WO2007028813A3 - Verfahren und vorrichtung zum zünden und erzeugen eines sich ausdehnenden, diffusen mikrowellenplasmas sowie verfahren und vorrichtung zur plasmabehandlung von oberflächen und stoffen mittels dieses plasmas - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zum zünden und erzeugen eines sich ausdehnenden, diffusen mikrowellenplasmas sowie verfahren und vorrichtung zur plasmabehandlung von oberflächen und stoffen mittels dieses plasmas Download PDF

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Abstract

Es wird ein Verfahren zum Zünden und Erzeugen eines sich ausbreitenden, diffusen Mikrowellenplasmas und eine Vorrichtung zur Durchführung eines solchen Verfahrens offenbart. Das Verfahren ist insbesondere zum Erzeugen von Mikrowellenplasmen zum Zweck der Plasmabehandlung von Oberflächen und Stoffen insbesondere von dreidimensionalen Gegenständen als auch von Partikeln unter Atmosphärendruck geeignet. Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren zum Zünden und Erzeugen solchen Plasmas anzugeben, welches insbesondere im Normal- und Hochdruck einfach und betriebssicher sowie prinzipiell ohne Gasströmung zu realisieren ist. Ebenso soll ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Plasmabehandlung von Oberflächen und Stoffen mittels eines solchen Plasmas entwickelt werden, welches durch seine große Stabilität hinsichtlich Plasmagenerierung und Unterhaltung, geringem Gasverbrauch und großem Plasmavolumen eine effektive Plasmabehandlung möglich macht. Die Lösung besteht darin, dass innerhalb einer wellenbegrenzenden Hohlstruktur eine Plasmazündung durch Mikrowelleneinkopplung über eine resonante Zündstruktur erfolgt, ein gleichzeitiges Treiben des Plasmas durch die resonante Zündstruktur hingegen nicht möglich ist. Das gezündete Plasma über ein umliegendes Mikrowellenfeld so mit Energie gespeist wird, dass ein sich ausbreitendes, diffuses Plasma entsteht. Eine besondere Ausgestaltung in einer koaxialen Anordnung ermöglicht die Generierung eines aus der Vorrichtung heraustretenden Plasmas zum Zweck der mobilen Plasmabehandlung.
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