WO2003079255A1

WO2003079255A1 - Systeme de service de gestion de maintenance, dispositif de serveur, dispositif de terminal, programme, support d'enregistrement et procede de traitement d'un systeme de service de gestion de maintenance

Info

Publication number: WO2003079255A1
Application number: PCT/JP2003/003285
Authority: WO
Inventors: Hiroshi Nishikawa; Youichi Araki; Kiichi Hama
Original assignee: Tokyo Electron Limited
Priority date: 2002-03-19
Filing date: 2003-03-18
Publication date: 2003-09-25
Also published as: US7975049B2; US8032629B2; JP2003271764A; AU2003220911A1; JP3987741B2; US20050044204A1; US20100145781A1; US7698149B2; US20100145780A1

Description

明細書保守管理ポイントサービスシステム，サーバ装置，端末装置，プログラム，記録媒体及び保守管理ポイン卜サービスシステムの処理方法技術分野本発明は，半導体製造装置などの保守管理ボイントサービスを提供するシステム，サーバ，端末装置，プログラム，記録体および保守管理ボイン卜サービスの処理方法に関する。景技術

従来，顧客のもつ半導体製造装置などの保守管理が必要な場合には，顧客が最最寄のサービスステーションにファックスや電話などによリ連絡し，この顧客からの連絡に応じて当該サービスステ一シヨンに所属するサービスエンジニアなどのサービスマンが顧客先へ出向き，メンテナンスを行うようになっていた（オンコールサービス）o ところで，半導体製造装置のメンテナンスは簡単なものであれば顧客自ら行うことができる場合もあり，また簡単なものではなくてもメンテナンス方法を提示すれば顧客自ら行うことができる場合もあ。しかしながら，従来は顧客側で行うことができるようなメンテナンスであってもオンコールを受けてサービスマンが顧客先に出向いていたため，サービスマンに過度の負担がかかっていた。そこで，本発明は，このような問題に鑑みてなされたもので，その目的とするところは，できる限り顧客自ら保守（メンテナンス）を行うことを促すことができ，サービスマンの負担を軽減することができる保守管理ボイントサービスシステム等を提供することにある。発明の開示上記課題を解決するために，本発明のある観点によれば，保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置と，保守管理サ一ビスを提供するサーバ装置とが回線網を介して双方向通信可能に接続されており，前記端末装置は，保守管理の対象となる装置から少なくともその装置が通電状態か否かの情報を含むステータス情報を収集し，収集したステータス情報を前記サーバ装置からの要求に応じて前記回線網を介して送信し，前記サーバ装置は，前記ステ一タス情報に基づいて発生するポィントを記憶するステータスボイン卜記憶手段を備え，所定時間ごとに，前記端末装置からステータス情報を受信し，そのステータス情報に基づいて保守管理の対象となる装置が通電状態にあるか否かを判断し，通電状態にあると判断した場合は前記ステータスボイント記憶手段に所定ボイントを加えて更新し，通電状態にないと判断した場合は前記ステータスポイント記憶手段のポイントを更新しないことを特徴とする保守管理ボイントサービスシステムが提供される。これによれば，保守管理の対象となる装置（例えば半導体の製造装置など）が通電状態にあるとき，例えば端末装置からの問い合わせ（要求）に対して製造装置などから何らかの応答（ァクノリッジ）があるときに，一定時間ごとにポィン卜が加算される。これによリ，例えば製造装置の通電状態が継続していれば特典としてのボイン卜がたまっていくので，顧客は自らメンテナンスを行ってポイントをためようとする。これにより，顧客自らがメンテナンスを行うことを促すことができ，サービスマンの負担を軽減することができる。また，前記サーバ装置はさらに顧客側から保守してほしい旨の要求があつたか否かの情報を記憶する保守要求記憶手段を備え，この保守要求記憶手段に記憶した情報に基づいて保守の要求があつたと判断した場合には，前記ステータスボイント記憶手段のボイントを更新しないようにすることが好ましい。これによれば，保守してほしい旨の要求，例えば顧客の製造装置が故障した場合などに，電話，

F A X , 端末装置からインタ一ネッ卜などの回線網などを介して顧客からメンテナンス要求（オンコール）があった場合にはポイントは加算されない。これにより，顧客はできる限リオンコールしないで自らメンテナンスを行ってボイントをためようとするため，顧客自らがメンテナンスを行うことを促すことができ，サービスマンの負担を軽減することができる。また，前記ステータス情報は，さらに保守管理の対象となる装置が異常状態か否かの情報を含み，前記サーバ装置は，前記端末装置からのステータス情報に基づいて保守管理の対象となる装置が異常状態であると判断した場合は，前記ステータスポイント記憶手段のポイントを更新しないようにすることが好ましい。これによれ，例えば顧客の製造装置が何らかのトラブルが発生しているような異常状態にある場合にはポイントは加算されない。これにより，顧客はできる限リ正常状態を保ってボイントをためようとするため，顧客自らがメンテナンスを行うことを促すことができ，サービスマンの負担を軽減することができる。上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置と，保守管理サ一ビスを提供するサーバ装置とが回線網を介して双方向通信可能に接続されており，前記端末装置は，顧客側で行った保守方法の種類を含む保守情報を前記サーバ装置に送信し，前記サーバ装置は，保守情報に基づいて発生するボイントを記憶する保守ボイント記憶手段と，保守方法の種類に対応して設定されたポイントを記憶する保守ポイント設定記憶手段とを備え，前記端末装置から受信した保守情報から保守方法の種類を取得し，この保守方法の種類に対応するポイントを前記保守ポイント設定記憶手段に基づいて検索し，検索したボイントを前記保守ボイン卜記憶手段に記憶することを特徴とする保守管理ポィントサービスシステムが提供される。これによれば，顧客自らが行ったメンテナンスの種類に応じたボイン卜が発生する。これにより，顧客はできる限りメンテナンスを行ってポイントをためようとするため，顧客自らがメンテナンスを行うことを促すことができ，サービスマンの負担を軽減することができる。さらに前記保守ポイン卜記憶手段は，時間がかかる保守ほど高いボイン卜を設定すれば，顧客はよリ時間がかかる難しいメンテナンスを行って，より高いポイントをためようとするため，難しいメンテナンスであっても顧客自らが行うことを促すことができ，サービスマンの負担を一層軽減することができる。上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置と，保守管理サ一ビスを提供するサーバ装置とが回線網を介して双方向通信可能に接続されており，前記端末装置は，保守管理の対象となる装置が再起動したか否かを監視し，再起動したと判断した場合に再起動した旨の情報を含む再起動情報を前記サーバ装置に送信し，前記サーバ装置は，前記再起動情報をきつかけにして行うくじの結果に基づいて発生するポイントを記憶するくじポイント記憶手段と，くじに使用する特定範囲の数に対応させて予め設定されたボイントを記憶するくじポイント設定記憶手段とを備え，前記端末装置から再起動情報を受信すると前記特定範囲内で乱数を発生させ，その乱数に対応したポイントを前記くじポイント設定記憶手段から検索し，検索したポイントをくじポイント記憶手段に記憶することを特徴とする保守管理ボイントサービスシステムが提供される。これによれば，例えばくじポイント設定記憶手段にくじがはずれのときはポイン卜を 0に設定し，くじにあたったときには所定のポイントを設定しておけば，製造装置を顧客がメンテナンスすることによリその製造装置が再起動したときにくじを行って，あたったときにはポイントが発生する。これにより，顧客はくじをあててポィントをためようとするため，顧客自らがメンテナンスを行うことを促すことができ，サービスマンの負担を軽減することができる。上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，保守管理サ一ビスを提供するサーバ装置であって，保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置が回線網を介して双方向通信可能に接続されており，前記端末装置が保守管理の対象となる装置から収集した少なくともその装置が通電状態か否かの情報を含むステ —タス情報に基づいて発生するボイン卜を記憶するステータスポィント記憶手段を備え，所定時間ごとに，前記端末装置からステ一タス情報を前記回線網を介して受信し，そのステータス情報に基づいて保守管理の対象となる装置が通電状態にあるか否かを判断し，通電状態にあると判断した場合は前記ステータスボイン卜記憶手段に所定ポイントを加えて更新し，通電状態にないと判断した場合は前記ステータスボイン卜記憶手段のボイン卜を更新しないことを特徴とするサーバ装置が提供される。これにより，例えば製造装置の通電状態が継続していれば特典としてのポイン卜がたまっていくので，顧客は自らメンテナンスを行ってポイントをためようとする。これにより，顧客自らがメンテナンスを行うことを促すことができ，サ一ビスマンの負担を軽減することができる。さらに顧客側から保守してほしい旨の要求があつたか否かの情報を記憶する保守要求記憶手段を備え，この保守要求記憶手段に記憶した情報に基づいて保守の要求があつたと判断した場合には，前記ステータスポイント記憶手段のポイン卜を更新しないようにすることが好ましく，また，前記ステータス情報はさらに保守管理の対象となる装置が異常状態か否かの情報を含み，前記端末装置からのステータス情報に基づいて保守管理の対象となる装置が異常状態であると判断した場合は，前記ステータスポイント記憶手段のポイントを更新しないようにすることが好ましい。これにより，顧客はできる限リオンコールしないで，またできる限り正常状態を保つように，自らメンテナンスを行ってポイントをためようとするため，顧客自らがメン亍ナンスを行うことを促すことができ，サービスマンの負担を軽減することができる。上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，保守管理サービスを提供するサーバ装置であって，保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置が回線網を介して双方向通信可能に接続されており，顧客側で行った保守方法の種類を含む保守情報に基づいて発生するポイントを記憶する保守ポイン卜記憶手段と，保守方法の種類に対応して設定されたボイントを記憶する保守ボイン卜設定記憶手段とを備え，前記端末装置から受信した保守情報から保守方法の種類を取得し，この保守方法の種類に対応するボイン卜を前記保守ポイン卜設定記憶手段に基づいて検索し，検索したポイントを前記保守ポイント記憶手段に記憶することを特徴とするサーバ装置が提供される。これにより，顧客はできる限りメンテナンスを行ってより多くのポイントをためようとするので，顧客自らがメンテナンスを行うことを促すことができ，サービスマンの負担を軽減することができる。また，前記保守ポイント記憶手段は，時間がかかる保守ほど高いポイントを設定することが好ましい。これにより，顧客はより高いポイントをためようとするため，難しいメンテナンスであっても顧客自らが行うことを促すことができ，サービスマンの負担を一層軽減することができる。上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，保守管理サ一ビスを提供するサーバ装置であって，保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置が回線網を介して双方向通信可能に接続されており，保守管理の対象となる装置が再起動した旨の情報を含む再起動情報を前記端末装置から受信したことをきつかけにして行うくじの結果に基づいて発生するボイン卜を記憶するくじポィント記憶手段と，くじに使用する特定範囲の数に対応させて予め設定されたボイン卜を記憶するくじボイント設定記憶手段を備え，前記端末装置から再起動情報を受信すると前記特定範囲内で乱数を発生させ，その乱数に対応したボイン卜を前記くじボイント設定記憶手段から検索し，検索したポイントをくじポイント記憶手段に記憶することを特徴とするサーバ装置が提供される。これにより，顧客はくじをあててポイントをためようとするため，顧客自らがメンテナンスを行うことを促すことができ，サービスマンの負担を軽減することができる。上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置であって，保守管理サービスを提供するサーバ装置が回線網を介して双方向通信可能に接続されており，保守管理の対象となる装置から少なくともその装置が通電状態か否かの情報を含むステータス情報を収集し，収集したステータス情報を前記サーバ装置からの要求に応じて前記回線網を介して送信することを特徴とする端末装置が提供される。これにより，ボイントを継続して発生させるか否かの判断要素である，例えば製造装置の通電状態が継続しているか否かの情報をサーバ装置に知らせることができる。上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置であって，保守管理サービスを提供するサーバ装置が回線網を介して双方向通信可能に接続されており，顧客側で行った保守方法の種類を含む保守情報を前記サーバ装置に送信することを特徴とする端末措置が提供される。メンテナンスの種類に基づくボイントを発生させるか否かの判断要素となる情報，例えば顧客自ら行ったメンテナンスの種類の情報をサーバ装置に知らせることができる。上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置であって，保守管理サービスを行うサーバ装置が回線網を介して双方向通信可能に接続されておリ，保守管理の対象となる装置が再起動したか否かを監視し，再起動したと判断した場合に再起動した旨の情報を含む再起動情報を前記サーバ装置に送信することを特徴とする端末装置が提供される。くじを行うきっかけとなる情報，例えば製造装置が再起動した旨の情報をサーバ装置に知らせることができる。上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，顧客に対して保守管理ボイントサービスを提供するプログラムであって，コンピュータをして，保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置が回線網を介して双方向通信可能に接続されており，前記端末装置が保守管理の対象となる装置から収集した少なくともその装置が通電状態か否かの情報を含むステータス情報に基づいて発生するボイントを記憶するステータスボイント記憶手段を有するサーバ装置であって，所定時間ごとに，前記端末装置からステータス情報を前記回線網を介して受信し，そのステータス情報に基づいて保守管理の対象となる装置が通電状態にあるか否かを判断し，通電状態にあると判断した場合は前記ステータスボイント記憶手段に所定ポイントを加えて更新し，通電状態にないと判断した場合は前記ステータスポイント記憶手段のポイントを更新しないサーバ装置として機能せしめるプログラムが提供される。これにより，例えば製造装置の通電状態が継続していれば特典としてのボイン卜がたまつていくようにコンピュータをサーバ装置として機能させること力できる。上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，顧客に対して保守管理ボイン卜サービスを提供するプログラムであって，コンピュータをして，保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置が回線網を介して双方向通信可能に接続されており，顧客側で行った保守方法の種類を含む保守情報に基づいて発生するポイン卜を記憶する保守ポイン卜記憶手段と，保守方法の種類に対応して設定されたポイントを記憶する保守ポイント設定記憶手段とを有するサーバ装置であって，前記端末装置から受信した保守情報から保守方法の種類を取得し，この保守方法の種類に対応するボイン卜を前記保守ポイント設定記憶手段に基づいて検索し，検索したボイントを前記保守ボイント記憶手段に記憶するサーバ装置として機能せしめるプログラムが提供される。これにより，メンテナンスの種類によってボイントを発生するようにコンピュータをサーバ装置として機能させることができる。上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，顧客に対して保守管理ボイントサービスを提供するプログラムであって，コンピュータをして，保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置が回線網を介して双方向通信可能に接続されており，保守管理の対象となる装置が再起動した旨の情報を含む再起動情報を前記端末装置から受信したことをきつかけにして行うくじの結果に基づいて発生するボイントを記憶するくじボイント記憶手段と，くじに使用する特定範囲の数に対応させて予め設定されたポイン卜を記憶するくじボイント設定記憶手段を有するサーバ装置であって，前記端末装置から再起動情報を受信すると前記特定範囲内で乱数を発生させ，その乱数に対応したポイントを前記くじポイン卜設定記憶手段から検索し，検索したポイントをくじポイン卜記憶手段に記憶するサーバ装置として機能せしめるプログラムが提供される。これにより，例えば製造装置が再起動したことをきっかけに行うくじの結果によりボイントを発生するようにコンピュータを機能させることができる。上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，顧客に対して保守管理ポィントサービスを提供するプログラムを記録した記録媒体であって，コンピュータをして，保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置が回線網を介して双方向通信可能に接続されており，前記端末装置が保守管理の対象となる装置から収集した少なくともその装置が通電状態か否かの情報を含むステータス情報に基づいて発生するボイントを記憶するステータスボイン卜記憶手段を有するサーバ装置であって，所定時間ごとに，前記端末装置からステータス情報を前記回線網を介して受信し，そのステ一タス情報に基づいて保守管理の対象となる装置が通電状態にあるか否かを判断し，通電状態にあると判断した場合は前記ステータスボイン卜記憶手段に所定ボイン卜を加えて更新し，通電状態にないと判断した場合は前記ステータスボイン卜記憶手段のボイントを更新しないサーバ装置として機能せしめるプログラムを記録したコンピュータ読取り可能な記録媒体が提供される。これにより，例えば製造装置の通電状態が継続していれば特典としてのポイン卜がたまつていくようにコンピュータをサーバ装置として機能させることができる。上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，顧客に対して保守管理ポィントサービスを提供するプログラムを記録した記録媒体であって，コンピュータをして，保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置が回線網を介して双方向通信可能に接続されており，顧客側で行った保守方法の種類を含む保守情報に基づいて発生するボイン卜を記憶する保守ボイント記憶手段と，保守方法の種類に対応して設定されたポィントを記憶する保守ボイント設定記憶手段とを有するサーバ装置であって，前記端末装置から受信した保守情報から保守方法の種類を取得し，この保守方法の種類に対応するポイントを前記保守ポイント設定記憶手段に基づいて検索し，検索したポイントを前記保守ポイン卜記憶手段に記憶するサーバ装置として機能せしめるプログラムを記録したコンビユータ読取り可能な記録媒体が提供される。これにより，メンテナンスの種類によってポイントを発生するようにコンピュータをサーバ装置として機能させることができる。上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，顧客に対して保守管理ポイントサービスを提供するプログラムを記録した記録媒体であって，コンピュータをして，保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置が回線網を介して双方向通信可能に接続されており，保守管理の対象となる装置が再起動した旨の情報を含む再起動情報を前記端末装置から受信したことをきっかけにして行うくじの結果に基づいて発生するポィントを記憶するくじポィン卜記憶手段と，くじに使用する特定範囲の数に対応させて予め設定されたボイン卜を記憶するくじボイント設定記憶手段を有するサーバ装置であって，前記端末装置から再起動情報を受信すると前記特定範囲内で乱数を発生させ，その乱数に対応したポイントを前記くじポイント設定記憶手段から検索し，検索したポイントをくじポイント記憶手段に記憶するサーバ装置として機能せしめるプログラムを記録したコンピュータ読取り可能な記録媒体が提供される。これにより，例えば製造装置が再起動したことをきっかけに行うくじの結果によリポィントを発生するようにコンピュータを機能させることができる。上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置と，保守管理サ —ビスを提供するサーバ装置とが回線網を介して双方向通信可能に接続された保守管理ボイントサービスシステムの処理方法であって，前記端末装置は，保守管理の対象となる装置から少なくともその装置が通電状態か否かの情報を含むステータス情報を収集し，収集したステータス情報を前記サーバ装置からの要求に応じて前記回線網を介して送信し，前記サーバ装置は，前記ステータス情報に基づいて発生するボイン卜を記憶するステータスボイン卜記憶手段を備え，所定時間ごとに，前記端末装置からステータス情報を受信し，そのステータス情報に基づいて保守管理の対象となる装置が通電状態にあるか否かを判断し，通電状態にあると判断した場合は前記ステータスポイント記憶手段に所定ポイントを加えて更新し，通電状態にないと判断した場合は前記ステータスポイン卜記憶手段のポイン卜を更新しないことを特徴とする保守管理ボイントサービスシステムの処理方法が提供される。これによれば，例えば製造装置の通電状態が継続していれば特典としてのボイン卜がたまっていくので，顧客は自らメンテナンスを行ってポイントをためようとする。これにより，顧客自らがメンテナンスを行うことを促すことができ，サービスマンの負担を軽減することができる。上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置と，保守管理サ一ビスを提供するサーバ装置とが回線網を介して双方向通信可能に接続された保守管理ボイン卜サービスシステムの処理方法であって，前記端末装置は，顧客側で行った保守方法の種類を含む保守情報を前記サーバ装置に送信し，前記サーバ装置は，保守情報に基づいて発生するポイントを記憶する保守ポイント記憶手段と，保守方法の種類に対応して設定されたボイン卜を記憶する保守ボイント設定記憶手段とを備え，前記端末装置から受信した保守情報から保守方法の種類を取得し，この保守方法の種類に対応するポィントを前記保守ポイント設定記憶手段に基づいて検索し，検索したポイントを前記保守ポイン卜記憶手段に記憶することを特徴とする保守管理ボイントサービスシステムの処理方法が提供される。これにより，顧客はできる限りメンテナンスを行ってより多くのポイントをためようとするので，顧客自らがメンテナンスを行うことを促すことができ，サービスマンの負担を軽減することができる。上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置と，保守管理サ一ビスを提供するサーバ装置とが回線網を介して双方向通信可能に接続された保守管理ボイントサービスシステムの処理方法であって，前記端末装置は，保守管理の対象となる装置が再起動したか否かを監視し，再起動したと判断した場合に再起動した旨の情報を含む再起動情報を前記サーバ装置に送信し，前記サーバ装置は，前記再起動情報をきっかけにして行うくじの結果に基づいて発生するボイントを記憶するくじポイン卜記憶手段と，くじに使用する特定範囲の数に対応させて予め設定されたボイントを記憶するくじポイント設定記憶手段とを備え，前記端末装置から再起動情報を受信すると前記特定範囲内で乱数を発生させ，その乱数に対応したポイン卜を前記くじポイント設定記憶手段から検索し，検索したポイントをくじポイント記憶手段に記憶することを特徴とする保守管理ポイン卜サ一ビスシステムの処理方法が提供される。これにより，顧客はくじをあててポイントをためようとするため，顧客自らがメンテナンスを行うことを促すことができ，サービスマンの負担を軽減することができる。なお，本明細書中においてポイントとは，いわゆる顧客における特典を意味し，例えば顧客はポイントが貯まるとそのポイン卜と同等の価値のメンテナンスなどサービスを受けられるものである。また，本明細書中においてメンテナンスとは装置などの保守を意味する。また，メンテナンス方法，すなわち保守方法としては点検，部品交換などを行って保守をする場合の他，故障に対する修理を行つて保守する場合も含まれる。図面の簡単な説明図 1は本発明の実施の形態にかかる保守管理ボイントサービスシステムの構成を示すブロック図である。図 2は本実施の形態にかかる端末装置の構成を示すブロック図であ。図 3は本実施の形態にかかるサーバの構成を示すブロック図である。図 4は本実施の形態にかかるくじデータテーブルの 1例を示す図である。図 5は本実施の形態にかかる各種データベースの構成を示す図でめ。図 6は本実施の形態にかかる顧客情報管理データベースの 1例を示す図である。図 7は本実施の形態にかかるステータスボイント情報管理データベースの 1例を示す図である。図 8は本実施の形態にかかるサーバの表示手段に表示されるステ一タスポイント情報画面の 1例を示す図である。図 9は本実施の形態にかかるメンテナンスボイン卜情報管理データベースの 1例を示す図である。図 1 0は本実施の形態にかかるくじポイント情報管理データべ一スの 1例を示す図である。図 1 1は本実施の形態にかかる累積ポイン卜情報管理データべ一スの 1例を示す図である。図 1 2は本実施の形態にかかるメンテナンス方法指示情報管理データベースの 1例を示す図である。図 1 3は本実施の形態にかかるステータスポィン卜の発生に関するサーバの処理の動作フローを示す図である。図 1 4は本実施の形態にかかるメンテナンスポイン卜の発生に関する端末装置の処理及びサーバの処理の動作フローを示す図である。図 1 5は本実施の形態にかかるサーバの表示手段に表示されるコンテンッメニュー画面の 1例を示す図である。図 1 6は本実施の形態にかかるサーバの表示手段に表示されるメンテナンス方法一覧画面の 1例を示す図である。図 1 7は本実施の形態にかかるサーバの表示手段に表示されるメンテナンス方法の説明画面の 1例を示す図である。図 1 8は本実施の形態にかかるくじボイン卜の発生に関する端末装置の処理及びサーバの処理の動作フローを示す図である。図 1 9は本実施の形態にかかるサーバが行う累積ポイントの算出処理の動作フローを示す図である。発明を実施するための最良の形態以下に添付図面を参照しながら，本発明にかかるプラズマ処理装置の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお，本明細書及び図面において，実質的に同一の機能構成を有する構成要素については，同一の符号を付することにより重複説明を省略する。ここでは半導体を製造する製造装置の保守管理ボイントサービスを提供するシステムについて説明する。この保守管理ボイントサービスシステムは，顧客に対して一定条件で特典としてのポイントを与え，できる限り顧客自らメンテナンスを行うことを促すことを可能とするものである。図 1は，本実施の形態に係るシステム構成図である。本実施の形態にかかる保守管理ポイントサービスシステム 1 0は，製造装置の顧客としての立場にある半導体を製造する工場 1 O O A, 1 00 B …， O O N, 製造装置の保守管理サービスを提供するベンダ 200 等が双方向通信可能に接続する回線網である例えばィンターネット 500を介して接続される。上記工場 1 0 OA, 1 00 B 1 00 Nは，各工場 1 00は，顧客側端末装置としての端末装置 1 1 0, 保守管理の対象となる装置としての製造装置 1 20を備える。端末装置 1 1 0と各製造装置 1 20とは L A Nなどのネットワークで接続されている。なお，工場 1 00 A, 1 0 0 B— 1 00 Nが有する製造装置 1 20は工場によつてその種類，台数は様々であってよい。例えばエッチング，成膜処理，アツシング，およびスパッタリングなど種々の処理を行う装置であってもよく，また 1つの装置内で複数の処理を行うことが可能な，いわゆるクラスタ装置化されたマルチチャンバ型製造装置であってもよい。なお，上記端末装置 1 1 0は，例えばフアイヤーゥオールを介して図示しないプロバイタなどによりインターネット 5 00に接続されるものであってもよく，端末装置 1 1 0を構成するコンピュータにサーバ機能を持たせて接続するようにしてもい。上記ベンダ 200は工場 1 00が有する製造装置 1 20の保守管理ポィントサービスを提供するベンダである。ベンダ 200はサ一バ装置としてのサーバ 2 1 0 , コンピュータ 202, 204, 20 6を有し，これらは社内ネットワークで結ばれている。コンビュ一タ 202 , 204, 206はベンダ 200の各部門，各事業所に設置されているコンピュータと考えてもよく，コンピュータの台数はこれに限定するものではない。サーバ 2 1 0は双方向通信可能に接続する回線網である例えばインタ一ネッ卜 500に接続されている。上記工場 1 00の端末装置 1 1 0は，図 2に示すように， C P U (中央処理装置）， ROM, R AMなどのメモリを有する制御手段 1 1 2, ベンダ 200のサーバ 2 1 0から送信されたコンテンッゃ各種情報を表示するディスプレイなどの表示手段 1 1 4, 各種データを入力するための入力手段 1 1 6, データ収集手段 1 1 7 , サーバ 2 1 0から受信した情報，プログラムなどを記憶する記憶手段 1 1 8, 上記インターネット 500を介してサーバ 2 1 0との情報（データ）の送受信を行う送受信手段 1 1 9などから構成される。制御手段 1 1 2のメモリは， C P Uによってアクセスされるためのプログラムやデータが格納されるもので例えば必要に応じて記憶手段 1 1 8に記憶したプログラムが読み出されて格納される。上記データ収集手段 1 1 7は，一定時間ごと（例えば 1時間ごと）に製造装置 1 20のステータス情報を収集する。ステータス情報には装置の稼動状況情報および装置情報等が含まれる。上記ベンダ 200のサーバ 2 1 0は，図 3に示すように， C P U (中央処理装置）， ROM, RAMなどのメモリを有する制御手段 2 1 2, ディスプレイなどの表示手段 2 1 4，各種データベース 2 1 6, 上記インタ一ネッ卜 500を介してサーバ 2 1 0との情報（デ —タ）の送受信を行う送受信手段 2 1 8 , < じデータテーブル 2 1 9などから構成される。制御手段 2 1 2のメモリは， C P Uによつて，アクセスされるためのプログラムやデータが格納されるもので，例えば必要に応じて各種データベース 2 1 6のプログラム格納データベースから読み出されて格納される。上記くじデータテーブル 2 1 9は，メンテナンスが完了して製造装置 1 20が再起動されたときに行うくじで使用するものである。例えば製造装置 1 20の再起動をきっかけにして 1析の乱数を発生させる場合は，図 4に示すように予め 0 ~ 9の数に対応したあたりはずれを記憶し，はずれの場合にはくじポイントを 0とし，あたりの場合にはくじボイン卜を適当な値として記憶しておく。このくじデータテーブル 2 1 9は後で書き換えることができるように例えば書き換え可能なメモリなどの記憶手段で構成する。上記各種データベース 2 1 6は，図 5に示すように顧客情報管理データベース 2 1 6 a , ステータスポィン卜情報管理データベース (ステータスポイント記憶手段） 2 1 6 b, メンテナンスポイント情報管理データベース（保守ポイント記憶手段，保守ポイント設定記憶手段） 2 1 6 c , くじポイント情報管理データベース（くじポイント記憶手段，くじポイント設定記憶手段） 2 1 6 d，累積ポィント情報管理データベース 2 1 6 e , メンテナンス方法指示情報管理データベース 2 1 6 f , コンテンッ情報管理データベース 2 1 6 gなどを備える。顧客情報管理データベース 2 1 6 aには，例えば図 6に示すように会社名（工場名を含めてもよい）などの顧客名，その顧客の I D，パスヮ一ド，住所，その顧客が所有する装置情報が記憶されている。所有する装置は，メンテナンスの対象となる製造装置 1 2 0などであり，例えば所有する装置がシリアル番号で記憶されている。ステータスポイント情報管理データベース 2 1 6 bは，上記製造装置 1 2 0の稼働状況情報などのステータス情報に基づいて発生させるボイント情報を管理するものである。このステータスボイン卜情報管理データベース 2 1 6 bには，例えば図 7に示すように顧客名， I D , 顧客が所有する装置，その装置のステータス情報，ボイント，オンコール情報（保守してほしい旨の情報），備考などが記憶されている。所有する装置は，メンテナンスの対象となる製造装置 1 2 0などであり，例えば所有する装置がシリアル番号で記憶されている。またステータス情報には，稼働状況情報として例えば「異常なし ( O K ) j は異常なく稼働している状態を示し，「異常あり ( N G ) J は異常があって停止している状態を示す。「アイドル状態」は，異常はないが停止している状態を示す。これら「異常なし（O K )丄 Γ異常あり（N G )丄「アイドル状態」の場合には製造装置 1 2 0へのステ一タス情報の問い合わせに対する応答（ァクノリッジ）があり，通電状態にある。これに対して製造装置 1 2 0が通電状態にないためステータス情報の問い合わせに対する応答がない場合には「応答なし」としてもよい。このステータス情報は一定時間（例えば 1時間ごと）ごとにサーバ 2 1 0がィンターネット 5 0 0を介して端末装置 1 1 0に接続して問い合わせる。すなわちステータス情報要求 (保守管理情報送信要求に相当）をサーバ 2 1 0に送信する。端末装置 1 1 0はステータス情報要求を受信するとこれに応じて各製造装置 1 2 0のステータス情報をサーバ 2 1 0に送信する。またオンコール情報は，メンテナンスなどのサービスを提供するベンダ側のサービスステーションに顧客から電話， F A X ,メール，ホームページなどを介してメンテナンスの要求があつたか否かの情報である。例えばメンテナンス要求がない場合にはオンコール「なし」の情報が記憶され，メンテナンス要求があった場合にはオンコ —ル「あり」が記憶される。またステータスポィン卜には，顧客の所有する製造装置 1 2 0が正常に動作しているなど製造装置 1 2 0の通電が継続している場合に所定時間ごと（例えば 1時間ごと）に所定ポイントずつ（例えば 1ポイントずつ）加算されるポイン卜の現在値を記憶する。なお，上記ステータスポイント情報管理データベース 2 1 6 bに記憶されたステータスポイント情報は，図 8に示すように表示手段 2 1 4に表示することができる。この場合，ステータス情報にはステ一タスの内容に応じて青丸，黄丸，赤丸を表示してもよい。例えば異常なし（O K )の場合には青丸，アイドル状態の場合には黄丸，異常あり ( N G ) の場合には赤丸を表示してもよい。また，備考にはエラ一メッセージを表示できるようにしてもよい。これにより，例えば顧客がメンテナンスを行って後述するメンテナンス完了情報を送信した場合にその信憑性を確認することができ，不正を防止できる。メンテナンスポイント情報管理データべ一ス 2 1 6 cは，顧客自らが行ったメンテナンス情報（保守情報）に基づいて発生させるポイン卜情報を管理するものである。メンテナンスポイント情報管理データベース ₂ 1 ₆ cには例えば図 9に示すように，顧客名， I D，メンテナンスした装置，メンテナンス方法の種類，メンテナンスポイントなどが記憶されている。メンテナンスした装置は顧客自らがメンテナンスした装置をシリアル番号で記憶したものであり，メンテナンス方法の種類（保守情報の種類）は顧客自らが行ったメンテナンス方法の種類である。メンテナンスポィントは顧客自らが行つたメンテナンス方法の種類に応じて予め設定されたボイン卜が記憶される。メンテナンス方法の種類とそのメンテナンスポィントはメンテナンス方法指示情報管理データベース 2 1 6 f に予め記憶されている。くじボイント情報管理データベース 2 1 6 dは，顧客自らがメンテナンスを行うことによリ上記製造装置 1 2 0が再起動したときに行うくじによって発生するポイン卜情報を管理するものである。くじボイント情報管理データベース 2 1 6 dには，例えば図 1 0に示すように顧客名， I D , 再起動した装置，くじポイント，再起動日などが記憶されている。再起動した装置は，顧客自らがメンテナンスして再起動した製造装置をシリアル番号で記憶したものである。くじポイントは，再起動したときに行うくじの結果に応じて発生するポイントである。くじポイントは，例えばくじの結果がはずれの場合はくじポイントは 0とし，当たった場合はそのボイント数とする。累積ポイント情報管理データベース 2 1 6 eは，顧客ごとに上記各ポイン卜を加算した累積ポイン卜情報を管理するものである。この累積ボイント情報は一定期間ごと例えば月ごとにデータを残しておくようにしてもよい。累積ポイント情報管理データベース 2 1 6 eには，例えば図 1 1 に示すように顧客名， I D , 月，累積ポイントなどが記憶されている。この累積ポイン卜としては上述したステ —タスポイント，メンテナンスポイント，くじポイント，合計が記憶されている。合計は当月のステータスポイント，メンテナンスポイント，くじポイントを加算したものである。メンテナンス方法指示情報管理データベース 2 1 6 f は，顧客自らがメンテナンスを行うための手順などのメンテナンス方法指示情報を管理するものである。このメンテナンス方法指示情報は，顧客に対するメンテナンス指示書情報となる。メンテナンス方法指示情報管理データベース 2 1 6 f には，例えば図 1 2に示すように，メンテナンス方法の種類，メンテナンス所要時間，メンテナンスボイント，メンテナンス方法の説明などが記憶されている。ここでいぅメンテナンス方法の種類は階層項目になっており，大項目，中項目，小項目に分けられる。大項目にはチャンバ，搬送系など最も広い概念が記憶されている。中項目にはチャンバであれば上部電極，下部電極などが記憶され，搬送系であればトランスファ —アーム，大気側アーム，インデクサ一などが記憶されている。小項目には具体的なメンテナンス方法の種類が記憶されている。例えばチャンバの上部電極であれば交換方法，洗浄方法，黙視方法などが記憶されておリ，搬送系のトランスファーアームであれば調整方法，洗浄方法などが記憶されている。またメンテナンス所要時間は，その具体的なメンテナンスを行うための所要時間である。例えばチャンバの上部電極であれば，その交換方法は 2時間，洗浄方法は 1時間，目視検査は 3 0分，また搬送系のトランスファーアームであれば，その調整方法は 2 . 5時間，洗浄方法は 1時間などとする。またメンテナンスポィントは，そのメンテナンスを顧客自らが行つた場合に与えられるポイン卜で，メンテナンスの難度に応じて設定される。例えば通常はメンテナンスの難度が高いほどメンテナンスに時間がかかることを考慮して，上記所要時間に応じて設定される。この場合，時間がかかるメンテナンスほど高いメンテナンスポイン卜を設定してもよい。例えばメンテナンスにかかる時間で 1時間当たりのポイン卜で設定する。例えば 1時間当たり 1 0 0ポイン卜とすれば，チャンバの上部電極であれば，その交換方法は所要時間 2時間より 2 0 0ポイント，洗浄方法は所要時間 1時間より 1 0 0ポイント，目視検査は所要時間 3 0分より 5 0ポイント，また搬送系のトランスファ一アームであれば，その調整方法は所要時間 2 . 5時間よリ 2 5 0ポイン卜，洗浄方法は所要時間 1時間よリ 1 0 0 ポイントなどとする。なお，顧客が獲得したポイントを利用する場合には，ここで設定されているメンテナンスポイン卜に相当するメンテナンスのサ一ビスを受けることができる。コンテンッ情報管理データベース 2 1 6 gは，サーバ 2 1 0が提供する H T M Lファイル， G I Fファイルなどのグラフィカル ' ァイコン ' ファイル，音声，画像オブジェクトなどのハイパーテキストォブジェクトなどのコンテンツが格納され，例えばインターネット 5 0 0を介して，これらのォブジヱク卜が各端末装置 1 1 0に提供され，端末装置 1 1 0の表示手段 2 1 4で表示等される。次に，本実施形態にかかる最適サービスの選択支援システムの動作フローについて図 1 3〜図 1 9を参照しながら説明する。なお，本システムの動作は，典型的にはハードディスク装置などの記録媒体に記録されたプログラムによって実施することができる。図 1 3はステータスポイントを与える場合の動作フローを示す。ステータスポイン卜は，顧客の所有する製造装置 1 2 0が継続して通電されているときに所定時間ごと（例えば 1時間ごと）に所定ポイント（例えば 1ポイント）ずつ与えるものである。但し，オンコールがあった場合又はステータス情報が異常あり（N G ) 又は応答なしの場合にはこれらが回復するまではポィン卜は加算されない。なお，この動作フローは各顧客の有する装置ごとに行う。具体的には図 1 3に示すように，ステップ S 1 0 0にてサーバ 2 1 0はステータスポィント情報管理データベース 2 1 6 bのオンコール情報に基づいてオンコール情報があつたか否かを判断し，オンコールなしと判断した場合は，ステップ S 1 1 0にて 1時間経過したかを判断する。この時間は例えばサーバ 2 1 0を構成するコンビユータの時計機能などを利用してもよい。ステップ S 1 1 0にて 1時間経過したと判断した場合は，ステツプ S 1 2 0にてステータスポイン卜情報管理データベース 2 1 6 b のステータス情報に基づいてステータス情報が応答なし又は異常あリ ( N G ) か否かを判断し，ステータス情報が応答なし又は異常あリ（N G ) と判断した場合は，ステップ S 1 3 0にてステータスポィントを更新する。具体的にはステータスボイン卜情報管理データベース 2 1 6 bのステータスポィン卜情報に記憶されているステータスポイントに所定ポイント（例えば 1ポイント）を加えて新たなステータスポイントとする。上記ステップ S 1 0 0にてオンコールがあつたと判断した場合，ステップ S 1 2 0にてステータス情報が異常あり ( N G ) であると判断した場合は，ともにステップ S 1 0 0の処理に戻る。従って，これらの場合にはステータスポイント情報管理データべ一ス 2 1 6 bのステータスポィン卜は更新されない。このように，例えば顧客の製造装置が故障した場合など，ステータス情報が異常あり ( N G ) のとき又は故障の有無を問わずに保守してほしい旨の要求（オンコール）ありのときを除き（例外），保守管理の対象となる製造装置 1 2 0が通電状態にあるとき，すなわち原則として端末装置からの問い合わせ（要求）に対して製造装置などから何らかの応答（ァクノリッジ）があるときには一定時間ごとにポイントが加算され，ポイントがたまっていく。これにより，顧客はできる限リオンコールしないで自らメンテナンスを行ってポィントをためようとするため，顧客自らがメンテナンスを行うことを促すことができ，サービスマンの負担を軽減することができる。なお，例外を設けずに，製造装置 1 2 0が通電状態にあるとき，例えばステータス情報が異常なし（O K ) , 異常あり（N G ) , アイドル状態など端末装置 1 1 0からの問い合わせ（要求）に対して製造装置 1 2 0から何らかの応答（ァクノリッジ）があれば一定時間ごとにステータスポイントを加算し，応答がなければステータスポイントを加算しないようにしてもよい。これによつても，例えば製造装置の通電状態が継続していれば特典としてのボイン卜がたまつていくので，顧客は自らメンテナンスを行ってポイントをためようとする。これにより，顧客自らがメンテナンスを行うことを促すことができ，サービスマンの負担を軽減することができる。図 1 4はメンテナンスポイントを与える場合の動作フローを示す。メンテナンスポィントは顧客が自らメンテナンスを実行した場合にそのメンテナンス方法の種類に応じて設定されたボイントを与えるものである。具体的には図 1 4に示すようにステップ S 2 0 0にて端末装置 1 1 0は例えばィンタ一ネッ卜 5 0 0を介してサーバ 2 1 0に接続する。例えばプロバイダコンテンツページその他ネッ卜上のサイトから本実施形態にかかるベンダ 2 0 0のサーバ 2 1 0が提供するサイ卜にアクセスして接続してもよい。このとき例えば端末装置 1 1 0 の表示手段 2 1 4にメンテナンス方法の説明を含む図 1 5に示すようなメニュー画面が表示される。メニュー画面には，例えば半導体製造装置の説明，提供するサービスの説明，メンテナンス方法の説明などがある。上記メニュー画面でメンテナンス方法の説明が選択されると図 1 6に示すようなメンテナンス方法一覧画面が表示される。この画面にはメンテナンス方法の種類の大項目，中項目，小項目がツリー状に表示される。ここで大項目が例えばボイントデバイスなどによりクリックされるとその大項目に下の項目である中項目があればその内容が表示され，中項目をクリックするとその中項目に下の項目である小項目があればその内容が表示される。そして，小項目又は下の項目がない大項目や中項目の 1つをクリックすると図 1 7に示すようなメンテナンス方法説明画面が表示される。この画面にはメンテナンスの所要時間，メンテナンスポイントも表示される。これにより，顧客はメンテナンス方法の説明を取得することができ，顧客自らメンテナンスを実行することができるようになる。このとき，そのメンテナンスについてのメンテナンスポイントも表示されるので，顧客はそのメンテナンスを実行した場合に取得できるポイントも把握できる。また図 1 7に示すようにメンテナンス方法説明画面にはそのメンテナンスを実行した装置のシリアル番号の入力欄，メンテナンス完了ポタンも表示される。このメンテナンス完了ポタンは，顧客自らが行ったメンテナンスが完了したときにサーバ 2 1 0にメンテナンス完了情報を送信するためのものである。すなわち，メンテナンスした装置がシリアル番号で入力され，メンテナンス完了ボタンが押されると（例えばポイントデバイスなどによリクリックされると），ステップ S 2 1 0にて端末装置 1 1 0はメンテナンスした装置，メンテナンス方法の種類を含むメンテナンス完了情報をサーバ 2 1 0 に送信する。次いで，ステップ S 3 0 0にてサーバ 2 1 0は端末装置 1 1 0からのメンテナンス完了情報を受信すると，ステップ S 3 1 0にてメンテナンス方法指示情報管理データベース 2 1 6 f からそのメンテナンス方法の種類に対応するポイントを検索する。次いでステップ S 3 2 0にてメンテナンスポイン卜情報管理データベース 2 1 6 c にメンテナンスした装置，メンテナンス方法の種類，メンテナンスポイント，メンテナンス曰を記憶する。このように，顧客自らが行ったメンテナンスの種類に応じたボイン卜が発生する。これにより，顧客はできる限りメンテナンスを行つてポイントをためようとするため，顧客自らがメンテナンスを行うことを促すことができ，サービスマンの負担を軽減することができる。特に時間がかかる保守ほど高いボイントを設定すれば，顧客はよリ時間がかかる難しいメンテナンスを行って，よリ高いボイントをためようとするため，難しいメンテナンスであっても顧客自らが行うことを促すことができ，サービスマンの負担を一層軽減することができる。図 1 8はくじポイントを与える場合の動作フローを示す。くじポイントはメンテナンスなどで製造装置 1 2 0を再起動させた場合にくじを行い，くじが当たったときに予め設定してあるくじポイントを与えるものである。具体的には図 1 8に示すようにステップ S 4 0 0にて端末装置 1 1 0は製造装置 1 2 0が再起動したか否かを判断する。すなわち，顧客自らメンテナンスを行って製造装置 1 2 0が再起動した場合にくじを行うために，製造装置 1 2 0が再起動したか否かをチェックする。再起動したと判断した場合はステップ S 4 1 0にて再起動した旨，製造装置のシリアル番号などを含む再起動情報をィンターネッ卜 5 0 0を介してサーバ 2 1 0に送信する。そして，ステップ S 5 0 0にてサーバ 2 1 0は端末装置 1 1 0からの再起動情報を受信すると，ステップ S 5 1 0にてサーバ 2 1 0は乱数を発生させる。例えば 1桁の乱数を発生させる。次いでステップ S 5 2 0にてサ一バ 2 1 0は発生した乱数に対応するくじポイントを上記くじデータテーブル 2 1 9から検索する。続いてステップ S 5 3 0にて検索したくじポイント，再起動した製造装置のシリアル番号，再起動日など必要な情報をくじポイン卜情報管理データベース 2 1 6 dに記憶する。このように，くじがはずれのときはポイントを 0に設定し，くじにあたつたときには所定のポイントを予め設定しておき，製造装置 1 2 0を顧客がメンテナンスすることによりその製造装置 1 2 0が再起動したときにくじを行って，あたったときにはポイン卜が発生する。これにより，顧客はくじをあててポイントをためようとするため，顧客自らがメンテナンスを行うことを促すことができ，サービスマンの負担を軽減することができる。図 1 9は累積ポイントを算出するための動作フローを示す。この処理は各顧客ごとに実行する。また，この処理は必要に応じて実行してもよく，また定期的に例えば月ごとに実行してもよい。具体的には図 1 9に示すようにステツプ S 6 0 0にてサーバ 2 1 0はステータスポイントを合計して記憶する。すなわち図 7に示すステータスポイント情報管理データベース 2 1 6 bの各製造装置のステータスポイントを合計し，その合計値を図 1 1に示す累積ポィン卜情報管理データベース 2 1 6 eのステータスポイン卜欄に記憶する。次いでステツプ S 6 1 0にてサーバ 2 1 0はメンテナンスポィントを合計して記憶する。すなわち図 9に示すメンテナンスポィント情報管理データベース 2 1 6 cのメンテナンスポイントを合計し，その合計値を図 1 1に示す累積ポイント情報管理データベース 2 1 6 eのメンテナンスポイン卜欄に記憶する。続いてステップ S 6 2 0にてサーバ 2 1 0はくじポイントを合計して記憶する。すなわち図 1 0に示すくじポイント情報管理データベース 2 1 6 dのくじポイントを合計し，その合計値を図 1 1に示す累積ポイント情報管理データベース 2 1 6 eのくじポイン卜欄に記憶する。次にステップ S 6 3 0にてサーバ 2 1 0は累積ポィン卜の合計を算出する。すなわち累積ポイン卜情報管理データベース 2 1 6 eのステータスポイント，メンテナンスポイント，くじポイントの各欄のボイントを合計したものを累積ボイン卜の合計欄に記憶する。従つて，累積ボイン卜の合計欄に記憶されたボイン卜がこの処理を実行した時点におけるその顧客の全ボイン卜である。このようにメンテナンスの対象となる製造装置が原則として継続して稼働できる状態にある場合，顧客が自らメンテナンスを実行した場合，製造装置の再起動によるくじであたった場合などに，顧客に対する特典となるボイントを顧客に与えることによリ，顧客自らが進んで製造装置のメンテナンスを行うことを促すことができる。これにより，メンテナンスを行うサービスマンの負担を軽減することができる。従って，より少ない人数のサービスマンでより多くの製造装置を担当することができるようになり，メンテナンスサービスの効率化を図ることができる。以上，添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施形態について説明したが，本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば，特許請求の範囲に記載された範疇内において，各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり，それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。例えば，本実施の形態においては，各種データベース 2 1 6内の顧客情報管理データベース 2 1 6 a , ステータスポイント情報管理データべ—ス 2 1 6 b，メンテナンスポィント情報管理データべ一ス 2 1 6 c , くじポイント情報管理データベース 2 1 6 d，累積ポイント情報管理データベース 2 1 6 e，メンテナンス方法指示情報管理データベース 2 1 6 f は，すべてサーバ装置に相当するサーバ 2 1 0内に設けるようにした場合について説明したが，これらをサーバ装置に相当するサーバとは独立して設け，サーバ装置と社内ネットワークで接続してもよいし，インターネッ卜などの公衆回線で接続してもよい。また，例えば図 1 5に示すようなコンテンツメニューに「ポイント順位表を表示する」を加え，これを選択すると，サーバ 2 1 0はホームページ上の累積ポイント情報管理データベース 2 1 6 eに記憶された各顧客ごとの累積ポイントを，累積ボイン卜が多い順に並ベ替え（ソート）を行い，顧客と累積ボイン卜との順位表を作成し，これを端末装置 1 1 0の表示手段 1 1 4で表示できるようにしてもよい。以上詳述したように本発明によれば，例えば保守管理の対象となる装置のステータス情報，顧客が行った保守方法の種類の情報，顧客が行つた保守により装置が再起動したことをきつかけにして行うくじなどに基づいて顧客に対する特典であるボイントを発生させ記憶しておくことにより，できる限り顧客自ら保守（メンテナンス）を行うことを促すことができ，保守サービスを提供するサービスマンの負担を軽減することができる。これにより，より少ない人数のサービスマンでより多くの製造装置を担当することができるようになり，メンテナンスサ一ビスの効率化を図ることができる。産業上の利用の可能性本発明は，半導体製造装置などの保守管理ポイントサービスを提供するシステム，サーバ，端末装置，プログラム，記録媒体および保守管理ポィントサービスの処理方法に適用可能である。

Claims

請求の範囲

( 1 ) 保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置と，保守管理サービスを提供するサーバ装置とが回線網を介して双方向通信可能に接続されておリ，

前記端末装置は，保守管理の対象となる装置から少なくともその装置が通電状態か否かの情報を含むステータス情報を収集し，収集したステータス情報を前記サーバ装置からの要求に応じて前記回線網を介して送信し，

前記サーバ装置は，前記ステータス情報に基づいて発生するボイントを記憶するステータスポイント記憶手段を備え，所定時間ごとに，前記端末装置からステータス情報を受信し，そのステータス情報に基づいて保守管理の対象となる装置が通電状態にあるか否かを判断し，通電状態にあると判断した場合は前記ステータスポイント記憶手段に所定ポイントを加えて更新し，通電状態にないと判断した場合は前記ステータスボイント記憶手段のボイン卜を更新しない，ことを特徴とする保守管理ボイントサービスシステム。

( 2 ) 前記サーバ装置は，さらに顧客側から保守してほしい旨の要求があつたか否かの情報を記憶する保守要求記憶手段を備え，この保守要求記憶手段に記憶した情報に基づいて保守の要求があったと判断した場合には，前記ステータスポイント記憶手段のポイン卜を更新しない，

ことを特徴とする請求項 1に記載の保守管理ボイントサービスシステム。

( 3 ) 前記ステータス情報は，さらに保守管理の対象となる装置が異常状態か否かの情報を含み，

前記サーバ装置は，前記端末装置からのステータス情報に基づいて保守管理の対象となる装置が異常状態であると判断した場合は，前記ステータスポイント記憶手段のポイントを更新しない，

ことを特徴とする請求項 1に記載の保守管理ポイントサービスシステム。

( 4 ) 保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置と，保守管理サービスを提供するサーバ装置とが回線網を介して双方向通信可能に接続されており，

前記端末装置は，顧客側で行った保守方法の種類を含む保守情報を前記サーバ装置に送信し，

前記サーバ装置は，保守情報に基づいて発生するポィントを記憶する保守ポイント記憶手段と，保守方法の種類に対応して設定されたポイントを記憶する保守ポイント設定記憶手段とを備え，前記端末装置から受信した保守情報から保守方法の種類を取得し，この保守方法の種類に対応するポイントを前記保守ポイント設定記憶手段に基づいて検索し，検索したポイントを前記保守ポイント記憶手段に記憶する，

ことを特徴とする保守管理ボイントサービスシステム。

( 5 ) 前記保守ポイント記憶手段は，時間がかかる保守ほど高いボイントを設定することを特徴とする請求項 4に記載の保守管理ポイントサービスシステム。

( 6 ) 保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置と，保守管理サービスを提供するサーバ装置とが回線網を介して双方向通信可能に接続されており，

前記端末装置は，保守管理の対象となる装置が再起動したか否かを監視し，再起動したと判断した場合に再起動した旨の情報を含む再起動情報を前記サーバ装置に送信し，

前記サーバ装置は，前記再起動情報をきつかけにして行うくじの結果に基づいて発生するボイントを記憶するくじボイント記憶手段と，くじに使用する特定範囲の数に対応させて予め設定されたポィントを記憶するくじポイント設定記憶手段とを備え，前記端末装置から再起動情報を受信すると前記特定範囲内で乱数を発生させ，その乱数に対応したポイントを前記くじポイント設定記憶手段から検索し，検索したポイントをくじポイン卜記憶手段に記憶する，

ことを特徴とする保守管理ボイントサービスシステム。

( 7 ) 保守管理サービスを提供するサーバ装置であって，保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置が回線網を介して双方向通信可能に接続されておリ，

前記端末装置が保守管理の対象となる装置から収集した少なくともその装置が通電状態か否かの情報を含むステータス情報に基づいて発生するボイン卜を記憶するステータスポイント記憶手段を備え，所定時間ごとに，前記端末装置からステータス情報を前記回線網を介して受信し，そのステータス情報に基づいて保守管理の対象となる装置が通電状態にあるか否かを判断し，通電状態にあると判断した場合は前記ステータスポイン卜記憶手段に所定ポイントを加えて更新し，通電状態にないと判断した場合は前記ステータスポィン卜記憶手段のボイントを更新しない，

ことを特徴とするサーバ装置。

( 8 ) さらに顧客側から保守してほしい旨の要求があつたか否かの情報を記憶する保守要求記憶手段を備え，この保守要求記憶手段に記憶した情報に基づいて保守の要求があつたと判断した場合には，前記ステータスポイント記憶手段のポイントを更新しない，

ことを特徴とする請求項 7に記載のサーバ装置。 ( 9 ) 前記ステータス情報は，さらに保守管理の対象となる装置が異常状態か否かの情報を含み，

前記端末装置からのステータス情報に基づいて保守管理の対象となる装置が異常状態であると判断した場合は，前記ステータスボイント記憶手段のボイン卜を更新しない，

ことを特徴とする請求項 7に記載のサーバ装置。

( 1 0 ) 保守管理サービスを提供するサーバ装置であって，保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置が回線網を介して双方向通信可能に接続されており，

顧客側で行った保守方法の種類を含む保守情報に基づいて発生するポイン卜を記憶する保守ポイント記憶手段と，保守方法の種類に対応して設定されたポイントを記憶する保守ポイント設定記憶手段とを備え，

前記端末装置から受信した保守情報から保守方法の種類を取得し，この保守方法の種類に対応するポィン卜を前記保守ボイン卜設定記憶手段に基づいて検索し，検索したボイン卜を前記保守ポィント記憶手段に記憶する，

ことを特徴とするサーバ装置。

( 1 1 ) 前記保守ポイント記憶手段は，時間がかかる保守ほど高ぃポイントを設定することを特徴とする請求項 1 0に記載のサーバ

( 1 2 ) 保守管理サービスを提供するサーバ装置であって，保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置が回線網を介して双方向通信可能に接続されており，

保守管理の対象となる装置が再起動した旨の情報を含む再起動情報を前記端末装置から受信したことをきつかけにして行うくじの結果に基づいて発生するボイン卜を記憶するくじボイン卜記憶手段と, くじに使用する特定範囲の数に対応させて予め設定されたボイントを記憶するくじポイン卜設定記憶手段を備え，

前記端末装置から再起動情報を受信すると前記特定範囲内で乱数を発生させ，その乱数に対応したポイン卜を前記くじポイント設定記憶手段から検索し，検索したポイントをくじポイント記憶手段に記憶する，

ことを特徴とするサーバ装置。

( 1 3 ) 保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置であって，

保守管理サービスを提供するサーバ装置が回線網を介して双方向通信可能に接続されており ,

保守管理の対象となる装置から少なくともその装置が通電状態か否かの情報を含むステータス情報を収集し，収集したステータス情報を前記サーバ装置からの要求に応じて前記回線網を介して送信する，

ことを特徴とする端末装置。

( 1 4 ) 保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置であって，

保守管理サービスを提供するサーバ装置が回線網を介して双方向通信可能に接続されており，

顧客側で行った保守方法の種類を含む保守情報を前記サーバ装置に送信する，

ことを特徴とする端末装置。

( 1 5 ) 保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置であって，

保守管理の対象となる装置が再起動したか否かを監視し，再起動したと判断した場合に再起動した旨の情報を含む再起動情報を前記サーバ装置に送信する，

ことを特徴とする端末装置。

( 1 6 ) 顧客に対して保守管理ポイン卜サービスを提供するプログラムであって，

コンピュータをして，

保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置が回線網を介して双方向通信可能に接続されており，前記端末装置が保守管理の対象となる装置から収集した少なくともその装置が通電状態か否かの情報を含むステータス情報に基づいて発生するボイントを記憶するステータスボイント記憶手段を有するサーバ装置であって，所定時間ごとに，前記端末装置からステータス情報を前記回線網を介して受信し，そのステータス情報に基づいて保守管理の対象となる装置が通電状態にあるか否かを判断し，通電状態にあると判断した場合は前記ステータスポイント記憶手段に所定ポイントを加えて更新し，通電状態にないと判断した場合は前記ステータスボイント記憶手段のポイン卜を更新しないサーバ装置，

として機能せしめるプログラム。

( 1 7 ) 顧客に対して保守管理ポイントサービスを提供するプログラムであって，

コンピュータをして，

保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置が回線網を介して双方向通信可能に接続されており，顧客側で行つた保守方法の種類を含む保守情報に基づいて発生するポイン卜を記憶する保守ポイント記憶手段と，保守方法の種類に対応して設定されたポイン卜を記憶する保守ポイント設定記憶手段とを有するサーバ装置であって，

前記端末装置から受信した保守情報から保守方法の種類を取得し，この保守方法の種類に対応するポイン卜を前記保守ポイント設定記憶手段に基づいて検索し，検索したポイン卜を前記保守ポイン卜記憶手段に記憶するサーバ装置，

として機能せしめるプログラム。 ( 1 8 ) 顧客に対して保守管理ポイントサービスを提供するプログラ厶であって，

コンピュータをして，

保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置が回線網を介して双方向通信可能に接続されており，保守管理の対象となる装置が再起動した旨の情報を含む再起動情報を前記端末装置から受信したことをきつかけにして行うくじの結果に基づいて発生するボイントを記憶するくじボイント記憶手段と，くじに使用する特定範囲の数に対応させて予め設定されたボイントを記憶するくじボイント設定記憶手段を有するサーバ装置であって，

前記端末装置から再起動情報を受信すると前記特定範囲内で乱数を発生させ，その乱数に対応したポイントを前記くじポイン卜設定記憶手段から検索し，検索したポイントをくじポイント記憶手段に記憶するサーバ装置，

として機能せしめるプログラム。

( 1 9 ) 顧客に対して保守管理ポイントサービスを提供するプログラムを記録した記録媒体であって，

コンピュータをして，

保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置が回線網を介して双方向通信可能に接続されており，前記端末装置が保守管理の対象となる装置から収集した少なくともその装置が通電状態か否かの情報を含むステータス情報に基づいて発生するボイントを記憶するステータスポイント記憶手段を有するサーバ装置であって，所定時間ごとに，前記端末装置からステータス情報を前記回線網を介して受信し，そのステータス情報に基づいて保守管理の対象となる装置が通電状態にあるか否かを判断し，通電状態にあると判断した場合は前記ステータスポイント記憶手段に所定ポイン卜を加えて更新し，通電状態にないと判断した場合は前記ステータスボイント記憶手段のポイントを更新しないサーバ装置，

として機能せしめるプログラムを記録したコンピュータ読取り可能な記録媒体。

( 2 0 ) 顧客に対して保守管理ポイントサービスを提供するプログラムを記録した記録媒体であって，

コンピュータをして，

保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置が回線網を介して双方向通信可能に接続されており，顧客側で行った保守方法の種類を含む保守情報に基づいて発生するボイントを記憶する保守ポイント記憶手段と，保守方法の種類に対応して設定されたポイン卜を記憶する保守ポイント設定記憶手段とを有するサーバ装置であって，

前記端末装置から受信した保守情報から保守方法の種類を取得し，この保守方法の種類に対応するボイントを前記保守ボイン卜設定記憶手段に基づいて検索し，検索したポイントを前記保守ポイント記憶手段に記憶するサーバ装置，

として機能せしめるプログラムを記録したコンピュータ読取り可能な記録媒体。 ( 2 1 ) 顧客に対して保守管理ポイントサービスを提供するプログラムを記録した記録媒体であって，コンピュータをして，

前記端末装置から再起動情報を受信すると前記特定範囲内で乱数を発生させ，その乱数に対応したポイントを前記くじポイント設定記憶手段から検索し，検索したポイントをくじポイント記憶手段に記憶するサーバ装置，

( 2 2 ) 保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置と，保守管理サービスを提供するサーバ装置とが回線網を介して双方向通信可能に接続された保守管理ボイントサービスシステムの処理方法であって，

前記サーバ装置は，前記ステータス情報に基づいて発生するボイントを記憶するステータスポイント記憶手段を備え，所定時間ごとに，前記端末装置からステータス情報を受信し，そのステータス情報に基づいて保守管理の対象となる装置が通電状態にあるか否かを判断し，通電状態にあると判断した場合は前記ステータスポイント記憶手段に所定ボイントを加えて更新し，通電状態にないと判断した場合は前記ステータスポイン卜記憶手段のポイン卜を更新しない，ことを特徴とする保守管理ボイントサービスシステムの処理方法。

( 2 3 ) 保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置と，保守管理サービスを提供するサーバ装置とが回線網を介して双方向通信可能に接続された保守管理ポイントサービスシステムの処理方法であって，

前記サーバ装置は，保守情報に基づいて発生するボイン卜を記憶する保守ポイント記憶手段と，保守方法の種類に対応して設定されたポイントを記憶する保守ポイント設定記憶手段とを備え，前記端末装置から受信した保守情報から保守方法の種類を取得し，この保守方法の種類に対応するポイントを前記保守ポイント設定記憶手段に基づいて検索し，検索したポイン卜を前記保守ポイン卜記憶手段に記憶する，

ことを特徴とする保守管理ポィン卜サービスシステムの処理方法。

( 2 4 ) 保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置と，保守管理サービスを提供するサーバ装置とが回線網を介して双方向通信可能に接続された保守管理ボイントサービスシステムの処理方法であって，

前記サーバ装置は，前記再起動情報をきつかけにして行うくじの結果に基づいて発生するボイントを記憶するくじボイン卜記憶手段と，くじに使用する特定範囲の数に対応させて予め設定されたボイン卜を記憶するくじポイント設定記憶手段とを備え，前記端末装置から再起動情報を受信すると前記特定範囲内で乱数を発生させ，その乱数に対応したポイントを前記くじポイント設定記憶手段から検索し，検索したポイントをくじポイント記憶手段に記憶する，

ことを特徴とする保守管理ボイントサービスシステムの処理方法。