber auch gleichen) poiymeren oder metallischen oder mineralischen Materialien bestehen. Bei den Sensorelementen kann es sich um vielfach angeordnete optische oder elektrische Transducer handeln. Zur Ausbildung der Mikrokompartimente oder Mikrokapillarreaktoren werden die Materialien vorzugsweise wiederablösbar mit dem Substrat verbunden. Sie können (z.B. in Form von (selbsttragenden) Schichten) vorab perforiert oder geprägt werden, wobei Strukturen entstehen, die den Mikrokompartimenten oder Mikrokapillarreaktoren entsprechen, oder sie können durch zusätzliche Schritte aus vorgefertigten Teilstrukturen in diese umgeformt werden. Die Mikrokapillarreaktoren und/oder Mikrokompartimente können durch photolithographische Prozesse in Kombination mit Naßätzverfahren oder reaktives Trockenätzen an den gewünschten Stellen durch Schaffung der entsprechenden Volumina der Mikrokompartimente oder Mikrokapillarreaktoren erzeugt werden. Deren Fläche, die vom Substrat oder Sensorelementen gebildet wird, sollte für chemische Reaktoren frei zugänglich sein, so daß darauf Fängermoleküle angeordnet werden können. Die Materialien der Mikrokompartimente können anschließend physikalisch oder chemisch wieder entfernt werden. Ein den Maßen der Mikrokapillarreaktoren angepaßter Stempel, der mit fluidischen Kanälen ausgerüstet ist, kann auf diese aufgesetzt werden, wobei die Reaktoren paarweise, reihenweise oder im gesamten mit Flüssigkeit versehen werden können.
Die erfϊndungsgemäß herstellbaren Arrays können zur Affinitätsbindung von DNA verwendet werden.

Claims

Ansprüche:
1. Verfahren zum Herstellen eines Detektionssystems zur Detektion unterschiedlicher Analyte in einer Probe oder zur Detektion eines Analyten in einer Vielzahl von Proben, mit einer ebenen oder im wesentlichen ebenen Substratoberfläche und auf dieser Oberfläche angeordneten Arrays von Analyt bindenden Fängermolekülen, gekennzeichnet durch die folgenden Schritte: (a) Bereitstellen eines planaren oder im wesentlichen planaren Substrats mit
Sensoren zur chemischen, optischen oder elektrischen Detektion der Analyte,
(b) Aufbringen einer Schicht auf das Substrat, die entweder bereits mikrostrukturiert ist, oder Aufbringen einer durchgehenden Schicht auf das Substrat und Mikrostrukturieren der Schicht, jeweils derart, daß voneinander getrennte Bereiche des Substrats nicht von der Schicht bedeckt sind, wobei Schicht und Substrat zumindest um die unbedeckten Bereiche herum dichtend miteinander verbunden sind,
(c) In-Kontakt-Bringen zumindest eines Teils der unbedeckten Bereiche mit mindestens einer Fängermoleküle enthaltenden Flüssigkeit, derart, daß die
Fängermoleküle in der Lage sind, an der Substratoberfläche und/oder auf der Oberfläche der Sensoren zu haften oder daran zu binden,
(d) Entfernen der nicht haftenden Bestandteile der Flüssigkeit.
(e) Entfernen der mikrostrukturierten Schicht oder von Teilen dieser Schicht.
2. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Sensoren auf oder in der Oberfläche des Substrates angeordnet sind.
3. Verfahren nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Schicht derart gemäß (b) auf das Substrat aufgebracht wird, daß diejenigen Bereiche des
Substrats, auf oder in deren Oberfläche die Sensoren angeordnet sind, nicht von der Schicht bedeckt sind.
4. Verfahren nach einem Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß im Schritt (b) die voneinander getrennten Bereiche des Substrats, die nicht von der
Schicht bedeckt sind, die Form von Mikrokapillarreaktoren erhalten, die durch zwei Öffnungen in der Schicht und eine Verbindung zwischen diesen Öffnungen gebildet werden, wobei diese Verbindung in Kontakt mit der Substratoberfläche steht.
5. Verfahren nach einem Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die einzelnen in Schritt (b) erhaltenen, voneinander getrennten Bereiche des Substrats, die nicht von der Schicht bedeckt sind, von einem oder mehreren Stegen umgeben sind, deren Durchmesser von 1/20 bis 1/1 , vorzugsweise 1/10 bis 1/3 des
Durchmessers der voneinander getrennten, nicht bedeckten Bereiche beträgt, wobei dieser Steg oder diese Stege von jeweils einer grabenartigen Vertiefung umgeben ist/sind, die sich um den Steg herum erstreckt/erstrecken, und einen Durchmesser im Bereich von 1/20 bis 1/1 , vorzugsweise 1/10 bis 1/3 des Durchmessers der genannten, nicht bedeckten Bereiche aufweist/aufweisen.
6. Verfahren nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß in Schritt (b) ein organisches oder teilweise organisches Polymer oder dessen Vorstufen auf das Substrat aufgebracht und mittels lithographischer Verfahren und/oder Ätzverfahren strukturiert wird.
7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß in Schritt (b) eine Schicht aus einem selbsttragenden Polymeren, vorzugsweise eine Polymerfolie, ein Polymerfilm oder eine dünne Polymerplatte, auf dem Substrat befestigt wird, die entweder bereits zuvor oder auf dem Substrat mikrostrukturiert wurde/wird.
8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß in Schritt (b) eine Schicht aus einem anorganischen Material, beispielsweise eine Silizium-, Glas-, Metall- oder Keramikplatte, die zuvor mikrostrukturiert, beispielsweise gestanzt oder photolithographisch strukturiert worden war, auf dem Substrat befestigt wird.
9. Verfahren nach Anspruch 7oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Befestigung mit Hilfe eines wieder ablösbaren Klebstoffes oder durch Heißsiegeln mit Polymeren oder durch Laserschweißen erfolgt.
10. Verfahren nach einem der Ansprüche 7 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Schicht vor dem Befestigen auf dem Substrat zusätzlich mit Prägungen versehen wurde.
11.Verfahren nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die strukturierte Schicht in Schritt (e) mechanisch oder chemisch, z.B. durch Lösungsmittel, abgelöst wird.
12. Detektionssystem zur Detektion unterschiedlicher Analyte in einer Probe oder zur Detektion eines Analyten in einer Vielzahl von Proben, mit einer ebenen oder im wesentlichen ebenen Substratoberfläche und auf dieser Ebene angeordneten Arrays von Analyt bindenden Fängermolekülen, mit den folgenden Komponenten:
(a) einem planaren Substrat mit Sensoren zur chemischen, optischen oder elektrischen Detektion,
(b) einer auf diesem Substrat befindlichen Schicht, die derart mikrostrukturiert ist, daß voneinander getrennte Bereiche des Substrats nicht von der Schicht bedeckt sind, wobei Schicht und Substrat zumindest um die unbedeckten Bereiche herum dichtend miteinander verbunden sind, dadurch gekennzeichnet, daß entweder
(i) die auf dem Substrat aufgebrachte Schicht aus einem hydrophoben Material besteht und eine Dicke von nicht mehr als 20 μm, vorzugsweise von nicht mehr als 10 μm, besonders bevorzugt nicht mehr als 1 μm besitzt, oder
(ii) die voneinander getrennten Bereiche des Substrats, die nicht von der Schicht bedeckt sind, die Form von Mikrokapillarreaktoren besitzen, die durch zwei Öffnungen in der Schicht und eine Verbindung zwischen diesen Öffnungen gebildet werden, wobei diese Verbindung in Kontakt mit der Substratoberfläche steht, oder
(iii) die einzelnen voneinander getrennten Bereiche des Substrats, die nicht von der Schicht bedeckt sind, von einem oder mehreren Stegen umgeben sind, deren Durchmesser vorzugsweise von 1/20 bis 1/1 , stärker bevorzugt 1/10 bis 1/3 des Durchmessers der voneinander getrennten, nicht bedeckten Bereiche beträgt, wobei dieser Steg oder diese Stege von jeweils einer grabenartigen Vertiefung umgeben ist/sind, die sich um den Steg herum erstreckt/erstrecken und einen Durchmesser im Bereich von vorzugsweise
1/20 bis 1/1 , stärker bevorzugt von 1/10 bis 1/3 des Durchmessers der genannten, nicht bedeckten Bereiche aufweist/aufweisen, wobei die Ausgestaltung (i) auch in Kombination mit der Ausgestaltung (ii) oder der Ausgestaltung (iii) realisiert sein kann.
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