WO2006025309A1

WO2006025309A1 - プローブ針、プローブ針の製造方法および三次元立体構造の製造方法

Info

Publication number: WO2006025309A1
Application number: PCT/JP2005/015637
Authority: WO
Inventors: Tomohisa Hoshino; Hiroyuki Hashimoto; Muneo Harada
Original assignee: Tokyo Electron Limited
Priority date: 2004-08-30
Filing date: 2005-08-29
Publication date: 2006-03-09
Also published as: KR20070045348A; US8159256B2; KR20080073791A; JP2006064676A; US20070259506A1; US7619424B2; KR100861733B1; TWI306511B; KR100888841B1; US20100077597A1; TW200624816A

Description

明細書

プローブ針、プローブ針の製造方法および三次元立体構造の製造方法技術分野

[0001] この発明は、プローブ針、その製造方法および三次元立体構造の製造方法に関し

、特に、複雑な形状のプローブ針、その製造方法および三次元立体構造の製造方法に関する。

背景技術

[0002] 従来のプローブ針が、たとえば、米国特許第 6, 255, 126号公報、および米国特許出願第 2003Z0113990号公報に記載されて、る。

[0003] 米国特許第 6, 255, 126号公報は、複数の層を順に積層して形成された、パネ接触可能なプローブ針を開示して、る。

[0004] また、米国特許出願第 2003Z0113990号公報は、複数の脚で支持された片持ち梁状のプローブ針およびその製造方法を開示して、る。

[0005] 従来のプローブ針は上記のように製造され、また構成されて、た。特許文献 1によれば、プローブ針が、基部を固定されて、複数の層を順に積層して、ジグザグ形状に直線的に上へ延びるように形成されていた。このため、プローブ針の先端に設けられたコンタクタが被検査物に接触すると、梁の部分が橈んで、隣接する梁と接触して破壊する可能性があるという問題があった。また、特許文献 2においても基本的な構成は同様であった。したがって、プローブ針を密に配置できないとともに、任意の形状のプローブ針が形成できず、またその製造方法が複雑になるという問題点があった。発明の開示

[0006] この発明は、上記のような課題に鑑みてなされたもので、プローブ針を密に配置できるとともに、任意の形状のプローブ針、それを簡単な方法で製造するプローブ針の製造方法および三次元立体構造の製造方法を提供することを目的とする。

[0007] この発明にかかる、プローブ針は、一端が固定された、複数のつづら折りの梁と、複数のつづら折りの梁の他方端に設けられ、複数のつづら折りの梁を接続するための接続部とを含み、接続部の前記梁の反対側にはコンタクタが設けられる。 [0008] 好ましくは、複数のつづら折りの梁は、所定の周期で折り曲げられた一対の梁を含み、一対のつづら折りの梁は、相互にその折り曲げの周期は等しい。

[0009] さらに好ましくは、一対のつづら折りの梁は、相互にその折り曲げの位相が異なる。

[0010] さらに好ましくは、一対のつづら折りの梁の、相互の折り曲げの位相のずれは、 180 度である。

[0011] なお、プローブ針の一端は、インターポーザに接続されるのが好ましい。

[0012] この発明の他の局面においては、長く延びる梁と、梁の先端部に設けられるコンタクタとを有するプローブ針の製造方法は、基板を準備するステップと、基板の上に、梁の形状の溝を有する膜を形成するステップと、溝の内部に金属の層を形成するステツプと、基板および膜を除去して金属層を取出すステップとを含む。

[0013] 好ましくは、梁の形状の溝はつづら折のパターンを有している。

[0014] さらに好ましくは、つづら折りのパターンは、第 1のつづら折りのパターンと、第 1のつづら折りのパターンと離れた位置に設けられた、第 2のつづら折りのパターンとを含む。

[0015] 第 1および第 2のつづら折りのパターンは、所定の周期で折り曲げられているのが好ましい。

[0016] また、第 1および第 2のつづら折の溝を形成するのと同時に、第 1および第 2のつづら折の溝の各々に対応して、位置決めのための溝を形成してもよい。

[0017] 好ましくは、第 1および第 2のつづら折の溝を有する基板から、第 1のつづら折の溝を有する膜と、第 2のつづら折の溝を有する膜とを分離するステップと、分離された、第 1および第 2のつづら折れの溝を有する膜を、位置決めのための溝を基準として重ね合わせるステップと、重ね合わされた膜を、接合材料で接合するステップとを含む

[0018] ここで、接合材料は、絶縁性の層間膜が好まヽ。また、絶縁性の層間膜は、有機榭脂材料である。

[0019] さらに好ましくは、梁の基部を固定するステップをさらに含み、梁の基部を固定するステップは、梁の基部を固定する固定部を有する梁保持部材を準備するステップを含み、梁保持部材は、複数の固定部を有し、複数の梁保持部材の固定部の各々は、表面側が大きぐ内部側が狭くなつた形状の接続穴を有し、接合材料で接合された膜の梁の基部側から、膜の一部を除去して、金属層で形成された梁の基部をアンカ一用杭として露出するステップと、露出されたアンカー用杭を接続穴に挿入するステップとを含む。

[0020] ここで、梁保持部材はインターポーザであるのが好ましい。

[0021] 好ましくは、第 1および第 2のつづら折のパターンに形成された金属層の梁と、コンタクタとを接続するステップを含む。

[0022] この発明の他の局面においては、三次元立体構造の製造方法は、基板を準備する第 1ステップと、基板の上に、所望の複雑な形状の溝を有する膜を形成する第 2ステップと、溝の内部に金属の層を形成する第 3ステップと、基板および膜を除去して金属層を取出すステップとを含み、それによつて、金属層で形成された、所望の複雑な形状の三次元立体構造を形成する。

[0023] 好ましくは、第 1から第 3ステップを繰り返すことによって、溝の内部に金属の層が形成された基板を複数準備するステップと、準備された溝の内部に金属の層が形成された複数の基板を、相互に重ね合わせるステップと、複数の基板を相互に重ね合わせた状態で、基板および膜を除去して金属層を取出すステップとを含む。

[0024] さらに好ましくは、準備された溝の内部に金属の層が形成された複数の基板を、相互に重ね合わせるステップは、位置決めするための位置決め穴を形成する第 4ステツプと、第 1から第 4ステップを繰り返すことによって、位置決め穴および、溝の内部に金属の層が形成された基板を複数準備するステップと、準備された溝の内部に金属の層が形成された複数の基板を、位置決め穴を基準として、相互に重ね合わせるステツプとを含む。

[0025] この発明に係るプローブ針は、一端が固定された、複数のつづら折りの梁の他方端に、複数のつづら折りの梁を接続するための接続部が設けられ、この接続部にコンタクタが設けられる。 2つのつづら折れの梁によってコンタクタが保持されるため、梁は、つづら折りの曲がり部分の存在する方向のみにおいて、所定の曲げ強度で曲げられる。

[0026] 梁の曲げ方向を規定できるため、密に配置できるプローブ針を提供できる。 [0027] また、この発明に係るプローブ針は、つづら折れの梁の曲げの周期を調節することによって、所望の曲げ強度を得ることができる。

[0028] この発明の他の局面においては、長く延びる梁と、梁の先端部に設けられるコンタクタとを有するプローブ針の製造方法は、基板を準備するステップと、基板の上に、梁の形状の溝を有する膜を形成するステップと、溝の内部に金属の層を形成するステツプと、基板および膜を除去して金属層を取出すステップとを含む。

[0029] プローブ針の梁の部分を、基板の平面上に溝を形成することによって形成できるため、任意の、複雑な形状の梁を容易に形成できる。

[0030] その結果、任意の形状のプローブ針を簡単な方法で製造できるプローブ針の製造方法が提供できる。

図面の簡単な説明

[0031] [図 1]この発明の一実施の形態に係るプローブ針の斜視図である。

[図 2A]プローブ針の梁の製造方法の途中工程における基板の平面図である。

[図 2B]図 2Aの線 B— Bに沿って見た断面図である。

[図 3A]プローブ針の梁の製造方法の途中工程におけるウェハの平面図である。

[図 3B]図 3Aの線 B— Bに沿って見た断面図である。

[図 4A]プローブ針の梁の製造方法の途中工程におけるウェハの平面図である。

[図 4B]図 4Aの線 B— Bに沿って見た断面図である。

[図 4C]フォトレジスト層を示す平面図である。

[図 5]複数のプローブ梁を形成する方法を示す図である。

[図 6]図 5の接続状態の詳細を示す図である。

[図 7]プローブ針の梁の製造方法をステップごとに示す図である。

[図 8]プローブ針の梁を、複数接続した状態を示す図である。

[図 9]プローブ針の、インターポーザへの取付け方法の他の実施の形態を示す図である。

[図 10]この発明に係るプローブ針の形状の他の例を示す図である。

発明を実施するための最良の形態

[0032] 以下、図面を参照して、この発明の一実施形態を図面を参照して説明する。図 1は、この発明の一実施の形態に係るプローブ針を示す斜視図である。図 1を参照して、プローブ針 10は、ブロック 15に一方端 (基部）を固定された 2つのつづら折の梁 14a 、 14bと、 2つのつづら折の梁 14a、 14bの他方端を接続する接続部 12と、接続部 12 の上に設けられた、被検査物に接触するコンタクタ 11とを含む。

[0033] 図 1においては、ブロック 15上に 2つのプローブ針 10が設けられている。

[0034] ここでは、 2つのつづら折の梁 14a、 14bは、それぞれ所定の周期（間隔)で折り曲げられ、その曲げられる位置力高さ方向において、一方の梁 14aの凸曲がり部が、他方の梁 14bの凹曲がり部に対応するように、ちょうど 180度位相がずれるように、つづら折の対を形成してヽる。

[0035] このように、プローブ針 10が、相互に位相が 180度ずれた一対のつづら折の梁 14 で、片持ち梁形式でブロック 15に支持されているため、梁 14の曲がり部分を有する方向（図中 Xで示す方向）にしかプローブ針 10は曲がらない。プローブ針の傾く方向を制御できるため、複数のプローブ針 10を密に配置できる。

[0036] なお、この一対のつづら折の梁 14a、 14bは、相互に同じ位相の梁であってもよい。

そうすれば、所定の方向により曲がりやすいプローブ針 10が得られる。この対を形成するつづら折の梁 14a、 14bの位相のずれを調整することにより、梁の曲げ強度を調整できる。

[0037] なお、このつづら折りの梁は、図示のような、折曲げ部と直線部とから構成されるものに限らず、連続的に曲線で曲げられていてもよいし、鋭角に曲げられていてもよい

[0038] また、図 1では、 2本のプローブ針 10が、 1つのブロック 15に設けられる場合について説明しているが、これに限らず、 1つでもよいし、 3つ以上を 1つのブロック 15に設けてもよい。なお、このブロック 15はプローブ針 10を固定するものであれば何でもよい力好ましくは、後に説明するようにインターポーザである。

[0039] 次に、このプローブ針 10の製造方法について説明する。図 2から図 7は、この発明の一実施の形態に係るプローブ針 10の製造方法をステップごとに示す図である。

[0040] 図 2 (A)は平面図であり、図 2 (B)は、図 2 (A)において、 B-Bで示す部分の断面図である（以下の図 3、 4においても同様である）。図 2を参照して、まず、基板としての、 Siウェハ 20を準備し、その表面にシード層（たとえば、 Auの層） 21を形成する。

[0041] 次いで、図 3に示すように、シード層 21の上に、たとえば、フォトレジスト 23を用いて、プローブ針の梁となる部分として、所望の形状の溝を形成する。図 3では、 1枚の Si (SiOまたは、 SiN)ウェハ 20上に、相互に、中心線に対して線対称となるように折れ

2

曲がった (以下、「位相が異なる」という）、一対のつづら折り形状の溝 25a、 25bと、一対のつづら折り形状の溝 25a、 25bを囲って設けられた、 4つの合わせ辺 27および中央辺 28と、合わせ穴 (溝） 26とが露出するようにレジストで溝をパターユングしている

[0042] なお、ここで、合わせ辺 27および合わせ穴 26とは、後に説明するように、位置決めのために使用される。

[0043] このように、プローブ針 10の梁となる部分を Siウェハ 20上で平面的に形成するため、任意の形状の梁を形成可能である。

[0044] なお、このとき、一対のつづら折形状の溝 25a、 25bの、ブロック 15に固定される、基部 17a、 17bの位置、および、接続部 12に接続される自由端 18a、 18bの位置は、フォトリゾグラフを用いて詳細に位置決め可能である。

[0045] 次に、図 4 (A)および (B)に示すように、一対のつづら折形状の溝 25a、 25bの上に、つづら折形状のメツキ層（たとえば Auの層） 24a、 24bを形成する。

[0046] その後、シード層 21の露出している部分、すなわち、一対のつづら折り形状のメッキ層 24a、 24bを囲って設けられた、 4つの合わせ辺 27および中央辺 28を、シード層が形成された基板とともに、たとえば、溶融によって除去し、図 4 (C)に示すように、つづら折形状のメツキ層 24と合わせ穴 26とを有する、フォトレジストの層 31を取り出す。ここでは、図 4 (A)の左側の部分のみを示して!/、る。

[0047] 図 5は、図 4 (C)で取り出された、それぞれの位相の異なるつづら折りのメツキ層 24 a, 24bを有するフォトレジストの層 31を使用して、複数の対のプローブ針を形成する方法を示す図である。

[0048] 図 5 (A)は、それぞ; ^立相の異なるつづら折りのメツキ層 24a, 24bを有するフオトレジストの層 31を順に重ねた状態を示し、図 5 (B)は、フォトレジストの層 31に形成された、つづら折りのメツキ層 24aの自由端 18に接続される、コンタクタ 12が配置された、複数の接続部 12を示す図であり、図 5 (C)は、つづら折りのメツキ層の基部 17を、固定する複数の固定部 41を有する、シリコンインターポーザ 40の接続面を示す図である。ここでは、接続部 12は厚さを有していないように描かれている力実際は、図 1に示すように、所定の厚さを有している。

[0049] なお、つづら折りのメツキ層 24a, 24bを有するフォトレジストの層 31、およびつづら折りのメツキ層 24a, 24bも所定の奥行きを有している力図 5、図 7等では、理解の容易のために、フォトレジストの層 31は、実線で、メツキ層 24a、 24bは太線で示している。

[0050] 図 4 (C)に示すように分離されたフォトレジストの層 31は、図 5 (A)に示すように、合わせ穴 26を基準として位置合わせされる。このときの位置合わせの状態を図 6に示す。ここでは、 4枚のフォトレジストの層 3 la〜3 Idが位置合せされている。

[0051] なお、複数のフォトレジストの層 31は、合わせ穴 26ではなぐ上記した合わせ辺 27 を精度良く製造することによって、位置合せを行ってもよい。

[0052] 図 6を参照して、それぞれのフォトレジストの層 31a〜31dの間は、仮止めのために、接合材料 33で接合されている。ここで、接合材料 33としては、絶縁性の層間膜が好ましい。絶縁性の層間膜は、電着ポリイミドのような、有機性榭脂材料であってもよい。これは電着ポリイミドのような有機性榭脂材料が弾性を有しているため、後に説明するように、位置合わせが容易になるためである。

[0053] このようにして接合された複数のフォトレジストの層 31の自由端 18の上に、 2つの自由端ごとに、 1つの接続部 12が載置される。接続部 12はたとえば Auで形成され、つづら折り形状のメツキ層 24を形成している同じく Auと金属接合で接続される。

[0054] このとき、図 5 (B)に示すように、複数の接続部 13を予め一体ィ匕しておいて、それを複数のフォトレジストの層 31の自由端 18の上に載置して接続するようにすれば、より簡単に接続部 13と、フォトレジストの層 31の自由端 18とが接続できる。

[0055] 図 5 (C)に示すように、フォトレジストの層 31の基部 17も同様にして、シリコンインタ一ポーザ 40の固定部 41に接続される。ここでも固定部 41はたとえば Auで形成され、フォトレジストの層 31のそれぞれの基部 17と金属接合される。

[0056] 図 5および図 6に示すようにして、フォトレジストの層 31の自由端 18、基部 17を、それぞれ接続部 12と、シリコンインターポーザ 40の固定部 41とを接続したあと、 Siゥェハ 20とフォトレジスト 31を溶融して除去した状態を図 7に示す。

[0057] 図 7に示すように、フォトレジスト 23が除去されると、基部 17が、シリコンインターポ一ザ 40の固定部 41に接続され、自由端 18を接続部 12で接続された、それぞれが逆位相である一対の Auで形成されたつづら折りの梁 35a、 35bを有する、複数のプローブ針 10が得られる。

[0058] なお、この実施の形態においては、フォトレジスト 23を用いたため、それを溶融して除去したが、榭脂系や、金属系のレジストの使用も可能であり、使用するレジストに応じて、溶融以外に、酸ィ匕によるアツシング等で除去してもよい。

[0059] 次に、この発明の他の実施の形態について説明する。図 8は、この発明の他の実施の形態を示す図である。図 5〜図 7においては、つづら折の梁 35と、シリコンインターポーザ 40に設けられた固定部 41との位置合わせについて、特に問題は生じない場合を示した。

[0060] し力しながら、必ずしも両者の位置合わせがうまくいくとは限らない。そこで、この実施の形態においては、位置合わせがずれた場合の処理について説明する。

[0061] 図 8 (A)は、先の実施の形態における図 4 (C)に対応する図であり、図 8 (B)は、図 8 (A)に示した複数のフォトレジストを接合したものをその下面力も見た状態を示す図である。

[0062] ここでは、フォトレジストの層 51には、 2つのつづれ折のメツキ層が形成された状態の図を示している力このように、複数の梁を有するフォトレジスの層 51をそのまま、図 6に示すように、複数接合してもよい。

[0063] 図 8を参照して、この実施の形態においては、フォトレジストの層 51は、フォトレジスト 23の形成時の厚さによって変化し、たとえば、図に示すように、接合されるフオトレジストの層間のピッチは、 dlとなる。すなわち、つづら折の梁 35の基部 17の形成されるピッチ dlは、フォトレジスト 23の形成時の寸法によって、一般にプラス'マイナス 5 程度変化しうる。

[0064] 一方、シリコンインターポーザ 40の表面における、基部 17に接続される固定部 41 の形成される間隔は、一定の寸法、（たとえば、 d2)である。なお、フォトレジストの層 3 1に形成される一対のつづら折の梁 35の基部 17a、 17b間の寸法 d3は、フォトリゾグラフィで形成されるため、かなりの高精度で位置決めされる。

[0065] すなわち、図 8から明らかなように、フォトレジストの層 31の厚さ方向の基部の寸法 d 1と、それに対応する、シリコンインターポーザ 40の固定部 41の相互の間隔とは、必ずしも一致しない。

[0066] 図 9は、このような状態に対処する場合の、フォトレジストの層 31およびシリコンインターポーザ 40に対する処理の内容を示す図である。図 9 (A)は、図 8における、フォトレジストの層 51の梁の基部側を示す図である。図 9 (B)は、図 9 (A)に示す状態から、その梁の基部側力も一定量エッチングすることによってメツキ層 24で形成された、アンカー用の杭 37を形成した状態を示す図であり、図 9 (C)は、シリコンインターポーザ基板 40の表面に、接続部 41としてピラミッド窓を設けた状態を示す図である。

[0067] 図 9 (D)は、図 8において、 IXで示す方向から見た矢視図であり、その下部においては、図 9 (B)に示すように、フォトレジスト 23が除去されて、アンカー用の杭 37が露出した状態を示す。図 9 (E)は、図 9 (C)において、 E— Eで示す部分の断面図であり、シリコンインターポーザ 40の表面には、配線層 46が形成され、この配線層 46は、貫通孔 47を介して裏面側に配線層 48に接続されて!、る。

[0068] なお、ここでは、図 8の状態を例にあげて説明している力図 6に示した状態でも同様の処理が可能である。

[0069] また、図 8および図 9においては、つづら折の梁 35が曲面を有する方向の図は、拡大して表示されているため、シリコンインターポーザ基板 40の表面に形成された接続部 42の数とは一致しない。

[0070] 次につづら折の梁 35の基部 17に形成されたアンカー用の杭 37と、シリコンインタ一ポーザ 40の固定部 41との接続方法について説明する。図 9 (A)の状態から、図 9 (B)において、点線で示すように、フォトレジスト 23を除去し、メツキ層 24の基部 17を露出させ、アンカー用の杭 37を形成する。

[0071] 一方、シリコンインターポーザ 40の表面には、その固定部 41に、表面で開口部が大きぐ内部で狭くなるような、ピラミッド窓 42を絶縁膜で形成する。図 9 (D)、（E)に示すように、アンカー用の杭 37a、 37bのピッチが dlであり、ピラミッド窓 42a、 42b間のピッチが d2のように異なっていても、電着ポリイミドのような接続部材 33が弾性を有しており、図 9 (D)において、矢印で示す方向に伸縮が可能であるため、アンカー用の杭 37a、 37bは、ピラミッド窓 42a、 42bに図中太い矢印で示すように挿入され、つづら折の梁 35と、シリコンインターポーザ 40の固定部 41とは、しつ力りと接続される。

[0072] なお、ここでは、ピラミッド窓 42a、 42bは、表面に矩形の開口部を設け、矩形の 4辺において内部に傾斜を有する形状である力これに限らず、対向する 2辺の方向、または 1方向のみにテーパを有する形状であってもよい。また、アンカー用の杭 37を円筒状にすることにより、円錐形の窓としてもよい。

[0073] 次に、この発明のさらに他の実施の形態について説明する。図 10は、この発明のさらに他の実施の形態を示す図である。図 10を参照して、この実施の形態においては、シリコンインターポーザ 40の固定部 41に複雑な形状のプローブ針用の梁 50が形成されている。このように、この実施の形態においては、レジストをフォトリゾグラフィによってプローブ針の梁を形成するため、ここに示すように、任意の複雑な形状のプロ一ブ針用の梁 50を形成できる。

[0074] ここでは、任意の複雑な形状のプローブ針用の梁に形成につ!、て説明したが、これに限らず、上記の図 2から図 9の方法を用いて、図 10に示すように、任意の複雑な形状の三次元立体構造の製造方法にこの発明を適用してもよい。

[0075] なお、ここで、複雑な形状とは、少なくとも一筆書きで形成できない形状を含むものをいう。

[0076] なお、上記実施の形態にお!、ては、フォトレジストとフォトリゾグラフィを用いて任意の形状の梁を形成する場合について説明したが、これに限らず、プローブ針の梁となる部分の溝を形成できるものであれば、任意の膜を利用して梁の形状を形成できる。

[0077] 上記実施の形態においては、シリコンインターポーザにプローブ針を接続する場合について説明したが、これに限らず、任意の材質で形成されたインターポーザに適用可能である。

[0078] 上記実施の形態においては、プローブ針の梁となる金属層をメツキ層で形成する例について説明したが、これに限らず、任意の方法で金属層を形成してもよい。 [0079] 上記実施の形態においては、メツキ層として、 Auを用いた例について説明したが、これに限らず、任意の金属を用いてもよい。

[0080] 上記実施の形態においては、コンタクタとの接続部およびインターポーザの接続部として、 Auを用いた例について説明したが、これに限らず、任意の金属を用いてもよい。

[0081] 上記実施の形態においては、メツキ層の自由端、および固定端と接続部とを金属接合で接続した例を説明したが、これは、接続される材料によって、それに適した接続方法を採用してもよい。

[0082] 以上、図面を参照してこの発明の実施形態を説明した力この発明は、図示した実施形態のものに限定されない。図示された実施形態に対して、この発明と同一の範囲内において、あるいは均等の範囲内において、種々の修正や変形を加えることが可能である。

産業上の利用可能性

[0083] この発明に係るプローブ針は、その梁部分が、平面状に形成されるため、任意の複雑な形状のプローブ針を形成できるため、プローブ針として、有利に利用されうる。

Claims

請求の範囲

[1] 一端が固定された、複数のつづら折りの梁と、

前記複数のつづら折りの梁の他方端に設けられ、前記複数のつづら折りの梁を接続するための接続部とを含み、

前記接続部の前記梁の反対側には、被検査物に接触するコンタクタが設けられる、プローブ針。

[2] 前記複数のつづら折りの梁は、所定の周期で折り曲げられた一対の梁を含み、前記一対のつづら折りの梁は、相互にその折り曲げの周期は等しい、請求項 1に記載のプローブ針。

[3] 前記一対のつづら折りの梁は、相互にその折り曲げの位相が異なる、請求項 2に記載のプローブ針。

[4] 前記一対のつづら折りの梁の、相互の折り曲げの位相のずれは、 180度である、請求項 3に記載のプローブ針。

[5] 前記プローブ針の一端は、インターポーザに接続される、請求項 1に記載のプローブ針。

[6] 長く延びる梁と、梁の先端部に設けられるコンタクタとを有するプローブ針の製造方法であって、

基板を準備するステップと、

前記基板の上に、前記梁の形状の溝を有する膜を形成するステップと、前記溝の内部に金属の層を形成するステップと、

前記基板および前記膜を除去して前記金属層を取出すステップとを含む、プロ一ブ針の製造方法。

[7] 前記梁の形状の溝はつづら折のパターンを有している、請求項 6に記載のプローブ針の製造方法。

[8] 前記つづら折りのパターンは、第 1のつづら折りのパターンと、前記第 1のつづら折りのパターンと離れた位置に設けられた、第 2のつづら折りのパターンとを含む、請求項 7に記載のプローブ針の製造方法。

[9] 前記第 1および第 2のつづら折りのパターンは、所定の周期で折り曲げられている、請求項 8に記載のプローブ針の製造方法。

[10] 前記第 1および第 2のつづら折の溝を形成するのと同時に、前記第 1および第 2のつづら折の溝の各々に対応して、位置決めのための溝を形成するステップを含む、請求項 8に記載のプローブ針の製造方法。

[11] 前記第 1および第 2のつづら折の溝を有する基板から、前記第 1のつづら折の溝を有する膜と、前記第 2のつづら折の溝を有する膜とを分離するステップと、

前記分離された、第 1および第 2のつづら折れの溝を有する膜を、前記位置決めのための溝を基準として重ね合わせるステップと、

前記重ね合わされた膜を、接合材料で接合するステップとを含む、請求項 10に記載のプローブ針の製造方法。

[12] 前記接合材料は絶縁性の層間膜である、請求項 11に記載のプローブ針の製造方法

[13] 前記絶縁性の層間膜は、有機性榭脂材料である、請求項 12に記載のプローブ針の製造方法。

[14] 前記梁の基部を固定するステップをさらに含み、

前記梁の基部を固定するステップは、

前記梁の基部を固定する固定部を有する梁保持部材を準備するステップを含み前記梁保持部材は、複数の固定部を有し、

前記複数の梁保持部材の固定部の各々は、表面側が大きぐ内部側が狭くなつた形状の接続穴を有し、

前記接合材料で接合された膜の梁の基部側から、前記膜の一部を除去して、前記金属層で形成された梁の基部をアンカー用杭として露出するステップと、

前記露出されたアンカー用杭を前記接続穴に挿入するステップとを含む、請求項 11に記載のプローブ針の製造方法。

[15] 前記梁保持部材はインターポーザである、請求項 14に記載のプローブ針の製造方法。

[16] 前記第 1および第 2のつづら折のパターンに形成された金属層の梁と、前記コンタクタとを接続するステップを含む、請求項 8に記載のプローブ針の製造方法。

[17] 基板を準備する第 1ステップと、

前記基板の上に、所望の複雑な形状の溝を有する膜を形成する第 2ステップと、前記溝の内部に金属の層を形成する第 3ステップと、

前記基板および前記膜を除去して前記金属層を取出すステップとを含み、それ〖こよって、前記金属層で形成された、所望の複雑な形状の三次元立体構造を形成する、三次元立体構造の製造方法。

[18] 前記第 1から第 3ステップを繰り返すことによって、溝の内部に金属の層が形成された基板を複数準備するステップと、

前記準備された溝の内部に金属の層が形成された複数の基板を、相互に重ね合わせるステップと、

前記複数の基板を相互に重ね合わせた状態で、前記基板および前記膜を除去して前記金属層を取出すステップとを含む、請求項 17に記載の三次元立体構造の製造方法。

[19] 前記準備された溝の内部に金属の層が形成された複数の基板を、相互に重ね合わせるステップは、

位置決めするための位置決め穴を形成する第 4ステップと、

前記第 1から第 4ステップを繰り返すことによって、前記位置決め穴および、溝の内部に金属の層が形成された基板を複数準備するステップと、

前記準備された溝の内部に金属の層が形成された複数の基板を、前記位置決め穴を基準として、相互に重ね合わせるステップとを含む、請求項 18に記載の三次元立体構造の製造方法。