WO2001082385A1 - Strahlungsemittierendes halbleiterbauelement mit lumineszenzkonversionselement - Google Patents

Strahlungsemittierendes halbleiterbauelement mit lumineszenzkonversionselement Download PDF

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WO2001082385A1
WO2001082385A1 PCT/DE2001/001601 DE0101601W WO0182385A1 WO 2001082385 A1 WO2001082385 A1 WO 2001082385A1 DE 0101601 W DE0101601 W DE 0101601W WO 0182385 A1 WO0182385 A1 WO 0182385A1
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radiation
emitting semiconductor
semiconductor component
recess
conversion element
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Herbert Brunner
Alexandra Debray
Harald JÄGER
Günther Waitl
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Osram Opto Semiconductors Gmbh
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Definitions

  • the invention relates to a radiation-emitting semiconductor component according to the preamble of patent claim 1 and a manufacturing method therefor according to the preamble of patent claim 21 or 22.
  • Steel-emitting semiconductor components are known, for example, from WO 97/50132. Such components contain a semiconductor body which emits light during operation (primary light) and a luminescence conversion element which converts part of this light into another wavelength range (fluorescent light). The overall color impression of the light emitted by such a semiconductor component results from additive color mixing of primary light and fluorescent light.
  • a phosphor that is suspended in a synthetic resin is frequently used as the luminescence conversion element.
  • one type of radiation-emitting semiconductor component consists in arranging the semiconductor body in a recess in the basic component body and filling this recess with the phosphor suspension.
  • Fluorescent suspension - are generally of different shape and size, so that, depending on the direction of radiation, a splitting into different color components occurs and a spatially inhomogeneous color impression is produced. Strong chromatic errors occur in optical images. Another disadvantage is that the color impression depends on the optical path length in the suspension, so that production-related fluctuations in the thickness of the suspension layer over the semiconductor body lead to different color impressions. Furthermore, a very uniform distribution of the phosphor in the suspension is fundamentally necessary.
  • the object of the present invention is to develop a radiation-emitting semiconductor component of the type mentioned at the outset which emits homogeneously mixed-colored light. Furthermore, it is an object of the present invention to provide a manufacturing method for such components.
  • the basic body of the semiconductor component is designed in such a way that a separate, cup-shaped area is formed in the recess formed to accommodate the semiconductor body in the immediate vicinity of the semiconductor body and contains the luminescence conversion element.
  • this arrangement has the advantage that the fluorescent light is emitted from almost the same volume as the primary light, which results in a particularly uniform color impression.
  • the separate area for receiving the luminescence conversion element is formed by a recess within the recess.
  • Another particularly preferred embodiment consists in forming the separate area by an annular border on the base of the recess.
  • the side surfaces of the depression or the annular border are shaped in such a way that the side surfaces serve as reflectors for the radiation generated and the radiation yield is thus increased.
  • a lead frame is embedded in the base body so that a part of the lead frame forms the bottom surface of the recess in one embodiment described above or that the annular border of the other embodiment described above is formed on the lead frame.
  • the semiconductor body is attached to the lead frame, and the electrical contact can be made directly (chip bonding) or by means of a wire connection (wire bonding).
  • This so-called leadframe technology is widely used in radiation-emitting semiconductor components and can advantageously also be used in the present invention.
  • the recess can be filled with a radiation-permeable filling compound, for example a potting compound.
  • This filling compound preferably contains a reaction resin, for example an acrylic resin, an epoxy resin, a silicone resin or a mixture of these resins.
  • a lens effect or a scattering effect can be achieved, which further improves the radiation properties of the component according to the invention or modifies it as desired.
  • the luminescence conversion element consists of one or more phosphors which are embedded in a matrix.
  • acrylic, epoxy and silicone resins and mixtures thereof are particularly suitable as a matrix.
  • organic compounds such as perylene dyes or 4f organometallic compounds can be mixed in as the phosphor.
  • Phosphors such as BASF Lumogen F083, Lumogen F240 and Lumogen F300 can be easily added to transparent epoxy resin.
  • a white overall color impression can be achieved by using inorganic phosphors.
  • Garnets doped with rare earths and alkaline earth metal sulfides doped with rare earths are particularly suitable for this.
  • Efficient phosphors are compounds which satisfy the formula A 3 B 5 0i 2 : M (provided they are not unstable under the usual manufacturing and operating conditions).
  • A denotes at least one element from the group Y, Lu, Sc, La, Gd, Tb and Sm
  • B denotes at least one element from the group AI
  • Ga and In denotes at least one element from the group Ce and Pr, preferably Ce.
  • YAG Ce (Y 3 Al 5 0 12 : Ce 3+ ), TbYAG: Ce ((Y x Tb ⁇ - x ) 3 Al 5 0 ⁇ 2 : Ce 3+ , O ⁇ x ⁇ l), GdYAG: Ce ((Gd x Y ⁇ - x ) 3 Al 5 0 ⁇ 2 : Ce 3+ , 0 ⁇ x ⁇ l), GdTbYAG: Ce ((Gd x Tb y Y ⁇ - x -y) 3 AI 5 O 3.2 : Ce 3 , 0 ⁇ x ⁇ 1, 0 ⁇ y ⁇ 1) and mixtures based thereon. AI can be at least partially replaced by Ga or In. The compounds are further preferred
  • Thiogallates doped with rare earths such as, for example, CaGa 2 S 4 : Ce 3+ or SrGa 2 S 4 : Ce 3+, are suitable for generating various types of mixed-colored light.
  • rare earth-doped aluminates such as for example YA10 3 : Ce 3+ and YAl ⁇ - x Ga x 0 3 : Ce 3+ , O ⁇ x ⁇ l and rare earth-doped orthosilicates M ' 2 Si0 5 : Ce 3+ (M': Sc, Y, La) such as Y 2 Si0 5 : Ce 3+ conceivable.
  • yttrium can in principle be replaced by scandium or lanthanum.
  • the respective composition of the phosphor is determined primarily from the desired overall color impression and the central wavelengths of the primary light.
  • different materials are used as the matrix for the luminescence conversion element and as the filling compound in the recess.
  • a material can be advantageously used for the luminescence conversion element that is optimal in terms of miscibility with the phosphor and radiation resistance, while a material is selected for the filling compound that is particularly suitable due to its transparency and its mechanical resistance.
  • Semiconductor bodies which emit light with a central wavelength below 460 nm can be used with particular advantage in the components according to the invention.
  • the use of such semiconductor bodies is not expedient in the above-described components according to the prior art, since light in this wavelength range can damage the filling compound, so that the filling compound ages very quickly as a result.
  • This disadvantage is reduced in the case of components according to the invention, since part of the primary radiation is converted very close to the semiconductor body, so that the proportion of short-wave radiation in the filling compound is reduced and the overall service life of the component is extended.
  • a silicone resin is preferably used as the matrix for the luminescence conversion element, which is distinguished by a particularly high radiation resistance in the green, blue and ultraviolet spectral range.
  • silicone resins are particularly advantageous in connection with semiconductor bodies which emit radiation with a wavelength below 430 nm. Radiation in this spectral range can lead to radiation damage with other resins, which significantly reduce the lifespan of the component.
  • a luminescence conversion element with a silicone resin matrix can be used with the
  • Invention can be combined with a filling compound covering the luminescence conversion element based on an epoxy resin.
  • Epoxy resins are characterized by high transparency and mechanical stability.
  • White light-emitting diodes such as are described in the above-mentioned publication WO 97/50132 can be realized with particular advantage with components according to the invention.
  • the phosphor and the semiconductor body are matched to one another here in such a way that the colors of primary light and fluorescent light are complementary to one another. Additive color mixing creates the impression of white light.
  • the content of the publications WO 97/50132 and WO 98/12757 is made the content of this description.
  • a plurality of stressed components can be combined to form larger lighting units.
  • Such lighting units possibly with a matrix-like arrangement of the components, are distinguished by high luminance and a particularly homogeneous overall color impression.
  • the components according to the invention are particularly advantageous as light sources in imaging lens systems. Since primary and fluorescent light are emitted from spatially closely adjacent and approximately equally large volumes, the chromatic distortions caused by such a lens system are significantly lower than with light sources upwards mentioned prior art. Furthermore, it is therefore advantageously possible to modify the radiation characteristic of a component according to the invention by means of one or more lenses without changing the overall color impression.
  • the starting point of the production method according to the invention for a radiation-emitting semiconductor component with a luminescence conversion element is a base body with a recess in which a lead frame is embedded, so that a partial region of the lead frame covers the bottom surface of the
  • the lead frame is overmolded with a molding compound, the chip connection area being left out. This recess forms the separate area for receiving the luminescence conversion element.
  • the semiconductor body is then mounted on the chip connection area of the lead frame and the electrical connections required for operation are made between the semiconductor body and the lead frame.
  • the recessed area is filled with the luminescence conversion element, the semiconductor body being completely embedded in the luminescence conversion element.
  • a base body with a recess is also used as the starting product, in which a lead frame is embedded in such a way that part of the lead frame forms the bottom surface of the recess.
  • An annular border is formed on the lead frame around the chip connection area with a molding compound. The inner area of this enclosure forms the separate area for receiving the luminescence conversion element.
  • the semiconductor body is applied to the chip connection area of the lead frame and the electrical connections required for operation are made between the semiconductor body and the lead frame.
  • the border is filled with the luminescence conversion element, whereby the semiconductor body is completely embedded in the luminescence conversion element.
  • Both methods have the advantage that standard housings or basic bodies with standard housing shapes can be used as the starting material.
  • the formation of the separate area for receiving the luminescence conversion element can easily be integrated in the manufacturing process of the component according to the invention.
  • the recess is filled with a radiation-permeable filling compound, for example a corresponding casting compound. Since the wrapping of the semiconductor body takes place in two steps, delamination of the semiconductor body from the wrapping and crack formation in the wrapping are advantageously reduced, thereby increasing the moisture resistance and life of the component.
  • a radiation-permeable filling compound for example a corresponding casting compound.
  • FIG. 1 shows a schematic sectional view of a first exemplary embodiment of a radiation-emitting semiconductor component according to the invention with a luminescence conversion element
  • FIG. 2 shows a schematic sectional view of a second exemplary embodiment of a radiation-emitting semiconductor component according to the invention with a luminescence conversion element
  • Figure 3 is a schematic representation of a first embodiment of a manufacturing method according to the invention
  • Figure 4 is a schematic representation of a second embodiment of a manufacturing method according to the invention.
  • the semiconductor component according to the invention shown in FIG. 1 has a standard housing as base body 1.
  • This can be, for example, a surface-mountable LED housing, which consists of a thermoplastic.
  • the side walls 5 are slightly chamfered and act as a reflector for the radiation generated.
  • a lead frame 2 is integrated in the basic body 1.
  • the semiconductor body 3 is bonded to the chip connection region 12 of the lead frame 2 and is electrically connected to the wire connection region 11 of the lead frame 2 via a wire connection 4.
  • the contacting of the semiconductor body 3 can also take place via several wire connections.
  • a smaller reflector ring 6 is formed around the semiconductor body 3.
  • a thermoplastic can preferably also be used as the material for this reflector ring.
  • the reflector ring 6 is filled with the luminescence conversion element, which consists of a suspension of the phosphor 8 in a matrix such as silicone. Due to its aging stability, silicone is particularly suitable when using short-wave (blue, UV) emitting semiconductor bodies 3.
  • the overall height of the reflector ring 6 has dimensions between
  • reflectors of this size ensure complete Enveloping the semiconductor body 3 with the luminescence conversion element 7 without, on the other hand, unnecessarily increasing the volume of the luminescence conversion element 7.
  • the remaining part of the recess is filled with a transparent potting 13 such as epoxy.
  • the semiconductor component according to the invention shown in FIG. 2 differs from the component shown in FIG. 1 in that the area around the semiconductor body 3 for receiving the luminescence conversion element 7 is formed by a recess over the chip connection area 12 of the lead frame 2.
  • the lead frame 2 is covered by a thin molding compound layer 10 (height preferably likewise 0.3 mm to 0.7 mm), the depression being formed by a recess in the molding compound layer 10 above the chip connection area 12.
  • an embodiment of the recess with sharp edges 9 can be advantageous for forming a dome of the luminescence conversion element 7 above the semiconductor body 3.
  • the area around the semiconductor body 3 that is left free of the molding compound is filled with the luminescence conversion element 7.
  • the wire connection region 11 is also left free from the molding compound layer 10.
  • This recess is designed in such a way that the side surfaces of the recess are offset from the housing side surfaces 5. This prevents parts of the phosphor suspension that are produced in the recess above the wire Final area 11 can penetrate, flow up on the housing wall 5. This upward flow is promoted, inter alia, by the roughness of the housing wall 5 and is undesirable since it increases the radiation area of the fluorescent light.
  • FIG. 3 schematically shows an exemplary embodiment of a manufacturing method according to the invention.
  • the base body 1 is produced with a recess and an integrated lead frame 2, FIG. 3a, for example by overmolding the lead frame 2 with the housing molding compound in an injection molding process.
  • the lead frame 2 is overmolded with the molding compound, for example PPA, so that the lead frame 2 is covered by a molding compound layer 10 with a constant thickness.
  • the chip connection area 12 and the wire connection area 11 of the lead frame 2 are kept free, FIG. 3b.
  • the housing shape shown in FIG. 3b can of course also be produced in a single method step.
  • the semiconductor body 3 is then bonded to the chip connection region 12 and the wire connection 4 is produced between the semiconductor body 3 and the lead frame 2, FIG. 3c.
  • the recess around the semiconductor body 3 is filled with the luminescence conversion element 7, for example a suspension of a phosphor in a synthetic resin, FIG. 3d.
  • the component 13 can be potted with a radiation-permeable material such as epoxy resin, FIG. 3e.
  • a radiation-permeable material such as epoxy resin, FIG. 3e.
  • the surface of the encapsulation can be flat, lens-like, nubbed or designed as a diffusing screen.
  • the base body 1 with recess and embedded is likewise in the first step Lead frame 2 made, Figure 4a.
  • a reflector ring 6 surrounding the chip connection area 12 is sprayed onto the lead frame 2, FIG. 4b.
  • the base body 1 and the reflector ring 6 can be produced in a single production step.
  • the semiconductor body 3 is then mounted and contacted on the chip connection area 12 of the lead frame 2, FIG. 4c.
  • the reflector ring 6 is filled with the luminescence conversion element 7 in the form of a phosphor suspension, a dome being formed over the semiconductor body 3 due to the sharp-edged edges 9 of the reflector ring 6 and the surface tension of the phosphor suspension, FIG. 4d. This ensures complete encapsulation of the semiconductor body 3 without unnecessarily increasing the volume of the luminescence conversion element 7.
  • the component can then be cast, Figure 4e.

Abstract

Die Erfindung beschreibt ein strahlungsemittierendes Halbleiterbauelement mit Lumineszenzkonversionselement (7), bei dem der Halbleiterkörper (3) in einer Ausnehmung des Grundkörpers (1) angeordnet ist. Innerhalb der Ausnehmung ist um den Halbleiterkörper ein napfartiger Bereich ausgeformt, der das Lumineszenzkonversionselement (7) enthält und das den Halbleiterkörper (3) einhüllt. Der napfartige Bereich ist als Vertiefung innerhalb der Ausnehmung oder als ringförmige Einfassung (6) auf dem Grund der Ausnehmung geformt.

Description

Beschreibung
Strahlungsemittierendes Halbleiterbauelement mit Lumineszenzkonversionselement
Die Erfindung bezieht sich auf ein Strahlungsemittierendes Halbleiterbauelement nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1 sowie ein Herstellungsverfahren hierfür nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 21 beziehungsweise 22.
Stahlungsemittierende Halbleiterbauelemente sind beispielsweise aus WO 97/50132 bekannt. Solche Bauelemente enthalten einen Halbleiterkörper, der im Betrieb Licht aussendet (Primärlicht) und ein Lumineszenzkonversionselement, das einen Teil dieses Lichts in einen anderen Wellenlängenbereich konvertiert (Fluoreszenzlicht) . Der Gesamtfarbeindruck des von einem solchen Halbleiterbauelement emittierten Lichts ergibt sich durch additive Farbmischung aus Primärlicht und Fluoreszenzlicht .
Häufig wird als Lumineszenzkonversionselement ein Leuchtstoff verwendet, der in einem Kunstharz suspendiert ist. Wie in WO 97/50132 gezeigt ist, besteht eine Bauform von Strahlungsemittierenden Halbleiterbauelementen darin, den Halbleiter- körper in einer Ausnehmung des Bauelementgrundkorpers anzuordnen und diese Ausnehmung mit der LeuchtstoffSuspension zu füllen.
Diese Anordnung besitzt den Nachteil, daß die Quellen von Primärlicht - Halbleiterkörper - und von Fluoreszenzlicht -
LeuchtstoffSuspension - im allgemeinen von verschiedener Form und Größe sind, so daß je nach Abstrahlrichtung eine Aufspaltung in verschiedene Farbanteile erfolgt und ein räumlich inhomogener Farbeindruck entsteht. Bei optischen Abbildungen treten starke chromatische Fehler auf. Ein weiterer Nachteil besteht darin, daß der Farbeindruck von der optischen Weglänge in der Suspension abhängt, so daß fertigungsbedingte Schwankungen der Dicke der Suspensionsschicht über dem Halbleiterkörper zu verschiedenen Farbeindrücken führen. Ferner ist grundsätzlich eine sehr gleichmäßige Verteilung des Leuchtstoffs in der Suspension nötig.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Strahlungsemittierendes Halbleiterbauelement der eingangs ge- nannten Art zu entwickeln, das homogen mischfarbiges Licht abstrahlt. Weiterhin ist es Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Herstellungsverfahren für solche Bauelemente zu schaffen.
Diese Aufgabe wird durch ein Halbleiterbauelement nach Patentanspruch 1 sowie ein Verfahren nach Patentanspruch 21 beziehungsweise 22 gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind Gegenstand der abhängigen Ansprüche .
Erfindungsgemäß ist vorgesehen, den Grundkörper des Halbleiterbauelements so auszuführen, daß in der zur Aufnahme des Halbleiterkδrpers gebildeten Ausnehmung in der unmittelbaren Umgebung des Halbleiterkörpers ein gesonderter, napfförmiger Bereich ausgeformt ist, der das Lumineszenzkonversionselement enthält. Gegenüber einer großvolumigen, die gesamte Ausnehmung füllenden Umhüllung des Halbleiterkörpers mit dem Lumineszenzkonversionselement besitzt diese Anordnung den Vorteil, daß das Fluoreszenzlicht aus nahezu demselben Volumen wie das Primärlicht abgestrahlt wird, wodurch ein besonders gleichmäßiger Farbeindruck entsteht.
Bei einer besonders bevorzugten Ausführungsform ist der gesonderte Bereich zur Aufnahme des Lumineszenzkonversionselements durch eine Vertie ung innerhalb der Ausnehmung geformt . Eine weitere besonders bevorzugte Ausführungsform besteht darin, den gesonderten Bereich durch eine ringförmige Einfassung auf dem Grund der Ausnehmung auszubilden. Bei beiden Ausführungsformen können mit großem Vorteil Gehäuse mit Standardformen als Grundkörper verwendet werden.
Vorteilhafterweise sind die Seitenflächen der Vertiefung be- ziehungsweise der ringförmigen Einfassung so geformt, daß die Seitenflächen als Reflektor für die erzeugte Strahlung dienen und so die Strahlungsausbeute erhöht wird.
Eine vorteilhafte Weiterbildung der Erfindung besteht darin, daß in den Grundkörper ein Leiterrahmen so eingebettet ist, daß ein Teil des Leiterrahmens die Bodenfläche der Vertiefung bei der einen oben beschriebenen Ausführungsform bildet oder daß auf dem Leiterrahmen die ringförmige Einfassung der anderen oben beschriebenen Ausführungsform geformt ist . Der Halb- leiterkörper ist bei dieser Weiterbildung auf dem Leiterrahmen angebracht, wobei die elektrische Kontaktierung direkt (chip bonding) oder mittels Drahtverbindung (wire bonding) hergestellt sein kann. Diese sogenannte Leiterrahmentechnik wird vielfach bei Strahlungsemittierenden Halbleiterbauele- menten angewandt und kann mit Vorteil auch bei der vorliegenden Erfindung eingesetzt werden.
Zum Schutz des Halbleiterkörpers und des Lumineszenzkonversionselements kann die Ausnehmung mit einer strahlungsdurch- lässigen Füllmasse, beispielsweise einer Vergußmasse, gefüllt sein. Vorzugsweise enthält diese Füllmasse ein Reaktionsharz, beispielsweise ein Acrylharz, ein Epoxidharz, ein Silikonharz oder eine Mischung dieser Harze. Durch eine geeignete Formgebung der Füllmasse kann eine Linsenwirkung oder eine Streu- Wirkung erzielt werden, die die Abstrahlungseigenschaften des erfindungsgemäßen Bauelements weiter verbessert oder wunschgemäß modifiziert. Auch kann es für automatische Bestückungsanlagen von Vorteil sein, mittels der Füllmasse bei dem Bauelement eine plane Oberfläche auszubilden, da solche Bauele- mente von Bestückungsautomaten leichter aufgenommen und positioniert werden können (pick and place-Verfahren) . Bei einer aufgrund besonders einfacher Realisierbarkeit bevorzugten Ausführungsform besteht das Lumineszenzkonversions- element aus einem oder mehreren Leuchtstoffen, die in eine Matrix eingebettet sind. Als Matrix eignen sich hinsichtlich Mischbarkeit, Formbarkeit und Handhabung besonders Acryl- harze, Epoxidharze und Silikonharze sowie Mischungen hiervon.
Als Leuchtstoff können einerseits organische Verbindungen wie beispielsweise Perylenfarbstoffe oder 4f-metallorganische Verbindungen eingemischt werden. So lassen sich Leuchtstoffe wie BASF Lumogen F083, Lumogen F240 und Lumogen F300 auf einfache Weise transparentem Epoxidharz zusetzen.
Ein weißer Gesamtfarbeindruck kann durch Verwendung von anor- ganischen Leuchtstoffen erreicht werden. Hierfür eigen sich insbesondere mit Seltenen Erden dotierte Granate sowie mit Seltenen Erden dotierte Erdalkalisulfide.
Effiziente Leuchtstoffe sind hierbei Verbindungen, die der Formel A3B50i2:M genügen (sofern sie nicht unter den üblichen Herstellungs- und Betriebsbedingungen instabil sind) . Darin bezeichnet A mindestens ein Element der Gruppe Y, Lu, Sc, La, Gd, Tb und Sm, B mindestens ein Element der Gruppe AI, Ga und In und M mindestens ein Element der Gruppe Ce und Pr, vor- zugsweise Ce . Besonders bevorzugt sind hierbei als Leuchtstoff YAG:Ce (Y3Al5012:Ce3+) , TbYAG:Ce ( (YxTbι-x) 3Al50ι2 : Ce3+, O≤x≤l) , GdYAG:Ce ( (GdxYχ-x) 3Al50ι2 :Ce3+, 0<x<l) , GdTbYAG:Ce ( (GdxTbyYι-x-y) 3AI5O3.2 :Ce3, 0<x<l,0<y<l) sowie hierauf basierende Gemische. Dabei kann AI zumindest teilweise durch Ga oder In ersetzt sein. Weiter bevorzugt sind die Verbindungen
SrS:Ce3+,Na, SrS :Ce3+, Cl, SrS:CeCl3, CaS:Ce3+, SrSe:Ce3+ und Y3Ga5012 : Ce3+ .
Zur Erzeugung von verschiedenartig mischfarbigem Licht eignen sich mit Seltenen Erden dotierte Thiogallate wie beispielsweise CaGa2S4:Ce3+ oder SrGa2S4 :Ce3+ . Ebenso ist hierzu die Verwendung von mit Seltenen Erden dotierten Aluminaten wie beispielsweie YA103 : Ce3+ und YAlι-xGax03 :Ce3+, O≤x≤l und mit Seltenen Erden dotierten Orthosilikaten M' 2Si05 :Ce3+ (M':Sc,Y,La) wie beispielsweise Y2Si05 : Ce3+ denkbar. Bei allen Yttriumverbindungen kann Yttrium im Prinzip durch Scandium oder Lanthan ersetzt werden. Die jeweilige Zusammensetzung des Leuchtstoffs bestimmt sich dabei in erster Linie aus dem gewünschten Gesamtfarbeindruck sowie der Zentralwellenlängen des Primärlichts .
Bei einer weiteren besonders bevorzugten Ausführungsform werden als Matrix für das Lumineszenzkonversionselement und als Füllmasse in der Ausnehmung verschiedene Materialien verwendet. Dabei kann mit Vorteil für das Lumineszenzkonversions- element ein Material verwendet werden, daß hinsichtlich Mischbarkeit mit dem Leuchtstoff und Strahlungsbeständigkeit optimal ist, während für die Füllmasse ein Material gewählt wird, das sich aufgrund seiner Transparenz und seiner mechanischen Beständigkeit besonders eignet.
Durch diese zusätzliche Variationsmöglichkeit bei der Wahl der Füllmasse und Matrix des Lumineszenzkonversionselements können so vorteilhaf erweise weitere Randbedingungen bei der Gestaltung eines Strahlungsemittierenden Halbleiterbauelements mit Lumineszenzkonversionselement erfüllt werden.
Mit besonderem Vorteil können bei erfindungsgemäßen Bauelementen Halbleiterkörper verwendet werden, die Licht mit einer Zentralwellenlänge unter 460 nm abstrahlen. Die Verwendung solcher Halbleiterkörper ist bei den oben beschriebenen Bau- elementen nach dem Stand der Technik nicht sinnvoll, da Licht in diesem Wellenlängenbereich die Füllmasse schädigen kann, so daß die Füllmasse dadurch sehr schnell altert. Dieser Nachteil ist bei erfindungsgemäßen Bauelementen gemindert, da ein Teil der Primärstrahlung sehr nahe am Halbleiterkörper konvertiert wird, so daß der Anteil der kurzwelligen Strahlung in der Füllmasse reduziert ist und insgesamt die Lebensdauer des Bauelements verlängert wird. Bevorzugt wird als Matrix für das Lumineszenzkonversionselement ein Silikonharz verwendet, das sich durch eine besonders hohe Strahlungsbeständigkeit im grünen, blauen und ultravioletten Spektralbereich auszeichnet. Die Verwendung von Sili- konharzen ist besonders vorteilhaft in Verbindung mit Halbleiterkörper, die Strahlung mit einer Wellenlänge unter 430 nm emittieren. Strahlung in diesem Spektralbereich kann bei anderen Harzen zu Strahlungsschäden führen, die die Lebensdauer des Bauelements deutlich reduzieren. Ein Lumineszenz- konversionseiement mit einer Silikonharzmatix kann bei der
Erfindung mit einer das Lumineszenzko ersionseiement abdek- kenden Füllmasse auf des Basis eines Epoxidharzes kombiniert werden. Epoxidharze zeichnen sich hierbei durch hohe Transparenz und mechanische Stabilität aus.
Mit besonderem Vorteil lassen sich mit erfindungsgemäßen Bauteilen Weißlichtleuchtdioden realisieren, wie sie in der oben genannten Druckschrift WO 97/50132 beschrieben sind. Leuchtstoff und Halbleiterkδrper sind hier so aufeinander abge- stimmt, daß die Farben von Primärlicht und Fluoreszenzlicht zueinander komplementär sind. Durch additive Farbmischung wird der Eindruck weißen Lichts hervorgerufen. Der Inhalt der Druckschriften WO 97/50132 und WO 98/12757 wird zum Inhalt dieser Beschreibung gemacht .
Eine Mehrzahl von beanspruchten Bauelementen kann zu größeren Beleuchtungseinheiten zusammengefügt werden. Solche Beleuchtungseinheiten, gegebenenfalls mit matrixartiger Anordnung der Bauelemente, zeichnen sich durch hohe Leuchtdichte und besonders homogenen Gesamtfarbeindruck aus.
Mit besonderem Vorteil eignen sich die erfindungsgemäßen Bauelemente als Lichtquellen in abbildenden Linsensystemen. Da Primär- und Fluoreszenzlicht aus räumlich eng benachbarten und etwa gleich großen Volumina abgestrahlt werden, sind die chromatischen Verzerrungen, die ein solches Linsensystem hervorruft, deutlich geringer als bei Lichtquellen nach dem oben genannten Stand der Technik. Weiterhin ist es daher vorteilhafterweise möglich, die Abstrahlungscharakteristik eines erfindungsgemäßen Bauelements mittels einer oder mehrerer Linsen ohne Veränderung des Gesamtfarbeindrucks zu modifizieren.
Ausgangspunkt des erfindungsgemäßen Herstellungsverfahrens für ein Strahlungsemittierendes Halbleiterbauelement mit Lumineszenzkonversionselement stellt ein Grundkörper mit einer Ausnehmung dar, in dem ein Leiterrahmen eingebettet ist, so daß ein Teilbereich des Leiterrahmens die Bodenfläche der
Ausnehmung bildet. Zunächst wird der Leiterrahmen mit einer Formmasse überspritzt, wobei der Chipanschlußbereich ausgespart wird. Diese Aussparung bildet den gesonderten Bereich zur Aufnahme des Lumineszenzkonversionselements. Danach wird der Halbleiterkörper auf den Chipanschlußbereich des Leiterrahmens montiert und es werden die für den Betrieb erforderlichen elektrischen Verbindungen zwischen Halbleiterkörper und Leiterrahmen hergestellt . Im nächsten Schritt wird der ausgesparte Bereich mit dem Lumineszenzkonversionselement ge- füllt, wobei der Halbleiterkörper vollständig in das Lumineszenzkonversionselement eingebettet wird.
Bei einem weiteren erfindungsgemäßen Herstellungsverfahren wird ebenfalls als Ausgangsprodukt ein Grundkδrper mit Aus- nehmung verwendet, in dem ein Leiterrahmen so eingebettet ist, daß ein Teil des Leiterrahmens die Bodenfläche der Ausnehmung bildet . Auf dem Leiterrahmen wird um den Chipanschlußbereich herum mit einer Formmasse eine ringförmige Einfassung ausgebildet. Der Innenbereich dieser Einfassung bil- det den gesonderten Bereich zur Aufnahme des Lumineszenzkonversionselements. Innerhalb dieser Einfassung wird auf dem Chipanschlußbereich des Leiterrahmens der Halbleiterkörper aufgebracht und es werden die für den Betrieb erforderlichen elektrischen Verbindungen zwischen Halbleiterkörper und Lei- terrahmen hergestellt. Im nächsten Schritt wird die Einfassung mit dem Lumineszenzkonversionselement ausgefüllt, wobei der Halbleiterkörper vollständig in das Lumineszenzkonversionselement eingebettet wird.
Beide Verfahren besitzen den Vorteil, daß als Ausgangsmaterial Standardgehäuse beziehungsweise Grundkörper mit Standardgehäuseformen verwendet werden können. Die Ausformung des gesonderten Bereichs zur Aufnahme des Lumineszenzkonversionselements kann leicht in dem Herstellungsprozeß des erfindungsgemäßen Bauelements integriert werden.
Bei einer vorteilhaften Weitergestaltung der Erfindung wird die Ausnehmung mit einer strahlungsdurchlässigen Füllmasse, beispielsweise einer entsprechenden Vergußmasse, gefüllt. Da die Umhüllung des Halbleiterkörpers in zwei Schritten er- folgt, werden vorteilhafterweise Delamination des Halbleiterkörpers von der Umhüllung und Rissbildung in der Umhüllung vermindert und dadurch Feuchtebeständigkeit und Lebensdauer des Bauelements erhöht .
Weitere Merkmale und Vorteile ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung von vier Ausführungsbeispielen in Verbindung mit den Figuren 1 bis 4.
Es zeigen:
Figur 1 eine schematische Schnittansicht eines ersten Ausführungsbeispiels eines erfindungsgemäßen strahlungsemittie- renden Halbleiterbauelements mit Lumineszenzkonversionselement,
Figur 2 eine schematische Schnittansieht eines zweiten Ausführungsbeispiels eines erfindungsgemäßen strahlungsemittie- renden Halbleiterbauelements mit Lumineszenzkonversionselement, Figur 3 eine schematische Darstellung eines ersten Ausführungsbeispiels eines erfindungsgemäßen Herstellungsverfahrens und
Figur 4 eine schematische Darstellung eines zweiten Ausführungsbeispiels eines erfindungsgemäßen Herstellungsverfahrens .
In den verschiedenen Figuren sind gleiche beziehungsweise gleichwirkende Teile mit demselben Bezugszeichen versehen.
Das in Figur 1 gezeigte erfindungsgemäße Halbleiterbauelement besitzt als Grundkörper 1 ein Standardgehäuse. Dies kann beispielsweise ein oberflächenmontierbares LED-Gehäuse sein, das aus einem Thermoplast besteht. Die Seitenwände 5 sind leicht angeschrägt und wirken als Reflektor für die erzeugte Strahlung. In den Grundkδrper 1 ist ein Leiterrahmen 2 integriert. Auf den Chipanschlußbereich 12 des Leiterrahmens 2 ist der Halbleiterkörper 3 gebondet und über eine Drahtverbindung 4 mit dem Drahtanschlußbereich 11 des Leiterrahmens 2 elektrisch verbunden. Je nach Gestaltung des Halbleiterkδrpers kann die Kontaktierung des Halbleiterkörpers 3 auch über mehrere Drahtverbindungen erfolgen.
Um den Halbleiterkörper 3 herum ist ein kleinerer Reflektorring 6 ausgebildet. Vorzugsweise kann als Material für diesen Reflektorring ebenfalls ein Thermoplast verwendet werden. Der Reflektorring 6 ist mit dem Lumineszenzkonversionselement gefüllt, das aus einer Suspension des Leuchtstoffs 8 in einer Matrix wie beispielsweise Silikon besteht. Silikon eignet sich aufgrund seiner Alterungsstabilität insbesondere bei der Verwendung kurzwellig (blau, UV) emittierender Halbleiterkörper 3.
Als Bauhöhe des Reflektorrings 6 haben sich Maße zwischen
0,3 mm und 0,7 mm als besonders vorteilhaft erwiesen. Reflektoren dieser Größe gewährleisten einerseits eine vollständige Einhüllung des Halbleiterkörpers 3 mit dem Lumineszenzkonversionselement 7, ohne andererseits das Volumen des Lumineszenzkonversionselements 7 unnötig zu vergrößern.
Hierbei ist es von besonderem Vorteil, den Reflektorring 6 mit scharfen Kanten 9 auszubilden. Dies bewirkt, daß bei der Befüllung des Reflektorrings 6 die LeuchtstoffSuspension aufgrund ihrer Oberflächenspannung eine Kuppe über dem Reflektorring 6 ausbildet, wodurch weitergehend die vollständige Einbettung des Halbleiterkörpers 3 in das Lumineszenzkonversionselement 7 sichergestellt wird.
Der verbleibende Teil der Ausnehmung ist mit einem transparentem Verguß 13 wie beispielsweise Epoxidharz gefüllt.
Das in Figur 2 gezeigte erfindungsgemäße Halbleiterbauelement unterscheidet sich von dem in Figur 1 gezeigten Bauelement darin, daß der Bereich um den Halbleiterkörper 3 zur Aufnahme des Lumineszenzkonversionselements 7 durch eine Vertiefung über den Chipanschlußbereich 12 des Leiterrahmens 2 ausgebildet ist. Dazu ist der Leiterrahmen 2 von einer dünnen Formmasseschicht 10 (Höhe vorzugsweise ebenfalls 0,3 mm bis 0,7 mm) bedeckt, wobei die Vertiefung durch eine Aussparung der Formmasseschicht 10 über dem Chipanschlußbereich 12 ge- bildet ist. Wie im vorangehend beschriebenen Ausführungsbei- spiel kann eine Ausführung der Aussparung mit scharfen Kanten 9 zur Ausbildung einer Kuppe des Lumineszenzkonversionselements 7 über dem Halbleiterkörper 3 vorteilhaft sein. Der von der Formmasse ausgesparte Bereich um den Halbleiterkörper 3 herum ist mit dem Lumineszenzkonversionselement 7 gefüllt.
Bei dem gezeigten Ausführungsbeispiel ist weiterhin der Drahtanschlußbereich 11 von der Formmasseschicht 10 ausgespart. Diese Aussparung ist so gestaltet, daß die Seitenflä- chen der Aussparung von den Gehäuseseitenflächen 5 abgesetzt sind. Dies verhindert, daß Teile der LeuchtstoffSuspension, die bei der Herstellung in die Aussparung über dem Drahtan- Schlußbereich 11 eindringen können, an der Gehäusewand 5 hinauffließen. Dieses Hinauffließen wird unter anderem durch die Rauhigkeit der Gehäusewand 5 begünstigt und ist unerwünscht, da dadurch der Abstrahlungsbereich des Fluoreszenz- lichts vergrößert wird.
In Figur 3 ist schematisch ein Ausfuhrungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Herstellungsverfahrens gezeigt . Im ersten Schritt wird der Grundkörper 1 mit Ausnehmung und intergriertem Leiterrahmen 2 hergestellt, Figur 3a, beispielsweise durch Umspritzen des Leiterrahmens 2 mit der Gehäuseformmasse in einem Spritzgußverfahren.
Im nächsten Schritt wird der Leiterrahmen 2 mit der Formmasse, beispielsweise PPA, überspritzt, so daß der Leiterrahmen 2 von eine Formmasseschicht 10 mit gleichbleibender Dicke abgedeckt wird. Der Chipanschlußbereich 12 und der Drahtanschlußbereich 11 des Leiterrahmens 2 wird dabei freigehalten, Figur 3b. Alternativ kann die in Figur 3b gezeigte Gehäuseform natürlich auch in einem einzigen Verfahrensschritt her- gestellt werden.
Daraufhin wird der Halbleiterkörper 3 auf den Chipanschlußbereich 12 gebondet und die Drahtverbindung 4 zwischen Halbleiterkörper 3 und Leiterrahmen 2 hergestellt, Figur 3c. Nach Abschluß des Bondings wird die Aussparung um den Halbleiter- körper 3 mit dem Lumineszenzkonversionselement 7, beispielsweise einer Suspension eines Leuchtstoffs in einem Kunstharz gefüllt, Figur 3d.
Abschließend kann ein Verguß 13 des Bauelements mit einem strahlungsdurchlässigen Material wie beispielsweise Epoxidharz erfolgen, Figur 3e. Je nach Anforderung an das Bauelement kann die Oberfläche des Vergusses plan, linsenartig, ge- noppt oder als Streuscheibe ausgeführt werden.
Bei dem in Figur 4 gezeigten Ausfuhrungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Herstellungsverfahrens wird im ersten Schritt ebenfalls der Grundkörper 1 mit Ausnehmung und eingebettetem Leiterrahmen 2 hergestellt, Figur 4a.
Danach wird ein den Chipanschlußbereich 12 umgebender Reflektorring 6 auf den Leiterrahmen 2 aufgespritzt, Figur 4b. Auch hier kann die Herstellung des Grundkörpers 1 und des Reflek- torrings 6 in einem einzigen Herstellungsschritt erfolgen.
Der Halbleiterkörper 3 wird daraufhin auf den Chipanschlußbereich 12 des Leiterrahmens 2 montiert und kontaktiert, Figur 4c. Im nächsten Schritt wird der Reflektorring 6 mit dem Lumineszenzkonversionselement 7 in Form einer Leuchtstoffsus- pension gefüllt, wobei sich aufgrund der scharfkantigen Be- randung 9 des Reflektorrings 6 und der Oberflächenspannung der LeuchtstoffSuspension eine Kuppe über dem Halbleiterkörper 3 ausbildet, Figur 4d. Dadurch wird eine vollständige Umhüllung des Halbleiterkδrpers 3 gewährleistet, ohne das Volu- men des Lumineszenzkonversionselements 7 unnötig zu vergrößern.
Wie im vorangegangenen Ausführungsbeispiel kann danach das Bauelement vergossen werden, Figur 4e.
Die Erläuterung der Erfindung anhand der oben beschriebenen
Ausführungsbeispiele ist natürlich nicht als Beschränkung der Erfindung zu verstehen.

Claims

Patentansprüche
1. Strahlungsemittierendes Halbleiterbauelement mit einem Grundkörper (1) , in dem eine Ausnehmung vorgesehen ist, min- destens einem Halbleiterkörper (3) und einem Lumineszenzkonversionselement (7) , d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß die Ausnehmung einen napfartig ausgeformten Teilbereich aufweist, in dem der Halbleiterkörper (3) angeordnet ist und der mit dem Lumineszenzkonversionselement (7) gefüllt ist, wobei das Lumineszenzkonversionselement (7) eine Grenzfläche aufweist, die den napfartigen Teilbereich gegen den übrigen Innenraum der Ausnehmung abgrenzt .
2. Strahlungsemittierendes Halbleiterbauelement nach Anspruch 1 , d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß der napfartige Teilbereich durch eine Vertiefung innerhalb der Ausnehmung geformt ist .
3. Strahlungsemittierendes Halbleiterbauelement nach Anspruch 2 , d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß ein Leiterrahmen (2) in den Grundkörper (1) so eingebettet ist, daß ein Teilbereich des Leiterrahmens (2) die Bodenfläche der Vertiefung bildet.
4. Strahlungsemittierendes Halbleiterbauelement nach Anspruch 1, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß der napfartige Teilbereich durch eine ringförmige Einfassung (6) auf dem Grund der Ausnehmung geformt ist.
5. Strahlungsemittierendes Halbleiterbauelement nach An- Spruch 4 , d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß ein Leiterrahmen (2) in den Grundkörper (1) eingebettet ist, so daß ein Teilbereich des Leiterrahmens (2) die Bodenfläche der Ausnehmung bildet und die ringförmige Einfassung (6) auf dem Leiterrahmen (2) ausgebildet ist.
6. Strahlungsemittierendes Halbleiterbauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 5, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß der Grundkörper (1) mit der den napfartigen Teilbereich auf- weisenden Ausnehmung einstückig gebildet ist.
7. Strahlungsemittierendes Halbleiterbauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 6, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß der Grundkörper (1) mittels eines Spritzguß- oder eines Spritzpreßverfahrens gebildet ist.
8. Strahlungsemittierendes Halbleiterbauelement nach einem der Ansprüche 2 bis 7, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß die Seitenwände der Vertiefung beziehungsweise die Innenseite der ringförmigen Einfassung (6) als Reflektor dienen.
9. Strahlungsemittierendes Halbleiterbauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 8, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß die Ausnehmung zumindest teilweise mit einer strahlungsdurchlässigen Füllmasse (13) gefüllt ist, die an das Lumineszenzkonversionselement (7) grenzt.
10. Strahlungsemittierendes Halbleiterbauelement nach Anspruch 9 , d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß die Füllmasse (13) ein Reaktionsharz enthält ist.
11. Strahlungsemittierendes Halbleiterbauelement nach Anspruch 9 oder 10, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß die Füllmasse (13) ein Acrylharz, ein Epoxidharz, ein Silikonharz oder eine Mischung dieser Harze enthält .
12. Strahlungsemittierendes Halbleiterbauelement nach einem der Ansprüche 3 bis 11, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß der Leiterrahmen (2) einen Chipanschlußbereich (12) und einen Drahtanschlußbereich (11) aufweist und daß der Halbleiterkδr- per auf dem Chipanschlußbereich (12) aufgebracht ist und mit dem Drahtanschlußbereich (11) durch eine Drahtverbindung (4) verbunden ist.
13. Strahlungsemittierendes Halbleiterbauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 12, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß das Lumineszenzkonversionselement (7) mindestens einen organischen oder anorganischen Leuchtstoff enthält, der in eine Matrix eingebettet ist.
14. Strahlungsemittierendes Halbleiterbauelement Anspruch 13, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß das Lumineszenzkonversionselement (7) YAG: Ce, TbYAG:Ce, GdYAG:Ce, GdTbYAG:Ce oder hierauf basierende Gemische ent- hält, wobei AI zumindest teilweise durch Ga oder In ersetzt sein kann.
15. Strahlungsemittierendes Halbleiterbauelement nach Anspruch 13 oder 14, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß die Matrix ein Reaktionsharz enthäl .
16. Strahlungsemittierendes Halbleiterbauelement nach einem der Ansprüche 13 bis 15, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß die Matrix ein Acrylharz, Epoxidharz oder Silikonharz oder eine Mischung dieser Harze enthält.
17. Strahlungsemittierendes Halbleiterbauelement nach einem der Ansprüche 13 bis 16, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß die Füllung der Ausnehmung und die Matrix des Lumineszenzkon- versionselements (7) verschiedene Zusammensetzungen aufweisen.
18. Strahlungsemittierendes Halbleiterbauelement nach Anspruch 13 bis 17, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß die Ausnehmung mit einer ein Epoxidharz enthaltenden Füllmasse (13) gefüllt ist und die Matrix ein Silikonharz enthält.
19. Strahlungsemittierendes Halbleiterbauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 18, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß die Zentralwellenlänge der von dem Halbleiterkörper (3) im
Betrieb emittierten Strahlung unter 460 nm liegt.
20. Strahlungsemittierendes Halbleiterbauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 19, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß die Farbe der von dem Halbleiterkörper (3) im Betrieb emittierten Strahlung und die Farbe des von dem Lumineszenzkonve- risonselement (7) emittierten Lichts zueinander komplementär sind, so daß der Eindruck weißen Lichts hervorgerufen wird.
21. Verfahren zur Herstellung eines Strahlungsemittierenden Halbleiterbauelements mit Lumineszenzkonversionselement (7) , g e k e n n z e i c h n e t d u r c h die Schritte
- Herstellen eines Grundkδrpers (1) mit einer Ausnehmung und einem eingebetteten Leiterrahmen (2) ,
- Überspritzen des Leiterrahmens (2) mit einer Formmasse, wo- bei der Chipanschlußbereich (12) des Leiterrahmens (2) zur
Bildung eines napfartigen Teilbereichs ausgespart wird, - Aufbringen eines Halbleiterkörpers (3) auf den Chipanschlußbereich (12) und Kontaktieren des Halbleiterkör- pers (3) ,
- Füllen des napfartigen Teilbereichs über dem Chipanschluß- bereich (12) mit dem Lumineszenzkonversionselement (7) derart, daß eine Grenzfläche des Lumineszenzkonversionselements
(7) den napfartigen Teilbereich gegen den übrigen Innenraum der Ausnehmung abgrenzt .
22. Verfahren zur Herstellung eines Strahlungsemittierenden Halbleiterbauelements mit Lumineszenzkonversionselement, g e k e n n z e i c h n e t d u r c h die Schritte
- Herstellen eines Grundkörpers (1) mit Ausnehmung und einge- bettetem Leiterrahmen (2) ,
- Ausbilden einer ringförmigen Einfassung (6) um den Chipanschlußbereich (12) ) zur Formung eines napfartigen Teilbereichs,
- Aufbringen eines Halbleiterkörpers (3) auf den Chipan- Schlußbereich (12) und Kontaktierung des Halbleiterkörpers (3) ,
- Füllen des Innenbereichs der Einfassung (6) mit dem Lumineszenzkonversionselement (7) .
23. Verfahren nach Anspruch 22, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß der Innenbereich der Einfassung derart mit dem Lumineszenzkonversionselement (7) gefüllt wird, daß eine Grenzfläche des Lumineszenzkonversionselements (7) den napfartigen Teilbe- reich gegen den übrigen Innenraum der Ausnehmung abgrenzt.
24. Verfahren nach einem der Ansprüche 21 bis 23, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß der Grundkörper mittels eine Spritzguß- oder Spritzpreßver- fahrens hergestellt wird.
25. Verfahren nach einem der Ansprüche 21 bis 24, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß die Ausnehmung mit einer strahlungsdurchlässigen Füllmasse (13) gefüllt wird.
26. Verwendung einer Mehrzahl von strahlungsemittierenden Halbleiterbauelementen nach einem der Ansprüche 1 bis 20 in einer LED-Beleuchtungseinheit .
27. Verwendung einer Mehrzahl von strahlungsemittierenden
Halbleiterbauelementen nach einem der Ansprüche 1 bis 20 in einer LED-Beleuchtungseinheit, in der die strahlungsemittierenden Halbleiterbauelemente nach einem der Ansprüche 1 bis 18 matrixartig angeordnet sind.
28. Verwendung eines strahlungsemittierenden Halbleiterbauelements nach einem der Ansprüche 1 bis 20 als Lichtquelle in einer abbildenden Optik.
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