WO2003104659A1 - Kontraktionseinheit mit positionssensoreinrichtung - Google Patents

Kontraktionseinheit mit positionssensoreinrichtung Download PDF

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WO2003104659A1
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Thomas Reininger
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B15/00—Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
    • F15B15/20—Other details, e.g. assembly with regulating devices
    • F15B15/28—Means for indicating the position, e.g. end of stroke
    • F15B15/2815—Position sensing, i.e. means for continuous measurement of position, e.g. LVDT
    • F15B15/2869—Position sensing, i.e. means for continuous measurement of position, e.g. LVDT using electromagnetic radiation, e.g. radar or microwaves
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B15/00—Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
    • F15B15/08—Characterised by the construction of the motor unit
    • F15B15/10—Characterised by the construction of the motor unit the motor being of diaphragm type
    • F15B15/103—Characterised by the construction of the motor unit the motor being of diaphragm type using inflatable bodies that contract when fluid pressure is applied, e.g. pneumatic artificial muscles or McKibben-type actuators

Definitions

  • the invention relates to a contraction unit with a contraction tube extending between two spaced head pieces and experiencing longitudinal contraction when subjected to internal pressure.
  • Contraction units of this type are known, for example, from the "Fluidic Muscle” prospectus published by the applicant, EP 0161750 B1, DE 29906626 U, DE 29908008 U or DE 20112633 U and are relatively precise for positioning with a simple and low-wear construction low cost. Very high actuating forces can be achieved.
  • position sensors or position sensors of any kind are required for exact positioning.
  • actuating cylinders a large number of such position sensors and sensor devices are known, which are based on a wide variety of measuring principles.
  • contraction units of the type mentioned above these are predominantly not or very poorly suited.
  • the advantages of the solution according to the invention are, in particular, that such a microwave generator, which is already commercially available in a very small size, can be very easily attached to the inside of one of the head pieces or integrated into one of the head pieces.
  • the compact unit of the contraction unit is not impaired by the arrangement in the interior of the contraction unit without external measuring elements, and mechanical damage or malfunctions of the position sensor device are largely excluded.
  • One of the basic advantages of such contraction units, the complete sealing and therefore the low consumption of working fluid, is not impaired by the position sensor device. The measurement of the distance between the head pieces and thus the detected position can be recorded extremely precisely.
  • the microwave generator is also advantageously designed as a microwave receiver so that the reflected microwaves can be detected with the same small-volume component. This leads to simplification of the electrical connections of the position sensor device.
  • the evaluation device has means for phase comparison of the emitted microwave signal and the microwave signal reflected on the opposite metallic head piece, and for determining the phase difference as a measure of the distance.
  • the measurement accuracy is therefore in the range of half a wavelength.
  • the evaluation device has a frequency generator for variable adjustment of the microwave frequency, a resonance detector being provided for detecting the resonance frequency.
  • the frequency generator is expediently designed as a ramp generator, the frequency then present being recorded as a measure of the distance when the resonance frequency is detected by the resonance detector.
  • a frequency reducer for the resonance frequency is provided in the evaluation device.
  • the contraction tube is expediently provided with electrically conductive particles or strand elements, such as wires, so that the entire contraction unit contributes to influencing the resonance frequency and the entire contraction unit serves as a microwave waveguide.
  • the microwave generator is designed as a coupling probe that sends and receives microwaves.
  • the microwave generator can also be designed as a cavity resonator with a resonance chamber that is open toward the opposite head piece of the contraction unit. This leads to a good concentration of the emitted microwaves.
  • the single figure shows a contraction unit or a contraction element in longitudinal section, one of the head pieces being provided with a cavity resonator as a position sensor device.
  • the contraction element is only shown schematically in the single figure for simplification. A more detailed representation can be found, for example, in DE 29906626 U mentioned at the beginning.
  • a contraction tube 10 made of a elastic rubber or plastic material is sealed on both sides by head pieces 11, 12.
  • a flexible flexible strand structure (not shown for simplification), which in the present embodiment can be designed as a metallic strand structure in order to design the contraction unit as a microwave waveguide.
  • the wall can also contain other metallically conductive particles.
  • the connection of the contraction tube 10 to the two head pieces 11, 12 takes place in such a way that the contraction tube 10 provided with the strand structure is able to transmit tensile forces to the respective head piece 11, 12.
  • the attachment can take place, for example, in the context of a clamp connection, as is described by way of example in EP 0161750 B1. Other types of fastening are also possible.
  • a fluid channel 14 opens, which passes through one of the head pieces 11 and the outer end of which is provided with a connection device 15, via which a fluid line coming from a pressure source can be connected.
  • a connection device 15 via which a fluid line coming from a pressure source can be connected.
  • several fluid channels can also be provided. In connection with a control valve arrangement, not shown, it is thus possible to feed a fluid pressure medium into the interior 13 through the fluid channel 14 or to discharge it therefrom.
  • the figure shows the contraction tube 10 in the activated state, that is to say when the interior 13 is pressurized.
  • the contraction tube 10 is expanded radially and at the same time contracted axially, so that the two head pieces 11, 12 are axially approximated and drawn towards one another.
  • the contraction tube 10 In the deactivated state, that is to say when the interior 13 is depressurized, the contraction tube 10 assumes an essentially hollow cylinder-like shape, and the two head pieces 11, 12 move away from one another. In this way an axial stroke movement of the head pieces 11, 12 relative to one another can be achieved by coordinated fluid loading of the interior 13.
  • the one head piece 11 is provided with a microwave cavity resonator 16 on its side facing the interior. This can be attached to the head piece 11 or integrated into it.
  • the cavity resonator 16 has one opposite
  • Headpiece 12 open resonance chamber, by means of which microwaves are emitted to the opposite headpiece 12. There they are reflected and return to the cavity resonator 16, which is provided with a corresponding detection device (not shown).
  • a cavity resonator for distance measurement is described in more detail in DE 19807593 AI, so that a more detailed illustration can be dispensed with.
  • the cavity resonator 16 is controlled by a ramp frequency generator 17, as a result of which the transmission frequency is predetermined.
  • the receiving branch of the cavity resonator 16 is connected to a resonance detector 18, which consists, for example, of a two-stage differentiator and a comparator and continuously monitors whether the received signal indicates resonance.
  • the resonance manifests itself in a high steepness of the received signal.
  • an evaluation device 19 connected to the ramp frequency generator 17 and the resonance detector 18, the ramp-like frequency increase is stopped and maintained. It is reduced via a frequency divider 20 and transmitted to the evaluation device 19 and is a measure of the distance between the two head pieces 11, 12 from one another.
  • the resonance frequency depends on the distance between the two
  • Head pieces 11, 12 from each other and can also be influenced by the conductive wall of the contraction tube 10 become.
  • the receiving device of the cavity resonator 16 for example in the form of a detector diode, detects a drop in power when the resonance frequency is reached.
  • a value converted from the respective resonance frequency to the distance can be shown on a display 21 and / or evaluated in some other way.
  • the frequency generator 17, the resonance detector 18 and the frequency divider 20 can of course also be designed as components of the evaluation device 19 instead of as separate units.
  • other evaluation devices known from the stated prior art are also possible.
  • the microwave generator arranged on the head piece 11 can also be designed, for example, as a coupling probe, as is described in more detail in DE 19833220 A1 for distance measurement.
  • the microwave signal is fed into the interior of the contraction element 10 via such a coupling probe, in a first
  • Step the absolute distance between the feed point on the left header 11 and the right header 12 is measured, for example by a transit time measurement of the frequency-modulated transmission signal.
  • a standing wave is then generated in the interior, the displacement of which occurs due to the axial change in position of the two head pieces relative to one another.
  • the changing distance between the head pieces is measured by means of a phase evaluation of the frequency-reduced signal, as in the previously described embodiment.
  • DE 19833220 AI describes various evaluation methods that can be used alternatively.

Abstract

Es wird eine Kontraktionseinheit mit einem sich zwischen zwei beabstandeten Kopfstücken (11, 12) erstreckenden und bei In­nendruckbeaufschlagung eine Längskontraktion erfahrenden Kontraktionsschlauch (10) und mit einer Positionssensoreinrich­tung zur Erfassung des Abstands zwischen den Kopfstücken (11, 12) vorgeschlagen. Diese Positionssensoreinrichtung weist einen an einem der Kopfstücke (11) angeordneten, Mikrowellen in den Innenraum (13) der Kontraktionseinheit emittierenden Mikrowellengenerator (16) auf, wobei eine Auswerteeinrichtung (17 - 21) zur Ermittlung des Abstands zwischen den Kopfstü­cken durch Laufzeitmessung, Phasenvergleich der emittierten und reflektierten Welle oder Resonanzfrequenzbestimmung vor­gesehen ist.

Description

Kontraktionseinheit mit Positionssensoreinrichtung
Beschreibung
Die Erfindung betrifft eine Kontraktionseinheit mit einem sich zwischen zwei beabstandeten Kopfstücken erstreckenden und bei Innendruckbeaufschlagung eine Längskontraktion erfahrenden Kontraktionsschlauch.
Derartige Kontraktionseinheiten sind beispielsweise aus dem von der Anmelderin herausgegebenen Prospekt "Fluidic Muscle", der EP 0161750 Bl, der DE 29906626 U, der DE 29908008 U oder der DE 20112633 U bekannt und sind für eine sehr präzise Positionierung bei einfachem und verschleißarmem Aufbau und relativ geringen Kosten geeignet. Dabei können sehr hohe Stell- kräfte erzielt werden.
Für die exakte Positionierung werden prinzipiell bei Stellgliedern jeglicher Art Positionssensoren bzw. Lagesensoren benötigt. In Verbindung mit Stellzylindern ist eine Vielzahl derartiger Positionssensoren und Sensoreinrichtungen bekannt, die auf den unterschiedlichsten Messprinzipien beruhen. Diese sind jedoch bei Kontraktionseinheiten der vorstehend genannten Art überwiegend nicht oder sehr schlecht geeignet .
Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht somit darin, eine für solche Kontraktionseinheiten gut geeignete und bei hoher Präzision einfach und kostengünstig zu realisierende Positionssensoreinrichtung zu schaffen. Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch eine Kontraktions- einheit mit einer Positionssensoreinrichtung gelöst, die die Merkmale des Anspruchs 1 aufweist .
Die Vorteile der erfindungsgemäßen Lösung bestehen insbesondere darin, dass sich ein derartiger Mikrowellengenerator, der bereits sehr kostengünstig in Kleinbauweise im Handel erhältlich ist, sehr einfach an der Innenseite eines der Kopfstücke befestigen oder in einem der Kopfstücke integrie- ren lässt. Durch die Anordnung im Innenraum der Kontraktions- einheit ohne äußere Messelemente wird die Kompakteinheit der Kontraktionseinheit nicht beeinträchtigt, und mechanische Beschädigungen oder Störungen der Positionssensoreinrichtung sind weitgehend ausgeschlossen. Einer der prinzipiellen Vor- teile derartiger' Kontraktionseinheiten, die vollständige Abdichtung und daher der geringe Verbrauch an Arbeitsfluid, wird durch die Positionssensoreinrichtung nicht beeinträchtigt. Die Messung des Abstands zwischen den Kopfstücken und damit die erfasste Position kann äußerst exakt erfasst wer- den.
Durch die in den Unteransprüchen aufgeführten Maßnahmen sind vorteilhafte Weiterbildungen und Verbesserungen der im Anspruch 1 angegebenen Kontraktionseinheit möglich.
Der Mikrowellengenerator ist in vorteilhafter Weise auch als Mikrowellenempfänger ausgebildet, damit die reflektierten Mikrowellen mit demselben kleinvolumigen Bauteil erfasst werden können. Dies führt zur Vereinfachung der elektrischen An- Schlüsse der Positionssensoreinrichtung.
In einer vorteilhaften Ausgestaltung besitzt die Auswerteeinrichtung Mittel zum Phasenvergleich des emittierten Mikrowellensignals und des am gegenüberliegenden metallischen Kopf- stück reflektierten Mikrowellensignals sowie zur Phasendiffe- renzbestimmung als Maß für den Abstand. Die Messgenauigkeit liegt dadurch im Bereich einer halben Wellenlänge. In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung besitzt die Auswerteeinrichtung einen Frequenzgenerator zur variablen Einstellung der Mikrowellenfrequenz, wobei ein Resonanzdetek- tor zur Erfassung der Resonanzf equenz vorgesehen ist . Hierzu ist der Frequenzgenerator zweckmäßigerweise als Rampengenerator ausgebildet, wobei bei Erkennung der Resonanzfrequenz durch den Resonanzdetektor die dann vorliegende Frequenz als Maß für den Abstand festgehalten wird. Zur Vereinfachung der Auswertung ist ein Frequenzuntersetzer für die Resonanzfrequenz in der Auswerteeinrichtung vorgesehen.
Der Kontraktionsschlauch ist zweckmäßigerweise mit elektrisch leitfähigen Partikeln oder Strangelementen, wie Drähten, ver- sehen, damit die gesamte Kontraktionseinheit zur Beeinflussung der Resonanzfrequenz beiträgt und die gesamte Kontraktionseinheit als Mikrowellen-Hohlleiter dient.
In einer zweckmäßigen Ausgestaltung ist der Mikrowellengene- rator als Mikrowellen sendende und empfangende Koppelsonde ausgebildet. Alternativ hierzu kann der Mikrowellengenerator auch als Hohlraumresonator mit zum gegenüberliegenden Kopfstück der Kontraktionseinheit hin offenem Resonanzraum ausgebildet sein. Dies führt zu einer guten Bündelung der emit- tierten Mikrowellen.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt und in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Die einzige Figur zeigt eine Kontraktionseinheit bzw. ein Kontraktionselement im Längsschnitt, wobei eines der Kopfstücke mit einem Hohlraumresonator als Positionssensoreinrichtung versehen ist .
Das Kontraktionselement ist in der einzigen Figur zur Verein- fachung lediglich schematisch dargestellt. Eine detailliertere Darstellung findet sich beispielsweise in der eingangs genannten DE 29906626 U. Ein Kontraktionsschlauch 10 aus einem elastischen Gummi- oder Kunststoffmaterial ist beidseitig durch Kopfstücke 11, 12 dichtend verschlossen. In der Wandung des Kontraktionsschlauchs 10 befindet sich üblicherweise eine zur Vereinfachung nicht dargestellte biegeflexible Strang- Struktur, die in der vorliegenden Ausgestaltung als metallische Strangstruktur ausgebildet sein kann, um die Kontraktionseinheit als Mikrowellen-Hohlleiter auszubilden. Die Wandung kann auch sonstige metallisch leitfähige Partikel enthalten. Die Verbindung des Kontraktionsschlauchs 10 mit den beiden Kopfstücken 11, 12 erfolgt dergestalt, dass der mit der Strangstruktur versehene Kontraktionsschlauch 10 in der Lage ist, Zugkräfte auf das jeweilige Kopfstück 11, 12 zu übertragen. Die Befestigung kann beispielsweise im Rahmen einer Klemmverbindung erfolgen, wie sie exemplarisch in der EP 0161750 Bl beschrieben ist. Andere Befestigungsarten sind ebenfalls möglich.
In den vom Kontraktionsschlauch 10 und den beiden Kopfstücken 11, 12 begrenzten Innenraum 13 mündet ein Fluidkanal 14, der eines der Kopfstücke 11 durchsetzt und dessen äußeres Ende mit einer Anschlusseinrichtung 15 versehen ist, über die eine von einer Druckquelle kommende Fluidleitung angeschlossen werden kann. Prinzipiell können auch mehrere Fluidkanäle vorgesehen sein. In Verbindung mit einer nicht dargestellten Steuerventilanordnung besteht somit die Möglichkeit, durch den Fluidkanal 14 hindurch ein fluidisches Druckmedium in den Innenraum 13 einzuspeisen oder aus diesem abzuführen.
Die Figur zeigt den Kontraktionsschlauch 10 im aktivierten Zustand, also bei druckbeaufschlagtem Innenraum 13. In diesem Zustand ist der Kontraktionsschlauch 10 radial aufgeweitet und gleichzeitig axial kontrahiert, so dass die beiden Kopfstücke 11, 12 einander axial angenähert und zueinander gezogen sind. Im deaktivierten Zustand, also bei drucklosem Innenraum 13, nimmt der Kontraktionsschlauch 10 eine im Wesentlichen hohlzylinderähnliche Gestalt an, und die beiden Kopfstücke 11, 12 entfernen sich voneinander. Auf diese Weise lässt sich durch abgestimmte Fluidbeaufschlagung des Innenraums 13 eine axiale Hubbewegung der Kopfstücke 11, 12 relativ zueinander erreichen.
Als Positionssensoreinrichtung zur Erfassung der Relativposition der beiden Kopfstücke 11, 12 zueinander ist das eine Kopfstück 11 an seiner dem Innenraum zugewandten Seite mit einem Mikrowellen-Hohlraumresonator 16 versehen. Dieser kann am Kopfstück 11 befestigt oder in diesem integriert sein. Der Hohlraumresonator 16 besitzt einen zum gegenüberliegenden
Kopfstück 12 hin offenen Resonanzraum, mittels dessen Mikrowellen zum gegenüberliegenden Kopfstück 12 hin emittiert werden. Dort werden sie reflektiert und gelangen wieder zum Hohlraumresonator 16 zurück, der mit einer nicht näher darge- stellten entsprechenden Erfassungseinrichtung versehen ist. Ein derartiger Hohlraumresonator zur Abstandsmessung ist in der DE 19807593 AI näher beschrieben, so dass auf eine detailliertere Darstellung verzichtet werden kann.
Der Hohlraumresonator 16 wird durch einen Rampen-Frequenz- generator 17 angesteuert, wodurch die Sendefrequenz vorgegeben wird. Der Empfangszweig des Hohlraumresonators 16 ist mit einem Resonanzdetektor 18 verbunden, der beispielsweise aus einem zweistufigen Differenzierer und einem Komparator be- steht und laufend überwacht, ob das empfangene Signal eine Resonanz anzeigt. Die Resonanz äußert sich in einer hohen Steilheit des Empfangssignals. Sobald von einer mit dem Rampen-Frequenzgenerator 17 und dem Resonanzdetektor 18 verbundenen Auswerteeinrichtung 19 die Resonanz erkannt wird, wird die rampenartige Frequenzerhδhung gestoppt und beibehalten. Sie wird über einen Frequenzteiler 20 verkleinert und der Auswerteeinrichtung 19 übermittelt und ist ein Maß für den Abstand der beiden Kopfstücke 11, 12 zueinander.
Die Resonanzfrequenz hängt von der Entfernung der beiden
Kopfstücke 11, 12 zueinander ab und kann noch durch die leit- fähige Wandung des Kontraktionsschlauchs 10 mit beeinflusst werden. Für jeden Zustand des Kontraktionselements liegt eine bestimmte Resonanzfrequenz vor, so dass jeweils lediglich die Sendefrequenz so lange verändert werden uss, bis Resonanzfrequenz und Sendefrequenz übereinstimmen. Die beispielsweise als Detektordiode ausgebildete Empfangseinrichtung des Hohl- raumresonators 16 erkennt bei Erreichen der Resonanzfrequenz einen Leistungseinbruch.
Ein von der jeweiligen Resonanzfrequenz auf den Abstand umge- rechneter Wert kann auf einem Display 21 angezeigt werden und/oder auf sonstige Weise ausgewertet werden.
Der Frequenzgenerator 17, der Resonanzdetektor 18 und der Frequenzteiler 20 können selbstverständlich auch anstelle als separate Einheiten als Bestandteile der Auswerteeinrichtung 19 ausgebildet sein. Im Übrigen sind auch andere, aus dem angegebenen Stand der Technik bekannte Auswerteeinrichtungen möglich.
Alternativ zum Hohlraumresonator 16 kann der am Kopfstück 11 angeordnete Mikrowellengenerator auch beispielsweise als Koppelsonde ausgebildet sein, wie sie in der DE 19833220 AI zur Abstandsmessung näher beschrieben ist . Das Mikrowellensignal wird über eine solche Koppelsonde in den Innenraum des Kon- traktionselements 10 eingespeist, wobei in einem ersten
Schritt der absolute Abstand zwischen Einspeisepunkt am linken Kopfstück 11 und dem rechten Kopfstück 12 gemessen wird, beispielsweise durch eine Laufzeitmessung des frequenzmodulierten Sendesignals. Anschließend wird eine stehende Welle im Innenraum erzeugt, deren Verschiebung durch die axiale Lageveränderung der beiden Kopfstücke zueinander erfolgt . Über eine Phasenauswertung des in der Frequenz ähnlich wie bei der zuvor beschriebenen Ausführung herabgesetzten Signals wird der sich verändernde Abstand zwischen den Kopfstücken gemes- sen. In der DE 19833220 AI sind verschiedene Auswerteverfahren beschrieben, die alternativ eingesetzt werden können.

Claims

Ansprüche
1. Kontraktionseinheit mit einem sich zwischen zwei beabstandeten Kopfstücken (11, 12) erstreckenden und bei Innendruckbeaufschlagung eine Längskontraktion erfahrenden Kontraktionsschlauch (10) und mit einer Positionssensoreinrichtung zur Erfassung des Abstands zwischen den Kopfstücken (11, 12) , die einen an einem der Kopfstücke (11) angeordneten, Mikrowellen in den Innenraum (13) der Kontraktionseinheit emittierenden Mikrowellengenerator (16) aufweist, wobei eine Auswerteeinrichtung (17 - 21) zur Ermittlung des Abstands zwischen den Kopfstücken (11, 12) durch LaufZeitmessung, Phasenvergleich der emittierten und reflektierten Welle oder Re- sonanzfrequenzbestimmung vorgesehen ist.
2. Kontraktionseinheit nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Mikrowellengenerator (16) auch als Mikrowellenempfänger ausgebildet ist .
3. Kontraktionseinheit nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Auswerteeinrichtung (17 - 21) Mittel zum Phasenvergleich des emittierten Mikrowellensignals und des am gegenüberliegenden metallischen Kopfstück (12) reflek- tierten Mikrowellensignals sowie zur Phasendifferenzbestim- mung als Maß für den Abstand aufweist .
4. Kontraktionseinheit nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Auswerteeinrichtung (17 - 21) mit ei- nem Frequenzgenerator (17) zur variablen Einstellung der Mik- rowellenfrequenz versehen ist und dass ein Resonanzdetektor (18) zur Erfassung der Resonanzfrequenz vorgesehen ist.
5. Kontraktionseinheit nach Anspruch 4, dadurch gekenn- zeichnet, dass der Frequenzgenerator (17) als Rampengenerator ausgebildet ist und bei Erkennung der Resonanzfrequenz durch den Resonanzdetektor (18) die dann vorliegende Frequenz als Maß für den Abstand festgehalten wird.
6. Kontraktionseinheit nach Anspruch 5, dadurch gekenn- zeichnet, dass ein Frequenzuntersetzer (20) zur Auswertung der Resonanzfrequenz in der Auswerteeinrichtung vorgesehen ist.
7. Kontraktionseinheit nach einem der vorhergehenden An- sprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Kontraktions- schlauch (10) mit elektrisch leitfähigen Partikeln oder Strangelementen, wie Drähten, versehen ist.
8. Kontraktionseinheit nach einem der vorhergehenden An- sprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Mikrowellengenerator als Mikrowellen sendende und empfangende Koppeldiode ausgebildet ist.
9. Kontraktionseinheit nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Mikrowellengenerator (16) als Hohlraumresonator mit zum gegenüberliegenden Kopfstück (12) hin offenem Resonanzraum ausgebildet ist.
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