WO2001092818A8 - Verfahren zur korrektur physikalisch bedingter fehler bei der messung mikroskopischer objekte - Google Patents

Verfahren zur korrektur physikalisch bedingter fehler bei der messung mikroskopischer objekte

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Abstract

Ein Verfahren zur Korrektur physikalisch bedingter Fehler bei der Messung eines Objekts umfasst das Erfassen (102) eines Bildes des zu messenden Objekts, das Vermessen (106) des abgebildeten Objekts, das Bestimmen (112) eines Messfehlers aufgrund von Strukturumgebungen des Objekts und die Korrektur (108) des Messergebnisses abhängig von dem Messfehler.
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