WO2001011353A2 - Ultraschall-sensoranordnung - Google Patents

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WO2001011353A2
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ultrasonic sensor
ultrasonic
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Wolfgang Stumm
Volker Arndt
Norbert Blumentritt
Michael Lach
Michael Platte
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Robert Bosch Gmbh
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Definitions

  • the invention is based on an ultrasonic sensor arrangement according to the preamble of the independent claim.
  • Transverse waves through the welding area during the welding process instead of longitudinal waves.
  • the amplitude of the transmission signal is recorded on-line and used as a control variable for the amplitude and time profile of the welding current.
  • the transverse wave is chosen because the influence of the liquid formation in the welding lens on the damping of a transmitted wave is very large with this type of wave.
  • the amplitude or temporal course of the change in the course of the welding process which changes significantly and in a characteristic manner
  • Transverse wave allows a reliable conclusion on the Formation and size of the welding lens and can therefore be used as a manipulated variable for a control process.
  • the ultrasonic transmitter and receiver are attached to the outer electrode shaft or to the electrode holder. There are shear waves, especially transverse or
  • Torsion waves generated with a frequency less than 1 MHz It is stated to be particularly advantageous to generate horizontally polarized transverse waves since these have a low tendency to undesired mode conversions in the case of reflections within the sound-conducting electrode holder.
  • the ultrasonic transmitters and receivers are so-called shear wave probes. They contain flat and mostly round piezoplates with a diameter of a few mm to a few cm, which when excited with an electrical voltage perform a shear movement or, conversely, react to a received shear wave with a received voltage when they are received.
  • To transmit shear waves between the test head and the solid they must be in intimate contact with each other. As a rule, they are glued together. So with the
  • the horizontal advantageous with respect to the tube wall
  • the direction of polarization can be achieved by rotating the test head around its axis or around the axis of its radiation direction.
  • test heads In practice, the lateral attachment of test heads to the electrode shaft is disadvantageous for other reasons.
  • commercially available shear wave probes have a depth dimension that is usually comparable with their diameter, i.e. a few mm to a few cm.
  • they mainly due to the damping body, they have their own weight, which, depending on the size, is between a few tens and a few hundred grams.
  • the damping body is necessary to bring about a damped vibration behavior of the piezo plate or a broadband frequency transmission behavior.
  • the depth of the test heads plus that of the front wedges used means that in automatic production systems in which the welding electrodes of Robot arms are guided, the freedom of movement is more or less restricted.
  • Welding electrodes, the test heads and wedges attached to the side act as seismic masses. They are exposed to constantly changing acceleration forces, so that corresponding shear forces are exerted on the connections between the electrode shaft, attachments and test heads. With such an alternating load, adhesive bonds are subject to the risk of fatigue fractures. In the event of a collision with an obstacle, there is also the risk that a test head is immediately torn off or even destroyed. Such an arrangement is therefore not sufficiently reliable for further industrial use without further mechanical protective devices.
  • the adhesive connections between the attachments and the electrode shaft on the one hand and the test head and attachment on the other hand have a more or less reflective effect, depending on the ratio of the adhesive layer thickness to the wavelength, so that in turn only a fraction of the sound energy passes through the connecting surface and the ultrasonic signal that passes through compared to the original signal every additional adhesive layer is additionally weakened. If different materials are used for the adapter and the electrode shaft, the different acoustic impedances add further reflection losses.
  • the object of the present invention is, in particular with regard to the method for analysis and
  • the object is achieved in that the ultrasonic sensor is integrated in a sensor carrier, at least one material recess, such as grooves, being provided for receiving ultrasonic sensors.
  • the ultrasonic sensor can be accommodated in a protected manner, so that this arrangement is suitable for industrial use, for example in welding robots.
  • the size can be reduced.
  • These material recesses preferably form flat surfaces in the radiation or detection direction, which are either aligned perpendicular to the longitudinal axis of the sensor carrier, so that the main emission direction of the ultrasonic sensors is parallel to the longitudinal axis of the sensor carrier, or which are inclined to the longitudinal axis of the sensor carrier in order to produce other advantageous directions of sound propagation ,
  • the ultrasound sensor comprises, in addition to a piezoelectric layer, at least one sound-absorbing and / or reflecting layer. This allows sound propagation to be directed in a desired direction, so that the transmission / reception performance of this arrangement is improved.
  • a further advantageous embodiment provides an intermediate layer made of non-piezoelectric material, the acoustic impedance of which approximately corresponds to the material of the sensor carrier or a value between
  • This intermediate layer is preferably arranged between the sensor carrier and the piezoelectric layer generating the ultrasonic waves. Good sound transmission between the piezo element and the sensor carrier can thereby be achieved. This intermediate layer also ensures electrical insulation between the piezo element and the sensor carrier.
  • means are provided for preventing ultrasound from spreading in a direction running radially to the longitudinal axis of the sensor carrier.
  • an intermediate space or a separating layer extends between the ultrasonic sensor and the sensor carrier parallel to its longitudinal axis in order to prevent radial ultrasonic propagation. This can improve transmission power and / or reception sensitivity.
  • An advantageous embodiment provides means for electrically shielding the piezoelectric layer in order to reduce interference.
  • the senor consists of at least two layers of piezoelectric material with polarization directions alternating from layer to layer.
  • the proposed sensor arrangement is particularly suitable for use with welding electrodes, but is not restricted to this.
  • FIG. 2 shows an embodiment of the ultrasonic sensor arrangement according to the invention with an electrode shaft tapering in the direction of the electrode tip
  • FIG. 3 shows the basic structure of an embodiment of the ultrasound sensor used in the ultrasound sensor arrangement using stacking technology
  • FIG. 4 shows an embodiment of a welding electrode consisting of an electrode shaft and an electrode cap which is favorable in terms of sound with regard to the ultrasound sensor arrangement according to the invention
  • FIG integrated ultrasonic sensor arrangement shows a variant of an ultrasonic sensor arrangement integrated in an intermediate piece.
  • the exemplary embodiments relate to a possible application for welding electrodes.
  • the electrode shaft forms the sensor carrier for at least one ultrasonic sensor.
  • Fig. La shows the principle of operation of the ultrasonic sensor arrangement according to the invention using the example of one of the possible embodiments.
  • the welding electrodes are in two parts and consist of an electrode shaft and cap and how they are shaped at their rear end in order to be received by a holder. In this and the following figures, the details are therefore not shown.
  • a groove-shaped recess 2 is machined in the electrode shaft 1.
  • the side of the groove facing the electrode tip forms a surface 3 which is oriented perpendicular to the longitudinal axis 4 of the electrode shaft 1.
  • the piezoelectric layer 5 provided with the electrodes on both sides is connected to the surface 3 by inserting an intermediate layer 6 such that good sound transmission from the piezoelectric layer 5 into the electrode shaft 1 is ensured.
  • the intermediate layer 6 either only has the function of electrical insulation between piezoelectric layer 5 and the electrode shaft 1.
  • a material with a similar acoustic impedance as the adjacent piezoelectric material or as the alloy used to produce the electrode is preferably selected.
  • the intermediate layer 6 is designed as an acoustic adaptation layer.
  • acoustic impedance and their thickness are selected depending on the ratio of the acoustic impedances of the piezo layer and the electrode material in such a way that the conditions for acoustic quarter-wavelength or half-wavelength adaptation are met.
  • layer 6 can also be dispensed with entirely.
  • the layers 5, 6 can be applied to the surface 3, for example by gluing.
  • the influence of the adhesive layers on the acoustic permeability is minimized by applying such a high contact pressure that the adhesive layer thicknesses become much smaller than the wavelength of the sound wave generated by the piezo material.
  • a damping and sound-absorbing and / or - reflecting layers 7 are applied in a similar manner to the back of the piezo layer.
  • Get electrode shaft 1 it is possible to generate the entire one generated in the piezoelectric layer To emit ultrasonic energy in the direction of the electrode tip 1.1, so that the transmission power of this arrangement is considerably increased compared to the previously known lateral introduction of the ultrasound on the outer electrode shaft.
  • FIG. 1 a Due to the reversibility of the sound paths, the same conditions also apply in the case of reception, so that the arrangement according to the invention in FIG. 1 a also has a considerably increased reception sensitivity compared to the case where the ultrasonic signal is tapped off at the side of the outer electrode shaft 1.
  • the arrangement of the sound-generating piezoelectric layer 5 within the electrode shaft 1 perpendicular to its longitudinal axis 4 is also particularly advantageous because, in the case of sound radiation parallel to the longitudinal axis 4 of the electrode shaft 1, only grazing sound with respect to the outer and inner wall of the Electrode shaft 1 takes place.
  • grazing sound incidence according to the physical law of refraction, due to the higher propagation speed of the longitudinal wave compared to the transverse wave, it is fundamentally impossible to split a longitudinal wave, so that no energy is extracted from the original transverse wave, as would be the case with zigzag reflection, for example the ultrasound would be coupled into the outer electrode shaft at a smaller insonification angle.
  • Layer 7 an electrically conductive and via a feed line 9.3 layer 10 connected to ground potential (shielding) or other shaped electrically conductive shielding sheets or foils are inserted.
  • the layer 10 and the front electrode 12.2 of the piezoelectric layer 5 are preferably connected to a common potential.
  • a particularly advantageous embodiment of the sensor arrangement according to the invention can be realized if a piezoelectric material is used, the acoustic impedance of which approximately corresponds to that of the electrode shaft. If at the same time the layer 6 is omitted or consists of a material with a similar acoustic impedance as the electrode material, the swinging in and out of the piezo plate is damped in such a way that a rear damping body (layer 7) can be completely dispensed with and the overall height of the ultrasonic sensor Layer package, consisting of layers 6, 5, 7 and 10, can be kept very small. Then the sensor arrangement can also be used in welding robots that are equipped with electrodes for spatial requirements, the shafts of which are only very short.
  • the electrical leads must be led through the wall of the electrode shaft or through the inner cooling hole. The production of the inner groove is simplified if the
  • Electrode shaft is first produced in two parts 1.1 and 1.2, which later material-wise, for example of a thread so that the contact resistance remains small with regard to the high welding current.
  • the groove 12 can also be designed as an opening from the inside to the outer wall of the electrode shaft.
  • the groove must e.g. be sealed by a lateral sleeve 14 made of plastic in order to prevent cooling water from escaping from the cooling bore.
  • a groove for receiving a piezoelectric layer or a sensor is introduced into the electrode shaft 1 as in FIGS. La-c, but two - for example diametrically opposed grooves 15.1, 15.2 as in FIG . ld - or even more that are distributed over the scope.
  • Each groove in itself serves to receive a piezoelectric layer or an ultrasonic sensor (16.1, 16.2 in FIG. 1d). All individual sensors formed in this way are electrically connected in parallel and operated at the same time, so that they act like a single sensor belonging together.
  • the ultrasonic power emitted in the electrode shaft is increased in the ratio of the radiating surfaces, so that the intensity acting in the area of the welding lens is increased to the same extent and an improved ratio of useful signals to interference signals occurs.
  • the sensor arrangements according to FIGS. 1d, 1e and 1f can also be carried out analogously with internal grooves. All possible configurations of the groove for receiving the piezoelectric layers are based only on the condition that the remaining smallest cross section of the
  • Electrode shaft with its thereby increased electrical resistance does not impair the electrical current flow in such a way that e.g. strong heating of the electrode shaft occurs or the power source cannot produce the desired current flow.
  • the largest possible outer diameter is first selected in the upper region of the electrode shaft.
  • the electrode shaft tapers downwards in the direction of the electrode tip.
  • the outer diameter of the shank can, for example, decrease linearly or exponentially with increasing distance from the groove.
  • the contour of the lower part then has the shape of a cone or the shape of an exponential funnel.
  • the area of the piezoelectric layer (s) 22 is large compared to a consistently thin electrode shaft, and in turn the ultrasound power generated or the ultrasound intensity effective in the area of the welding lens increases proportionally to the area of the effective piezoelectric layer 22 while through the downward tapering of the electrode shaft Freedom of movement is maintained when positioning the welding electrodes.
  • Material cutouts in the electrode shaft accommodated piezoelectric layers or sensors can be designed in a stacked construction and consist of several layers of piezoelectric material stacked in alignment and acoustically connected to one another. 3 shows this using the example of two piezoelectric layers 23.1, 23.2 of thickness d. Due to the planar electrodes 25.1, 25.2 and 25.3, the piezo elements 23.1, 23.2 form two electrical capacitors which are electrically connected in parallel via the electrical leads 26.
  • the electrode shaft can have a flat shoulder at its lower end according to FIG. 4
  • the electrode cap and the electrode shaft are expediently provided with a screw thread 30 each, so that the two surfaces 28, 29 can be placed under high prestress. In this way, a contact which is always constant with respect to the material-contacting surfaces and is favorable with regard to the ultrasound permeability is achieved.
  • a cooling tube 43 is guided inside an electrode arm 40.
  • an internal thread 41 is provided at the end of the electrode arm 40, which thread is connected to an external thread 45 of the
  • Electrode shaft 44 is screwed.
  • a sealing ring 47 is arranged between the external thread 45 and a key flange 49 of the electrode shaft 44.
  • Ultrasonic sensors 22 are integrated in the electrode shaft 44 in material cutouts 21, as described in detail above.
  • An electrode cap 54 can be applied to the electrode shaft 44.

Abstract

Es wird eine Ultraschall-Sensoranordnung vorgeschlagen, insbesondere für eine Schweisselektrode, mit einem Sensor (5, 6, 7, 10), der Ultraschallwellen einer gewünschten Schwingungsart während des Detektionsvorganges in zudetektierende Bereiche einleitet und/oder der Ultraschallwellen detektiert. Bei einem Sensorträger (1) ist zumindest eine Materialausnehmung (2) vorgesehen, in der zumindest ein Sensor (5, 6, 7, 10) angeordnet ist.

Description

Ultraschall-Sensoranordnung
Stand der Technik
Die Erfindung geht aus von einer Ultraschall -Sensoranordnung nach der Gattung des unabhängigen Anspruchs .
Das in der EP 653 061 Bl beschriebene Auswerteverfahren besteht im wesentlichen darin, den vorgesehenen
Schweißbereich während des Schweißvorganges statt mit Longitudinalwellen mit Transversalwellen zu durchschallen. Die Amplitude des Durchschallungssignales wird on-line erfaßt und als Steuergröße für Amplitude und Zeitverlauf des Schweißstromes verwendet. Die Transversalwelle wird deshalb gewählt, weil der Einfluß der Flüssigkeitsbildung in der Schweißlinse auf die Dämpfung einer durchgelassenen Welle bei dieser Wellenart sehr groß ist. Die sich im Verlauf des Schweißprozesses deutlich und in charakteristischer Weise ändernde Amplitude oder zeitlicher Verlauf der
Transversalwelle läßt einen verläßlichen Rückschluß auf die Ausbildung und Größe der Schweißlinse zu und kann somit als Stellgröße für einen Regelprozess verwendet werden.
Die grundsätzliche Durchführbarkeit des Verfahrens und die Verläßlichkeit der Prüfaussage hängt entscheidend von den verwendeten Ultraschall-Sensoren, ihrer Anordnung bezüglich der Schweißelektrode und der Schallausbreitung innerhalb der Schweißelektroden ab. Bei der Realisierung gemäß EP 653 061 Bl sind Ultraschallsender und Empfänger am äußeren Elektrodenschaft oder am Elektrodenhalter befestigt. Es werden Scherwellen, insbesondere Transversal- oder
Torsionswellen mit einer Frequenz kleiner 1 MHz erzeugt. Als besonders vorteilhaft wird angegeben, horizontal polarisierte Transversalwellen zu erzeugen, da diese eine geringe Neigung zu unerwünschten Modenumwandlungen bei Reflexionen innerhalb des schallführenden Elektrodenhalters haben. Bei den Ultraschallsendern und-empfängern handelt es sich um sogenannte Scherwellen-Prüfköpfe. Sie enthalten ebene und zumeist runde Piezoplatten von einigen mm bis einigen cm Durchmesser, die bei Anregung mit einer elektrischen Spannung eine Scherbewegung ausführen oder umgekehrt im Empfangsfall auf eine empfangene Scherwelle mit einer EmpfangsSpannung reagieren. Zur Übertragung von Scherwellen zwischen Prüfkopf und Festkörper müssen sich diese in einem innigen Kontakt zueinander befinden. In der Regel werden sie miteinander verklebt. Damit bei der
Schallübertragung in den zylindrischen Elektrodenschaft die gesamte schallempfindliche Kontaktfläche des Prüfkopfes wirksam wird, werden zwischen Prüfköpf und Elektrodenschaft Schall-leitende Vorsatzstücke eingefügt, deren Enden jeweils an die Oberflächen des Prüfköpfes und an die äußere Kontur des Elektrodenschaften materialschlüssig angepaßt sind. Die bezüglich der Rohrwandung vorteilhafte horizontale Polarisationsrichtung läßt sich durch Drehen des Prüfkopfes um seine Achse bzw. um die Achse seiner Abstrahlrichtung erreichen.
Es wird angegeben, daß bei niedrigen Frequenzen auch eine Anordnung der Prüfköpfe senkrecht zum Elektrodenschaft möglich ist. Die Nachteile, die sich durch Abstrahlung in Richtung Elektrodeninnenwand statt in Richtung des Schweißpunktes ergeben, gelten uneingeschränkt auch für Transversalwellen. Es wird lediglich ein geringer Bruchteil der Schallenergie in die eigentlich gewünschte Richtung abgestrahlt. Dies gilt auch bei niedriger Frequenz bzw. kleinem Verhältnis von Durchmesser der verwendeten Piezoplatte zur Wellenlänge. Um den Anteil der in Richtung Schweißlinse abgegebenen Schallenergie zu erhöhen, werden bevorzugt keilförmige Vorsatzstücke verwendet. Eine vollständig in Richtung des Schweißpunktes ausgerichtete Schallabstrahlung läßt sich aber auch damit nicht erreichen.
Eine seitliche Anbringung von Prüfköpfen am Elektrodenschaft ist darüber hinaus in der Praxis aus weiteren Gründen nachteilig. Wegen ihres grundsätzlichen Aufbaus aus Piezoplatte und rückwärtigem Dämpfungskörper haben handelsübliche Scherwellenprüfköpfe eine Tiefenausdehnung, die meist mit ihrem Durchmesser vergleichbar ist, also einige mm bis einige cm. Außerdem besitzen sie hauptsächlich aufgrund des Dämpfungskörpers ein Eigengewicht, das je nach Größe zwischen einigen zehn und einigen hundert Gramm beträgt. Der Dämpfungskörper ist notwendig, um ein gedämpftes Schwingungsverhalten der Piezoplatte bzw. ein breitbandiges Frequenzübertragungsverhalten herbeizuführen. Die Tiefenausdehnung der Prüfköpfe zuzüglich der der verwendeten Vorsatzkeile führt dazu, daß in automatischen Produktionsanlagen, bei denen die Schweißelektroden von Roboterarmen geführt werden, deren Bewegungsfreiheit mehr oder minder eingeengt wird. Beim Bewegen der
Schweißelektroden wirken die seitlich angebrachten Prüfkopfe und Vorsatzkeile als seismische Massen. Sie sind ständig wechselnden Beschleunigungskräften ausgesetzt, so daß entsprechende Scherkräfte auf die Verbindungen zwischen Elektrodenschaft, Vorsatzstücken und Prüfköpfen ausgeübt werden. Klebeverbindungen unterliegen bei derartiger Wechsellast der Gefahr von Ermüdungsbrüchen. Bei Kollision mit einem Hindernis besteht außerdem die Gefahr, daß ein Prüfköpf unmittelbar abgerissen oder sogar zerstört wird. Eine solche Anordnung ist daher ohne weitere mechanische Schutzvorrichtungen für den dauerhaften industriellen Einsatz nicht hinreichend betriebssicher.
Bei seitlicher Anbringung von Schwerwellen-Prüfköpfen ist die Verwendung von Vorsatzstücken zur Schalleinleitung in den Elektrodenschaft unumgänglich. Dabei müssen jedoch andere grundsätzliche schalltechnische Nachteile in Kauf genommen werden. Zum einen wirken die Klebeverbindungen zwischen Vorsatzstücken und Elektrodenschaft einerseits und Prüfköpf und Vorsatzstück andererseits je nach dem Verhältnis von Klebeschichtdicke zur Wellenlänge mehr oder minder stark reflektierend, so daß wiederum nur ein Bruchteil der Schallenergie durch die Verbindungsfläche hindurchtritt und das hindurchtretende Ultraschallsignal gegenüber dem ursprünglichen Signal durch jede weitere Klebeschicht zusätzlich geschwächt wird. Bei Verwendung unterschiedlicher Materialien für Vorsatzstück und Elektrodenschaft kommen durch die unterschiedlichen akustischen Impedanzen weitere Reflexionsverluste hinzu. Außerdem unterliegt eine schräg auf die Grenze zweier benachbarter Festkörper auftreffende Schallwelle einer Aufspaltung in hindurchtretende und reflektierte Longitudinal- und Transversalwellen, deren Brechungs- oder Reflexionswinkel sich entsprechend den bekannten physikalischen Gesetzmäßigkeiten für die Schallbrechung aus dem Verhältnis der Schallgeschwindigkeiten der angrenzenden Materialien ergeben. Die durch Klebeschichten und Schallbrechung verursachten Nachteile wären nur dann zu vermeiden, wenn Elektrodenschaft und Vorsatzstück zusammenhängend aus einem Material gefertigt wären. Die
Herstellung eines solchen kompliziert geformten Teiles wäre jedoch sehr aufwendig.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, insbesondere in Hinblick auf das genannte Verfahren zur Analyse und
Prozeßsteuerung von Widerstands-Punktschweißungen eine verbesserte Ultraschall -Sensoranordnung für
Schweißelektroden anzugeben, mit der Ultraschallwellen einer gewünschten Schwingungsmode, insbesondere Transversalwellen wie Scher- oder Torsionswellen mit einer Frequenz kleiner 1 MHz, während des Schweißvorganges in die zu verschweißenden Blechbereiche eingeleitet werden können und mit der die aus den zu verschweißenden Blechbereichen reflektierten oder durch sie hindurchtretenden Ultraschallimpulse detektiert werden können. Sie soll ferner im Sende- und Empfangsfall eine hohe Empfindlichkeit besitzen, einfach zu fertigen sein, geringe Abmessungen aufweisen, so daß die Bewegungsfreiheit der die Schweißelektroden führenden Roboterarme nicht beeinträchtigt wird, und so robust aufgebaut sein, daß sie den wechselnden
Beschleunigungkräften, die in automatischen Schweißvorrichtungen beim Positionieren, Aufsetzen und Abheben der Schweißelektroden fortwährend auftreten, standhält .
Vorteile der Erfindung
Erfindungsgemäß wird die Aufgabe dadurch gelöst, daß der Ultraschallsensor in einen Sensorträger integriert wird, wobei zumindest eine Materialausnehmung wie beispielsweise Nuten zur Aufnahme von Ultraschallsensoren vorgesehen ist. Der Ultraschallsensor läßt sich geschützt unterbringen, so daß diese Anordnung sich für den industriellen Einsatz beispielsweise bei Schweißrobotern eignet . Bei einer in dem Sensorträger integrierten Anordnung der Ultraschallsensoren kann - anders als bei einer seitlichen Anordnung - die Baugröße reduziert werden. Zudem lassen sich die
Ultraschallsensoren leichter an dem Sensorträger befestigen.
Diese Materialausnehmungen bilden vorzugsweise in Abstrahl- oder Detektionsrichtung ebene Flächen, welche entweder senkrecht zur Längsachse des Sensorträgers ausgerichtet sind, so daß die Hauptabstrahlrichtung der Ultraschallsensoren parallel zur Längsachse des Sensorträgers liegt, oder welche zur Längsachse des Sensorträgers geneigt sind, um andere vorteilhafte Schallausbreitungsrichtungen zu erzeugen.
In einer zweckmäßigen Weiterbildung umfaßt der Ultraschall- Sensor neben einer piezoelektrischen Schicht zumindest eine schalldämmende und/oder reflektierende Schicht. Dadurch läßt sich eine Schallausbreitung in eine gewünschte Richtung lenken, so daß sich die Sende/Empfangsleistung dieser Anordnung verbessert. Eine weitere vorteilhafte Ausgestaltung sieht eine Zwischenschicht aus nicht piezoelektrischem Material vor, dessen akustische Impedanz annähernd dem Material des Sensorträgers entspricht oder einem Wert, der zwischen
Sensormaterial und Sensorträger liegt. Diese Zwischenschicht ist vorzugsweise zwischen dem Sensorträger und der die Ultraschallwellen erzeugenden piezoelektrischen Schicht angeordnet. Dadurch läßt sich eine gute Schallübertragung zwischen dem Piezoelement und dem Sensorträger erreichen. Außerdem stellt diese Zwischenschicht eine elektrische Isolation zwischen Piezoelement und Sensorträger sicher.
In einer zweckmäßigen Weiterbildung sind Mittel zur Verhinderung einer Ultraschallausbreitung in radial zur Längsachse des Sensorträgers verlaufender Richtung vorgesehen. So erstreckt sich beispielsweise zwischen dem Ultraschallsensor und dem Sensorträger parallel zu dessen Längsachse ein Zwischenraum oder eine Trennschicht, um eine radiale Ultraschallausbreitung zu unterbinden. Sendeleistung und/oder Empfangsempfindlichkeit lassen sich dadurch verbessern.
Eine vorteilhafte Ausgestaltung sieht Mittel zur elektrischen Abschirmung der piezoelektrischen Schicht vor, um Störeinflüsse zu reduzieren.
Bei einer Weiterbildung besteht der Sensor aus mindestens zwei Schichten piezoelektrischen Materials mit von Schicht zu Schicht alternierenden Polarisationsrichtungen. Diese
Anordnung erlaubt eine Verbesserung der Sende- und/oder Empfangseigenschaften, da sich damit höhere Feldstärken und dementsprechend größere Auslenkungen erzielen lassen.
Die vorgeschlagene Sensoranordnung eignet sich insbesondere für den Einsatz bei Schweißelektroden, ist jedoch hierauf nicht eingeschränkt.
Weitere zweckmäßige Weiterbildungen ergeben sich aus weiteren abhängigen Ansprüchen und aus der Beschreibung.
Zeichnung
Eine Ausfuhrungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt und wird im folgenden näher beschrieben. Es zeigen:
Fig. la-lf Ausführungsformen der erfindungsgemäßen Ultraschall -Sensoranordnung,
Fig. 2 eine Ausführungsform der erfindungsgemäßen Ultraschall -Sensoranordnung mit einem sich in Richtung Elektrodenspitze hin verjüngenden Elektrodenschaft,
Fig. 3 den prinzipiellen Aufbau einer Ausführungsformen des in der Ultraschall -Sensoranordnung verwendeten Ultraschall - Sensors in Stapeltechnik, Fig. 4 eine hinsichtlich der erfindungsgemäßen Ultraschall - Sensoranordnung schalltechnisch günstige Ausführungsform einer aus Elektrodenschaft und Elektrodenkappe bestehenden Schweißelektrode , Fig. 5 eine Variante einer im Elektrodenschaft integrierten Ultraschall-Sensoranordnung, Fig. 6 eine Variante einer in einem Zwischenstück integrierten Ultraschall-Sensoranordnung.
Beschreibung der Ausführungsbeispiele
Die Ausführungsbeispiele beziehen sich auf eine mögliche Anwendung bei Schweißelektroden. Der Elektrodenschaft bildet den Sensorträger für zumindest einen Ultraschallsensor.
Fig. la zeigt die prinzipielle Wirkungsweise der erfindungsgemäßen Ultraschall -Sensoranordnung am Beispiel einer der möglichen Ausführungsformen. Für die grundsätzliche Wirkungsweise der Erfindung ist es unerheblich, ob die Schweißelektroden zweigeteilt sind und aus Elektrodenschaft und -kappe bestehen und wie sie an ihrem rückwärtigem Ende geformt sind, um von einer Halterung aufgenommen zu werden. In dieser und in den nachfolgenden Abbildungen wird auf die Darstellung dieser Details daher zunächst verzichtet. Im Elektrodenschaft 1 ist eine nutförmige Ausnehmung 2 eingearbeitet. Die der Elektrodenspitze zugewandte Seite der Nut bildet eine Fläche 3 , die senkrecht zur Längsachse 4 des Elektrodenschaftes 1 ausgerichtet ist. Auf ihr befindet sich eine - z.B. rechteckförmige - Schicht 5 aus piezoelektrischem Material . Diese ist beidseitig durch elektrisch leitfähige Schichten 12.1, 12.2 mit Elektroden versehen, die mit den elektrischen Zuleitungen 9.1, 9.2 verbunden sind. Die mit den beidseitigen Elektroden versehene piezoelektrische Schicht 5 ist unter Einfügen einer Zwischenschicht 6 mit der Oberfläche 3 so verbunden, daß eine gute Schallübertragung von der piezoelektrischen Schicht 5 in den Elektrodenschaft 1 gewährleistet ist. Die Zwischenschicht 6 hat entweder nur die Funktion einer elektrischen Isolation zwischen piezoelektrischer Schicht 5 und dem Elektrodenschaft 1. In diesem Fall wird vorzugsweise ein Material mit ähnlicher akustischer Impedanz wie das angrenzende piezoelektrische Material oder wie die zur Herstellung der Elektrode verwendete Legierung gewählt. Oder aber die Zwischenschicht 6 wird als akustische AnpassungsSchicht ausgelegt. Dabei wird ihre akustische Impedanz und ihre Dicke je nach Verhältnis der akustischen Impedanzen von Piezoschicht und Elektrodenmaterial so ausgewählt, daß die Bedingungen für eine akustische Viertelwellenlängen- oder Halbwellenlängen- Anpassung erfüllt sind. In einer vereinfachten Ausführung kann jedoch auf die Schicht 6 auch gänzlich verzichtet werden. Die Schichten 5, 6 können auf die Fläche 3 z.B. durch Verkleben aufgebracht werden. Der Einfluß der Klebeschichten auf die akustische Durchlässigkeit wird minimiert, indem beim Verkleben ein so hoher Anpreßdruck aufgewendet wird, daß die Klebeschichtdicken sehr viel kleiner als die Wellenlänge der vom Piezomaterial erzeugten Schallwelle werden. Auf die Rückseite der Piezoschicht wird in ähnlicher Weise eine dämpfende und schallabsorbierende und/oder - reflektierende Schichten 7 aufgebracht. Sie gewährleistet, daß von der Rückseite der piezoelektrischen Schicht 5 keine Schallanteile in den Elektrodenschaft 1 gelangen, indem diese Anteile absorbiert oder wieder nach vorne in Richtung 11, d.h. in Richtung Elektrodenkappe oder -spitze, reflektiert werden. Durch einen seitlichen Zwischenraum 8 oder eine ihn ausfüllende akustische Trennschicht kann verhindert werden, daß von den Seitenkanten der piezoelektrischen Schicht 5 Schallanteile radial in den
Elektrodenschaft 1 gelangen. Auf diese Weise gelingt es, die gesamte in der piezoelektrischen Schicht erzeugte Ultraschallenergie in Richtung Elektrodenspitze 1.1 abzustrahlen, so daß die Sendeleistung dieser Anordnung gegenüber dem bisher bekannten seitlichen Einbringen des Ultraschalls am äußeren Elektrodenschaft beträchtlich erhöht wird.
Aufgrund der Umkehrbarkeit der Schallwege gelten dieselben Verhältnisse auch im Empfangsfall, so daß die erfindungsgemäße Anordnung in Fig. la auch eine erheblich erhöhte Empfangsempfindlichkeit besitzt gegenüber dem Fall, daß das Ultraschallsignal seitlich am äußeren Elektrodenschaft 1 abgegriffen wird.
Für die Übertragung von Transversalwellen ist die Anordnung der schallerzeugenden piezoelektrischen Schicht 5 innerhalb des Elektrodenschaftes 1 senkrecht zu dessen Längsachse 4 desweiteren auch deshalb noch besonders vorteilhaft, weil bei Schallabstrahlung parallel zur Längsachse 4 des Elektrodenschafts 1 lediglich ein streifender Schalleinfall bezüglich der äußeren und inneren Wand des Elektrodenschaftes 1 erfolgt . Bei streifendem Schalleinfall ist nach dem physikalischen Brechungsgesetz aufgrund der höheren Ausbreitungsgeschwindigkeit der Longitudinalwelle gegenüber der Transversalwelle grundsätzlich keine Abspaltung einer Longitudinalwelle möglich, so daß dadurch der ursprünglichen Transversalwelle auch keine Energie entzogen wird, wie es etwa bei zick-zack förmiger Reflexion der Fall wäre, wenn der Ultraschall unter einem geringeren Einschallwinkel am äußeren Elektrodenschaft eingekoppelt würde .
Um eine elektrische Abschirmung der piezoelektrischen Schicht 5 zu erreichen, kann z.B. auf die rückwärtige
Schicht 7 eine elektrisch leitfähige und über eine Zuleitung 9.3 mit Massepotential verbundene (Abschirm) Schicht 10 oder anderweitig geformte elektrisch leitende Schirmbleche oder - folien eingefügt werden. Bevorzugt werden dabei die Schicht 10 und die vordere Elektrode 12.2 der piezoelektrischen Schicht 5 auf gemeinsames Potential gelegt.
Wie anhand von Fig. la erläutert werden soll, kann eine besonders vorteilhafte Ausführung der erfindungsgemäßen Sensoranordnung realisiert werden, wenn ein piezoelektrisches Material verwendet wird, dessen akustische Impedanz annähernd derjenigen des Elektrodenschaftes entspricht. Wenn gleichzeitig die Schicht 6 entfällt oder aus einem Material mit ähnlicher akustischer Impedanz wie das Elektrodenmaterial besteht, wird das Ein- und Ausschwingen der Piezoplatte so bedämpft, daß auf einen rückwärtigen Dämpfungskörper (Schicht 7) völlig verzichtet werden kann und die Bauhöhe des den Ultraschallsensor bildenden Schichtpaketes, bestehend aus den Schichten 6, 5, 7 und 10, sehr klein gehalten werden kann. Dann kann die Sensoranordnung auch in Schweißrobotern verwendet werden, die aus räumlichen Erfordernissen mit Elektroden bestückt sind, deren Schäfte nur sehr kurz sind.
Gemäß Fig. lb kann die Nut 12 zur Aufnahme eines Ultraschallsensors 13, bestehend z.B. aus piezoelektrischer Schicht 5, Isolations- oder Anpaßschicht 6 sowie rückwärtiger Dämpfungs- oder Reflexionsschicht 7 wie in Fig. la, auch an der Innenseite des Elektrodenschaftes 1 angebracht sein. In diesem Fall müssen die elektrischen Zuleitungen durch die Wand des Elektrodenschaftes oder durch die innere Kühlbohrung hindurchgeführt werden. Die Herstellung der Innennut wird vereinfacht, wenn der
Elektrodenschaft zunächst in zwei Teilen 1.1 und 1.2 hergestellt wird, die später materialschlüssig z.B. mittels eines Gewindes zusammengefügt werden, damit hinsichtlich des hohen Schweißstromes der Übergangswiderstand klein bleibt .
Gemäß Fig. lc kann die Nut 12 auch als Durchbruch von Innen zur Außenwand des Elektrodenschaftes ausgebildet sein. In diesem Fall muß die Nut z.B. durch eine seitliche Hülse 14 aus Kunststoff abgedichtet werden, um den Austritt von Kühlwasser aus der Kühlbohrung zu verhindern.
In einer weiteren vorteilhaften Ausführung der Ultraschall- Sensoranordnung werden erfindungsgemäß in den Elektrodenschaft 1 nicht nur eine Nut zur Aufnahme einer piezoelektrischen Schicht bzw. eines Sensors eingebracht wie in Fig. la-c, sondern zwei - z.B. diametral gegenüberliegende Nuten 15.1, 15.2 wie in Fig. ld - oder auch weitere, die auf den Umfang verteilt werden. Jede Nut für sich dient zur Aufnahme einer piezoelektrischen Schicht, bzw. eines Ultraschallsensors (16.1, 16.2 in Fig. ld) . Alle so gebildeten einzelnen Sensoren werden elektrisch parallel geschaltet und zeitgleich betrieben, so daß sie wie ein einziger zusammengehöriger Sensor wirken. Hierdurch wird die in den Elektrodenschaft abgegebene Ultraschall-Leistung im Verhältnis der abstrahlenden Flächen erhöht, so daß die im Bereich der Schweißlinse wirkende Intensität in gleichem Maße erhöht wird und ein verbessertes Verhältnis von Nutz- zu Störsignalen eintritt. In einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung kann die Nut gemäß Fig. le ringförmig längs des gesamten Umfangs des Elektrodenschaftes ausgelegt werden und die so entstandene ringförmige Fläche 19 mit einer größeren Anzahl z.B. reckeckförmiger piezoelektrischer Schichten 20.n (n = 1, 2 ....N) belegt werden. Fig. le zeigt dies für den Fall N=4. Vorteilhaft kann auch sein sein, gemäß Fig. lf die gesamte Fläche 19 der Ringnut mit piezoelektrischem Material zu belegen und als abstrahlende Fläche zu nutzen. Dazu können entsprechende Ringe 20 oder zu Ringen zusammensetzbare Ringsegmente aus piezoelektrischem Material auf die Fläche 19 aufgeklebt werden.
Die Sensoranordnungen gemäß Fig ld, le und lf können sinngemäß auch mit innenliegenden Nuten ausgeführt werden. Allen möglichen Ausgestaltungen der Nut zur Aufnahme der piezoelektrischen Schichten liegt lediglich die Bedingung zugrunde, daß der verbleibende kleinste Querschnitt des
Elektrodenschaftes mit seinem dadurch erhöhten elektrischen Widerstand den elektrische Stromfluß nicht so beeinträchtigt, daß z.B. eine starke Erwärmung des Elektrodenschaftes eintritt oder aber die Stromquelle den gewünschten Stromfluß nicht erbringen kann.
In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung gemäß Fig. 2 wird im oberen Bereich des Elektrodenschaftes zunächst ein möglichst großer Außendurchmesser gewählt. Ausgehend von der Nut 21 zur Aufnahme der piezoelektrischen Schicht (en) 22 verjüngt sich der Elektrodenschaft nach unten hin in Richtung Elektrodenspitze. Der Außendurchmesser des Schaftes kann z.B. linear oder exponentiell mit zunehmendem Abstand von der Nut abnehmen. Die Kontur des unteren Teils besitzt dann Konusform oder die Form eines Exponentialtrichters . Besonders vorteilhaft ist hier, daß die Fläche der piezoelektrischen Schicht (en) 22 gegenüber einem durchgängig dünnen Elektrodenschaft groß ist und wiederum die erzeugte Ultraschall-Leistung bzw. die im Bereich der Schweißlinse wirksame Ultraschallintensität proportional zur Fläche der wirksamen piezoelektrischen Schicht 22 zunimmt, während durch die nach unten hin erfolgende Verjüngung des Elektrodenschaftes die Bewegungsfreiheit beim Positionieren der Schweißelektroden erhalten bleibt.
Weitere erfindungsgemäße Ausgestaltungen der Ultraschall - Sensoranordnung dienen ebenfalls der Erhöhung der Sende- bzw. Empfangsempfindlichkeit. So können die in den
Materialaussparungen im Elektrodenschaft untergebrachten piezoelektrischen Schichten oder Sensoren in Stapelbauweise ausgelegt sein und aus mehreren fluchtend übereinandergestapelten und akustisch miteinander verbundenen Schichten aus piezoelektrischem Material bestehen. Fig. 3 zeigt dies am Beispiel von zwei piezoelektrischen Schichten 23.1, 23.2 der Dicke d. Durch die flächenhaft aufgebrachten Elektroden 25.1, 25.2 und 25.3 bilden die Piezoelemente 23.1, 23.2 zwei elektrische Kondensatoren, die über die elektrischen Zuleitungen 26 elektrisch parallel geschaltet sind. Die
Polarisationsrichtungen 24.1, 24.2 der Piezoelemente 23.1, 23.2 weisen jedoch in entgegengesetzte Richtung. Daher schwingt der Stapel aus den Piezoelementen 23.1 und 23.2 beim Anlegen einer elektrischen Spannung an die Klemmen 27 wie ein Piezoelement der Dicke D = 2d. Im Gegensatz dazu wird jedoch in jedem Piezoelement des Stapels eine Feldstärke E=U/d erzeugt, die zweifach so hoch ist wie beim Anlegen derselben Spannung an ein einziges Piezoelement mit einer Dicke D=2d, so daß auch der erzeugte Schalldruck zweifach so hoch ist. Die äußeren Elektroden 25.1 und 25.2 wirken dabei gleichzeitig als elektrische Abschirmung.
Schließlich kann zur Verbesserung der Schallübertragung vom Elektrodenschaft zur Elektrodenkappe der Elektrodenschaft an seinem unteren Ende gemäß Fig. 4 einen flächenhaften Absatz
28 aufweisen, der bei aufgesteckter Elektrodenkappe mit einem an der Elektrodenkappe entsprechend flächenhaft ausgebildeten Absatz 29 eine materialschlüssige und daher schalldurchlässige Kontaktfläche bildet. Zweckmäßigerweise werden Elektrodenkappe und Elektrodenschaft dazu mit je einem Schraubgewinde 30 versehen, so daß die beiden Flächen 28, 29 unter eine hohe Vorspannung gesetzt werden können. Hierdurch wird ein stets bezüglich der sich materialschlüssig berührenden Flächen gleichbleibender und hinsichtlich der Ultraschall-Durchlässigkeit günstiger Kontakt erreicht .
Bei dem Ausführungsbeispiel gemäß Figur 5 ist im Inneren eines Elektrodenarms 40 ein Kühlrohr 43 geführt. Zur Verbindung des Elektrodenarms 40 mit dem Elektrodenschaft 44 ist am Ende des Elektrodenarms 40 ein Innengewinde 41 vorgesehen, das auf ein Außengewinde 45 des
Elektrodenschafts 44 geschraubt wird. Zwischen dem Außengewinde 45 und einem Schlüsselflansch 49 des Elektrodenschafts 44 ist ein Dichtring 47 angeordnet. In dem Elektrodenschaft 44 sind in Materialaussparungen 21 Ultraschall-Sensoren 22 integriert, wie oben ausführlich beschrieben. Auf den Elektrodenschaft 44 kann eine Elektrodenkappe 54 aufgebracht werden.
Das Ausführungsbeispiel gemäß Figur 6 unterscheidet sich von dem nach Figur 5 insbesondere darin, daß ein zusätzliches
Zwischenstück 50 mit Materialaussparungen 21 vorgesehen ist, in denen die Ultraschall -Sensoren 22 angeordnet sind. Die Verbindung des Elektrodenschafts 44 mit dem Zwischenstück 50 erfolgt über eine konische Passung 52.

Claims

Patentansprüche:
1. Ultraschall -Sensoranordnung, mit zumindest einem Sensor (5, 6, 7, 10), der Ultraschallwellen einer gewünschten Schwingungsart während des Detektionsvorganges in zu detektierende Bereiche einleitet und/oder der Ultraschallwellen detektiert, dadurch gekennzeichnet, daß an einem Sensorträger (1) wenigstens eine Materialausnehmung (2) vorgesehen ist, in der zumindest ein Sensor (5, 6, 7, 10) untergebracht ist.
2. Ultraschall -Sensoranordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest eine der durch die zumindest eine Materialaussparung (2) gebildete Fläche (3) senkrecht an der Längsachse (4) des Sensorträgers (1) ausgerichtet ist.
3. Ultraschall-Sensoranordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß als Sensor (5, 6, 7, 10) zumindest eine Platte, Scheibe, Ring oder Segment aus piezoelektrischem Material verwendet wird.
4. Ultraschall-Sensoranordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Sensor (5, 6, 7, 10) zumindest eine schalldämmende und/oder reflektierende Schicht (7) umfaßt.
5. Ultraschall -Sensoranordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Sensor (5, 6, 7, 10) eine Schicht (6) aus piezoelektrischem Material umfaßt, dessen akustische Impedanz annähernd dem Material des Sensorträgers (1) entspricht.
6. Ultraschall -Sensoranordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß Mittel (8) vorgesehen sind zur Verhinderung einer Ultraschallausbreitung in radial zur Längsachse (4) des Sensorträgers (1) verlaufender Richtung.
7. Ultraschall-Sensoranordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß Mittel (10) zur elektrischen Abschirmung der piezoelektrischen Schicht (5) vorgesehen sind.
8. Ultraschall -Sensoranordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Sensor (5, 6, 7, 10) aus mindestens zwei Schichten (23.1, 23.2) aus piezoelektrischem Material bestehen.
9. Ultraschall -Sensoranordnung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die zumindest zwei Schichten (23.1, 23.2) aus piezoeletkrischem Matrial von Schicht zu Schicht wechselweise entgegengesetze Polarisationsrichtungen (24.1, 24.2) besitzen.
10. Ultraschall -Sensoranordnung nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, daß die zumindest zwei Schichten
(23.1, 23.2) aus piezoelektrischem Material elektrisch parallel geschaltet sind.
11. Ultraschall -Sensoranordnung nach einem der Ansprüche 8 bis 10, dadurch gekennzeichent, daß die Anzahl der Schichten
(23.1, 23.2) 2n beträgt, wobei n eine ganze Zahl ist, und/oder die jeweils äußere (n) Schichte (n) auf Massepotential liegen.
12. Ultraschall-Sensoranordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Sensor (5, 6, 7, 10) eine zwischen der piezoelektrischen
Schicht (5) und der im Sensorträger (1) befindlichen Fläche (3) angeordnete elektrisch isolierende, jedoch schall- leitfähige Zwischenschicht (6) umfaßt.
13. Ultraschall -Sensoranordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß es sich bei dem Sensorträger um einen Elektrodenschaft (1) handelt .
14. Ultraschall -Sensoranordnung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß sich der äußere Elekrodenschaft (1) in Richtung Elektrodenspitze verjüngt.
15. Ultraschall -Senoranordnung nach einem der Ansprüche 13 oder 14, dadurch gekennzeichnet, daß der Elektrodenschaft (1) an seinem unteren Ende einen flächenhaften Absatz aufweist, der bei aufgesteckter Elektrodenkappe mit einem entsprechenden flächenhaft ausgebildeten Bereich der Elektrodenkappe eine materialschlüssige und schalldurchlässige Kontaktfläche bildet.
16. Ultraschall -Senoranordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Sensor (5, 6, 7, 10) Transversalwellen erzeugt und/oder detektiert.
17. Ultraschall-Senoranordnung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß daß es sich bei den Transveralwellen um Scher- oder Torsionswellen handelt.
18. Ultraschall -Senoranordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß Wellen erzeugt werden mit einer Frequenz kleiner 1 MHz.
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