WO2001074726A1 - Verfahren zum herstellen von kleinen dünnglasscheiben und grössere dünnglasscheibe als halbfabrikat für dieses herstellen - Google Patents

Verfahren zum herstellen von kleinen dünnglasscheiben und grössere dünnglasscheibe als halbfabrikat für dieses herstellen Download PDF

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WO2001074726A1
WO2001074726A1 PCT/EP2001/003385 EP0103385W WO0174726A1 WO 2001074726 A1 WO2001074726 A1 WO 2001074726A1 EP 0103385 W EP0103385 W EP 0103385W WO 0174726 A1 WO0174726 A1 WO 0174726A1
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WO
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thin glass
larger
glass pane
glass panes
small
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PCT/EP2001/003385
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Christian Dietz
Robert FÜRST
Christoph Hermanns
Heinrich Ostendarp
Dietrich Mund
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Schott Glas
Carl-Zeiss-Stiftung
Carl-Zeiss-Stiftung Trading As Schott Glas
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Publication date
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Priority to AU2001254735A priority patent/AU2001254735A1/en
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    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00—Severing cooled glass
    • C03B33/02—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00—Severing cooled glass
    • C03B33/09—Severing cooled glass by thermal shock
    • C03B33/091—Severing cooled glass by thermal shock using at least one focussed radiation beam, e.g. laser beam
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00—Severing cooled glass
    • C03B33/02—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor
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    • Y10T83/041—By heating or cooling
    • Y10T83/0414—At localized area [e.g., line of separation]

Definitions

  • the invention relates to a method for producing small thin glass panes with a predetermined geometric structure and lateral dimensions in the millimeter range by cutting out from a larger thin glass pane
  • the invention further relates to such a larger thin glass pane with dimensions in the centimeter range as a semi-finished product for the manufacture of small thin glass panes with lateral dimensions in the millimeter range
  • micro- and optoelectronic components such as quartz crystals, SAW filters, CCD components, the so-called “electronic packaging”, small containers are used, among other things, which are completely or partially closed on at least one side by a thin glass pane
  • Thick glass covers are also used in the housing of micro- and optoelectronic components.
  • the thickness s of these small thin glass panes is typically in the range of 10 ⁇ m ⁇ s 500 ⁇ m.
  • thin glass panes of different geometries rectangular, circular, etc. are used.
  • connection is typically formed by gluing or soldering.
  • soldering metal or glass solders are used as joining material.
  • glass solders are used
  • the thin glass panes are first cut in the manner described above and then fed to the subsequent further processing steps (assembly and jointing process).
  • the thin glass panes are connected to the housing by a soldering process.
  • the solder material is applied to the glass using a dispensing ice
  • the solder material is applied in the edge area of the thin glass panes and therefore usually forms a thin, closed, frame-shaped contour. Glass or metal notes are used here.
  • solder material into the joint zone in use pre-sintered solder frames
  • the thin glass panes and a free, also very thin, pre-sintered solder frame made of glass solder must be positioned and partially fixed relative to the housing to which the thin glass panes are to be connected
  • the invention is based on the object, the method described at the outset for producing small thin glass panes with a given geometric structure and lateral dimensions in the millimeter range by cutting them out of a larger thin glass pane, and such a larger thin glass pane as a semi-finished product for heating the small thin glass panes train that transportation of the small slices is simplified, there is a more rational production sequence of the individual small panes, and that the handling, in particular the positioning of the individual thin glass panes, is simplified immediately before the joining process and can be automated better
  • the larger thin glass pane is preferably scratched along the desired separation lines by means of a laser beam at a predetermined depth before the separation
  • the object of the invention is achieved in that the larger thin glass pane on one side with a joint material corresponding to the joint zone geometry of the small ones to be removed
  • the object of the invention is achieved in that the larger thin glass pane on one side with a joint material corresponding to the joint zone geometry of the small ones to be removed
  • the object of the invention is achieved in that the larger thin glass pane on one side with a joint material corresponding to the joint zone geometry of the small ones to be removed
  • the object of the invention is achieved in that the larger thin glass pane on one side with a joint material corresponding to the joint zone geometry of the small ones to be removed
  • the essence of the invention therefore consists in the production of a larger thin glass substrate pane structured in accordance with the geometry of the small thin glass panes, which is separated into individual small thin glass panes only immediately before the joining process.
  • Such a larger thin glass pane which is initially still connected, can be characterized in that the jointing material already exists applied to the glass substrate top and firmly connected to the glass substrate Furthermore, such a large thin glass pane is preferably provided with a crack structure on the underside in accordance with the geometry of the smaller thin glass panes, which allows the thin glass pane to be geometrically defined by simple mechanical breaking immediately before the joining process Separating individual disks with a high degree of edge crushing The separation can also be carried out by thermally induced, locally acting mechanical stresses, for example by partial laser radiation
  • Another possibility for improving the manufacturing or sealing process of electronic components with thin glass panes is to first joint (solder) the entire structured thin glass pane (s) with the corresponding number of associated housing components and only after this joining process by mechanical breaking separating Likewise, the separating (breaking) could not be done purely mechanically, but also here by thermally induced, locally acting mechanical stresses, for example by partial laser radiation
  • the joining of the individual small thin glass panes to other components, in particular with the edge of flat components is advantageously facilitated if a frame-like structure of the joint material is printed on, which has a predetermined frame width and pe ⁇ pher along the target dividing lines on the small thin glass panes to be removed
  • the printing of the larger thin glass pane with the jointing material is advantageously carried out by means of screen printing, which ensures economical and effective production of the corresponding geometric structure.
  • Other printing techniques can also be used in principle, for example stencil printing
  • Glass solder is preferably used as the jointing material, which can be easily processed by means of the usual printing techniques, in particular screen printing, and which adheres well to the thin glass panes
  • Drawn borosilicate glass which has the necessary mechanical and chemical properties when using the small thin glass panes, is particularly suitable as the glass material for the thin glass panes
  • the printed and scratched larger thin glass pane is applied to a carrier material, preferably a plastic carrier film, which is preferably mechanically clamped.
  • a carrier material preferably a plastic carrier film
  • FIG. 1 shows a top view of a first exemplary embodiment of a larger thin glass pane structured and scored according to the invention, which serves as a semi-finished product for the production of smaller, rectangular thin glass panes,
  • Figure 2 is a cross-sectional view taken along section line A-A in
  • FIG. 3 shows a top view of a further embodiment of the semi-finished thin-glass pane designed according to the invention with hexagonal structures
  • FIG. 1 in connection with the cross-sectional illustration according to FIG. 2 shows a larger thin glass pane 1 structured according to the invention using the example of a rectangular geometry.
  • This thin glass pane 1 has the edge lengths B and L which are in the range of several centimeters
  • the aforementioned larger thin glass pane 1 is subdivided into smaller, likewise rectangular segments with edge lengths b and 1 in accordance with the geometry of the smaller thin glass panes 2 to be separated, that is to say to be separated, one of which is pulled out as a cutout in the separated state.
  • edge lengths of the smaller thin glass panes 2 are present in the range of a few millimeters
  • Each segment that forms the respective spatulated small thin glass pane 2 has a solder 3 applied in the edge region made of glass solder, which is designed in accordance with the later joint zone geometry, in this example also i real square
  • the solder frame structures 3 made of glass solder, which are thereby formed on the upper side of the thin glass pane 1, are applied by screen or stencil printing in one or more work steps.
  • the typical solder frame width "d" (FIG. 2) is in the range 300 ⁇ m ⁇ d ⁇ 900 ⁇ m
  • the thickness "h "of the printed solder frame structures 3 typically lies in the range 15 ⁇ m ⁇ h 200 ⁇ m.
  • the distance" c "between the solder frames 3 typically lies in the range 0 ⁇ m ⁇ c ⁇ 500 ⁇ m
  • the large thin glass pane 1 has a peripheral edge 4 that is not coated with solder material.
  • the edge widths (r B r L ) are typically in the range of several millimeters
  • the subdivision of the thin glass pane 1 into the smaller segments, ie the smaller thin glass panes 2, is carried out on the basis of a crack structure 5 which is introduced on the rear side and is shown in dashed lines the thickness s of the glass substrate is (Fig 2)
  • the cracks 5 introduced on the back and defined in their course and depth are preferably introduced by thermally induced stresses due to laser radiation. These cracks vei preferably run in a straight line over the entire larger thin glass pane 1
  • the aforementioned laser beam scribing methods differ in particular in the configuration of the focal spot.
  • the method according to DE 693 04 194 T2 uses a laser beam with an elliptical cross section with a trailing cooling spot
  • EP 0 872 303 A2 describes a laser beam scribing method which provides a focal spot with a U-shaped or V-shaped contour which opens in the separating direction. Contours modified therefrom, such as X-shaped focal spots, are also described
  • a thin glass pane 1 structured in the manner described above can be handled comparatively easily and can be separated into small individual panes 2 by simple mechanical breaking
  • a polygon structure according to FIG. 3 or rounded structures can also be used.
  • the edge length k or the diameter of the small thin glass panes are also in the range of a few millimeters
  • the crack course 5 is not straight, but adapted to the contour geometry of the structures.
  • the shape of the larger thin glass pane 1 does not necessarily have to be rectangular.
  • Polygonal or round or partially round panes (wafers) can also be used

Abstract

Die Herstellung derartiger kleiner Dünnglasscheiben (2) mit vorgegebener geometrischer Struktur erfolgt typischerweise durch Heraustrennen aus einer größeren Dünnglasscheibe (1). Die abgetrennten kleinen Dünnglasscheiben (2) werden dann zusammen mit einem Fügematerial, insbesondere einem Lötrahmen (3) aus Glaslot, mit anderen Komponenten verbunden, beispielsweise zum Zwecke des 'Electronic Packaging'. Um das Handling bei der Herstellung und dem Fügen der kleinen Dünnglasscheiben (2) zu verbessern, sieht die Erfindung eine mittels Sieboder Schablonendruck und vorzugsweise Laserstrahlbearbeitung entlang von Soll-Trennlinien (5) beidseitig strukturierte größere Dünnglasscheibe (1) vor, die durch anschließendes, einfaches, vorzugsweise mechanisches Brechen in kleinere, strukturierte und geometrisch bestimmte Scheiben, die kleinen Dünnglasscheiben (2), vereinzelt werden kann. Auch ist ein Abtrennen durch einen Trennschleifprozeß möglich, wenn sich die größere Dünnglasscheibe (1) auf einem Trägermaterial befindet.

Description

Verfahren zum Herstellen von kleinen Dunnglasscheiben und größere Dunnglasscheibe als Halbfabrikat für dieses
Herstellen
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen von kleinen Dunnglasscheiben mit vorgegebener geometrischer Struktur und lateralen Ausdehnungen im Millimeterbereich durch Heraustrennen aus einer größeren Dunnglasscheibe
Die Erfindung betrifft ferner eine solche größere Dunnglasscheibe mit Abmessungen im Zentimeterbereich als Halbfabrikat für das Herstellen der kleinen Dunnglasscheiben mit lateralen Ausdehnungen im Millimeterbereich
Kleine Dunnglasscheiben der vorgenannten Art werden auf bestimmten Gebieten der Technik, insbesondere bei der Herstellung von elektronischen Bauelementen, benotigt
So werden bei der Einhausung von mikro- und optoelektronischen Bauelementen, wie Schwingquarze, SAW-Filter, CCD Bauelemente, dem sog "Electronic Packaging", unter anderem kleine Behaltnisse verwendet, die an mindestens einer Seite ganz oder teilweise durch eine Dunnglasscheibe abgeschlossen sind Häufig werden bei der Einhausung von mikro- und optoelektronischen Bauelementen auch Gehausedeckel aus Dunnglas verwendet Die Dicke s dieser kleinen Dunnglasscheiben hegt dabei typischerweise im Bereich 10 μm < s 500 μm Hierbei kommen Dunnglasscheiben unterschiedlichster Geometrie (rechteckig, kreisrund, etc ) zum Einsatz Die Kantenlange bzw Durchmesser derartiger Scheiben aus Dunnglas betragen typischerweise nur wenige Millimeter Kieme Dunnglasscheiben werden auch als Konstruktionsbauteile bei der Herstellung von mikroelektronischen und -mechanischen Bauteilen verwendet So ist es beispielsweise aus der Patentschrift DE 196 49 332 bekannt, daß ein Schwingquarz direkt zwischen zwei Dunnglasscheiben positioniert und mit diesen verbunden wird Derartige Nerbundkonstruktionen weisen eine geringe Bauhohe auf und bieten die Möglichkeit auf eine Platine oder Tragerplatte aufgebracht und kontaktiert zu werden
Bei dieser Verwendung von Dunnglas als Verschlusselement einer Einhausung von mikro- und optoelektronischen Bauteilen sowie als Konstruktionselement von mikroelektronischen oder -mechanischen Bauteilen ei folgt die Verbindungsbildung typischerweise durch eine Klebung oder Lotung Im Falle der Lotung werden Metall- oder Glaslote als Fugemateπal verwendet In der überwiegenden Anzahl der Anwendungsfalle kommen dabei Glaslote zum Einsatz
Die Herstellung derartiger, kiemer Dunnglasscheiben erfolgt gemäß dem Stand der Technik (Derweut-Abstract zu JP 62-070241) typischerweise durch das Heraustrennen aus größeren Dunnglasscheiben Der Trennvorgang erfolgt dabei durch Trennschleifen oder Bohren mittels rotierenden Diamantwerkzeugen An die Kantenqualltat werden dabei erhöhte Anforderungen gestellt, da diese entscheidenden Einfluß auf die Festigkeit der Dunnglasscheibe hat
Typischerweise werden die Dunnglasscheiben zunächst auf die zuvor beschriebene Weise zerteilt und dann den nachfolgenden Weiterverarbeitungsschritten (Montage- und Fugeprozeß) zugeführt Bei der derzeit in vielen Anwendungsfallen bei der Einhausung angewandten Fugetechnik werden die Dunnglasscheiben durch einen Lotprozeß mit dem Gehäuse verbunden In der Mehrzahl der Anwendungstalle wird der Lotwerkstoft dabei mittels eines Dispenseis auf das Glas aufgebracht Typischerweise wird der Lotwerkstoff im Randbereich der Dunnglasscheiben aufgebracht und bildet daher in der Regel eine dünne, geschlossene, rahmenformige Kontur Ubhchei weise werden dabei Glas- oder Metallote verwendet Eine andere, in der Praxis teilweise auch angewandte, Möglichkeit den Lotwerkstoff in die Fugezone einzubringen, besteht in der Anwendung vorgesinterter Lotrahmen Hierzu müssen die Dunnglasscheiben und em freier, ebenfalls sehr dunner, vorgesinterter Lotrahmen aus Glaslot relativ zueinander und auch relativ zum Gehäuse, mit dem die Dunnglasscheiben verbunden werden sollen, positioniert und teilweise fixiert werden
Bei dieser Weiterverarbeitung ergeben sich aufgrund der geringen lateralen Ausdehnung, Dicke und Masse der Dunnglasscheiben, sowie der verwendeten Lotrahmen Probleme bei der Handhabung und Positionierung Diese Handhabungsproblematik tritt insbesondere bei der Verwendung von dünnen, freien Lotrahmen m verstärktem Maße auf Einerseits sind die Dunnglasscheiben vergleichsweise bruchanfalhg und andererseits ist das Verhältnis von Schwerkraft zu den bei der Handhabung auftretenden Adhäsionskräften gering Speziell die definierte Aufnahme der einzelnen Dunnglasscheiben und der Lotrahmen ist schwierig, so daß in der überwiegenden Anzahl der Anwendungsfalle nur eine manuelle Handhabung der einzelnen Bauteile möglich ist Diese manuelle Handhabung ist zeit-, personal- und daher kostenintensiv Darüber hinaus treten bei einer derartigen Handhabung und beim Transport der einzelnen Dunnglasscheiben em erhöhter Ausschuß aufgrund von Bruch und Verschmutzung em
Der Erfindung hegt die Aufgabe zugrunde, das eingangs bezeichnete Verfahren zum Herstellen von kleinen Dunnglasscheiben mit voi gegebener geometrischer Struktur und lateralen Ausdehnungen im Millimeterbereich durch Heraustrennen aus einer größeren Dunnglasscheibe so zu fuhren sowie eine solche größere Dunnglasscheibe als Halbfabrikat für das Hei stellen der kleinen Dunnglasscheiben so auszubilden, daß der Transport der kleinen Scheiben vereinfacht wird, eine rationellere Fertigungsfolge der einzelnen kleinen Scheiben gegeben ist und daß die Handhabung, insbesondere die Positionierung der einzelnen Dunnglasscheiben unmittelbar vor dem Fugepiozeß vereinfacht wird und besser automatisierbar ist
Hinsichtlich des Verfahrens gelingt die Losung der Aufgabe gemäß der Erfindung mit den Schritten
Bedrucken der größeren Dunnglasscheibe auf der einen Seite mit einem
Fugemateπal entsprechend der Fugezonengeometrie der herauszutrennenden kleinen Dunnglasscheiben unter Vorgabe von
Solltrennlimen und
Vereinzeln der kleinen Dunnglasscheiben mit dem aufgedruckten
Fugemateπal durch anschließendes Trennen entlang der Soll-
Trennhnien
Vorzugsweise erfolgt dabei gemäß einer Weiterbildung der Erfindung vor dem Vereinzeln ein Ritzen der größeren Dunnglasscheibe entlang der Soll- Trennhnien mittels eines Laserstrahles in einer vorgegebenen Tiefe
Hinsichtlich der größeren Dunnglasscheibe mit lateralen Abmessungen im Zentimeterbereich als Halbfabrikat zum Herstellen von kleinen Dunnglasscheiben mit vorgegebener geometrischer Struktur und lateralen Abmessungen im Millimeterbereich gelingt die Losung der Aufgabe erfindungsgemaß dadurch, daß die größere Dunnglasscheibe auf der einen Seite mit einem Fugemateπal entsprechend der Fugezonengeometrie der herauszutrennenden kleinen Dunnglasscheiben unter Vorgabe von Soll- Trennhnien versehen und vorzugsweise entlang den Soll Trennlinien bis in eine vorgegebene Tiefe geritzt ist Das Wesen der Erfindung besteht daher in der Herstellung einer größeren, entsprechend der Geometrie der kleinen Dunnglasscheiben strukturierten Dunnglassubstratscheibe, die erst unmittelbar vor dem Fugeprozeß in einzelne kleine Dunnglasscheiben vereinzelt wird Eine derartige, zunächst noch zusammenhangende größere Dunnglasscheibe kann sich dadurch auszeichnen, daß der Fugezusatzwerkstoff bereits auf die Glassubstratoberseite aufgebracht und fest mit dem Glassubstrat verbunden ist Weiterhin ist eine derartige, große Dunnglasscheibe entsprechend der Geometrie der kleineren Dunnglasscheiben vorzugsweise mit einer Rißstruktur an der Unterseite versehen, die es erlaubt, die Dunnglasscheibe durch einfaches mechanisches Brechen unmittelbar vor dem Fugeprozeß in geometrisch definierte Emzelscheiben mit hoher Kantenqualltat zu vereinzeln Ebenso kann das Vereinzeln durch thermisch induzierte, lokal wirkende mechmsche Spannungen, beispielsweise durch partielle Laserbestrahlung, erfolgen
Die Vorteile der Erfindung liegen in einem vereinfachten Transport der Scheiben und insbesondere in einer rationelleren Fertigungsfolge der einzelnen kleinen Dunnglasscheiben sowie der Möglichkeit, die Handhabung bzw Positionierung der kleinen Dunnglasscheiben unmittelbar vor dem Fugeprozeß zu vereinfachen und besser automatisieren zu können
Eine andere Möglichkeit zur Verbesserung des Herstell- bzw Verschlußprozesses von elektronischen Bauteilen mit dünnen Glasscheiben besteht dann, zunächst die gesamte(n) strukturierte Dunnglasscheιbe(n) mit der entsprechenden Zahl zugehöriger Gehausebauteile zu Fugen (Verlöten) und erst nach diesem Fugeprozeß durch mechanisches Brechen zu vereinzeln Ebenso konnte das Vereinzeln (Brechen) nicht rein mechanisch, sondern auch hier durch thermisch induzierte, lokal wirkende, mechanische Spannungen, beispielsweise durch partielle Laserbestrahlung, erfolgen Das Fugen der einzelnen kleinen Dunnglasscheiben an andere Komponenten insbesondere mit dem Rand flächiger Komponenten, wπd mit Vorteil erleichtert, wenn eine rahmenartige Struktur des Fugemater lals aufgedruckt wird, die eine vorgegebene Rahmenbreite besitzt und peπpher entlang den Soll-Trennlinien auf den herauszutrennenden kleinen Dunnglasscheiben verlauft
Das Bedrucken der größeren Dunnglasscheibe mit dem Fugematerial erfolgt mit Vorteil mittels Siebdruck, der eine wirtschaftliche und wirksame Herstellung der entsprechenden geometnschen Struktur gewahi leistet Auch andere Drucktechniken sind prinzipiell anwendbar, beispielsweise der S chablonendruck
Als Fugemateπal wird vorzugsweise Glaslot verwendet, das gut mittels der üblichen Drucktechniken, insbesondere dem Siebdruck, verarbeitbar ist, und das gut auf den Dunnglasscheiben haftet
Als Glasmateπal für die Dunnglasscheiben eignet sich im besonderen Masse gezogenes Borosilikatglas, das die notwendigen mechanischen und chemischen Eigenschaften bei der Anwendung der kleinen Dunnglasscheiben besitzt
Besondere Handhabungs-Vorteile bei der Herstellung der einzelnen kleinen Dunnglasscheiben werden erzielt, wenn gemäß einer Weiterbildung der Erfindung die bedruckte und geritzte größere Dunnglasscheibe auf em Tragermaterial, vorzugsweise eine Kunststoff Trageifolie aufgebracht wird, die vorzugsweise mechanisch verspannt wird Dadurch ist auch eine Weiterbildung der Erfindung möglich, bei der die bedruckte gioßeie Dunnglasscheibe ungeπtzt auf das Trageimateπal aufgebracht wnd und mittels eines Trennschleif-Prozesses in die kleinen Dunnglasscheiben zerteilt wird Weitete Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich anhand der Beschieibung von zwei in den Zeichnungen dargestellten Ausfuhrungsbeispielen
Es zeigen
Figur 1 in einer Draufsicht-Darstellung ein erstes Ausfuhrungsbeispiel einer erfindungsgemaß strukturierten und geritzten größeren Dunnglasscheibe, die als Halbfabrikat für die Herstellung von kleineren, rechteckigen Dunnglasscheiben dient,
Figur 2 eine Querschnittsdarstellung entlang der Schnittlinie A-A in
Figur 1 , und
Figur 3 eine Draufsichtdarstellung einer weiteren Ausfuhrungsform der erfindungsgemaß ausgebildeten Halbfabπkat-Dunnglasscheibe mit Sechseckstruturen
Die Figur 1 in Verbindung mit der Querschnittsdarstellung nach Figur 2 zeigt eine erfindungsgemaß strukturierte größere Dunnglasscheibe 1 am Beispiel einer Rechteckgeometrie Diese Dunnglasscheibe 1 besitzt die Kantenlangen B und L, die im Bereich mehrerer Zentimetern liegen
Die vorgenannte größere Dunnglasscheibe 1 ist entsprechend der Geometrie der abzutrennenden, d h zu vereinzelnden kleineren Dunnglasscheiben 2, von denen eine als Ausschnitt im abgetrennten Zustand herausgezogen ist, in kleinere, ebenfalls rechteckige Segmente mit den Kantenlangen b und 1 unterteilt Diese Kantenlangen der kleineren Dunnglasscheiben 2 hegen im Bereich von wenigen Millimeter Jedes, die jeweilige spatete kleine Dunnglasscheibe 2 bildende Segment besitzt einen im Randbereich aufgebrachten Loti ahmen 3 aus Glaslot, dei entspiechend der spateren Fugezonengeometrie, in diesem Beispiel ebenfalls i echteckig, ausgebildet ist Die sich dadurch auf der Oberseite der Dunnglasscheibe 1 bildenden Lotrahmenstrukturen 3 aus Glaslot werden mittels Sieb- oder Schablonendruck in einem oder mehreren Arbeitsgangen aufgebracht Die typische Lotrahmenbreite "d" (Fig 2) liegt im Bereich 300 μm < d < 900 μm Die Dicke "h" der aufgedruckten Lotrahmenstrukturen 3 hegt typischerweise im Bereich 15 μm < h 200 μm Der Abstand "c" der Lotrahmen 3 untereinander egt typischerweise im Bereich 0 μm < c < 500 μm
Die große Dunnglasscheibe 1 verfugt dabei über einen nicht mit Lotmateπal beschichteten umlaufenden Rand 4 Die Randbreiten (rBrL) liegen typischerweise im Bereich von mehreren Millimetern
Die Unterteilung der Dunnglasscheibe 1 in die kleineren Segmente, d h die kleineren Dunnglasscheiben 2, erfolgt anhand einer rückseitig eingebrachten Rißstruktur 5, die gestrichelt dargestellt ist Die Risse gehen von der Oberflache der Unterseite der größeren Dunnglasscheibe 1 aus und haben eine Tiefe t, die kleiner als die Dicke s des Glassubstrates ist (Fig 2)
Die rückseitig eingebrachten, in ihrem Verlauf und Tiefe definierten Risse 5 werden vorzugsweise durch thermisch induzieite Spannungen aufgrund von Laserbestrahlung eingebracht Diese Risse vei laufen vorzugsweise geradlinig über die gesamte größere Dunnglasscheibe 1
Derartige Laserstrahl-Ritzverfahren, die durch eine lokale Eiwarmung durch den fokussierten Lasei strahl in Verbindung mit einer Kühlung von außen, eine thermomechamsche Spannung bis über die Bruchfestigkeit des Werkstoffes in einer vorbestimmten Tiefe induzieren, sind durch mehrere Schriften bekannt geworden, beispielsweise duich die EP 0 872 303 A2 die DE 693 04 194 T2 und die DE 43 05 107 C2 ° °I/74726 PCT/EPOI/03385
Die vorgenannten Laserstrahl-Ritzverfahren unterscheiden sich insbesondere durch die Konfiguration des Brennfleckes So nutzt das Verfahren nach der DE 693 04 194 T2 einen Laserstrahl mit elliptischem Querschnitt mit nachlaufendem Kuhlspot
Die EP 0 872 303 A2 beschreibt em Laserstrahl-Ritzverfahren, das einen Brennfleck mit einer U- bzw V-formigen Kontur vorsieht, die sich in der Trennrichtung öffnet Auch davon abgewandelte Konturen, wie X- formige Brennflecke, werden beschrieben
Durch die DE 43 05 107 C2 ist em Laserstrahl-Ritzverfahren bekannt geworden, bei dem der Laserstrahl so geformt ist, daß sein Strahlquerschnitt auf der Oberflache des Werkstuckes eine Imienformige Form aufweist, bei dem das Verhältnis von Lange und Breite des auftreffenden Strahlquerschnittes einstellbar ist
Durch die altere Patentanmeldung 198 30 237 1-45 gehört es auch zum Stand der Technik, einen punktformigen Brennfleck mit einer dazu konzentrischen Kuhlzone zu erzeugen
Durch die altere Patentanmeldung 199 59 921 1 gehören auch spezielle Imienformige Schneidflecke mit Intensitatsmaxima an ihren Enden zum Stand der Technik
Samtliche dieser Brennflecke können im Rahmen der Erfindung zum Ritzen der gioßeren Dunnglasscheibe 1 angewendet werden
Aufgrund der verfahrensspezifischen Vorteile beim Laserstrahlritzen treten nach dem Auseinanderbrechen der größeren Dunnglasscheibe 1 keine unzul ssig hohen Kantenschadigungen an den kleinen Dunnglasscheiben 2 aut so daß eine abtragende Nachbearbeitung dei Kanten nicht erforderlich ist Als Glaswerkstoff für die Dunnglasscheibe 1 findet neben anderen Glaswerkstoffen, vorzugsweise gezogenes Borosilikatglas der Fa SCHOTT DESAG vom Typ D263 oder AF45 im Dickenbereich 100 μm < s < 500 μm Verwendung
Eine auf vorstehend beschriebene Weise strukturierte Dunnglasscheibe 1 kann vergleichsweise einfach gehandhabt und durch einfaches mechanisches Brechen zu kleinen Einzelscheiben 2 vereinzelt werden
Neben der in Figur 1 gezeigten rechteckigen Struktur der kleinen Dunnglasscheiben 2 können auch eine Polygonstruktur gemäß Figur 3 bzw abgerundete Strukturen (beispielsweise Kreiskontur) zur Anwendung kommen In diesen Fallen liegen die Kantenlange k bzw die Durchmesser der kleinen Dunnglasscheiben ebenfalls im Bereich weniger Millimeter Im Falle runder Strukturen ist der Rißverlauf 5 nicht geradlinig, sondern der Konturgeometrie der Strukturen angepaßt Auch die Form der größeren Dunnglasscheibe 1 muß nicht zwingend rechteckig sein Es können ebenfalls mehreckige oder runde bzw teilweise runde Scheiben (Wafer) Verwendung finden
Ebenfalls ist es möglich, die bedruckte und geritzte größere Dunnglasscheibe 1 auf eine Kunststoff-Tragerfolie oder ein anderes Tragermaterial aufzubringen Durch em Spannen (Dehnen) der Tragerfohe über einen dafür geeigneten Rahmen können Zugkräfte in die Tragerfohe und damit auch in die größere Dunnglasscheibe 1 eingeleitet werden, die zu einem Auseinanderbrechen entlang der Rißverlaufe 5 und somit zum Vereinzeln der größeren Dunnglasscheibe 1 fuhrt Die dabei entstehenden kleinen Dunnglasscheiben haften auf der Tragerfohe, haben eine definierte Position und können daher automatisiert abgegriffen und abgelegt werden
Wird eine Kunststoffolie oder em anderes Tragermateπal zur Halterung/Fixierung benutzt, so besteht auch die Möglichkeit die Dunnglasscheibe nicht mittels Laserstrahlbearbeitung zu ritzen und anschließend durch mechanische Kraftleitung zu zerteilen, sondern das Zerteilen unmittelbar mittels Trennschleifen entlang der dafür vorgesehenen Trennlinien durchzufuhren Der Abstand der Lotrahmen c auf der Substratglasscheibe hegt dann im Bereich der Dicke des Trennwerkzeugs bzw der erzeugten Schnittfugenbreite Die typische Schnittfugenbreite betragt mehrere 0, 1 mm

Claims

Patentansprüche
Verfahren zum Herstellen von kleinen Dunnglasscheiben mit vorgegebener geometrischer Struktur und lateralen Ausdehnungen im Millimeterbereich durch Heraustrennen aus einer größeren Dunnglasscheibe, mit den Schritten
Bedrucken der größeren Dunnglasscheibe auf der einen Seite mit einem Fugemateπal entsprechend der Fugezonengeometrie der herauszutrennenden kleinen Dunnglasscheiben, unter Vorgabe von Soll-Trennlinien, und
Vereinzeln der kleinen Dunnglasscheiben mit dem aufgedruckten
Fugemateπal durch anschließendes Trennen entlang den Soll-
Trennlmien
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß vor dem Vereinzeln em Ritzen der größeren Dunnglasscheibe entlang der Soll- Trennhmen mittels eines Laserstrahles in einer vorgegebenen Tiefe erfolgt
Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Vereinzeln der kleinen Dunnglasscheiben durch mechanisches Abbrechen erfolgt
Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Vereinzeln der kleinen Dunnglasscheiben durch thermisch induzierte, lokal wirkende, mechanische Spannungen, beispielsweise durch partielle Laserbestrahlung, erfolgt
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4 dadurch gekennzeichnet, daß eine rahmenartige Struktur des Fugemateπals autgedruckt wird, die eine vorgegebene Rahmenbreit besitzt und peπpher entland den Soll- Trennhmen auf den herauszutrennenden kleinen Dunnglasscheiben verlauft
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß das Aufdrucken mittels Siebdruck oder Schablonendruck erfolgt
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß als Fugemateπal Glaslot verwendet wird
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß als Glasmateπal für die größere Dunnglasscheibe gezogenes Borosilikatglas verwendet wird
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die bedruckte größere Dunnglasscheibe auf ein Tragermaterial aufgebracht wird
Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß als Tragermateπal eme Kunststo f -Tragerfohe verwendet wird, die mechanisch verspannt wird
Verfahren nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, daß die bedruckte, größere Dunnglasscheibe ungeπtzt auf das Tragermateπal aufgebracht wird und mittels eines Trennschleif-Prozesses in die kleinen Dunnglasscheiben zerteilt wird
Größere Dunnglasscheibe mit latenalen Abmessungen im Zentimeterbereich als Halbfabrikat zum Hei stellen \on kleinen Dunnglasscheiben mit vorgegebener geometrischer Struktur und lateralen Ausdehnungen im Millimeterbereich, dadurch gekennzeichnet, daß
die größere Dunnglasscheibe (1) auf der einen Seite mit einem Fugemateπal entsprechend der Fugezonengeometrie der herauszutrennenden kleinen Dunnglasscheiben (2) unter Vorgabe von Soll-Trennlinien versehen ist
Größere Dunnglasscheibe nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß sie entlang den Soll-Trennlinien (5) bis in eine vorgegebene Tiefe geritzt ist
Größere Dunnglasscheibe nach Anspruch 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, daß sie auf einem Tragermateπal aufgebracht ist
Größere Dunnglasscheibe nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß das Tragermateπal eine unter mechanischer Spannung stehende Kunststofftragerfohe ist
Größere Dunnglasscheibe nach einem der Ansprüche 12 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Fugezonengeometrie als Rahmen (3) ausgebildet ist und peπpher entlang den Soll-Trennlinien (5) auf den herauszutrennenden kleinen Dunnglasscheiben (2) verlauft
Größere Dunnglasscheibe nach Anspiuch 12 odei 14 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß sie nicht geritzt ist
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