WO2007066598A1 - カラーフィルタ基板およびそれを備えた液晶表示装置 - Google Patents

Description

カラ イ タ およびそれを備えた液晶

術分野

０００1 、 カラ ィ タ に関し、特に、 スペ サを カラ ィ タ に関する。また、 、その カラ ィ タ を 備 置にも関する。

０００2 用されて るカラ 、 ( )に対応してカラ ィ が設けられて 、 型的には、 ( )、 (G)、 ( )の光の三原色に対応す るカラ ィ が に対応して、所定の タ ンで配列されて る。 、G、 の3 の ( )が の (ピクセ )を構成し、 の カラ 示を行 とができる。

０００3 カラ ィ の ( の )は、 、G、 に限られず、 アン(C)、 ゼンタ( ) 、イ ( )の み合わ でも し、他の色を組み合わ ても 。また、カラ ィ の として、ストライプ 、デ タ ザイク 列が知られて る。

０００4 般に、 、一対の 板の間に が形成されて 、上述の 数のカラ ィ が に対応して配列されたカラ ィ タ層は、 ずれ 一方 の に形成される。 、 型 置に ては、

等の回 素が形成された 、対向 カラ ィ タ層が形成された 対向 との間に が形成されて る。 カラ ィ タ層を形成し た構成も知られて るが、現在 販されて る 置の は、対向 カラ ィ タ層を形成したものが多 、このカラ ィ タ層を有する対向 、 しばしば、カラ ィ タ と呼ばれる。

０００5 カラ ィ タ とを に 合 定する際に、 の ( セ ギ 、プ とも言われる)を制御するために、スペ サが設けられる。

置の 位が向上するに連れて、スペ サに 表示 位の 下が問題にな てきた。

０００6 、カラ ィ タ または の 面に、所定の 有するビ ズ または 状のスペ サを散布して たため、スペ サを表示 の 体に て 一な 度で配置することが困難であ た。その 果、セ ギ 、プにむらが生じた り、スペ サが 集したりすることによる表示 良が発生することがあ た。また、スペ サが に配置されると、実質的な開口 が低下したり、ある は、 として 観察されたりする 題があ た。

０００7 そこで、スペ サを の 定の ( 型的には ラック ト クスで され る )に選択的に配置する方法が開発された。 えば、感光性 ( ジスト とも呼ばれる。 )を用 、 オト グラ ィプ セスによ て所定の 域に 状のスペ サを形成する方法が実用 されて る。

０００8 スペ サを用 てセ ギ 、プを制御することにより、上述したよ 表示 位 の 下を抑制することができるが、さらに表示 位を向上する 、 スペ サの 置や形成 法に関して の 案がなされて る。

０００9 えば、特許 には、カラ ィ タ 上に高さの なる2 類の スペ サを設けることによ て、低温における の の 制と、 性の 上とを図る 術が開示されて る。

００1０ 2 (a)および(b)に、特許 に開示されて るカラ ィ タ 7 を示す 。このカラ ィ タ 7 は、 2 (a)に示すよ に、 の 域に設けられた スペ サ76 77を有して る。カラ ィ タ 7 の の 域では、 2 (b)に示すよ に、透明 7 上に ラック ト クス72、カラ ィ タ73 74お よび 通電極75が積層されており、これらの上に スペ サ76 77が形成されて る。

００11 カラ ィ タ73とそれに隣接するカラ ィ タ74とは互 に厚さが異な ており 、その だけ、カラ ィ タ73上に設けられた スペ サ76の さとカラ ィ タ74上に設けられた スペ サ77の さとが異な て る。

００ 2 般に、 スペ サを用 る方式の 置では、 性を向上する ために スペ サの ( たりの スペ サの数)を高 すると 、低温にお て が収縮したときに、セ ギ が の 縮に追従しに ので、 で発泡が生じてしま ( 呼ばれる。)があ た。

００13 に開示される に、高さの なる2 類の スペ サ76 77を設け 、基本的には高 方の柱 スペ サ76のみでセ ギ を制御すると、実効的な スペ サ 高 方の柱 スペ サ76のみで 定されるので、セ ギ を の 縮に追従さ やす 。また、 ネ に 重が加わ てセ ギ が 狭 な たときには、高 方の柱 スペ サ76 低 方の柱 スペ サ77の 方で 両 が支持されるにのときの 効的なスペ サ スペ サ76 77 の 方で 定される。)ので、高 耐 性を実現できる。

００14 また、 一なセ ギ 、プを実現するためには、表示 域内だけでな 、表示 域の 囲に配置される 域内にも スペ サを形成することが好ま が 、表示 域と非 域とでは 上の構造が異な て るので、表示 域と非 域のそれぞれに て柱状スペ サの さを最適に制御する( えば さを える とは難 。

００15 2には、 域に、 ラック ト クス カラ ィ の 層構造 を 形成し、その上に スペ サを形成する手法が開示されて る。この 法を用 ると、積層構造 の を調整することに 、 域に形成される ス ペ サの さを制御することができ、表示 域と非 域とで別個に スペ サの さを制御することができる。

1 2 3 84289

2 2 5 266 報

発明の

明が解決しよ とする課題

００16 し しながら、特許 に開示されて る に、異なる厚さのカラ ィ タ73 74を用 ると、一部の の の さが他の絵 の の さと異な てしま ため、一部の では が光に対して与える タデ ョンの きさが 他の絵 と異な てしま 、 や中間 に色付きが発生して表示 が低下してしま 。

００17 また、特許 2の 法では、積層構造 の を調整することによ て柱状ス ペ サの さを制御するが、この 法では、 スペ サの さを積層構造 の 層の さず でし 変化さ ることはできな ので、 スペ サの さを不連続に し さ ることができな 。

００18 述したよ に、 スペ サの さを簡便なプ セスで 意に制御できる好適な 手法は まだ 立されて な 。

００19 、上記 題に みてなされたものであり、その 、簡便な プ セ スで スペ サの さを任意に制御することができるカラ ィ タ およびそ れを備えた 置を提供することにある。

題を解決するための

００2０ 明によるカラ ィ タ 、 カラ ィ タ であ て、透明 、前記 上に設けられた およびカラ ィ タ 、前 記 板 ら突出する複数の スペ サ 、 分子を配 御するための 起とを備え、前記カラ ィ タ層は、互 に異なる色光を 過する のカラ ィ タ、 2のカラ ィ および 3のカラ ィ を含み、前記 数の スペ サは、互 に高さの なる の スペ サ 2の スペ サとを含み 、前記 の スペ サは、前記 のカラ ィ タ、前記 2のカラ ィ タ、 前記 3のカラ ィ および ちの な とも と同一の膜 ら 成された少な とも の層を含む の 層構造 、前記 起と同一の膜 ら 成された層を含む の 層構造 とを有し、前記 2の スペ サは、前記 のカラ ィ タ、前記 2のカラ ィ タ、前記 3のカラ ィ および

ちの な とも と同一の膜 ら 成された少な とも の層を含む 2 の 層構造 、 脂 ら 成された層を含む 2の 層構造 とを含み、そのこと によ て上記 的が達成される。

００21 ある好適な実施 態にお て、前記 の スペ サは、前記 2の スペ サよりも高 。

００22 ある好適な実施 態にお て、前記 2の スペ サは、前記 の スペ よりも高 。

００23 ある好適な実施 態にお て、前記 の スペ サおよび 2の ス ペ サの ちの 方の柱 スペ サの 、高 方の柱 スペ サの 度よりも高 。

００24 ある好適な実施 態にお て、前記 の 層構造 、前記 脂 ら 成され た層をさらに含む。

００25 ある好適な実施 態にお て、前記 2の 層構造 、前記 起と同一の膜 ら 成された層を含まな 。

００26 ある好適な実施 態にお て、 明によるカラ ィ タ 、前記 2の スペ サの 、前記 起と同一の膜 ら 成された構造 をさらに備える。 ００27 ある好適な実施 態にお て、前記 感光性 である。

００28 ある好適な実施 態にお て、前記 、ネガ 光性 であり、前記

、ポジ 光性 脂 ら 成されて る。

００29 明による 、上記 成を有するカラ ィ タ 、前記カラ ィ タ に対向するよ に設けられたアクティ ト クス 、前記カラ ィ タ アクティ ト クス との間に配置された とを備えており、その ことによ て上記 的が達成される。

００3０ ある好適な実施 態にお て、前記アクティ ト クス 、 ト クス状に配列 された 数の チング 子と、それぞれが前記 数の チング 子のそれぞ れに電気 に接続された 数の とを有し、前記 数の スペ サは、前 記 数の 重ならな よ に配置されて る。

００31 ある好適な実施 態にお て、前記アクティ ト クス 、前記 の ス ペ サおよび 2の スペ サの ちの 方の柱 スペ サに対向する 置に選択的に設けられ、前記 方の柱 スペ サ 前記アクティ ト クス 表面との 隔を調整するための 整層をさらに有する。

００32 ある好適な実施 態にお て、前記アクティ ト クス 、複数の 線と 、前記 数の 線に交差する複数の 線とを有し、前記 整層は 、前記 数の または前記 数の 線と同一の膜 ら 成されて る。 ００33 ある好適な実施 態にお て、前記アクティ ト クス 、複数の トラン ジスタを有し、前記 整層は、前記 数の トランジスタのそれぞれに含 まれる半導体 と同一の膜 ら 成されて る。

００34 明による他の液 、 ト クス状に配列された 数の チング 子を有するアクティ ト クス 、前記アクティ ト クス に対向するよ に設けられたカラ ィ タ 、前記アクティブ ト クス と前記カラ ィ タ との間に設けられた とを備えた 置であ て、前記カラ ィ タ 、透明 、前記 上に設けられたカラ ィ タ 、前記 板 ら突出する複数の スペ サとを有し、前記 数の スペ サは、互 に高さの なる の スペ サ 2の スペ サとを含み、前記アクティ ブ ト クス 、前記 の スペ サおよび 2の スペ サの ち の 方の柱 スペ サに対向する 置に選択的に設けられ、前記 方の柱 スペ サ 前記アクティ ト クス 表面との 隔を調整するための 、プ 整 層をさらに有し、そのことによ て上記 的が達成される。

００35 ある好適な実施 態にお て、前記アクティ ト クス 、複数の 線と 、前記 数の 線に交差する複数の 線とを有し、前記 整層は 、前記 数の または前記 数の 線と同一の膜 ら 成されて る。 ００36 ある好適な実施 態にお て、前記 数のスイッチング 、複数の トラン ジスタであり、前記 、プ 整層は、前記 数の トランジスタのそれぞれに含ま れる半導体 と同一の膜 ら 成されて る。

明の

００37 明によると、簡便な プ セスで スペ サの さを任意に制御すること ができるカラ ィ タ およびそれを備えた 置が提供される。 明 によれば、開口 の 要な 下を招 ことがな 。また、 明によれば、同一機種 の ネ を する際のカラ ィ タ 料の 択の が向上し、安定し た生産が可能になる。 ００38 明の 適な実施 態における を模式的に示す 面図 である。

2 に 重が加えられたときの 子を模式的に示す図である。 3 (a)～( )は、 のカラ ィ タ 2を製造する工程を模式 的に示す 面図である。

4 (a)および(b)は、実施 におけるメインスペ サ皿を模式的に示す図であり (a)は上面図、 (b)は(a)中の4 4 線に沿 た 面図である。

5 (a)および(b)は、実施 における スペ サ 2を模式的に示す図であり、 (a)は上面図、 (b)は(a)中の5 5 線に沿 た 面図である。

6 における スペ サ 2 を模式的に示す 面図である。

7 2における スペ サ 2 を模式的に示す 面図である。

8 3における スペ サ 2Cを模式的に示す 面図である。

9 明の 適な実施 態における他の液 2 を模式的に示す 面図である。

1０ (a)および(b)は、実施 2におけるメインスペ サ皿を模式的に示す図であ り、 (a)は上面図、 (b)は(a)中の 線に沿 た 面図である。

11 (a)および(b)は、実施 2における スペ サ 2を模式的に示す図であり (a)は上面図、 (b)は(a)中の 線に沿 た 面図である。

12 (a)および(b)は、 明による 置に用 られるメインスペ サ皿 の他の例を模式的に示す図であり、 (a)は上面図、 (b)は(a)中の 2 2 線に 沿 た 面図である。

13 (a)および(b)は、 明による 置に用 られる スペ サ 2 の他の例を模式的に示す図であり、 (a)は上面図、 (b)は(a)中の 3 3 線に 沿 た 面図である。

14 明の 適な実施 態における他の液 3 を模式的に示す 面図である。

15 3 が有するアクティ ト クス を模式的に示す 面 図である。

16 明の 適な実施 態における他の液 3 模式的に示す 面図である。

17 (a)および(b)は、メインスペ サ皿の 例を模式的に示す図であり、 (a)は上 面図、 (b)は(a)中の 7 7 線に沿 た 面図である。

18 (a)および(b)は、サ スペ サ 2の 例を模式的に示す図であり、 (a)は上 面図、 (b)は(a)中の 8 8 線に沿 た 面図である。

19 (a)および(b)は、メインスペ サ皿の近 設けられた構造 4を模式的 に示す図であり、 (a は上面図、 (b)は(a)中の g g 線に沿 た 面図であ る。

2０ (a)および(b)は、メインスペ サ皿の近 設けられた構造 4の他の例 を模式的に示す図であり、 (a)は上面図、 (b)は(a)中の2 2 線に沿 た 面図である。

21 (a)および(b)は、従来のカラ ィ タ 7 を模式的に示す図であり、 (a) は上面図、 (b)は(a)中の2 2 線に沿 た 面図である。

号の

アクティ トリクス

2、2 カラ ィ タ

3

4 ( )

5 ( ラック ト クス)

5a と同一の膜 ら 成された

6 カラ ィ タ

7 カラ ィ タ( のカラ ィ

7a カラ ィ 同一の膜 ら 成された

8 カラ ィ タ( 2のカラ ィ

8a カラ ィ 同一の膜 ら 成された

9 カラ ィ タ( 3のカラ ィ

ga カラ ィ 同一の膜 ら 成された

通電極 スペ サ(メインスペ サ)

構造

層構造

起と同一の膜 ら 成された

2 起とは別途に 脂 ら 成された

2 スペ サ(サ スペ サ)

2 層構造

2 層構造

2 起と同一の膜 ら 成された

2 2 起とは別途に 脂 ら 成された

3 ( )

4 起と同一の膜 ら 成された構造

2

2 (ゲ トライン)

22

23 ゲ ト

24 f (ソ スライン)

25

25a ンタクトホ

26

27 ( トランジス

28 整層

2 3 3

明を実施するための 良の

、 スペ サ との間に、 ラック ト クス カラ ィ 同一の膜 ら 成された 地層 を設け、この 地層の や を変化さ ることによ て、その上に形成される スペ サの さを制御する手法を特 2 5 7 39 号に提案して る。この 、 脂 ら 成される スペ サの さが下地層の 形状に依存すると 象を利用して る。 えば、下地層 の 積が大き ほど スペ サは高 なり、下地層の 積が小さ ほど スペ サは低 なる。そのため、相対的に面積の きな 地層と相対的に面積の さな 地層とを 上に設け、それらの上に スペ サを形成することにより、高さの なる2 類の スペ サを簡単に基 上に作り込むことができる。

００41 し しながら、この 法を用 た場合、所望の さの スペ サを形成する際に 、下地層の 形状に制約を受けると 題がある。 えば、 スペ サを十 分に高 するためには、下地層の 十分に大き する必要があり、そのことによ て開口 が低下してしま 。

００42 、特許 および2の 題点だけでな 、上記 2 5 7 39 号の問題点をも解決す なされたものである。 下、図面を参照しながら 明の 態を説明する。なお、以下では、アクティ ト クス 置に用 ら れるカラ ィ タ とその製 法を例として実施 態を説明するが、 は これに限定されるものではな 。

００43 ( )

まず、 を参照しながら、本実施 態における の 造を説明 する。 は、 を模式的に示す 面図である。

は、 わゆる (M domanVe ca A gnmen)型の液 置である。 ００44 は、アクティ ト クス と、アクティ ト クス に対 向するカラ ィ タ 2と、これらの間に設けられた 3とを有して る。アク ティ ト クス としては、 アクティ ト クス を用 ることができる ので、ここではその 造の 明を する。

００45 3は、 直配 の である。 3は、 型的には、誘電 方性が 負の液 料を含み、アクティ ト クス およびカラ ィ タ 2の

3側の表面に設けられた 直配 にこでは )によ て、電圧 に 基 表面に対して 直に配 する。

００46 カラ ィ タ 2は、透明 ( えばガラス 4 、 4上に設けられた

5およびカラ ィ タ 6と、 4 ら突出する複数の スペ サ 2とを有して る。カラ ィ タ 2は、さらに、 分子を配 御するた めの ( ) 3を有して る。この 3は、その 状によ て、 3の 分子を傾斜 さ る。

００47 方、アクティ ト クス の には、ス ットが設けられており(

)、このス ットは電圧 界を発生して 分子を傾斜 さ る。カラ ィ タ 2に設けられた 3と、アクティ ト クス に設けられたス 、 とは、 制力が互 に整合するよ に配置されており、電圧 には、 3の 分子は、突起 3 ス ットとによ て 御される。その 果、配 の 互 に異なる複数の ドメインが形成されるので、 は 、 野角の 示を〒 ことができる。

００48 3およびス ットの としては、 の の 型 ( え ば 242225 報に開示されて る。)に用 られて る配置を広 用することができる。また、アクティ ト クス の ス ットを設ける わりに、 極上にも突起( )を設け、カラ ィ タ 2側の突 3 アクテ ィ ト クス 側の突起とによ て 御を行 てもよ 。

００49 下、カラ ィ タ 2の 造をより具体的に説明する。

００5０ 5は、 の 域に 子状(ある はストライプ )に形成されており、 ラ 、 ト クス( )とも呼ばれる。カラ ィ タ 6は、互 に異なる色光を 過す る のカラ ィ タ7、 2のカラ ィ タ8および 3のカラ ィ タ9を有し て る。 実施 態では、 のカラ ィ タ7は カラ ィ であり、 2のカ ラ ィ タ8は カラ ィ であり、 3のカラ ィ タ9は カラ ィ で ある。 5およびカラ ィ タ 6を に、透明 ( えば O) ら 成された共通電極 が設けられて る。

００51 実施 態におけるカラ ィ タ 2には、互 に高さの なる2 類の

スペ サ および 2が設けられて る。

００52 方の柱 スペ サ ( の 側に示して る。)は、 5、 カラ ィ タ7、 カラ ィ タ8および カラ ィ タ9 同一の膜 ら 成された 層構 造 と、 御用の 3 同一の膜 ら 成された上層構造 んで構成されて る。

００53 層構造 は、 5 同一の膜 ら 成された 5a、 カラ ィ タ7 同一の膜 ら 成された 7a、 カラ ィ タ8 同一の膜 ら 成された 8aお よび カラ ィ タ9 同一の膜 ら 成された gaの 層構造 である。

5、 カラ ィ タ7、 カラ ィ タ8および カラ ィ タ9は、 脂 ら 成 されて るので、下層構造 は を積層した構造 である。この 層構造 上に、上層構造 が設けられて る。 実施 態における 御用 3は 脂 ら 成されて るので、上層構造 は 脂 ら 成された構 造 である。

００54 方の柱 スペ サ ( の 側に示して る。)は、 5および カラ フィ タ8 同一の膜 ら 成された 層構造 2 と、 脂を用 て 御用の 3とは別途に形成された上層構造 2 とを含んで構成されて る。

００55 層構造 2 は、 5 同一の膜 ら 成された 5bおよび カラ ィ タ8 同一の膜 ら 成された 8bの 層構造 であり、 を積層した構造 である。この 層構造 2 上に、上層構造 2 が設けられて る。 実施 態 では、上層構造 2 は、感光性 脂 ら 成されて る。

００56 述したよ に、本願 細書では、セ ギ を規定する役割を果たす 状の 層構造 全体を スペ サ 呼ぶ。なお、 スペ サは、カラ ィ

、配 御用の 起などと同一の膜 ら 成された樹脂 だけでな 、無機 ( えば して るよ に O ら 成された共通電極の )を含むこともある。ま た、 が金属 ら 成される場合には、金属 を含むこともある。

００57 ここで、高さの なる2 類の スペ サ および 2を設けるこ により得られる 利点を説明する。

００58 に示すよ に、高 方の柱 スペ サ皿がアクティ ト クス 接触し て るのに対して、低 方の柱 スペ サ 2はアクティ ト クス には接触し て な 。 まり、この 態では高 方の柱 スペ サ皿のみによ てセ ギ が規定されて る。

００59 来の 置では、 性を向上するために スペ サの ( たりの スペ サの数)を高 すると、低温 発生しやす なる 題があ た。 では、 に示すよ に、基本的には高 方 の柱 スペ サ皿のみでセ ギ を制御するので、実効的なスペ サ 高 方の柱 スペ サ皿のみで 定される。そのため、セ ギ を 3の 縮に追従さ やす 、低温 の 生を抑制することができる。また、 に 重が加わ てセ ギ が狭 な たときには、 2に示すよ に、高 方の柱 スペ サ 低 方の柱 スペ サ 2の 方で両 が支持されるに のときの 効的なスペ サ スペ サ および 2の 方で 定される)の で、高 耐 性を実現できる。 下では、高 方の柱 スペ サ皿をメインス ペ サ とも呼び、低 方の柱 スペ サ 2をサ スペ サ とも呼ぶ。

００6０ メインスペ サ皿の高さは、下層構造 を構成する層の数( )と、上層 構造 の さとを調整することによ て制御される。また、サ スペ サ 2の さは、下層構造 2 を構成する層の数( )と、上層構造 2 の さとを調 整することによ て制御される。

００61 メインスペ サ皿の上層構造 が 御用の 3 同一の膜 ら 成 されるのに対し、サ スペ サ 2の 層構造 2 は、メインスペ サ皿の上層構 造 3とは別途に 脂 ら 成されて る。そのため、

では、メインスペ サ皿の上層構造 の さと スペ サ 2の 層構造 2 の さとをそれぞれ調整することにより、メインスペ サ皿の高さと スペ サ 2の さとを独立に任意の値に設定することが可能である。

００62 2 5 7 39 号に開示されて る手法では、 スペ サの さを十分 に高 するためには、下地層( 明における下層構造 ある は下層構造 の 部の層に相当)の 大き する必要があ た。これに対し、 明では、その よ 制約を受けな 。 まり、下層構造 2 を構成する各層の によら ず、 スペ サ 、 2の さを制御することができる。そのため、 性を向 上さ るために スペ サ 2の 度を高 しても、そのことによる の 下を抑制することができる。

００63 実施 態では、メインスペ サ皿の下層構造 が4 構造を有し、サ 2の 層構造 2 が2 構造を有する構成を例示したが、下層構造 および 2 の はこれらに限定されるものではな 。メインスペ サ皿の下層 構造 の スペ サ 2の 層構造 2 の とは、異な て てもよ し、同じであ てもよ 。

００64 なお、 明では、メインスペ サ皿の上層構造 スペ サ 2の 層 構造 2 とは別の膜 ら 成されるが、メインスペ サ皿の上層構造 は、 御用の 3 同一の膜 ら 成されるので、 明を用 ることによ て 新たに製 程を増加さ る必要はな 。 御用の 3の さは、好適な 配 制力を発現するためには、 ・ 74 ～ ・ 8 の 囲内であることが好まし ００65 スペ サ 、 2の さおよび 、常温( えば23C) ら低温( え ば 2 C) の 度変 に対し、セ ギ 、プの 量がメインスペ サ

スペ サ 2との 低差よりも なるよ に設定することが好ま 。このよ に設定 することで、 の 重がな 状態ではセ ギ 、プはメインスペ サ皿のみで 定されるので、メインスペ サ皿の密度を調整することによ てセ ギ 、プを 3の 縮に追従さ ることができ、低温 の 生を抑制することが できる。また、 が指で されてセ ギ 、プが狭 な たときには 、 2に示したよ に、メインスペ サ スペ サ 2の 方で両 が支持さ れるので、高 耐 性が得られる。

００66 3の 縮にセ ギ 、プを追従さ 、 、荷重が加えられたときに十分な 性を発揮するためには、例えば、メインスペ サ皿の配 度を ・ 3 ～ ・ 7 度に設定し、サ スペ サ 2の 度を ・ ～ ・ 6 度に設定すれば よ 。ここでの スペ サの 、メインスペ サ皿に ては、 ( ス ペ サがアクテ ト クス に接する面積Xスペ サの ) カラ イ タ の ) O ( ) 定義される。また、サ スペ サ 2に ては、 ( ス ペ サが アクテ ト クス に接する面積Xスペ サの ) カラ イ タ の ( 定義される。

００67 次に、 の 法を説明する。アクテ ト クス は の 法で 造することができるので、ここでは、 3(a)～( )を参照しながら、カ ラ ィ タ 2の 法を説明する。

００68 まず、 3(a)に示すよ に、 4上に 5を形成する。 体的には、 4 上に、黒色の 料を分散さ た 光性 脂をス ット タを用 て ティ ン して乾燥さ た後、得られた感光性 および 像することによ て、 5を形成する。このとき、下層構造 および 2 の 下層となる 5a 5b も 成される。

００69 次に、 3 b 示すよ に、 カラ ィ タ7を形成する。 体的には、 4上 に、赤色の 料を分散さ た 光性 脂をス ット タを用 て ティン して乾燥さ た後、得られた感光性 および 像することによ て、 カ ラ ィ タ7を形成する。このとき、 5 同 の膜 ら 成された 5a上に、メ インスペ サ の 層構造 の2 となる 7aも 成される。

００7０ て、 3 c 示すよ に、 カラ ィ タ8を形成する。 体的には、緑色の 料を分散さ た 光性 脂を用 、 カラ ィ タ7 同様にして カラ ィ タ8を形成する。このとき、 カラ ィ タ7 同一の膜 ら 成された 7a 上に、メインスペ サ皿の下層構造 の3 となる 8aも 成される。また、 5 同一の膜 ら 成された 5b上に、サブスペ サ 2の 層構造 2 の2 となる 8bも 成され、 2 の 5bおよび8bを含む 層構造 2 が完成 する。

００71 その 、図 ( )に示すよ に、 カラ ィ タ9を形成する。 体的には、青色の 料を分散さ た 光性 脂を用 、 カラ ィ タ8 同様にして カラ ィ タ9を形成する。このとき、 カラ ィ タ8 同一の膜 ら 成された 8a 上に、メインスペ サ皿の下層構造 の4 となる gaも 成され、4 の 7 8aおよびgaを含む 層構造 が完成する。

００72 て、 3 e 示すよ に、共通電極 を形成する。 通電極 は、透明

( えば O)を用 てス ッタ ングなどの 法により 成することができる。 ００73 その 、図3 f 示すよ に、共通電極 上に配 御用の ( ) 3を形成 する。 体的には、感光性 ( えば ノ ラック系のポジ 光性 ) をス ット タによ て 布して乾燥さ た後に、得られた感光性 およ び 像することによ て突起 3を形成する。このとき、下層構造 上に上層構 造 も 成され、メインスペ サ皿が完成する。

００74 次に、 3( )に示すよ に、下層構造 2 上に 脂 ら上層構造 2 を形成 する。 体的には、感光性 ( えばアク 系の 光性 )をス ット タによ て 布して乾燥さ た後に、得られた感光性 および 像す ることによ て上層構造 2 を形成する。これにより、サ スペ サ 2が完成する ００75 その 、上述のよ にして 成されたカラ ィ タ 2と、別途に用意したアクテ ィ ト クス とを一方の の 域の 側に 布した 材を介して 合わ る。このとき、カラ ィ タ 2 アクティ ト クス の 面には 形成してお 。その 、両 の 料を注入して 、

が完成する。なお、 材を塗布した力の基 によ て 3を形成し、その後に両 合わ てもよ 。

００76 なお、 スペ サ 、 2は、アクティ ト クス に設けられて る

重ならな よ に配置されて ることが好ま 。このよ 構成を採用することで 、 スペ サ 、 2の下に位置する共通電極 との 絡の 生を抑 制することができ、表示 置の 頼性を向上することができる。

００77 ここで、 を参照しながら、 明の 果をより具体的に説明する。 には、 明を用 て柱状スペ サの さを制御した ( )と、 外の 法で スペ サの さを制御した ( 、2および3)とに て、得られた スペ サのデ タを示して る。 に示すよ に、実施 、比較 、2および3の ずれに ても、 、赤カラ ィ タ、 カラ ィ タ、 カラ ィ お よび 御用の 起の ( 中に通常 として して る。)が共通する よ にカラ ィ タ が製造されて る。

００78

におけるメインスペ サ a、 4(a)および b すよ に、 5、 カラ ィ タ7、 カラ ィ タ8および カラ ィ タ9 同じ膜 ら 成さ れた 7a 8aおよび を含む 層構造 1 と、 御用の 3 同一 の膜 ら 成された上層構造 1 とを有して る。 5 同一の膜 ら 成さ れた最下層F は、一辺44 の 方形状( 中には口と表記して る。)であり、 カラ ィ タ7 同一の膜 ら 成された2 目の 7aは、最下層5aを に( 中にはベタ 表記して る。 けられて る。 カラ ィ タ8 同一の膜 ら 成された3 目の は、直径3 mの ( 中には の 表記して る。)で あり、 カラ ィ タ9 同一の膜 ら 成された4 目の gaは、直径 6 の である。 御用の 同一の膜から 成された上層構造 ( 中には 御用 表記して る。)は、直径44 の である。

方、実施 における スペ サ 2は、 5(a)および(b)に示すよ に、 5および カラ ィ タ7 同一の膜 ら 成された 5bおよび7bを含む 層 構造 1 、感光性 脂 ら 成された上層構造 とを有して る。

5 同一 膜 ら 成された最下層 は、一辺44 方形状であり、 カラ ィ タ7 同一の膜 ら 成された2 目の 7bは、最下層5bを に設けら れて る。 光性 脂 ら 成された上層構造 2 ( 中には 光性 表記して る。)は、直径3 の である。

では、メインスペ サ 、その (ある基準面 らの さを意味し、以 下に示す数 、特にことわらな 限り カラ ィ タ7 同一の膜 ら 成された 層の上面 らの さを意味する。)が3・ 5 、 面内方向に沿 た実効的な ( )が 6 であ たのに対し、サ スペ サ 2は、その さが3・ 、実 効的なサイズ( )が3 であ た。 では、メインスペ サ スペ サ 2の 方が所望の さに形成されて るにも関わらず、開口 の 分な はな た。また、サ スペ サ 2の 対面積(メインスペ サ の としたと きの )が3・ 52 十分に大き ので、十分な が実現されて た。

００82 におけるメインスペ サは、実施 におけるメインスペ サ 同じ構成 を有して る。 方、比較 における スペ サ 2 は、 6に示すよ に、 、赤カラ ィ タ、 カラ ィ および カラ ィ 同一の膜 ら 成 された 7 8cおよびgcと、 御用の 起と同一の膜 ら 成された 3 cとを有して る。 まり、比較 では、サ スペ サ 2 はメインスペ サ 同じ 層構造を有して る。ただし、サ スペ サ 2 の3 目の 8cおよび4 目の 9 cは、 に示すよ にそれぞれ 7u 、直径 の であり、メインスペ サの3 目の および4 目の よりも 。 まり、比較 では、 2 5 7 39 号に開示されて る手法のよ に、下地層である 8cおよびgcの面 さ ることによ てその上に形成される 3cの さを低 して る。 ００83 では、下地層である 8cおよび9cの面 小さ した結果、サ スペ サ

2 の 効的なサイズ( )が と なり、サ スペ サ 2 の 対面積 が ・ 39と な てしま た。そのため、サ スペ サ 2 の 度が低 な てしま 、十分な が実現できな た。

００84 2におけるメインスペ サも、実施 におけるメインスペ サ 同じ構成 を有して る。 方、比較 2における スペ サ 2 は、 7に示すよ に、 、赤カラ ィ タ、 カラ ィ および カラ ィ 同一の膜 ら 成 された 5d 7d 8dおよびgdと、 御用の 起と同一の膜 ら 成された 3dとを有して る。 まり、比較 2では、サ スペ サ 2 はメインスペ サ 同じ 層構造を有して る。ただし、サ スペ サ 2 の 5d 7d 8d gdおよび 3 dは、 にも示して るよ に、比較 における スペ サ 2 を構成する 5c 7 8 gcおよび 3cを横長にした形状を有して る。これは、サ スペ サ 2 の さを変えな まま、サ スペ サ 2 の2 元的なサイズを大き するためである 。 2では、サ スペ サ 2 のサイズを十分に大き 確保できたので、十分な が確保できた。し しながら、 7 8 gcおよび 3cのサイズを大き した結果、カラ ィ の 積が25 下し、開口 が低下してしま た。

００85 3におけるメインスペ サも、実施 におけるメインスペ サ 同じ構成 を有して る。 方、比較 3における スペ サ 2Cは、 8に示すよ に、 、赤カラ ィ および カラ ィ 同一の膜 ら 成された 7お よび8eと、 御用の 起と同一の膜 ら 成された 3eとを有して る。 ま り、比較 3では、サ スペ サ 2Cはメインスペ サよりも積層 な 。こ れは、サ スペ サ 2Cに カラ ィ 同一の膜 ら 成された層を含めな ことによ て、サ スペ サ 2Cの さをメインスペ サよりも低 しよ としたものであ る。し しながら、この 合には、サ スペ サ 2Cの さが2・ 85 低 なりす ぎてしま 、十分な が実現できな た。

００86 ( 2)

9を参照しながら、本実施 態における 2 の 造を説明する。 9は、 2 を模式的に示す 面図である。 下では、

2 が実施 における 異な て る点を中心に説明を行 ００87 2 のカラ ィ タ 2 は、メインスペ サ および スペ サ 2の 層構造が のカラ ィ タ 2 異な て る。 ００88 実施 態におけるメインスペ サ は、 5 同一の膜 ら 成された 5 aおよび カラ ィ タ7 同一の膜 ら 成された 7aを含む 層構造 と 、 脂を用 て 御用の 3とは別途に形成された上層構造 とを有 して る。

００89 方、本実施 態における スペ サ 2は、 5 同一の膜 ら 成され た 5b、 カラ ィ タ7 同一の膜 ら 成された 7bおよび カラ ィ タ8 同一の膜 ら 成された 8bを 下層構造 2 、 御用の 3 同一の膜 ら 成された上層構造 2 とを有して る。 ００9０ における では、メインスペ サ皿の上層構造 が 御用の 3 同一の膜 ら 成され、サ スペ サ 2の 層構造 2 が突起 3とは別途に 脂 ら 成される。これに対し、本実施 態では、上述し たよ に、メインスペ サ の 層構造 が 御用の 3とは別途に 脂 ら 成され、サ スペ サ 2の 層構造 2 が 御用の 3 同 一の膜 ら 成される。このよ 層構造を採用しても、実施 における

同様に、簡便な プ セスで スペ サ 、 2の さを任意に 制御することができる。

００91 また、 明によると、カラ ィ タ を製造する際のカラ ィ タ 料の 択の が増すと 果も得られる。 来、同じ 種の ネ を する 際に、異なるカラ ィ タ 料を用 ることは難し た。 えばある会社製のカラ ィ タ ( 呼ぶ。)と別のある会社製のカラ ィ タ (

呼ぶ。 )とでは、同じ 度を実現するための 異なる。そのため、 例えば 2 5 7 39 号の手法を用 て柱状スペ サの さを制御する場合 には、 を用 る ット 、 を用 る ットとで、下地層の 変更するこ とによ て柱状スペ サの さを える必要があ た。 地層の ット間で変 更すると、 ット間でカラ ィ の 積が異な てしま 、 における が異な てしま 。そのため、異なる を用 ると表示 位がばら てしま 題があ た。

００92 明によれば、メインスペ サ皿の上層構造 の さと スペ サの 層構造 2 の さとをそれぞれ 御することにより、用 る の なる ット間で 、カラ ィ の 異なら ることな スペ サ 、 2の さを え ることができるので、上述したよ 表示 位のばら きを防止できる。そのため、同 じ 種の ネ を する際に、異なるカラ ィ タ 料を用 ることができ、 カラ ィ タ 料の 択の が向上する。その 果、生産の 定性を向上す ることができる。

００93 ここで、 2を参照しながら、 明の 果をより具体的に説明する。 2には、本 実施 態における 層構造により スペ サの さを制御した ( 2)と、 外の 法で スペ サの を制御した ( 4および5)とに て、得られた スペ サのデ タを示して る。また、 2には、 に示した実施 におけるデ タも併 て して る。 実施 2 では、異なるカラ ィ タ 料を用 ており、 2中には、実施 におけるカラ ィ タ 料を 、 実施 2におけるカラ ィ タ 料を 表記して る。

００94 2

００95 2におけるメインスペ サ 、 (a)および(b)に示すよ に、 5 および カラ ィ タ7 同じ膜 ら 成された 5aおよび7aを含む 層構造 と、感光性 脂 ら 成された上層構造 とを有して る。

００96 方、実施 2における スペ サ 2は、 (a)および(b)に示すよ に、

5、 カラ ィ タ7および カラ ィ タ8 同一の膜 ら 成された 5b 7bおよび8bを含む 層構造 2 と、 御用 3 同一の膜 ら 成さ れた上層構造 2 とを有して る。

００97 2に示すよ に、実施 実施 2 では異なるカラ ィ タ 料を用 て る ので、 5、 カラ ィ タ7、 カラ ィ タ8および カラ ィ タ9の ( )が実施 と実施 2とで な て る。し しながら、それにも わらず、メインスペ サ皿の高さおよびサイズは実施 実施 2とで同じであり、 サ スペ サ 2の さおよびサイズも実施 実施 2とで同じであ た。このよ に、 明によれば、異なる を用 ても同じ高さ、サイズの スペ サを形成 できることが確認された。

００98 4にお ては、 2 らもわ るよ に、メインスペ サの 層構造

スペ サの 層構造 とが ずれも 御用の 起と同 ら 成されて る 。また、比較 4にお ては、メインスペ サが カラ ィ 同一の膜 ら 成 された層を含むのに対し、サ スペ サはそのよ な層を含んで な 。このよ に、 比較 4は、 カラ ィ 同一の膜 ら 成された層の有無によ て、メインス ペ サの さと スペ サの さとに差を設けて る。し しながら、カラ ィ の 、表示す き色の色 度に応じて決ま てしま ので、このよ な手法によ り スペ サの さを厳密に制御することは難し 、 2に示すよ に、メインスペ サの さが3・ 8 高 なりすぎてしま た。

００99 5は、比較 4にお て高 なりすぎるメインスペ サの さを、 カラ ィ 同一の膜 ら 成される および カラ フィ 同一の膜 ら 成される 層の面 小さ することにより低 することを試みたものである。し しながら、比較 5では、メインスペ サの さを所望の3・ 5 にできたものの、メインスペ サの サイズがⅡ、さ な てしま た。そのため、メインスペ サの が低下し、 ネ 重を加えると、サ スペ サがアクティ ト クス に接触する前にメイン スペ サが してしま た。

０1００ および2では、メインスペ サ の 層構造 および スペ サ 2の 層構造 2 がそれぞれ 層である場合を説明したが、 はこれに 限定されるものではな 。メインスペ サ の 層構造 スペ サ 2の 層構造 2 を2 構造としてもよ 。

０1０1 えば、 (a)および(b)に示すよ に、メインスペ サ の 層構造 が 、 御用の 3 同一の膜 ら 成された と、突起 3とは別途に 脂 ら 成された 2とを含んで てもよ 。

０ ０2 ある は、 (aおよび(bに示すよ に、サブスペ サ 2の 層構造 2 が 、 御用の 3 同一の膜 ら 成された 2 と、突起 3とは別途に 脂 ら 成された 2 2とを含んで てもよ 。

０1０3 ただし、メインスペ サ の さと スペ サ 2の さの 方を独立に任意の 値に制御する観点 らは、メインスペ サ の 層構造 および スペ サ 2の 層構造 2 の 方を2 構造とする場合には、他方は一層構造であること が好まし 、他方は突起 3 同一の膜 ら 成された層を含まな ことがさらに好ま し 。

０1０4 ( 3)

4および 5を参照しながら、本実施 態における 3 の 造 を説明する。 4は、 3 を模式的に示す 面図であり、 5は、

3 のアクティ ト クス を模式的に示す 面図である。 下 では、 3 が実施 2における 2 異な て る点 を中心に説明を行 。

０1０5 3 のアクティ ト クス 上には、 ごとに ( トラ ンジスタ)27が設けられて る。 27のゲ ト 27Gは、透明 ( えばガラ ス )2 形成された走査 (ゲ トライン)2 に電気 に接続されており、 27のソ ス 27Sは、走査 2 にゲ ト 23を介して 差する信号 (ソ スライン)24に電気 に接続されて る。 27のド イン 27 は、 信号 24や 27を に形成された 25に設けられた ンタクト ホ 25aを介して 26に電気 に接続されて る。ここでは、 ンタクトホ 25aは、補助 22上に設けられて る。

０1０6 25は、例えば 光性のアク 脂 ら 成されており、本実施 態 のよ に、この 25上に 26を設けると、 26を走査 2 および または信号 24 部分的に重ねて配置することが可能となり、開口 を 向上できると 点が得られる。

０1０7 実施 態におけるアクティ ト クス は、サ スペ サ 2に対向する 置に選択的に設けられた 整層28を有して る。この 整層28は 、サ スペ サ 2 アクティ ト クス の 面との 隔を調整するために設 けられており、メインスペ サ に対向する 置には設けられて な 。 実施 態 における 整層28は、信号 24 同一の ( わゆるソ スメタ ) ら 成されて る。

０1０8 実施 態のよ に 整層28を設けると、サ スペ サ 2 アクティ ト クス 面との 隔を、 性を向上するのに好まし 直に設定しやす 。 換えると、たとえ スペ サ 2を十分に高 形成できな 場合であ ても 、足りな 高さの分を 、プ 整層28によ て補 、十分に高 耐 性を実 現することができる。

０1０9 なお、 、プ 整層28は、信号 24 同一の膜 ら 成されたものに限定さ れな 。 整層28は、例えば、走査 2 同一の ( わゆるゲ トメタ ) ら 成されて てもよ し、 27に含まれる半導体 と同一の膜 ら 成さ れて てもよ 。 な 頼性の 点 らは、 、プ 整層28は、 5に示し たよ に配線等 ら り離され、電気 に浮動 態にあることが好ま 。

０11０ また、本実施 態では、 5に示すよ に、補助 22に重なるよ に 、 プ 整層28が設けられており、この 、プ 整層28に重ならな よ に 2 6が切り欠 れて る。これは、サ スペ サ 2 26とが重ならな よ に し、表示 置の 頼性を向上さ るためである。 22上の領 、もともと表示に寄与しな ため、このよ 領域の 26を切り欠 ても表示 上 はな 。

０111 実施 態のよ に 整層28を設ける手法は、 6に示すよ

3 にお ても有効である。 6に示す 3 では、メインス ペ サ皿の上層構造 および スペ サ 2の 層構造 2 の 方が、 御用の 3 同一の膜 ら 成されて る。そのため、 3 にお ては、実施 および2の および2 にお てよりも、メ インスペ サ皿の高さと スペ サ 2の さとを独立に制御しに 。し しなが ら、 整層28を設けることにより、サ スペ サ 2の さを ことができる ので、優れた 性を実現しやす 。

０112 ( 4)

既に述 たよ に、高さの なる2 類の スペ サを設けることによ て、低温 抑制し 、 性を向上さ ることができる。し しながら、2 類の スペ サの 層構造が互 に異な て ると、表示むらが発生することがある。 下、図 7および 8を参照しながら具体的に説明する。

０113 (a)および(b)に示すメインスペ サ 、 5および カラ ィ タ7 同一の膜 ら 成された 5aおよび7aを含む 層構造 と、 ( 型的に は 光性 ) ら 成された上層構造 とを有して る。

０114 また、 8(a)および(b)に示す スペ サ 2は、 5、 カラ ィ タ7 および カラ ィ タ8 同一の膜 ら 成された 5b 7bおよび8bを含む 層 構造 2 と、 御用 3 同一の膜 ら( 型的にはポジ 光性 脂 ら) 成された上層構造 2 とを有して る。

０115 b 8(b)とを 較すればわ るよ に、メインスペ サ の

( b)中の点線で囲まれて る部分) 、サ スペ サ 2 の ( 8(b)中の点線で囲まれて る部分)とは相違して る。そのため、メインスペ サ スペ サ 2 とでは、 分子の 態が異なる。このよ 態の により、表示のむらや ら きが発生することがある。

０116 9(a)および(b)に示すよ に、メインスペ サ皿の近 、突起 3 同一の膜 ら 成された構造 4を設けると、メインスペ サ の 状を スペ サ 2 の 状に近似さ ることができるので、 態の 起因した 表示のむらや ら きの 生を抑制することができる。

０117 なお、 9には、 線方向 ら見たときの 状が 状になるよ に構造

4を設ける場合を例示したが、構造 4の はこれに限定されな 。 えば、 2 (a)および(b)に示すよ に、 線方向 ら見たときの 状が にな るよ に構造 4を設けてもよ 。

上の利用 ， ０118 明によると、簡便な プ セスで スペ サの さを任意に制御すること ができるカラ ィ タ が提供される。 明によるカラ ィ タ 、 置に好適に用 られる。

Claims

求の

カラ ィ タ であ て、

透明 、

前記 上に設けられた およびカラ ィ タ 、

前記 板 ら突出する複数の スペ サ 、

分子を配 御するための 起と、

を備え、

前記カラ ィ タ層は、互 に異なる色光を 過する のカラ ィ タ、 2 のカラ ィ および 3のカラ ィ を含み、

前記 数の スペ サは、互 に高さの なる の スペ サ 2の スペ サとを含み、

前記 の スペ サは、前記 のカラ ィ タ、前記 2のカラ ィ タ、 前記 3のカラ ィ および ちの な とも と同一の膜 ら 成された少な とも の層を含む の 層構造 、前記 起と同一の膜 ら 成された層を含む の 層構造 とを有し、

前記 2の スペ サは、前記 のカラ ィ タ、前記 2のカラ ィ タ、 前記 3のカラ ィ および ちの な とも と同一の膜 ら 成された少な とも の層を含む 2の 層構造 、 脂 ら 成された層を含 む 2の 層構造 とを含む、カラ ィ タ 。

2 の スペ サは、前記 2の スペ サよりも高 に記載の カラ ィ タ 。

3 2の スペ サは、前記 の スペ サよりも高 に記載の カラ ィ タ 。

4 の スペ サおよび 2の スペ サの ちの 方の柱 ス ペ サの 、高 方の柱 スペ サの 度よりも高 ら3 の ずれ に記載のカラ ィ タ 。

5 の 層構造 、前記 脂 ら 成された層をさらに含む ら4 の ずれ に記載のカラ ィ タ 。

6 2の 層構造 、前記 起と同一の膜 ら 成された層を含まな ら5の ずれ に記載のカラ ィ タ 。

7 2の スペ サの 、前記 起と同一の膜 ら 成された構造 を さらに備える ら6の ずれ に記載のカラ ィ タ 。

8 感光性 である ら7の ずれ に記載のカラ ィ タ 。

9 、ネガ 光性 であり、

前記 、ポジ 光性 脂 ら 成されて る 8に記載のカラ ィ タ 。

０ ら9の ずれ に記載のカラ ィ タ 、前記カラ ィ タ に対向するよ に設けられたアクティ ト クス 、前記カラ ィ タ ア クティ ト クス との間に配置された とを備えた 。

アクティ ト クス 、 ト クス状に配列された 数の チング 子 と、それぞれが前記 数の チング 子のそれぞれに電気 に接続された 数 の とを有し、

前記 数の スペ サは、前記 数の 重ならな よ に配置されて る に記載の 。

2 アクティ ト クス 、前記 の スペ サおよび 2の ス ペ サの ちの 方の柱 スペ サに対向する 置に選択的に設けられ、前記 方の柱 スペ サ 前記アクティ ト クス 表面との 隔を調整するため の 整層をさらに有する または皿に記載の 。

3 アクティ ト クス 、複数の 線と、前記 数の 線に交差 する複数の 線とを有し、

前記 整層は、前記 数の または前記 数の 線と同一の 膜 ら 成されて る 2に記載の 。

4 アクティ ト クス 、複数の トランジスタを有し、

前記 整層は、前記 数の トランジスタのそれぞれに含まれる半導体 と同一の膜 ら 成されて る 2に記載の 。 5 ト クス状に配列された 数の チング 子を有するアクティ ト クス 、前記アクティ ト クス に対向するよ に設けられたカラ ィ タ 、 前記アクティ ト クス と前記カラ ィ タ との間に設けられた と を備えた 置であ て、

前記カラ ィ タ 、透明 、前記 上に設けられたカラ ィ タ 、前記 板 ら突出する複数の スペ サとを有し、

前記 数の スペ サは、互 に高さの なる の スペ サ 2の スペ サとを含み、

前記アクティ ト クス 、前記 の スペ サおよび 2の ス ペ サの ちの 方の柱 スペ サに対向する 置に選択的に設けられ、前記 方の柱 スペ サ 前記アクティ ト クス 表面との 隔を調整するため の 整層をさらに有する 。

6 アクティ ト クス 、複数の 線と、前記 数の 線に交差 する複数の 線とを有し、

前記 整層は、前記 数の または前記 数の 線と同一の 膜 ら 成されて る 5に記載の 。

7 数の チング 、複数の トランジスタであり、

前記 整層は、前記 数の トランジスタのそれぞれに含まれる半導体 と同一の膜 ら 成されて る 5に記載の 。